JP5999585B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図7に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態について、図8〜図13に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3の実施形態について図14〜図16に基づいて説明する。第3の実施形態に係る基板ステージ装置PSTbは、Xガイド102の駆動方法が異なる点を除き、上記第2の実施形態の基板ステージ装置PSTa(図9など参照)とほぼ同様の構成を有しているため、第2の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いると共にその説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4の実施形態について図17に基づいて説明する。第4の実施形態に係る基板ステージ装置PSTcは、Xガイド102の駆動方法が異なる点を除き、上記第2の実施形態の基板ステージ装置PSTa(図9など参照)とほぼ同様の構成を有しているため、第2の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いると共にその説明を簡略若しくは省略する。
図18には、第1の変形例に係る基板ステージ装置が有する、重量キャンセル装置40A及びレベリング装置57Aが示されている。第1の変形例では、レベリング装置57Aと、重量キャンセル装置40Aとは、第2の実施形態と同様の構成を有するが、レベリング装置57Aが重量キャンセル装置40Aを下方から支持する配置(すなわち、第2の実施形態においてレベリング装置57と重量キャンセル装置40’との配置が上下方向に関して入れ替わった形態)となっている。具体的には、多面体部材64の上面に筐体41の下面が接続されている。また、図18では省略されているが、重量キャンセル装置40AのZスライダ43の上面は、スペーサ51を介して微動ステージ21に固定されている。
図19には、第2の変形例に係る基板ステージ装置が有する、重量キャンセル装置40B及びレベリング装置57Bが示されている。第2の変形例は、空気ばね42とZスライダ43(平行板ばね装置48も合わせて)との位置を上下方向に関して入れ替えた以外は、第1の変形例(図18参照)と同様の構成である。重量キャンセル装置40Bでは、筐体41Bは下面が開口した有底の筒状部材から成り、その上面が微動ステージ21(図19では不図示)に一体的に固定される。
図20には、第3の変形例に係る基板ステージ装置が有する、重量キャンセル装置40Cが示されている。重量キャンセル装置40Cは、上面が開口した有底筒状部材のボディ41Cと、ボディ41C内に収容された空気ばね42と、空気ばね42の上面に接続されたレベリングカップ49と、複数のエアベアリング65と、不図示の微動ステージ21に固定された多面体部材64等から構成される。第3の変形例では、Zスライダが排除され、レベリングカップ49の下面を直接空気ばね42でZ軸方向に押すように構成される。ボディ41Cの外壁面にはターゲット46を支持するための複数のアーム部材47が固定されている。
次に、第5の実施形態を、図23〜図28に基づいて説明する。
次に、上記各実施形態に係る露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態に係る露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上記各実施形態に係る露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
この場合、パターン形成工程において、上記各実施形態に係る露光装置を用いて高スループットかつ高精度でプレートの露光が行われるので、結果的に、液晶表示素子の生産性を向上させることができる。
Claims (29)
- エネルギビームに対して物体を第1方向に移動させながら露光する露光装置であって、
前記物体を保持する物体保持部材と、
前記物体保持部材を下方から支持し前記物体保持部材に対して相対移動可能な第1支持部材と、
前記第1支持部材を下方から支持する支持面を有する第2支持部材と、
前記第1方向に関して前記第2支持部材の異なる部分を下方から支持する第1および第2支持部を有する第1ベースと、
前記第1支持部材が前記物体保持部材を下方から支持した状態で、前記第1支持部材を前記第1および第2支持部により支持された前記第2支持部材に対して前記支持面上を前記第1方向へ相対移動させる第1ステージ部材と前記第1ステージ部材を下方から支持する第2ステージ部材とを有するステージと、
前記第1ベースとは独立して配置され前記第1および第2ステージ部材を支持する第2ベースを有し、前記ステージにより前記第1ベース上の前記第2支持部材と前記第2支持部材上の前記第1支持部材とを前記第1および第2ベースに対して前記第1方向に交差する第2方向へ相対移動させる駆動部と、を備える露光装置。 - 前記第1支持部と前記第2支持部とは、前記第1方向に離れて配置され、
前記第1ベースは、前記第2支持部材が前記第1支持部と前記第2支持部との間に渡された状態で支持する請求項1に記載の露光装置。 - 前記駆動部は、前記第2支持部材とともに前記第1ステージ部材を前記第2方向へ移動させる請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記第2ステージ部材は、前記第2方向に関して前記第2支持部材の両側に配置され前記第2支持部材を前記第2方向へ移動させる請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記駆動部は、前記第2方向に沿って配置された第1固定子と、前記第1固定子に対して移動可能に配置された第1および第2可動子とを有するリニアモータを備え、
前記第1固定子は、前記第2ベースに配置され、
前記第1可動子は、前記第2ステージ部材に接続され、
前記第2可動子は、前記第2支持部材に接続される請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2支持部材と前記第2ステージ部材とを連結する連結部をさらに備える請求項3又は4に記載の露光装置。
- 前記第2支持部材は、前記第2ステージ部材と前記連結部とを介して前記駆動部により前記第2方向へ移動される請求項6に記載の露光装置。
- 前記連結部は、前記第2方向の剛性に比べて他の方向の剛性が低い請求項6又は7に記載の露光装置。
- 前記第2支持部材は、前記第2ステージ部材によって押圧されることにより前記第2方向に移動される請求項3又は4に記載の露光装置。
- 前記第2支持部材および前記第2ステージ部材の一方から他方に気体を噴出する噴出部を備え、
前記第2支持部材は、前記気体を介して非接触状態で前記第2ステージ部材に押圧される請求項9に記載の露光装置。 - 前記第2支持部材は、第1の磁石を有し、
前記第2ステージ部材は、前記第1の磁石に対して前記第2方向に対向して設けられ、前記第1の磁石とは互いに対向する部分の磁極が同じである第2の磁石を有し、
前記第2支持部材は、前記第1および第2の磁石間に発生する斥力により非接触状態で前記第2ステージ部材に押圧される請求項9に記載の露光装置。 - 前記第2ベースは、前記第1方向に関して前記第1および第2支持部と離間して配置された請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2支持部材を下方から支持する前記第1および第2支持部の各支持部の間に配置され、前記第2ステージ部材の支持を補助する支持補助部材を備える請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ベースは、前記第1および第2支持部の一方の支持部に対して前記第1方向の一方側と他方の支持部に対して前記第1方向の他方側に配置されている請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ベースは、中空の部材から成る本体部と、前記本体部の内部に設けられ、該本体部の鉛直方向の剛性を向上させる補剛部材とを含む請求項1〜14のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ベースは、前記第2支持部材の前記第2方向への移動をガイドするガイド部を有する請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、前記ステージに対して上下方向へ相対移動可能に連結された請求項1〜16のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記ステージは、前記第1方向に沿って配置された第2固定子と、前記第2固定子に対して移動可能に配置された第3可動子とを有するリニアモータを備え、
前記第2固定子は、前記第1方向に沿って前記第1ステージ部材に設けられ、
前記第3可動子は、前記第1ステージ部材に設けられ、
前記第1ステージ部材は、前記第2ステージ部材に対して前記第1方向に関して相対移動可能である請求項1〜17のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記第2支持部材は、複数のリブを有するリブ構造を備える請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2支持部材は、中実な石材から成る請求項1〜18のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、前記第2支持部材により非接触に支持される請求項1〜20のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、前記物体保持部材を傾斜させる傾斜装置を含む請求項1〜21のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、前記物体保持部材を非接触支持する請求項1〜22のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1支持部材は、上方向の力を発生する力発生装置を備える請求項1〜23のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第1ステージ部材と前記第2支持部材とは、上下方向に関する位置が少なくとも一部重複する請求項1〜24のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、フラットパネルディスプレイの製造に用いられる基板である請求項1〜25のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体は、500mm以上のサイズを有する基板である請求項1〜26のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項1〜27のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜27のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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