JP5992359B2

JP5992359B2 - 太陽電池の製造方法

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Publication number: JP5992359B2
Application number: JP2013084629A
Authority: JP
Inventors: 義人山田; 大之西中; 明大一瀬; 章男吉田
Original assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Current assignee: Toshiba Mitsubishi Electric Industrial Systems Corp
Priority date: 2013-04-15
Filing date: 2013-04-15
Publication date: 2016-09-14
Anticipated expiration: 2033-04-15
Also published as: JP2014207352A

Description

本発明は、太陽電池の製造方法に関するものであり、より具体的には、超音波振動接合法を用いた、基板と太陽電池の構成部材との接合に関する。

従来より、太陽電池として、ガラス基板上に発電層および電極層などを成膜して成る薄膜太陽電池が、利用されている。当該薄膜太陽電池は、一般的に複数の太陽電池セルが直列に接続されて構成されている。

また、上記薄膜太陽電池の構成において、各太陽電池セルで発電した電気は、ガラス基板の両端辺部に形成された集電電極（バスバー）にて集電される。そして、集電電極により集電された電気は、引出線（リード線）によって取り出される。つまり、引出線は、集電電極に接続されており、また端子ボックスの端子にも接続されている。当該接続構成により、引出線は、集電電極で集電された電気を、端子ボックスへと導くことが可能となる。

ここで、集電電極は、ガラス基板上に形成された太陽電池セルの電極層と電気的に接続されており、引出線は、太陽電池セルとは直接接続されていない（つまり、引出線は、集電電極を介して太陽電池セルとは電気的に接続されるが、太陽電池セル自身と引出線自身とは絶縁されている）。

当該引出線の配設方法（引き出し方法）は、従来から提案されておりている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に係る技術では、電極層の上に絶縁フィルムを配設し、当該絶縁フィルムの上に、引出線（リード線）を配置している。ここで、特許文献１には、端子ボックスを任意の位置に配置できるように、引出線の様々な配設形態が開示されている。

なお、本発明に関連する従来技術（つまり、超音波振動接合処理を利用して、集電電極等を基板に接続する従来技術）も既に、複数存在している（特許文献２，３，４，５，６）。

特開２０００−６８５４２号公報国際公開第２０１０／１５０３５０号特開２０１１−９２６１号公報特開２０１１−９２６２号公報特開２０１２−４２８０号公報特開２０１２−４２８９号公報

薄膜太陽電池の製造工程において、集電電極および引出線が配設された後には、ラミネート封止がなされる。ここで、配設された引出線に、浮きや曲がり等が発生していると、ラミネートした封止材が盛り上がり、防水性が損なわれる。このような問題が発生することを防止するために、従来では、引出線を粘着テープで固定したり、接着剤で固定したりしていた。このように、従来では、引出線を固定するための固定材が必要となり、太陽電池の製造コストを増大させる要因となっていた。

そこで、本発明は、製造コストの増大を抑制しながら、引出線の固定が可能となる太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る太陽電池の製造方法は、（Ａ）基板の第一の主面に、太陽電池積層膜を形成する工程と、（Ｂ）前記太陽電池積層膜と電気的に接続される、当該太陽電池積層膜で発電した光を集電する集電電極を形成する工程と、（Ｃ）前記太陽電池積層膜の一部を除去し、基板の前記第一の主面を露出させる工程と、（Ｄ）前記集電電極で集電した電気を引き出す引出線を、前記工程（Ｃ）により露出した前記第一の主面上に直接配置させる工程と、（Ｅ）前記引出線に対して超音波振動接合処理を施すことにより、前記基板の前記第一の主面に前記引出線を固着させる工程とを、備えている。

本発明に係る太陽電池の製造方法は、（Ａ）基板の第一の主面に、太陽電池積層膜を形成する工程と、（Ｂ）前記太陽電池積層膜と電気的に接続される、当該太陽電池積層膜で発電した光を集電する集電電極を形成する工程と、（Ｃ）前記太陽電池積層膜の一部を除去し、基板の前記第一の主面を露出させる工程と、（Ｄ）前記集電電極で集電した電気を引き出す引出線を、前記工程（Ｃ）により露出した前記第一の主面上に直接配置させる工程と、（Ｅ）前記引出線に対して超音波振動接合処理を施すことにより、前記基板の前記第一の主面に前記引出線を固着させる工程とを、備えている。

このように、ガラス基板に直接、引出線を配置し、超音波接合処理を施すことにより、引出線をガラス基板に強固に接合・固定させることができる。当該強固な引出線の固定により、ラミネート加工中にリード線が曲がることも防げる。また、引出線の固定に際して、粘着テープ、接着剤または半田等の固定材が不要である。これにより、太陽電池の製造コストを大幅に削減させることができる。

ガラス基板１の第一の主面上に形成された太陽電池セルの構成例を示す平面図である。ガラス基板１の第一の主面上に形成された太陽電池セルの構成例を示す断面図である。本実施の形態に係る太陽電池の製造方法の一連の工程を説明するための斜視図である。本実施の形態に係る太陽電池の製造方法の一連の工程を説明するための斜視図である。本実施の形態に係る太陽電池の製造方法の一連の工程を説明するための斜視図である。超音波接合処理で使用されるチップの具体的構成の例を示す拡大断面図である。超音波接合処理で使用されるチップの具体的構成の他の例を示す拡大断面図である。本実施の形態に係る太陽電池の製造方法の一連の工程を説明するための斜視図である。

本願発明では、太陽電池に配設される引出線の接合には、垂直方向に加圧しながら水平方向に超音波振動を印加する超音波接合法（超音波（振動）接合処理）を採用する。以下、この発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。

＜実施の形態＞
まず、透明性を有する基板１（以下では、ガラス基板１とする）を用意する。そして、当該ガラス基板１の第一の主面上に、表面電極層２、発電層３および裏面電極層４を各々、所定のパターン形状にて形成する。当該工程までにより、薄膜太陽電池の基本構成が作成される。なお、表面電極層２、発電層３および裏面電極層４の全てを覆うように、第一の主面上方に、絶縁性を有する保護膜を積層させても良い。以下では、説明簡単化のため、保護膜を含めず説明を進める。

ここで、ガラス基板１の第一の主面上に形成された、表面電極層２、発電層３および裏面電極層４が当該順に積層して成る積層構造（なお、保護膜も形成されている場合には、当該保護膜も含む）の全体を、太陽電池積層膜と称することとする。

また、ガラス基板１は、第一の主面と、当該第一の主面と対向する第二の主面を有するが、ここでは、ガラス基板１の第二の主面側から光が入射するタイプの太陽電池について説明を行う。

図１は、上記工程により作成された薄膜太陽電池の基本構成を示す平面図である。また、図２は、図１のＡ−Ａ断面を示す断面図である。

図１，２から分かるように、表面電極層２、発電層３および裏面電極層４は各々、ストライプ状に形成されている。また、図２に示すように、表面電極層２、発電層３および裏面電極層４が当該順に積層している単位積層構造により、単位太陽電池セルＰ１が構成されている。各単位太陽電池セルＰ１において、表面電極層２および裏面電極層４はそれぞれ、発電層３と電気的に接続されている。

また、図２に示すように、一方の単位太陽電池セルＰ１を構成する発電層３および裏面電極層４は各々、他方の単位太陽電池セルＰ１を構成する表面電極層２と電気的に接続している。ここで、他方の単位太陽電池セルＰ１とは、一方の単位太陽電池セルＰ１に隣接する単位太陽電池セルである。当該構成から分かるように、図２に示すように、複数の単位太陽電池セルＰ１が、図１，２の左右方向に、直接に電気接続されている。

ここで、ガラス基板１の厚さは、たとえば４ｍｍ程度以下の薄膜基板である。また、表面電極層２は、透明性を有する導電膜から成り、たとえばＺｎＯ、ＩＴＯあるいはＳｎＯ_２を採用することができる。また、当該表面電極層２の厚さは、たとえば数十ｎｍ程度である。

また、発電層３は、入射された光を、電気に変換することができる光電変換層である。当該発電層３は、膜厚が数μｍ程度（たとえば、３μｍ以下）の薄膜層である。また、当該発電層３は、たとえばシリコン等から構成されている。

また、裏面電極層４は、たとえば銀を含む導電膜を採用できる。当該裏面電極層４の厚さは、たとえば、数十ｎｍ程度である。

図３は、ガラス基板１の第一の主面上に、太陽電池積層膜ＳＴ１が成膜された様子を示す斜視図である。なお、図３において、太陽電池積層膜ＳＴ１は、砂地により図示している。

ここで、以後の説明の容易化のために、以下の名称を定義する。

ガラス基板１の第一の主面は、図３に示すように、矩形状の端縁部Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を有する。当該端縁部Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４は、第一の端辺部Ｌ１、第二の端辺部Ｌ２、第三の端辺部Ｌ３、および第四の端辺部Ｌ４から構成されている。

図３に例示する構成においては、第一の端辺部Ｌ１および第二の端辺部Ｌ２は、互いに対面して平行に並走しており、第三の端辺部Ｌ３および第四の端辺部Ｌ４は、互いに対面して平行に並走している。なお、図３に示す構成例では、第一の端辺部Ｌ１は、第三の端辺部Ｌ３および第四の端辺部Ｌ４と垂直に交差しており、第二の端辺部Ｌ２においても、第三の端辺部Ｌ３および第四の端辺部Ｌ４と垂直に交差している。

さて、太陽電池積層膜ＳＴ１形成後、ガラス基板１の各端面（各側面）に漏れ出している太陽電池積層膜ＳＴ１を除去する処理を行う。ここで、当該処理の際に、図４に示すように、第一の端辺部Ｌ１側において、当該第一の端辺部Ｌ１に沿って、第一の主面上に形成された太陽電池積層膜ＳＴ１を部分的に除去し、ガラス基板の第一の主面の一部を露出させるガラス基板部分露出処理も行う。ここで、ガラス基板部分露出処理としては、たとえば、レーザトリミングやサンドブラスト等を採用することができる。

当該ガラス基板部分露出処理により、図４に示すように、第一の主面の第一の端辺部Ｌ１側において（第一の端辺部Ｌ１に接して）、当該第一の端辺部Ｌ１に沿って、ガラス基板露出部１Ｅが形成される。当該ガラス基板露出部１Ｅにおいて、第一の主面のガラス基板１が露出している。

次に、図５を参照して（図５は、後述する超音波接合処理まで実施された後の構成図である）、引出線１０Ａ，１０Ｂを、ガラス基板露出部１Ｅ上に、第一の端辺部Ｌ１に沿って配置させる。

ここで、引出線１０Ａ，１０Ｂは、太陽電池積層膜ＳＴ１とは接触させない。上記までの工程より明らかなように、引出線１０Ａ，１０Ｂは、太陽電池積層膜ＳＴ１から露出したガラス基板１の第一の主面上に、直接接触している。また、引出線１０Ａ，１０Ｂ自身は、太陽電池積層膜ＳＴ１自身とは、電気的に直接的には接続されていない。

上記したように、引出線１０Ａ，１０Ｂは、後述する集電電極から、当該集電電極で集電下電気を引き出すリード線である。また、引出線１０Ａ，１０Ｂとしては、たとえば、アルミ、銅、および銅を銀などでメッキした導体などを採用できる。

引出線１０Ａ，１０Ｂをガラス基板露出部１Ｅ上に配置させた後に、当該引出線１０Ａ，１０Ｂの上面に対して、スポット的に、超音波接合法を施す。超音波接合は、たとえば、後述する所定の形状のチップを有する接合ツールを用いて、実施されることが好ましい。

具体的に、前記チップを引出線１０Ａ，１０Ｂの上面に当接し、当該当接方向（ガラス基板１の方向）に所定の圧力を印加する。そして、当該圧力印加状態で、水平方向（圧力印加方向に垂直な方向）に、当該チップを超音波振動させる。これにより、引出線１０Ａ，１０Ｂを、ガラス基板１の第一の主面上において直接、接合・固定させることができる。当該超音波接合処理を、引出線１０Ａ，１０Ｂの上面の複数箇所において、各々実施する。

当該超音波接合処理後の様子を、図５の平面図に示す。図５において、符号１５は、超音波振動処理が施された圧痕１５である。図５に示すように、引出線１０Ａ，１０Ｂの線方向に沿って、複数の圧痕１５が、スポット的（点在して）に存在する。

また、図５に示すように、引出線１０Ａ，１０Ｂは、２本配設されている。一方の引出線１０Ａは、第三の端辺部Ｌ３側から、第一の端辺部Ｌ１に沿って延びており（つまり、一方の引出線１０Ａの一方の端部は、第三の端辺部Ｌ３側に配置されている）、他方の引出線１０Ｂは、第四の端辺部Ｌ４側から、第一の端辺部Ｌ１に沿って延びている（つまり、他方の引出線１０Ｂの一方の端部は、第三の端辺部Ｌ４側に配置されている）。

ここで、超音波接合処理後において、各引出線１０Ａ，１０Ｂの各他方の端部１０Ｔ１，１０Ｔ２を、ガラス基板１の第一の主面に対して、立ち上げる工程を施す。当該工程により、図５に示すように、一方の引出線１０Ａの他方の端部１０Ｔ１と、他方の引出線１０Ｂの他方の端部１０Ｔ２とは、ガラス基板露出部１Ｅ上において、垂直方向に立ちあがる。

なお、一方の引出線１０Ａの他方の端部１０Ｔ１と、他方の引出線１０Ｂの他方の端部１０Ｔ２とは、ガラス基板露出部１Ｅ上方において、所定の間隔だけ隔てて対面している。また、一方の引出線１０Ａの他方の端部１０Ｔ１および他方の引出線１０Ｂの他方の端部１０Ｔ２は、端子ボックス（ジャンクションボックスまたはターミナルボックス）の端子へと接続される。

つまり、後述する集電電極で集電された電気は、外部に存する端子ボックスなどに供給する必要がある。したがって、集電電極と端子ボックスなどに配設された外部端子とを電気的に接続する、引出線１０Ａ，１０Ｂの配設が必要となる。

また、上述した所定の形状のチップとは、下記のようなものである。

図６に示すように、チップ１ｃの部材（引出線１０Ａ，１０Ｂ等）と当接する面では、複数の平面部１０が、複数の凹部１１により、互いに分離形成される。ここで、当該平面部１０の平面度が高精度に形成される。また、凹部１１間の間隔Ｐは１．０ｍｍ以下程度、凹部１１の最深部までの深さＤは０．１５ｍｍ以下程度に設定される。当該形状のチップ１ｃを採用し超音波接合法を実施することにより、薄厚であるガラス基板１に対してダメージを与えることを防止できる。

または、図７に示すように、当該チップ１ｃの当接側面には、上記複数の平面部１０および凹部１１に、微細な凹凸形状が形成されていても良い。図７に示す構成の当該チップ１ｃを採用することにより、より低エネルギーの超音波振動印加によって、超音波振動接合を支障なく実現することができる。

さて、引出線１０Ａ，１０Ｂをガラス基板１上に直接固着させた後、次に、太陽電池積層膜ＳＴ１上の所定の位置に、集電電極２０Ａ，２０Ｂを配置する。ここで、集電電極２０Ａ，２０Ｂとして、たとえば、銅またはアルミニウムを含む導体を採用することができる。

図８に示すように（図８は、後述する、集電電極２０Ａ，２０Ｂに対する超音波接合処理実施後の図である）、一方の集電電極２０Ａは、第三の端辺部Ｌ３側において、当該第三の端辺部Ｌ３に沿って、延設されている。ここで、一方の集電電極２０Ａの一方の端部は、第一の端辺部Ｌ１側において、一方の引出線１０Ａの一方の端部の上に重なっており、一方の集電電極２０Ａの他方の端部は、第二の端辺部Ｌ２側に存する。また、他方の集電電極２０Ｂは、第四の端辺部Ｌ４側において、当該第四の端辺部Ｌ４に沿って、延設されている。ここで、他方の集電電極２０Ｂの一方の端部は、第一の端辺部Ｌ１側において、他方の引出線１０Ｂの一方の端部の上に重なっており、他方の集電電極２０Ｂの他方の端部は、第二の端辺部Ｌ２側に存する。なお、図１の上下方向に沿って、各集電電極２０Ａ，２０Ｂは延設している。

集電電極２０Ａ，２０Ｂを太陽電池積層膜ＳＴ１上に配置させた後に、引出線１０Ａ，１０Ｂの接合処理と同様、当該集電電極２０Ａ，２０Ｂの上面に対して、スポット的に、超音波接合処理を施す。

具体的に、チップを集電電極２０Ａ，２０Ｂの上面に当接し、当該当接方向（ガラス基板１の方向）に所定の圧力を印加する。そして、当該圧力印加状態で、水平方向（圧力印加方向に垂直な方向）に、当該チップを超音波振動させる。これにより、集電電極２０Ａ，２０Ｂを、太陽電池積層膜ＳＴ１上において、接合・固定させることができる。当該超音波接合処理を、集電電極２０Ａ，２０Ｂの上面の複数箇所において、各々実施する。

当該超音波接合処理後の様子を、図８の平面図に示す。図８において、符号２５は、超音波振動処理が施された圧痕２５である。図８に示すように、集電電極２０Ａ，２０Ｂの線方向に沿って、複数の圧痕２５が、スポット的（点在して）に存在する。

なお、一方の集電電極２０Ａと一方の引出線１０Ａとの重なる部分も超音波接合処理が施され、一方の集電電極２０Ａと一方の引出線１０Ａとの固定、一方の引出線１０Ａのガラス基板１に対する固定の確実性を向上させている。同様に、他方の集電電極２０Ｂと他方の引出線１０Ｂとの重なる部分も超音波接合処理が施され、他方の集電電極２０Ｂと他方の引出線１０Ｂとの固定、他方の引出線１０Ｂのガラス基板１に対する固定の確実性も向上させている。

上記超音波振動処理によって、集電電極２０Ａ，２０Ｂが太陽電池積層膜ＳＴ１と直接、電気的に接続（接合）される。このように、集電電極２０Ａ，２０Ｂが太陽電池積層膜ＳＴ１と電気的に接合されることにより、太陽電池モジュールにおいて、当該集電電極２０Ａ，２０Ｂは、太陽電池積層膜ＳＴ１で発電した電気の「集電用電極」であるバスバー電極として機能する。

つまり、直列に接続された各単位太陽電池セルＰ１で発電した電気を、集電電極２０Ａ，２０Ｂに集約される。ここで、図８において、たとえば、一方の集電電極２０Ａはカソード電極として機能し、他方の集電電極２０Ｂはアノード電極として機能する。

また、超音波接合処理により、集電電極２０Ａ，２０Ｂは、少なくとも裏面電極層４と電気的に接合する（または、裏面電極層４および発電層３、または裏面電極層４および発電層３および表面電極層２と、電気的に接合する）。

超音波接合処理を含む以上までの工程により、太陽電池積層膜ＳＴ１に接合された集電電極２０Ａ，２０Ｂと、当該集電電極２０Ａ，２０Ｂに接続され、ガラス基板１の第一の主面に直接接合された引出線１０Ａ，１０Ｂとを、太陽電池積層膜ＳＴ１が形成されたガラス基板１において配設することができる。

以上のように、本実施の形態に係る太陽電池の製造方法では、ガラス基板１の第一の主面に、太陽電池積層膜ＳＴ１を形成する。そして、太陽電池積層膜ＳＴ１の一部を除去し、ガラス基板１の第一の主面を部分的に露出させる。そして、引出線１０Ａ，１０Ｂを露出している第一の主面上に直接配置させ、当該引出線１０Ａ，１０Ｂに対して超音波振動接合処理を施す。

このように、ガラス基板１に直接、引出線１０Ａ，１０Ｂを配置し、超音波接合処理を施すことにより、引出線１０Ａ，１０Ｂを、ガラス基板１に強固に接合・固定させることができる。当該強固な引出線１０Ａ，１０Ｂの固定により、ラミネート加工中にリード線が曲がることも防げる。また、引出線１０Ａ，１０Ｂの固定に際して、粘着テープ、接着剤または半田等の固定材が不要である。これにより、太陽電池の製造コストを大幅に削減させることができる。

また、超音波接合処理では、非常に短い期間だけ超音波振動を印加するだけで済む。したがって、たとえば半田固定を採用したときと比べて、半田ごてを常時加熱しておくようなエネルギーの無駄を、本実施の形態に係る発明では防止できる。また、半田付け接合処理と超音波接合処理とを比較した場合、超音波接合処理の方がより短時間の処理である。したがって、本実施の形態に係る発明では、接合処理の高効率化が実現できる。

ここで、ガラス基板１の第一の主面に太陽電池積層膜ＳＴ１を形成した後、第一の主面からはみ出した太陽電池積層膜ＳＴ１を除去する工程は、従来より行われている。本実施の形態に係る太陽電池の製造方法では、当該工程の際に、上記ガラス基板部分露出処理によりガラス基板露出部１Ｅを設けている。つまり、本実施の形態に係る太陽電池の製造方法において、余分な工程が含まれることもない。

また、太陽電池積層膜ＳＴ１の形成の際に、ガラス基板露出部１Ｅをパターンとして有する太陽電池積層膜ＳＴ１の成膜も可能である。しかし、当該パターンを有する太陽電池積層膜ＳＴ１の成膜は高コスト化を招く。したがって、製造コストの削減の観点から、上記のように、ガラス基板１の第一の主面の全面に太陽電池積層膜ＳＴ１を成膜した後に、当該太陽電池積層膜ＳＴ１を部分的に除去し、ガラス基板露出部１Ｅを設ける方がより良い。

なお、引出線１０Ａ，１０Ｂをガラス基板１の第一の主面における、たとえば略中央部に配設することも可能である。当該場合には、ガラス基板１の端辺部（上記説明では、第一の端辺部Ｌ１）以外における太陽電池積層膜ＳＴ１を除去する必要がある。しかし、このような太陽電池積層膜ＳＴ１の除去を行った場合には、太陽電池セルが分断されてしまい、発電効率が低下する。

そこで、本実施の形態に係る太陽電池の製造方法では、ガラス基板１の端辺部（上記説明では、第一の端辺部Ｌ１）における太陽電池積層膜ＳＴ１を、当該端辺部に沿って、除去している。そして、当該端辺部に沿って、引出線１０Ａ，１０Ｂを配置し、ガラス基板１に直接接合させている。

したがって、太陽電池の発電効率の低下を防止しつつ、ガラス基板１の第一の主面に引出線１０Ａ，１０Ｂを強固に接合・固定させることができる。

また、本実施の形態に係る太陽電池の製造方法では、引出線１０Ａ，１０Ｂの端部１０Ｔ１，１０Ｔ２を、ガラス基板１の第一の主面に対して、立ち上げる工程も含まれている。したがって、引出線１０Ａ，１０Ｂを端子ボックスの端子へと容易に接続されることができる。

なお、本実施の形態に係る太陽電池の製造方法で説明した、引出線１０Ａ，１０Ｂの配設、集電電極２０Ａ，２０Ｂの配設、超音波接合処理、および引出線１０Ａ，１０Ｂの端部１０Ｔ１，１０Ｔ２の立ち上げ処理などは、太陽電池製造装置において、自動的に実施される。

また、上記では、ガラス基板１の第二の主面側から光が入射するタイプの太陽電池について説明したが、ガラス基板１の第一の主面側から光を入射させるタイプの太陽電池においても、本発明は適用できる。つまり、後者のタイプの太陽電池の場合においても、第一の主面側に形成された太陽電池積層膜ＳＴ１を部分的に（より具体的には、ガラス基板１の端辺部側において、当該端辺部に沿って）除去し、露出したガラス基板１の第一の主面に引出線１０Ａ，１０Ｂを配設し、当該引出線１０Ａ，１０Ｂに対して超音波接合処理を施すことも可能である。

なお、後者のタイプの太陽電池の場合においては、第一の主面側からの光が引出線１０Ａ，１０Ｂによってブロックされることを防止する観点からも、引出線１０Ａ，１０Ｂは、ガラス基板１の端辺部側に配設・接合されることが好ましい。

１ガラス基板
２表面電極層２
３発電層
４裏面電極層
１０Ａ，１０Ｂ引出線
１０Ｔ１，１０Ｔ２（引出線の）端部
１５，２５圧痕
２０Ａ，２０Ｂ集電電極
１Ｅガラス基板露出部
Ｌ１第一の端辺部
Ｌ２第二の端辺部
Ｌ３第三の端辺部
Ｌ４第四の端辺部
Ｐ１単位太陽電池セル
ＳＴ１太陽電池積層膜

Claims

（Ａ）基板の第一の主面に、太陽電池積層膜を形成する工程と、
（Ｂ）前記太陽電池積層膜と電気的に接続される、当該太陽電池積層膜で発電した光を集電する集電電極を形成する工程と、
（Ｃ）前記太陽電池積層膜の一部を除去し、基板の前記第一の主面を露出させる工程と、
（Ｄ）前記集電電極で集電した電気を引き出す引出線を、前記工程（Ｃ）により露出した前記第一の主面上に直接配置させる工程と、
（Ｅ）前記引出線に対して超音波振動接合処理を施すことにより、前記基板の前記第一の主面に前記引出線を固着させる工程とを、備えている、
ことを特徴とする太陽電池の製造方法。
前記工程（Ｃ）は、
前記基板の端辺部における前記太陽電池積層膜を、当該端辺部に沿って、除去する工程である、
ことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
（Ｆ）前記引出線の端部を、前記基板の前記第一の主面に対して、立ち上げる工程を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の太陽電池の製造方法。