JP2013058702A - 太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池モジュールおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の接続に起因した太陽電池セルの破損を防止すること。
【解決手段】第１導電型の半導体基板と、半導体基板の一面上に形成された第１導電型半導体層と、半導体基板の他面上に形成された第２導電型半導体層と、半導体基板の一面側に第１導電型半導体層と電気的に接続して形成された第１電極と、半導体基板の他面側に第２導電型半導体層と電気的に接続するとともに第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２電極と、半導体基板において対向する一対の端面のうちの一端面に、第１電極に電気的に接続するとともに第２導電型半導体層および第２電極と電気的に絶縁されて形成された第１導電体接続部と、半導体基板において対向する一対の端面のうちの他端面に、第２電極に電気的に接続するとともに第１導電型半導体層および第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２導電体接続部と、を備える。
【選択図】図１−１

Description

本発明は、太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池モジュールおよびその製造方法
に関する。

従来、互いに電気的に接続された複数の太陽電池素子を含む太陽電池モジュールが知られている。このような従来の一例による太陽電池モジュールは、たとえばタブ電極を介して電気的に接続される複数の太陽電池素子と、その複数の太陽電池素子を封止する充填材と、充填材により封止された太陽電池素子の光入射面（おもて面）側に配置されるガラス板からなる表面保護材と、太陽電池素子の光入射面と反対側の面（裏面）に配置されるＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate：ポリエチレンテレフタレート）フィルムと、アルミニウム（Ａｌ）箔と、ＰＥＴフィルムとを備えている。

また、このような従来の一例による太陽電池モジュールでは、太陽電池素子の光入射面側が正極となり、光入射面と反対側が負極となるように複数の太陽電池素子が配置されるとともに、タブ電極をステップ状に折り曲げることによって、隣接する太陽電池素子の正極と負極とを電気的に接続している。この場合は、太陽電池素子のおもて面側に接続されたタブ電極を隣接する太陽電池素子の裏面側に接続する必要がある。このため、太陽電池素子に負荷が加わり、その結果、太陽電池素子が破損するという不具合があった。また、太陽電池素子を配置できない隙間が生じてしまい、モジュール出力を低下させるという問題があった。

一方、特許文献１では、銀ペーストに太陽電池セルの端部を浸漬して受光面の端部から、端面を経て裏面の一部にわたり端面電極を形成し、太陽電池セル同士を裏面側はんだを介して銅板で接続し、モジュール化している。

特許第２９１５７０２号明細書

しかしながら、特許文献１に記載の太陽電池モジュールでは、隣接する太陽電池素子同士を太陽電池素子の裏面側で接続する必要があるので、太陽電池素子の下部に設置した銅板などの部材から太陽電池素子に負荷が加わり、太陽電池セルが破損するという不具合があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の接続に起因した太陽電池セルの破損を防止可能な太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池モジュールおよびその製造方法を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる太陽電池セルは、第１導電型の半導体基板と、前記半導体基板の一面上に形成された第１導電型半導体層と、前記半導体基板の他面上に形成された第２導電型半導体層と、前記半導体基板の一面側に前記第１導電型半導体層と電気的に接続して形成された第１電極と、前記半導体基板の他面側に前記第２導電型半導体層と電気的に接続するとともに前記第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２電極と、前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの一端面に、前記第１電極に電気的に接続するとともに前記第２導電型半導体層および前記第２電極と電気的に絶縁されて形成された第１導電体接続部と、前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの他端面に、前記第２電極に電気的に接続するとともに前記第１導電型半導体層および前記第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２導電体接続部と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の接続に起因した太陽電池セルの破損を防止可能な太陽電池セルが得られる、という効果を奏する。

図１−１は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。 図１−２は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの概略構成を示す上面図である。 図１−３は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの概略構成を示す下面図である。 図２−１は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を示す断面図である。 図２−２は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を示す断面図である。 図２−３は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を示す断面図である。 図３は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す断面図である。 図４−１は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図４−２は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図５は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す断面図である。 図６−１は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図６−２は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図６−３は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図７は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す上面図である。 図８−１は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図８−２は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図８−３は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図９は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す上面図である。 図１０−１は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図１０−２は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。 図１０−３は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。

以下に、本発明にかかる太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池モジュールおよびその製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。また、平面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付す場合がある。

実施の形態１．
図１−１は、本発明にかかる太陽電池モジュールを構成する太陽電池セル１００の概略構成を示す断面図である。図１−２は、本発明にかかる太陽電池モジュールを構成する太陽電池セル１００の概略構成を示す上面図であり、受光面側から見た図である。図１−３は、本発明にかかる太陽電池モジュールを構成する太陽電池セル１００の概略構成を示す下面図であり、受光面と反対側の面（裏面）側から見た図である。なお、図１−１は、図１−２におけるグリッド電極６Ｇに沿ったＡ−Ａ断面図である。

太陽電池セル１００では、約１５０μｍ〜約３００μｍの厚みを有するｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側に、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層２ａが形成されている。ｎ型単結晶シリコン基板１は、略正方形、略長方形などの略平行な対向する一対の端面を有する四辺形の形状とされるが、面方向における角の一部が丸く加工された形状などであってもよい。面方向における四辺形の４辺のうち、一対の対向する２辺（図１−２における上下の辺）の端面が隣接する太陽電池セルの電気的な接続に用いられ、他の一対の２辺（図１−２における左右の辺）の端面は基本的に太陽電池モジュール形成の接続に用いない。なお、基板はｎ型単結晶シリコン基板に限定されず、他の構成部材とともに太陽電池セルを構成できる結晶半導体基板であればよい。

ｉ型非晶質シリコン層２ａ上には、ｎ型単結晶シリコン基板１と反対の導電型を有するｐ型非晶質シリコン層３が約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みで形成されている。なお、ｐ型非晶質シリコン層３の代わりにｐ型微結晶層を用いてもよい。ｉ型非晶質シリコン層２ａおよびｐ型非晶質シリコン層３の形成方法としては、たとえばプラズマＣＶＤ法が好適であるが、これに限定されない。

ｐ型非晶質シリコン層３上には、約３０ｎｍ〜約１５０ｎｍの厚みを有するＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）やＺｎＯ（Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ）などから構成される透光性導電膜５が形成されている。透光性導電膜５は、たとえばスパッタリング法やイオンプレーティング法により形成される。ｉ型非晶質シリコン層２ａ、ｐ型非晶質シリコン層３および透光性導電膜５は、ｎ型単結晶シリコン基板１の受光面上のみならず、太陽電池セル１００の一対の端面１１ａ、１１ｂ側にも回り込んで形成されている。

ｎ型単結晶シリコン基板１の裏面上には、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層２ｂが形成され、ｉ型非晶質シリコン層２ｂ上にはｎ型単結晶シリコン基板１と同じ導電型を有するｎ型非晶質シリコン層４が約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みで形成されている。なお、ｎ型非晶質シリコン層４の代わりにｎ型微結晶層を用いてもよい。また、ｎ型非晶質シリコン層４上には、約３０ｎｍ〜約１５０ｎｍの厚みを有するＩＴＯ膜からなる透光性導電膜５が形成されている。ｉ型非晶質シリコン層２ｂ、ｎ型非晶質シリコン層４および透光性導電膜５は、ｎ型単結晶シリコン基板１の裏面上のみならず、端面１１ａ、１１ｂ側にも回り込んで形成されている。ここでは、ｉ型非晶質シリコン層２ｂおよびｎ型非晶質シリコン層４は、一対の端面１１ａ、１１ｂ側においてｐ型非晶質シリコン層３を覆っている。

ｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側から端面１１ａ、１１ｂ側にわたって設けられたｉ型非晶質シリコン層２ａ、ｐ型非晶質シリコン層３、透光性導電膜５と、ｎ型単結晶シリコン基板１の裏面側から端面１１ａ、１１ｂ側にわたって設けられたｉ型非晶質シリコン層２ｂ、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５との接続により端面１１ａ、１１ｂにおいて受光面側と裏面側とが短絡することを防止するため、太陽電池セル１００の受光面および裏面の周縁部の一部には受光面側の電極と裏面側とを電気的に分離するための分離溝が形成されている。すなわち、太陽電池セル１００の受光面側では、透光性導電膜５、ｐ型非晶質シリコン層３、ｉ型非晶質シリコン層２ａを貫通してｎ型単結晶シリコン基板１に達する分離溝７ａが端面１１ａの近傍に端面１１ａの延在方向と平行方向に形成されている。太陽電池セル１００の裏面側では、透光性導電膜５、ｎ型非晶質シリコン層４、ｉ型非晶質シリコン層２ｂを貫通してｎ型単結晶シリコン基板１に達する分離溝７ｂが端面１１ｂの近傍に端面１１ｂの延在方向と平行方向に形成されている。

ｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側の透光性導電膜５上には、該透光性導電膜５を介してｐ型非晶質シリコン層３に電気的に接続した編み目形状の受光面側集電極６が形成されている。受光面側集電極６としては、発電された電流を収集する長尺細長のグリッド電極（フィンガー電極）６Ｇが所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように複数並べて設けられ、このグリッド電極６Ｇと導通して該グリッド電極６Ｇにより収集された電流を集合させるバス電極６ＢＵが該グリッド電極６Ｇと略直交するように設けられている。グリッド電極６Ｇおよびバス電極６ＢＵは、銀材料により構成されている。また、受光面側集電極６の抵抗値を下げるため、バス電極６ＢＵ上に図示しない銅線からなるタブ線をはんだや導電性接着剤などを用いて接続してもよい。

ｎ型単結晶シリコン基板１の裏面側の透光性導電膜５上には、該透光性導電膜５を介してｎ型非晶質シリコン層４に電気的に接続した編み目形状の裏面側集電極９が形成されている。裏面側集電極９としては、発電された電流を収集する長尺細長のグリッド電極（フィンガー電極）９Ｇが所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように複数並べて設けられ、このグリッド電極９Ｇと導通して該グリッド電極６Ｇにより収集された電流を集合させるバス電極９ＢＵが該グリッド電極９Ｇと略直交するように設けられている。グリッド電極９Ｇおよびバス電極９ＢＵは、銀材料により構成されている。また、裏面側集電極９の抵抗値を下げるため、バス電極９ＢＵ上に図示しない銅線からなるタブ線をはんだや導電性接着剤などを用いて接続してもよい。

上述した実施の形態１にかかる太陽電池セル１００において、太陽電池セル１００の端面１１ａは、太陽電池セル１００ａにおいて分離溝７ａが近傍に形成された端面であり、ｐ型非晶質シリコン層３、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５からなる負極の導電体接続部が形成されている。太陽電池セル１００の端面１１ｂは、太陽電池セル１００ｂにおいて分離溝７ｂが近傍に形成された端面であり、ｐ型非晶質シリコン層３、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５からなる正極の導電体接続部が形成されている。そして、この端面１１ａ、端面１１ｂを用いて他の太陽電池セル１００の端面１１ａ、端面１１ｂと電気的に接続することが可能とされている。

つぎに、太陽電池セル１００の製造方法について図２−１〜図２−３を参照して説明する。図２−１〜図２−３は、実施の形態１にかかる太陽電池セル１００の製造方法を示す断面図である。まず、約１５０μｍ〜約３００μｍの厚みを有する略正方形のｎ型単結晶シリコン基板１の一面側および端面に、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層２ａを、たとえばプラズマＣＶＤ法により形成する。つぎに、ｉ型非晶質シリコン層２ａ上に、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｐ型非晶質シリコン層３をたとえばプラズマＣＶＤ法により形成する。このｎ型単結晶シリコン基板１の一面側が、太陽電池セル１００の受光面側になる（以下、受光面側と呼ぶ）。

つぎに、ｎ型単結晶シリコン基板１の他面側および端面に、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｉ型非晶質シリコン層２ｂを、たとえばプラズマＣＶＤ法により形成する。つぎに、ｉ型非晶質シリコン層２ｂ上に、約５ｎｍ〜約２０ｎｍの厚みを有するｎ型非晶質シリコン層４をたとえばプラズマＣＶＤ法により形成する（図２−１）。このｎ型単結晶シリコン基板１の他面側が、太陽電池セル１００の裏面側になる（以下、裏面側と呼ぶ）。

つぎに、ｎ型単結晶シリコン基板１の全面に、約３０ｎｍ〜約１５０ｎｍの厚みを有するＩＴＯ膜からなる透光性導電膜５をたとえばプラズマＣＶＤ法により形成する。ここで、ｎ型単結晶シリコン基板１の一面側から端面側にわたって設けられた透光性導電膜５と、ｎ型単結晶シリコン基板１の他面側から端面側にわたって設けられた透光性導電膜５とはつながっている。

このままでは端面の透光性導電膜５によってｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側と裏面側とが短絡する。この短絡を防止して受光面側と裏面側とを電気的に絶縁するために、ｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側および裏面側の周縁部の一部に、ｐ型非晶質シリコン層３、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５などからなる導電体層を除去する溝をレーザー照射などを用いて形成する。

分離溝７の形成においてレーザー照射を用いることにより、容易に導電体層を除去して分離溝７を形成することが可能となる。また、レーザー照射と研磨、またはレーザー照射とエッチングにより分離溝７を形成してもよい。この場合も、容易に導電体層を除去して分離溝７を形成することが可能となる。

ここで、略正方形のｎ型単結晶シリコン基板１の面方向における４辺のうち、後の太陽電池モジュール形成の際に電気的接続に利用する対向する一対の２辺において、一方の辺の端面においては、ｐ型非晶質シリコン層３、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５などからなる導電体層が受光面側から裏面側の外周縁部にわたって連続するように、辺方向に沿って裏面の外周縁部の一部に分離溝７ｂを形成する。すなわち、裏面側では、透光性導電膜５、ｎ型非晶質シリコン層４、ｉ型非晶質シリコン層２ｂを貫通してｎ型単結晶シリコン基板１に達する分離溝７ｂを形成する（図２−２）。

また、この辺に対向する辺の端面近傍においては、ｐ型非晶質シリコン層３、ｎ型非晶質シリコン層４、透光性導電膜５などからなる導電体層が裏面側から受光面側の外周縁部にわたって連続するように、辺方向に沿って受光面の外周縁部の一部に分離溝７ａを形成する（図２−２）。すなわち、受光面側では、透光性導電膜５、ｐ型非晶質シリコン層３、ｉ型非晶質シリコン層２ａを貫通してｎ型単結晶シリコン基板１に達する分離溝７ａを形成する。

一方、略正方形のｎ型単結晶シリコン基板１の面方向における４辺のうち、後の太陽電池モジュール形成の際に電気的接続に利用しない対向する一対の２辺においては、端面の導電体層を除去し、または裏面と受光面とに連続する分離溝７ｃを形成して端面の導電体層を裏面および受光面と分離して、受光面と裏面とが導通しないようにする（図１−２参照）。

ｎ型単結晶シリコン基板１の端面の導電体層を除去するためにレーザーを用いる場合は、レーザーの走査速度が遅い条件やレーザーのパワーが大きい条件を用いることが好ましい。また、研磨やエッチングを用いて、周縁部の導電体層を除去し、レーザー照射で分離溝７ｂを形成してもよい。

その後、ｎ型単結晶シリコン基板１の受光面側の透光性導電膜５上の所定領域に、銀（Ａｇ）ペーストをスクリーン印刷法などを用いて受光面側集電極６の形状に塗布する。また、ｎ型単結晶シリコン基板１の裏面側の透光性導電膜５上の所定領域に、銀（Ａｇ）ペーストをスクリーン印刷法などを用いて裏面側集電極９の形状に塗布する。そして、たとえば２００℃以下の温度で銀（Ａｇ）ペーストを硬化させて受光面側集電極６および裏面側集電極９を形成する（図２−３）。

受光面側の受光面側集電極６は、電気的接続に利用する対向する一対の２辺のうち近傍に分離溝７ａが形成されていない辺の間際まで接近するように形成されることが好ましい。また、裏面側の裏面側集電極９は、電気的接続に利用する対向する一対の２辺のうち近傍に分離溝７ｂが形成されていない辺の間際まで形成されることが好ましい。たとえば、図１−１に示すように、受光面側の受光面側集電極６の端が、裏面の分離溝７ｂの位置よりも端面１１ｂに近づき、裏面側の裏面側集電極９の端が受光面の分離溝７ａの位置よりも端面１１ａに近づくようにすることが好ましい。このような配置にすると、端面同士を用いて太陽電池セル同士を接続する際の接続抵抗を低減することができる。

以上のような工程を実施することで、図１−１〜図１−３に示されるような太陽電池セル１００が得られる。

上述したように、実施の形態１においては導電体接続部が形成された端面を用いて太陽電池セル１００同士を電気的に接続することが可能な太陽電池セル１００が得られる。これにより、太陽電池モジュールの形成において、隣接する太陽電池セル間の受光面側から裏面側へのタブ線による接続が不要となり、タブ線による太陽電池セルへの応力負荷がなくなるため、太陽電池セルの破損を防止して、歩留まりを向上させることが可能となる。

また、太陽電池セル１００の電気的接続に使用される対向する一対の２辺の外周縁部に対して、受光面側と裏面側とのうちそれぞれ異なる面のみに、受光面側と裏面側とを電気的に絶縁する溝を設けたので、一方の辺の端面は受光面側から裏面側の一部まで、他方の辺は裏面側から受光面の一部までの領域を電気的接続に利用できる。これにより、太陽電池セルの端面のみを電気的接続に用いる場合に比べて、電気的接続に利用できる面積が増えて接続抵抗を低減することが可能であり、また受光面側と裏面側のどちら側からも電気的接続の作業が容易となる。

したがって、実施の形態１によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の電気的接続に起因した太陽電池セルの破損が防止された、太陽電池モジュールの製造の歩留まりに優れた太陽電池セルが得られる。

実施の形態２．
実施の形態２では、実施の形態１に示した太陽電池セル１００を用いた太陽電池モジュールについて説明する。図３は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す断面図である。図３に示す実施の形態２にかかる太陽電池モジュールは、同一平面上において隣接する太陽電池セル１００の端面同士を電気的に接続して形成された太陽電池モジュールである。

実施の形態２にかかる太陽電池モジュールは、一方の太陽電池セル１００ａの端面１１ａと他方の太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが当接している。また、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの接続部、すなわち、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの当接部の上部が導電性接続部材２１により電気的、機械的に接続されている。これにより、実施の形態２にかかる太陽電池モジュールは、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの接触により電気的に接続され、また導電性接続部材２１を介して太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的に接続されている。したがって、太陽電池セル１００ａの裏面側集電極９ａと、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとが電気的に接続されて、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとが電気的に直列に接続される。

つぎに、実施の形態２にかかる太陽電池モジュールの製造方法について図４−１および図４−２を参照して説明する。図４−１および図４−２は、実施の形態２にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。

まず、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが略平行に対向する状態で太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを同一平面上に配置する（図４−１）。なお、ここでは、理解の容易のため、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの２つの太陽電池セルを用いて説明するが、実際にはより多くの太陽電池セルが同様の手順で電気的に接続される。

つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間が隙間無く接するように太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを突き当てて当接させる。そして、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの接続部上、すなわち、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの当接部上に、太陽電池セル１００ａの分離溝７ａにかからないように上部から導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１を配置する。

その後、たとえば２００℃以下の温度で導電性接続部材２１を硬化させることで、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの間が電気的、機械的に接続される（図４−２）。これにより、図３に示す構成を有する実施の形態２にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）が得られる。

なお、この実施の形態２にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）を製品化する際には、透明強化ガラス等からなる表面保護材の上に、ＥＶＡシート、サブモジュール、ＥＶＡシート、およびバックシートを順次積層する。この後、所定の温度で加熱しながら真空ラミネート処理を行うことによって、これらの部材が一体化する。

上述したように、実施の形態２においては、導電体接続部が形成された太陽電池セル１００の端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、隣接する太陽電池セル間の受光面側と裏面側との間のタブ線による接続が不要となり、タブ線による太陽電池セルへの応力がなくなるため、太陽電池セルの破損を防止して、歩留まりを向上させることが可能となる。

また、実施の形態２においては、導電体接続部が形成された太陽電池セル１００の端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、太陽電池セル１００の裏面にタブ線が存在しない。このため、タブ線の介在に起因して太陽電池セル１００の下部に設置した部材から太陽電池セル１００に負荷が加わることがなく、太陽電池セル１００が破損することがない。

また、実施の形態２においては、導電体接続部が形成された太陽電池セル１００の端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、太陽電池セル間の距離を短縮できる。

したがって、実施の形態２によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の電気的接続に起因した太陽電池セルの破損が防止された、歩留まりに優れた太陽電池モジュールが得られる。

また、実施の形態２においては、タブ線を使用せずに隣接する太陽電池セル１００間を直接電気的に接続するため、太陽電池セル１００間の距離を短縮できる。

実施の形態３．
実施の形態３では、実施の形態１に示した太陽電池セル１００を用いた太陽電池モジュールであって、太陽電池セル間の接続部の抵抗値が低減された太陽電池モジュールについて説明する。図５は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す断面図である。図５に示す実施の形態３にかかる太陽電池モジュールは、同一平面上において隣接する太陽電池セル１００の端面同士を電気的に接続して形成された太陽電池モジュールである。

実施の形態３にかかる太陽電池モジュールは、一方の太陽電池セル１００ａの端面１１ａと他方の太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、細い銅線などの導電性の線材からなる導電性接続部材３１を隙間なく挟持している。また、太陽電池セル１００ａ、導電性接続部材３１および太陽電池セル１００ｂの当接部の上部を導電性接続部材２１が覆うことで、これらが導電性接続部材２１により電気的、機械的に接続されている。

このような実施の形態３にかかる太陽電池モジュールは、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材３１、導電性接続部材３１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの接触により太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００の端面１１ｂとが電気的に接続され、また導電性接続部材２１を介して太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル１００ａの裏面側集電極９ａと、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとが電気的に接続されて、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとが電気的に直列に接続される。そして、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に銅線などの導電性接続部材３１を介したことで接続部の抵抗値を低減することができ、より出力の大きい太陽電池モジュールが得られる。

つぎに、実施の形態３にかかる太陽電池モジュールの製造方法について図６−１〜図６−３を参照して説明する。図６−１〜図６−３は、実施の形態３にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。

まず、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが略平行に対向する状態で太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを同一平面上に配置する（図６−１）。なお、ここでは、理解の容易のため、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの２つの太陽電池セルを用いて説明するが、実際にはより多くの太陽電池セルが同様の手順で電気的に接続される。

つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、たとえば０．０５〜１ｍｍの半径を有する断面が円形状の細い銅線などの導電性接続部材３１を端面１１ａ、端面１１ｂと平行に配置する。なお、本実施の形態では断面が円形状の銅線を用いているが、導電性接続部材３１の断面形状は楕円状でも長方形状でもよい。つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材３１、導電性接続部材３１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間が隙間無く接するように太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを導電性接続部材３１に突き当てて挟み込む（図６−２）。

そして、太陽電池セル１００ａ、導電性接続部材３１および太陽電池セル１００ｂの接続部上、すなわち、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材３１との当接部上および太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂと導電性接続部材３１との当接部上に、太陽電池セル１００ａの分離溝７ａにかからないように上部から導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１を配置する。

その後、たとえば２００℃以下の温度で導電性接続部材２１を硬化させることで、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの間が導電性接続部材３１および導電性接続部材２１を介して電気的、機械的に接続される（図６−３）。これにより、図５に示す構成を有する実施の形態３にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）が得られる。

なお、この実施の形態３にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）を製品化する際には、透明強化ガラス等からなる表面保護材の上に、ＥＶＡシート、サブモジュール、ＥＶＡシート、およびバックシートを順次積層する。この後、所定の温度で加熱しながら真空ラミネート処理を行うことによって、これらの部材が一体化する。

上述したように、実施の形態３においては、導電体接続部が形成された太陽電池セル１００の端面を用いて導電性接続部材３１を介して隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、隣接する太陽電池セル間の受光面側と裏面側との間のタブ線による接続が不要となり、タブ線による太陽電池セルへの応力がなくなるため、太陽電池セルの破損を防止して、歩留まりを向上させることが可能となる。

また、実施の形態３においては、導電体接続部が形成された端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、太陽電池セル１００の裏面側にタブ線が存在しない。このため、タブ線の介在に起因して太陽電池セル１００の下部に設置した部材から太陽電池セル１００に負荷が加わることがなく、太陽電池セル１００が破損することがない。

したがって、実施の形態３によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の電気的接続に起因した太陽電池セルの破損が防止された、歩留まりに優れた太陽電池モジュールが得られる。

そして、実施の形態３においては、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に銅線などの導電性接続部材３１を介したことで接続部の抵抗値を低減することができ、より出力の大きい太陽電池モジュールが得られる。

実施の形態４．
実施の形態４では、実施の形態１に示した太陽電池セル１００を用いた太陽電池モジュールであって、太陽電池セル間の接続部の長期信頼性を向上させた太陽電池モジュールについて説明する。図７は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す上面図である。図７に示す実施の形態４にかかる太陽電池モジュールは、同一平面上において隣接する太陽電池セル１００の端面同士を電気的に接続して形成された太陽電池モジュールである。

実施の形態４にかかる太陽電池モジュールは、一方の太陽電池セル１００ａの端面１１ａと他方の太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、導電性の線材がステップ状に折り曲げられた導電性接続部材４１が配置されている。導電性接続部材４１は、少なくともステップ状に折り曲げられた折り曲げ部が太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとに接触して電気的に接続している。また、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材４１との間、および太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂと導電性接続部材４１との間を、導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１で埋めることで、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的、機械的に接続されている。

このような実施の形態４にかかる太陽電池モジュールは、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材４１、導電性接続部材４１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの接触により太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的に接続され、また導電性接続部材２１および導電性接続部材４１を介して太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル１００ａの裏面側集電極９ａ（図示せず）と、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとが電気的に接続されて、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとが電気的に直列に接続される。そして、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続にステップ状に折り曲げられた導電性接続部材４１を介したことで太陽電池セル間の接続部における応力が緩和されるため、接続部の長期信頼性が向上し、より信頼性の高い太陽電池モジュールが得られる。

つぎに、実施の形態４にかかる太陽電池モジュールの製造方法について図８−１〜図８−３を参照して説明する。図８−１〜図８−３は、実施の形態４にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。

まず、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが略平行に対向する状態で太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを同一平面上に配置する（図８−１）。なお、ここでは、理解の容易のため、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの２つの太陽電池セルを用いて説明するが、実際にはより多くの太陽電池セルが同様の手順で電気的に接続される。

つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、たとえば厚さが０．０２ｍｍ〜０．５ｍｍで、０．０５ｍｍ〜１ｍｍの幅を有し、ステップ状に折り曲げられた平角銅線などからなる導電性接続部材４１を、長手方向を端面１１ａ、端面１１ｂの辺方向と平行にして配置する。つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材４１の折り曲げ部４２、折り曲げ部４２と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間が隙間無く接するように太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを導電性接続部材４１に突き当てて挟み込む（図８−２）。

そして、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと導電性接続部材４１との間、および太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂと導電性接続部材４１との間に、太陽電池セル１００ａの分離溝７ａにかからないように上部から導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１を配置する。なお、導電性接続部材４１にあらかじめ導電性接続部材２１を塗布しておいてもよい。

その後、たとえば２００℃以下の温度で導電性接続部材２１を硬化させることで、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの間が導電性接続部材４１および導電性接続部材２１を介して電気的、機械的に接続される（図８−３）。これにより、図７に示す構成を有する実施の形態４にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）が得られる。

なお、この実施の形態４にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）を製品化する際には、透明強化ガラス等からなる表面保護材の上に、ＥＶＡシート、サブモジュール、ＥＶＡシート、およびバックシートを順次積層する。この後、所定の温度で加熱しながら真空ラミネート処理を行うことによって、これらの部材が一体化する。

上述したように、実施の形態４においては、導電体接続部が形成された端面を用いて導電性接続部材４１を介して隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、隣接する太陽電池セル間の受光面側と裏面側との間のタブ線による接続が不要となり、タブ線による太陽電池セルへの応力がなくなるため、太陽電池セルの破損を防止して、歩留まりを向上させることが可能となる。

また、実施の形態４においては、導電体接続部が形成された端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、太陽電池セル１００の裏面側にタブ線が存在しない。このため、タブ線の介在に起因して太陽電池セル１００の下部に設置した部材から太陽電池セル１００に負荷が加わることがなく、太陽電池セル１００が破損することがない。

したがって、実施の形態４によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の電気的接続に起因した太陽電池セルの破損が防止された、歩留まりに優れた太陽電池モジュールが得られる。

そして、実施の形態４においては、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続にステップ状に折り曲げられた導電性接続部材４１を介したことで太陽電池セル間の接続部における応力が緩和されるため、接続部の長期信頼性が向上し、より信頼性の高い太陽電池モジュールが得られる。

そして、実施の形態４においては、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に銅線などの導電性接続部材４１を介したことで接続部の抵抗値を低減することができ、より出力の大きい太陽電池モジュールが得られる。

実施の形態５．
実施の形態５では、実施の形態１に示した太陽電池セル１００を用いた太陽電池モジュールであって、太陽電池セル間の接続部の長期信頼性を向上させた太陽電池モジュールについて説明する。図９は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）の概略構成を示す上面図である。図９に示す実施の形態５にかかる太陽電池モジュールは、同一平面上において隣接する太陽電池セル１００の端面同士を電気的に接続して形成された太陽電池モジュールである。

実施の形態５にかかる太陽電池モジュールは、一方の太陽電池セル１００ａの端面１１ａと他方の太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、導電性の線材からなり略Ｕ字状に折り曲げられた折り曲げ部５２を有するタブ線５１が配置されている。折り曲げ部５２を挟んだＵ字状の一端側は、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと当接するとともに導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１により端面１１ａに電気的、機械的に接続されている。Ｕ字状の他端側は、導電性接続部材２１により太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂに電気的、機械的に接続されている。また、太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂに接続されたタブ線５１の他端側は、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとの間に略Ｕ字状に折り曲げられた折り曲げ部５３を有した状態で太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂと電気的、機械的に接続されている。

このような実施の形態５にかかる太陽電池モジュールは、太陽電池セル１００ａの端面１１ａとタブ線５１、タブ線５１と導電性接続部材２１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの接触により太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが電気的に接続される。また、タブ線５１を介して太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとが電気的に接続されている。これにより、太陽電池セル１００ａの裏面側集電極９ａと、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとが電気的に接続されて、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとが電気的に直列に接続される。そして、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に折り曲げ部５２を有するタブ線５１を介したことで太陽電池セル間の接続部における応力が緩和されるため、接続部の長期信頼性が向上し、より信頼性の高い太陽電池モジュールが得られる。

つぎに、実施の形態５にかかる太陽電池モジュールの製造方法について図１０−１〜図１０−３を参照して説明する。図１０−１〜図１０−３は、実施の形態５にかかる太陽電池モジュールの製造方法を示す断面図である。

まず、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとが略平行に対向する状態で太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとを同一平面上に配置する（図１０−１）。なお、ここでは、理解の容易のため、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの２つの太陽電池セルを用いて説明するが、実際にはより多くの太陽電池セルが同様の手順で電気的に接続される。

つぎに、太陽電池セル１００ａの端面１１ａと太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間に、略Ｕ字状に折り曲げられた折り曲げ部５２を有するタブ線５１を配置する。また、太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂに接続されたタブ線５１の他端側は、太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとの間に略Ｕ字状に折り曲げられた折り曲げ部５３を有した状態で太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂ上に配置する。

つぎに、タブ線５１の一端側と太陽電池セル１００ａの端面１１ａとの間、およびタブ線５１の他端側と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間が隙間無く接するように太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとをタブ線５１に突き当ててタブ線５１を挟み込む（図１０−２）。

そして、太陽電池セル１００ａの端面１１ａとタブ線５１との接続部上、タブ線５１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの間、およびタブ線５１と太陽電池セル１００ｂの受光面側集電極６ｂとの間に、太陽電池セル１００ａの分離溝７ａにかからないように、導電性接着剤やはんだなどからなる導電性接続部材２１を配置する。この場合、タブ線５１と太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂとの接続部において、太陽電池セル１００ｂの端面１１ｂまたはタブ線５１にあらかじめ導電性接続部材２１を塗布してもよい。

その後、たとえば２００℃以下の温度で導電性接続部材２１を硬化させることで、太陽電池セル１００ａと太陽電池セル１００ｂとの間がタブ線５１および導電性接続部材２１を介して電気的、機械的に接続される（図１０−３）。これにより、図９に示す構成を有する実施の形態５にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）が得られる。

なお、この実施の形態５にかかる太陽電池モジュール（サブモジュール）を製品化する際には、透明強化ガラス等からなる表面保護材の上に、ＥＶＡシート、サブモジュール、ＥＶＡシート、およびバックシートを順次積層する。この後、所定の温度で加熱しながら真空ラミネート処理を行うことによって、これらの部材が一体化する。

上述したように、実施の形態５においては、導電体接続部が形成された端面を用いてタブ線５１を介して隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、隣接する太陽電池セル１００間の受光面側と裏面側との間のタブ線による接続がなく、従来のようなタブ線による太陽電池セルへの応力がなくなるため、太陽電池セルの破損を防止して、歩留まりを向上させることが可能となる。

また、実施の形態５においては、導電体接続部が形成された端面を用いて隣接する太陽電池セル１００同士を電気的に接続するため、太陽電池セル１００の裏面側にタブ線が存在しない。このため、タブ線の介在に起因して太陽電池セル１００の下部に設置した部材から太陽電池セル１００に負荷が加わることがなく、太陽電池セル１００が破損することがない。

したがって、実施の形態５によれば、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の電気的接続に起因した太陽電池セルの破損が防止された、歩留まりに優れた太陽電池モジュールが得られる。

そして、実施の形態５においては、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に略Ｕ字状に折り曲げられた折り曲げ部５２を有するタブ線５１を介したことで太陽電池セル間の接続部における応力が緩和されるため、接続部の長期信頼性が向上し、より信頼性の高い太陽電池モジュールが得られる。

そして、実施の形態５においては、隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続に銅線などからなるタブ線５１を介したことで接続部の抵抗値を低減することができ、より出力の大きい太陽電池モジュールが得られる。

また、実施の形態５によれば、通常のタブ線を使用して隣接する太陽電池セル１００間の電気的接続が可能なため、特別な部材が不要である。

以上のように、本発明にかかる太陽電池セルは、太陽電池モジュールを構成する際の隣接する太陽電池セル間の接続に起因した太陽電池セルの破損の防止に有用である。

１ ｎ型単結晶シリコン基板
２ａ ｉ型非晶質シリコン層
２ｂ ｉ型非晶質シリコン層
３ ｐ型非晶質シリコン層
４ ｎ型非晶質シリコン層
５ 透光性導電膜
６ 受光面側集電極
６ｂ 受光面側集電極
６Ｇ グリッド電極
６ＢＵ バス電極
７ 分離溝
７ａ 分離溝
７ｂ 分離溝
７ｃ 分離溝
９ 裏面側集電極
９Ｇ グリッド電極
９ＢＵ バス電極
９ａ 裏面側集電極
１１ａ 端面
１１ｂ 端面
２１ 導電性接続部材
３１ 導電性接続部材
４１ 導電性接続部材
４２ 折り曲げ部
５１ タブ線
５２ 折り曲げ部
５３ 折り曲げ部
１００ 太陽電池セル
１００ａ 太陽電池セル
１００ｂ 太陽電池セル

Claims (15)

1. 第１導電型の半導体基板と、
   前記半導体基板の一面上に形成された第１導電型半導体層と、
   前記半導体基板の他面上に形成された第２導電型半導体層と、
   前記半導体基板の一面側に前記第１導電型半導体層と電気的に接続して形成された第１電極と、
   前記半導体基板の他面側に前記第２導電型半導体層と電気的に接続するとともに前記第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２電極と、
   前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの一端面に、前記第１電極に電気的に接続するとともに前記第２導電型半導体層および前記第２電極と電気的に絶縁されて形成された第１導電体接続部と、
   前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの他端面に、前記第２電極に電気的に接続するとともに前記第１導電型半導体層および前記第１電極と電気的に絶縁されて形成された第２導電体接続部と、
   を備えることを特徴とする太陽電池セル。
2. 前記第１導電型半導体層上から前記一端面に回り込んで前記第１導電体接続部を構成する第１導電体層と前記第１電極とがこの順で積層され、
   前記第２導電型半導体層上から前記他端面に回り込んで前記第２導電体接続部を構成する第２導電体層と前記第２電極とがこの順で積層されること、
   を特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル。
3. 請求項１または２に記載の複数の太陽電池セルが電気的に接続された太陽電池モジュールであって、
   前記第１導電型半導体層を同方向に向けた状態で同一平面上に配置され、一方の前記太陽電池セルの前記第１導電体接続部と他方の前記太陽電池セルの前記第２導電体接続部とが直接または導電性接続部材を介して電気的に接続されていること、
   を特徴とする太陽電池モジュール。
4. 導電性接続部材が、導電性の線材であること、
   を特徴とする請求項３に記載の太陽電池モジュール。
5. 前記導電性の線材がステップ状に折り曲げられて複数の折り曲げ部を有し、少なくとも前記折り曲げ部が前記一方の太陽電池セルの第１導電体接続部と前記他の太陽電池セルの第２導電体接続部とに電気的に接続すること、
   を特徴とする請求項４に記載の太陽電池モジュール。
6. 前記導電性の線材がＵ字状に折り曲げられて折り曲げ部を有し、
   前記折り曲げ部を挟んだ一端側が前記一方の太陽電池セルの前記第１導電体接続部に電気的に接続し、
   前記折り曲げ部を挟んだ他端側が前記他の太陽電池セルの前記第２導電体接続部に電気的に接続すること、
   を特徴とする請求項４に記載の太陽電池モジュール。
7. 第１導電型の半導体基板の一面上に第１導電型半導体層を形成する工程と、
   第１導電型の半導体基板の他面上に第２導電型半導体層を形成する工程と、
   前記半導体基板の一面側に前記第１導電型半導体層と電気的に接続する第１電極を形成する工程と、
   前記半導体基板の他面側に前記第２導電型半導体層と電気的に接続するとともに前記第１電極と電気的に絶縁された第２電極を形成する工程と、
   前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの一端面に、前記第１電極に電気的に接続するとともに前記第２導電型半導体層および前記第２電極と電気的に絶縁された第１導電体接続部を形成する工程と、
   前記半導体基板において対向する一対の端面のうちの他端面に、前記第２電極に電気的に接続するとともに前記第１導電型半導体層および前記第１電極と電気的に絶縁された第２導電体接続部を形成する工程と、
   を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
8. 前記第１導電型半導体層上から前記一端面にわたって第１導電体層を形成することにより前記第１導電体接続部を形成した後に、前記一面側の前記第１導電体層上に前記第１電極を形成し、
   前記第２導電型半導体層上から前記他端面にわたって第２導電体層を形成することにより前記第２導電体接続部を形成した後に、前記他面側の前記第２導電体層上に前記第２電極を形成すること、
   を特徴とする請求項７に記載の太陽電池セルの製造方法。
9. 前記第１導電型半導体層と前記第２導電型半導体層とが形成された前記半導体基板における前記一面上、前記一端面上、前記他面上および前記他端面上にわたって導電体層を形成し、
   前記一面上の前記他端面側の外周縁部における前記導電体層の一部、および前記他面上の前記一端面側の外周縁部における前記導電体層の一部を除去することにより、前記導電体層を前記一面上から前記一端面上にわたって延在する領域と前記他面上から前記他端面上にわたって延在する領域とに電気的に分離して前記第１導電体接続部および前記第２導電体接続部を形成すること、
   を特徴とする請求項７に記載の太陽電池セルの製造方法。
10. 前記導電体層の除去を、レーザー照射を用いて行うこと、
    を特徴とする請求項９に記載の太陽電池セルの製造方法。
11. 前記導電体層の除去を、研磨またはエッチングと、レーザー照射とを用いて行うこと、
    を特徴とする請求項１０に記載の太陽電池セルの製造方法。
12. 請求項７〜請求項１１のいずれか１つに記載の太陽電池セルの製造方法により複数の太陽電池セルを作成する工程と、
    一方の前記太陽電池セルと他方の前記太陽電池セルとを前記第１導電型半導体層を同方向に向けた状態で同一平面上に配置する工程と、
    前記一方の太陽電池セルの前記第１導電体接続部と前記他方の太陽電池セルの前記第２導電体接続部とを直接または導電性接続部材を介して電気的に接続する工程と、
    を含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
13. 前記導電性接続部材が導電性の線材であること、
    を特徴とする請求項１２に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
14. 前記導電性の線材がステップ状に折り曲げられた折り曲げ部を複数有し、
    少なくとも前記折り曲げ部を前記一方の太陽電池セルの前記第１導電体接続部と前記他方の太陽電池セルの前記第２導電体接続部とに電気的に接続させること、
    を特徴とする請求項１３に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
15. 前記導電性の線材がＵ字状に折り曲げられて折り曲げ部を有し、
    前記導電性の線材における前記折り曲げ部を挟んだ一端側を前記一方の太陽電池セルの前記第１導電体接続部に電気的に接続し、
    前記導電性の線材における前記折り曲げ部を挟んだ他端側を前記他の太陽電池セルの前記第２導電体接続部に電気的に接続すること、
    を特徴とする請求項１３に記載の太陽電池モジュールの製造方法。

Images