JP2015230985A - 太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池パネル - Google Patents
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Abstract
【課題】太陽電池セルに割れが発生した場合においても太陽電池セルの出力の低下を抑制することができる太陽電池セルを得ること。
【解決手段】p型単結晶シリコン基板101(シリコン基板101)と、不純物拡散層と、グリッド電極103を含みシリコン基板101の一面側において不純物拡散層と電気的に接続してシリコン基板101の面方向に沿って設けられた受光面側電極と、シリコン基板101の他面側においてシリコン基板101と電気的に接続して設けられた裏面側電極と、を備え、グリッド電極103は、シリコン基板101のいずれかの結晶面と一致する劈開面がシリコン基板101の一面を横切る方向に沿って複数本が配置され、シリコン基板101における一面側に、隣り合うグリッド電極103の間に対応する領域に劈開面に沿って設けられて不純物拡散層の表面からシリコン基板101の内部に達する溝部120を備える。
【選択図】図10
【解決手段】p型単結晶シリコン基板101(シリコン基板101)と、不純物拡散層と、グリッド電極103を含みシリコン基板101の一面側において不純物拡散層と電気的に接続してシリコン基板101の面方向に沿って設けられた受光面側電極と、シリコン基板101の他面側においてシリコン基板101と電気的に接続して設けられた裏面側電極と、を備え、グリッド電極103は、シリコン基板101のいずれかの結晶面と一致する劈開面がシリコン基板101の一面を横切る方向に沿って複数本が配置され、シリコン基板101における一面側に、隣り合うグリッド電極103の間に対応する領域に劈開面に沿って設けられて不純物拡散層の表面からシリコン基板101の内部に達する溝部120を備える。
【選択図】図10
Description
本発明は、太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池パネルに関するものである。
従来、設置後の太陽電池モジュールに想定以上の外力が加わって太陽電池セルに割れが生じたために太陽電池モジュールの出力が低下することがあった。そこで、太陽電池セルの割れの発生を抑えるために、例えば特許文献1に示すように、裏面リード接合電極である裏Ag電極の形状を工夫するなどの対応が取られてきた。
しかしながら、上記のような対応を取った場合においても、想定以上の外力に対してはセル割れの発生を完全に防ぐことはできない場合があり、セル割れの発生した太陽電池モジュールにおいてはやはり出力が低下することが避けられない。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、太陽電池セルに割れが発生した場合においても太陽電池セルの出力の低下を抑制することができる太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池パネルを得ることを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる太陽電池セルは、第1導電型の単結晶半導体基板と、前記単結晶半導体基板の受光面側となる一面側に設けられた第2導電型の不純物拡散層と、グリッド電極を含み前記単結晶半導体基板の一面側において前記不純物拡散層と電気的に接続して前記単結晶半導体基板の面方向に沿って設けられた受光面側電極と、前記単結晶半導体基板の他面側において前記単結晶半導体基板と電気的に接続して設けられた裏面側電極と、を備え、前記グリッド電極は、前記単結晶半導体基板のいずれかの結晶面と一致する劈開面が前記単結晶半導体基板の一面を横切る方向に沿って複数本が配置され、前記単結晶半導体基板における前記一面側に、隣り合う前記グリッド電極の間に対応する領域に前記劈開面に沿って設けられて前記不純物拡散層の表面から前記単結晶半導体基板の内部に達する溝部を備えること、を特徴とする。
本発明によれば、太陽電池セルに割れが発生した場合においても太陽電池セルの出力の低下を抑制することができる、という効果を奏する。
以下に、本発明にかかる太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池パネルの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。また、平面図であっても、図面を見易くするためにハッチングを付す場合がある。
実施の形態
図1は、本実施の形態にかかる太陽電池モジュール1の斜視図である。図1では、太陽電池モジュール1が、太陽電池モジュール1を構成する部材である太陽電池パネル10と該太陽電池パネル10の外縁部を全周にわたって囲む枠部材20とに分解された状態を示している。図2は、本実施の形態にかかる複数の太陽電池セル100がリード線11により順次接続されてなる太陽電池セルアレイ30が太陽電池パネル10内に封止されている状態を示す斜視図である。図3は、本実施の形態にかかる太陽電池パネル10を構成する各部材を積層する状態を示す太陽電池パネル10の分解斜視図である。図4は、本実施の形態にかかる太陽電池パネル10において隣接する2つの太陽電池セル100の接続状態を示す要部断面図である。図5は、本実施の形態にかかる太陽電池セルアレイ30において複数の太陽電池セル100が電気的に直列に接続された状態を受光面側である上方から見た斜視図である。図6は、本実施の形態にかかる太陽電池セルアレイ30において複数の太陽電池セル100が電気的に直列に接続された状態を受光面側と反対側である下方から見た斜視図である。図7は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100の受光面バス電極104に受光面側リード線113を接合した状態を受光面側から見た上面図である。図8は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100の裏面バス電極105に裏面側リード線114を接合した状態を受光面側と反対側である裏面側から見た裏面図である。
図1は、本実施の形態にかかる太陽電池モジュール1の斜視図である。図1では、太陽電池モジュール1が、太陽電池モジュール1を構成する部材である太陽電池パネル10と該太陽電池パネル10の外縁部を全周にわたって囲む枠部材20とに分解された状態を示している。図2は、本実施の形態にかかる複数の太陽電池セル100がリード線11により順次接続されてなる太陽電池セルアレイ30が太陽電池パネル10内に封止されている状態を示す斜視図である。図3は、本実施の形態にかかる太陽電池パネル10を構成する各部材を積層する状態を示す太陽電池パネル10の分解斜視図である。図4は、本実施の形態にかかる太陽電池パネル10において隣接する2つの太陽電池セル100の接続状態を示す要部断面図である。図5は、本実施の形態にかかる太陽電池セルアレイ30において複数の太陽電池セル100が電気的に直列に接続された状態を受光面側である上方から見た斜視図である。図6は、本実施の形態にかかる太陽電池セルアレイ30において複数の太陽電池セル100が電気的に直列に接続された状態を受光面側と反対側である下方から見た斜視図である。図7は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100の受光面バス電極104に受光面側リード線113を接合した状態を受光面側から見た上面図である。図8は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100の裏面バス電極105に裏面側リード線114を接合した状態を受光面側と反対側である裏面側から見た裏面図である。
太陽電池モジュール1は、図1に示すように平板状の太陽電池パネル10と、該太陽電池パネル10の外縁部を全周にわたって囲む枠部材20とを有している。太陽電池パネル10は、図2〜図4に示すように同一平面上において直交する縦方向および横方向に複数配列された太陽電池セル100が樹脂封止され、その受光面側が透光性を有するガラスなどの表面カバー材111で覆われ、非受光面側である裏面側が裏面カバー材112で覆われて構成されている。
枠部材20は、アルミニウムなどの押出成型にて作製され、図1に示すように長手方向に垂直な断面がコの字形を成すコ字状部で太陽電池パネル10の外縁部を全周にわたって覆う。枠部材20は、ブチル系の封止材またはシリコン系の接着剤などを介して太陽電池パネル10に固定され、太陽電池パネル10を補強するとともに、太陽電池パネル10を住宅もしくはビルなどの建物、地面または構造物に設けられた架台に取り付けるための役割を有する。
太陽電池パネル10は、図3および図4に示すように、受光面側から、ガラス基板などの透光性を有する表面カバー材111と、複数の太陽電池セル100およびこれら太陽電池セル100を電気的に直列に接続する受光面側リード線113および裏面側リード線114がEVA(エチレンビニルアセテート)等の樹脂115である樹脂115aおよび樹脂115bで封止されたセル配置層116と、PET(ポリエチレンテレフタレート)またはPVF(ポリビニルフルオライド)等からなる耐候性に優れた裏面カバー材112とが、積層された構成となっている。
複数の太陽電池セル100は、図4〜図6に示すように、受光面側リード線113および裏面側リード線114により、第1の方向である図中X方向に直列に接続されている。ただし、太陽電池パネル10の端部においては、Y方向に接続されている箇所もある。なお、受光面側リード線113および裏面側リード線114として、一般的にタブ線と呼ばれる、半田が供給された、すなわち半田が被覆あるいは塗布された帯状の銅箔を用いている。太陽電池パネル10の内部には、図4に示すように太陽電池セル100が受光面側リード線113および裏面側リード線114により順次接続されてなる太陽電池セルアレイ30が樹脂115により封止されている。
すなわち、図4〜図6に示すように、太陽電池セル100の直列接続は、第1の方向に配列された複数の太陽電池セル100において、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aの受光面バス電極104と、これに隣接する第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bの裏面バス電極105とを帯状のリードである受光面側リード線113と裏面側リード線114とにより電気的に接続することによりなされる。
本実施の形態においてリード線11は、受光面側リード線113と裏面側リード線114とに分割して設けられている。両リード線のうち、受光面側リード線113は、受光面バス電極104の上に延び、当該受光面バス電極104に半田接合されて当該受光面バス電極104に機械的および電気的に接続されている。なお、図4、図5および図7に示すように、受光面側リード線113には、太陽電池セル100より長さを長くされた延長部113aが設けられており、受光面バス電極104上に半田接合された際、一端側に突出する。
裏面側リード線114は、裏面バス電極105上に延び、当該裏面バス電極105に半田接合されて当該裏面バス電極105に機械的および電気的に接続されている。そして、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aと第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bとを電気的に直列接続するために、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aの受光面側リード線113と第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bの裏面側リード線114とが半田接合されている。すなわち、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aの受光面側リード線113の延長部113aが、隣接する第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bの裏面側にもぐり込み、裏面バス電極105上に半田接合されている裏面側リード線114に半田接合される。ここでは、隣接する2つの第1の太陽電池セル100Aと第2の太陽電池セル100Bの接続のみ説明しているが、実際には、同様の接続が繰り返されて複数の太陽電池セル100が直列に接続されている。なお、本実施の形態においては、リード線は、上記のように受光面側リード線113と裏面側リード線114とに分割して設けられているが、連続する1本のリード線とされてもよい。
太陽電池セル100は、およそ150μm〜300μmほどの厚みのp型シリコンをたとえばp型不純物拡散層としての基板として以下のように構成される。シリコン基板としては、高光電変換効率を実現できる単結晶シリコン基板を用いるのが主流である。太陽電池セル100においてp型の不純物拡散層であるp型層となるp型単結晶シリコン基板101の一面側には、リン拡散によって図示しないn型の不純物拡散層であるn型拡散層が形成され、さらに入射光の反射を防止して光電変換効率を向上させるためのシリコン窒化膜よりなる図示しない反射防止膜が表面処理により設けられて、太陽電池セル100の受光面とされている。また、p型単結晶シリコン基板101の裏面側には、高濃度不純物を含んだ図示しないp+層が形成され、さらに入射光の反射および電力の取り出しを目的として裏面のほぼ全面にわたってアルミニウムによる裏面集電電極102が設けられている。
また、p型単結晶シリコン基板101の受光面には、入射光から変換された電気エネルギーを取り出す受光面側電極として、銀で形成された細線電極であるグリッド電極103と、同じく銀で形成された受光面リード接続電極である所定幅の受光面バス電極104とが形成され、それぞれ底面部において上記n型拡散層と電気的に接続している。受光面バス電極104は、太陽電池セル100の接続方向である第1の方向、すなわちX方向に沿って2本が平行に形成されている。グリッド電極103は、受光面バス電極104と45度の角度で交差する方向に多数本が細形に形成されている。グリッド電極103は、受光面にて発電した電力を無駄なく取り出すために、できるだけ細く、また表面である受光面の全体にわたるように形成されている。太陽光が当たることによって、図7に示される受光面側がマイナス(−)電極、図8に示される裏面側がプラス(+)電極となる。
受光面バス電極104は、図4に示すように受光面側リード線113が接続されて、グリッド電極103によって集められた電気エネルギーをさらに外部に取り出すために設けられている。なお、図4、図5、図7等において、受光面バス電極104は、受光面側リード線113より細く記載されているが、これは、受光面バス電極104と受光面側リード線113とが重なる様子をわかりやすく表現するためであり、実際には受光面バス電極104と受光面側リード線113とは同じ幅であるか、あるいは図7に示すように受光面バス電極104のほうが受光面側リード線113より若干幅が広い。
一方、p型単結晶シリコン基板101の裏面には、該裏面のほぼ全面を覆うようにしてアルミニウムからなる裏面集電電極102が設けられている。また、p型単結晶シリコン基板101の裏面のグリッド電極103と対応した位置、すなわちp型単結晶シリコン基板101の面方向においてグリッド電極103と重なる位置には、銀からなる裏面リード接続電極である裏面バス電極105が太陽電池セル100の接続方向である第1の方向に延びて形成されている。裏面集電電極102と裏面バス電極105とにより裏面側電極が構成される。裏面バス電極105は、図4、図6および図8に示すように裏面側リード線114が接続されて、裏面集電電極102によって集められた電気エネルギーをさらに外部に取り出すために設けられている。なお、図6および図8等において、裏面バス電極105は、裏面側リード線114より太く記載されているが、実際には裏面バス電極105と裏面側リード線114とは同じ幅でもよい。
p型単結晶シリコン基板101の裏面は、全面にわたって銀電極により覆ってもよいが、コストが増加する。このため、上記のように特に裏面側リード線114を接続する箇所のみに銀製の裏面バス電極105が設けられている。なお、裏面バス電極105は、本実施の形態で示すように直線状なもののほかに、離散的にドット状、すなわち飛び石状に設けられる場合もある。
このように構成された太陽電池セル100では、太陽光が太陽電池セル100の受光面側、すなわち反射防止膜が形成された側から照射されて、内部のpn接合面であるp型層とn型拡散層との接合面に到達すると、このpn接合面において合体していた電荷であるホールと電子が分離する。分離した電子はn型拡散層に向かって移動する。n型拡散層に達した電子は、グリッド電極103により集電される。一方、分離したホールはp+層に向かって移動する。p型単結晶シリコン基板101のp+層に達したホールは裏面集電電極102により集電される。これにより、n型拡散層とp+層との間に、p+層の電位が高くなるようにして電位差が発生する。この結果、n型拡散層に接続した受光面側電極がマイナス極、p+層に接続した裏面側電極がプラス極となって、図示しない外部回路を接続すれば電流が流れ、太陽電池としての動作を示す。太陽電池セル1枚の出力電圧は小さいが、太陽電池モジュール1においてはこの太陽電池セル100を複数枚直列に或いは並列に電気的に接続することにより使用しやすい電圧まで大きくできる。
つぎに、本実施の形態にかかる太陽電池セル100の特徴について詳細に説明する。太陽電池セル100の主となる構成材料であるシリコン基板は、脆性材料であり、割れやすい。特に、単結晶シリコン基板の場合は、割れやすい面である劈開面の面方位が決まっており、面方位が{111}面に沿った方向に割れやすい。この劈開面は、単結晶シリコンのいずれかの結晶面と一致する。太陽電池セル100に用いるp型単結晶シリコン基板101の形状は、図7に示すように、円柱状に鋳造したp型単結晶シリコンインゴットから基板面、すなわちスライス面を{001}面として円盤状にスライスし、基板面における外周部の4方向を切り落とした、正方形状である。ここで、円盤状から切り落とされた略正方形状における4辺の側面の面方位が{100}面となるように切り落として正方形状の基板を切り出すのが一般的である。
本実施の形態にかかる太陽電池セル100では、基板面の正方形状における4辺の側面の面方位を{100}面として切り出されたp型単結晶シリコン基板101が用いられる。そして、受光面バス電極104および裏面バス電極105は、該4辺のうち対向する一対の辺に対して平行に配置される。また、グリッド電極103は、p型単結晶シリコン基板101のいずれかの結晶面と一致する劈開面が該p型単結晶シリコン基板101の一面を横切る方向に沿って複数本が配置される。この場合、複数本のグリッド電極103は、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向、すなわち面方向において、上記4辺のうち対向する一対の辺に対して45度の角度をなして平行に配置される。すなわち、複数本のグリッド電極103は、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向において受光面バス電極104と45度の角度で交わる。なお、グリッド電極103は、結果的にp型単結晶シリコン基板101の正方形状における4辺のうち対向する二対の辺に対して45度の角度をなしている。
そして、太陽電池セル100では、n型拡散層を含むp型単結晶シリコン基板101の受光面側の表層の、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向において隣接するグリッド電極103間に対応する領域に、該グリッド電極103の延在方向と平行に断続的に延在する溝部120が設けられている。すなわち、溝部120は、グリッド電極103と同様に、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向において該4辺のうち対向する一対の辺に対して45度の角度をなして平行に配置される。なお、この場合、溝部120は、結果的にp型単結晶シリコン基板101の正方形状における4辺のうち対向する二対の辺に対して45度の角度をなしている。
上記4辺の側面の面方位である{100}の面方位に対して、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向において45度の角度でグリッド電極103を配置すると、グリッド電極103はp型単結晶シリコン基板101の{110}面に沿った方向に配置されることになる。したがって、溝部120もp型単結晶シリコン基板101の{110}面に沿った方向に配置される。p型単結晶シリコン基板101の{110}面は、p型単結晶シリコン基板101の基板面に対して垂直な方向である。
図9は、太陽電池セル100におけるグリッド電極103の延在方向と垂直な(110)の面方位での拡大断面図である。図10は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100におけるp型単結晶シリコン基板101の割れやすい方向を示す太陽電池セル100の上面図である。図9では、図10におけるA−A線に沿った方向の断面を示しており、奥行き方向がグリッド電極103の延在方向である。また、図10では、グリッド電極103を分かり易く太く示している。太陽電池セル100では、p型単結晶シリコン基板101の受光面側の表層における、隣り合うグリッド電極103間に対応する領域に、グリッド電極103の延在方向に沿って延在する溝部120が、p型単結晶シリコン基板101の表面から内部に向かって設けられている。溝部120は、シリコン基板の厚みの50%〜70%程度の深さで設けられている。
単結晶シリコン基板は、結晶面である{111}面で割れやすい。すなわち、{111}面が劈開面となる。このため、p型単結晶シリコン基板101は、該p型単結晶シリコン基板101の基板表面では、[110]の方向に割れやすい。ここで、図10のようにグリッド電極103をp型単結晶シリコン基板101の受光面側において(1−10)面に沿った方向に延びるように配置した場合、p型単結晶シリコン基板101の割れやすい方向は(110)面に沿った方向または(1−10)面に沿った方向となる。すなわち、p型単結晶シリコン基板101は、グリッド電極103の延在方向と垂直な(110)面の方向に沿った方向か、グリッド電極103の延在方向と平行な(1−10)面の方向に沿った方向に割れやすい。なお、(110)は図10に示すXY平面で傾き(+1)の方向、(1−10)はXY平面で傾き(−1)の方向である。ここで、ミラー指数の表示については、ミラー指数が負のときは通常数字の上に−(バー)をつけて表すが、本明細書では数字の前にマイナス(−)をつけて表すこととする。なお、図面においては、ミラー指数が負のときは通常数字の上に−(バー)をつけて表す表示としている。図10は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100におけるp型単結晶シリコン基板101の割れやすい方向を示す太陽電池セル100の上面図である。
本実施の形態にかかる太陽電池セル100では、図10に示すようにn型拡散層を含むp型単結晶シリコン基板101の受光面側の表層における、p型単結晶シリコン基板101の面方向において隣り合うグリッド電極103間に対応する領域に、グリッド電極103の延在方向と平行に溝部120を有する。このような溝部120を有するp型単結晶シリコン基板101では、基板の表層に溝部120が形成され、かつ該溝部120の方向はp型単結晶シリコン基板101自体が割れやすい方向と一致している。このため、太陽電池セル100に外力が加わった場合は、該太陽電池セル100は、溝部120に沿って、すなわち隣り合うグリッド電極103間の領域で該グリッド電極103の延在方向に沿って割れることになる。したがって、太陽電池セル100が割れてもグリッド電極103が断線することがなく、p型単結晶シリコン基板101の割れが太陽電池セル100における発電によって発生した光電流の集電を妨げることがなく、太陽電池セル100の出力が低下することがない。
また、溝部120を、p型単結晶シリコン基板101の厚みの50%〜70%の深さで設けることにより、太陽電池セル100に外力が作用した場合にp型単結晶シリコン基板101が溝部120に沿ってきれいに割れる。これにより、p型単結晶シリコン基板101の割断部での該p型単結晶シリコン基板101の欠けの発生を抑制することができるので、p型単結晶シリコン基板101の発電面積が減少することがなく、太陽電池セル100の出力が低下することがない。
溝部120の深さが、p型単結晶シリコン基板101の厚みの50%未満の場合には、太陽電池セル100に外力が作用した場合にp型単結晶シリコン基板101が溝部120に沿って割れ難くなる。溝部120の深さが、p型単結晶シリコン基板101の厚みの70%よりも大の場合には、太陽電池セル100に外力が作用した場合にp型単結晶シリコン基板101が溝部120に沿って割れ難くなる。太陽電池セル100の機械的強度が弱くなるおそれがある。溝部120はp型単結晶シリコン基板101の厚みの50%〜70%の深さで設けられるため、n型の不純物拡散層であるn型拡散層を貫通してp型単結晶シリコン基板101の内部に達して設けられる。また、溝部120は、p型単結晶シリコン基板101の機械的強度を保持できるように、p型単結晶シリコン基板101の面方向において、グリッド電極103の延在方向と平行に断続的に設けられる。
一般に太陽電池セルは、太陽電池パネル10の設置後に想定以上の外力が作用した場合にはセルに割れが生じることがある。しかし、本実施の形態にかかる太陽電池セル100では、太陽電池セル100に想定以上の外力が作用して該太陽電池セル100に割れが発生した場合、グリッド電極103の延在方向と平行な(1−10)面の方向に沿って形成された溝部120に沿ってセルが割れる。
図11は、本実施の形態にかかる太陽電池セル100に想定以上の外力が作用した場合に割れが溝部120に沿って進む方向を受光面側から見た太陽電池セル100の上面図である。図12は、溝部120を備えない比較例の太陽電池セル200に想定以上の外力が作用した場合に割れが進む方向を受光面側から見た比較例の太陽電池セル200の上面図である。図11および図12では、ラインBは、割れが進む可能性がある方向を示す。溝部120を備えない比較例の太陽電池セル200は、太陽電池セル100の場合と同じ条件のp型単結晶シリコン基板101が用いられ、受光面バス電極204が太陽電池セル100と同じ方向に設けられている。一方、グリッド電極203は、p型単結晶シリコン基板101の面方向において受光面バス電極204と直交する方向に設けられている。比較例の太陽電池セル200は、これ以外は太陽電池セル100と同じ構成を有する。
図12に示すように、溝部120が形成されてない比較例の太陽電池セル200においては、セルの割れはグリッド電極203を断線する方向に進む可能性がある。一方、本実施の形態にかかる太陽電池セル100のように溝部120が形成されている場合は、セルの割れは溝部120に沿って進むため、グリッド電極103が断線することがない。そして、溝部120に沿ってセルの割れが進んで面方向において受光面領域の分離した太陽電池セル100からの集電は、グリッド電極103が断線することがないため、セルの割れの影響なく行われる。
つぎに、太陽電池モジュール1を製造するための工程を説明する。なお、ここで説明する工程は、溝部120を形成すること以外は、シリコン基板を用いた一般的な太陽電池モジュールの製造工程と同様であるため、特に図示しない。
まず、p型単結晶シリコン基板101を熱酸化炉へ投入し、オキシ塩化リン(POCl3)蒸気の存在下で加熱してp型単結晶シリコン基板101の表面にリンガラスを形成することでp型単結晶シリコン基板101中にリンを拡散させ、p型単結晶シリコン基板101の表層にn型拡散層を形成する。
つぎに、p型単結晶シリコン基板101の受光面側となる一面側において、基板面方向において隣接するグリッド電極103が形成される間の領域に、該グリッド電極103の延在方向と平行に断続的に延在する溝部120を形成する。溝部120は、後の工程で形成されるグリッド電極103と同様に、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向においてp型単結晶シリコン基板101の正方形状の4辺のうち対向する一対の辺に対して45度の角度をなして平行に、断続的に形成される。溝部120は、たとえばp型単結晶シリコン基板101の受光面側となる一面側の表面にレーザ加工を施すことにより形成できる。溝部120は、p型単結晶シリコン基板101の厚みの50%〜70%の深さで形成される。
つぎに、フッ酸溶液中でシリコン基板のリンガラス層を除去した後、反射防止膜としてプラズマCVD法により窒化シリコン膜(SiN膜)をn型拡散層上に受光面側の電極の形成領域を除いて形成する。反射防止膜の膜厚および屈折率は、光反射を最も抑制する値に設定する。なお、屈折率の異なる2層以上の膜を積層してもよい。また、反射防止膜は、スパッタリング法など、異なる成膜方法により形成してもよい。
つぎに、p型単結晶シリコン基板101の受光面に銀の混入したペーストをグリッド電極103および受光面バス電極104の形状にスクリーン印刷にて印刷する。ここで、受光面バス電極104は、p型単結晶シリコン基板101の正方形状の4辺のうち対向する一対の辺と平行な方向に印刷する。また、グリッド電極103は、p型単結晶シリコン基板101の基板面方向においてp型単結晶シリコン基板101の正方形状の4辺のうち対向する一対の辺に対して45度の角度をなし、かつ溝部120の延在方向と平行に、2本のグリッド電極103の間の領域に溝部120が位置するように印刷される。
また、p型単結晶シリコン基板101の裏面にアルミニウムの混入したペーストをほぼ全面にスクリーン印刷にて印刷した後、該アルミニウムの混入したペースト上に、銀の混入したペーストを裏面バス電極105の形状にスクリーン印刷にて印刷する。そして、焼成処理を実施してグリッド電極103、受光面バス電極104、裏面集電電極102、裏面バス電極105を形成する。以上のようにして、太陽電池セル100が作製される。
つぎに、受光面側リード線113を受光面バス電極104上に重ね合わせ、また裏面側リード線114を裏面バス電極105上に重ね合わせてそれぞれ配置し、続いて、受光面側リード線113および裏面側リード線114を加熱しながら部分的もしくは全長にわたり太陽電池セル100側に押圧する。受光面側リード線113および裏面側リード線114は、半田被覆されているので、加熱によりこの半田が溶ける。この状態で受光面側リード線113および裏面側リード線114を押圧することにより、受光面側リード線113と受光面バス電極104、また裏面側リード線114と裏面バス電極105とが、それぞれ半田接合される。
つぎに、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aと第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bとを並べて、第1の太陽電池セル100である第1の太陽電池セル100Aの受光面側リード線113の延長部113aを第2の太陽電池セル100である第2の太陽電池セル100Bの裏面側にもぐりこませて裏面側リード線114の端部と重ね、加熱しながら押圧して半田接合する。なお、受光面側リード線113および裏面側リード線114と太陽電池セル100との接続と、受光面側リード線113と裏面側リード線114との接続とは同じ工程にて同時に行なってもよい。
このようにして複数枚の太陽電池セル100が電気的に直列に接続された太陽電池セルアレイ30が、図3および図4に示すように表面カバー材111と裏面カバー材112との間において樹脂115である樹脂115aおよび樹脂115bで封止されて太陽電池パネル10が構成される。そして、この太陽電池パネル10の外周部に図1に示す枠部材20が取り付けられて太陽電池モジュール1が構成される。このような太陽電池モジュール1の出力電圧は、太陽電池セル100の電圧が複数枚分直列接続された値となる。なお、太陽電池モジュール1にさらに図示しない+極および−極の出力用ケーブルが図示しない端子ボックスを介して接続されて最終製品とされる。
上述したように、本実施の形態においては、太陽電池セル100に作用した外力により該太陽電池セル100に割れが発生するとき、セルの割れが溝部120の延在方向に進展する。これにより、グリッド電極103が断線する方向への太陽電池セル100の割れが抑制され、セルの割れによるグリッド電極103の断線に起因した太陽電池セル100の出力低下を極力抑えることができる。
したがって、本実施の形態によれば、太陽電池セル100に外力による割れが発生した場合においても、該太陽電池セル100の出力の低下を抑制することができる、という効果を奏する。
以上のように、本発明にかかる太陽電池セルは、受光面側において平行に配置された複数のグリッド電極を有する太陽電池セルにおける、外力による割れに起因した出力の低下を抑制する場合に有用である。
1 太陽電池モジュール、10 太陽電池パネル、11 リード線、20 枠部材、30 太陽電池セルアレイ、100 太陽電池セル、101 p型単結晶シリコン基板、102 裏面集電電極、103 グリッド電極、104 受光面バス電極、105 裏面バス電極、111 表面カバー材、112 裏面カバー材、113 受光面側リード線、113a 延長部、114 裏面側リード線、115,115a,115b 樹脂、116 セル配置層、120 溝部、200 比較例の太陽電池セル、203 グリッド電極、204 受光面バス電極。
Claims (7)
- 第1導電型の単結晶半導体基板と、
前記単結晶半導体基板の受光面側となる一面側に設けられた第2導電型の不純物拡散層と、
グリッド電極を含み前記単結晶半導体基板の一面側において前記不純物拡散層と電気的に接続して前記単結晶半導体基板の面方向に沿って設けられた受光面側電極と、
前記単結晶半導体基板の他面側において前記単結晶半導体基板と電気的に接続して設けられた裏面側電極と、
を備え、
前記グリッド電極は、前記単結晶半導体基板のいずれかの結晶面と一致する劈開面が前記単結晶半導体基板の一面を横切る方向に沿って複数本が配置され、
前記単結晶半導体基板における前記一面側に、隣り合う前記グリッド電極の間に対応する領域に前記劈開面に沿って設けられて前記不純物拡散層の表面から前記単結晶半導体基板の内部に達する溝部を備えること、
を特徴とする太陽電池セル。 - 前記溝部は、前記単結晶半導体基板の厚みの50%以上70%以下の深さで設けられること、
を特徴とする請求項1に記載の太陽電池セル。 - 前記単結晶半導体基板は、4つの側面が{100}面とされ、面方向において四角形状の外形を有する前記単結晶シリコン基板であり、
前記受光面側電極であって、前記グリッド電極に導通して前記グリッド電極よりも幅広のバス電極が、前記四角形状における対向する一対の辺に平行に前記単結晶半導体基板の面方向に沿って配置され、
前記グリッド電極は、前記単結晶半導体基板の面方向において前記バス電極と45度の角度で交わること、
を特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池セル。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の太陽電池セルの2つ以上が電気的に直列または並列に接続されること、
を特徴とする太陽電池パネル。 - 単結晶半導体基板の一面側に第2導電型の不純物元素を拡散して不純物拡散層を形成する第1工程と、
前記単結晶半導体基板のいずれかの結晶面と一致する劈開面が前記単結晶半導体基板の一面を横切る方向に沿う複数本のグリッド電極を含み前記単結晶半導体基板の一面側において前記不純物拡散層と電気的に接続する受光面側電極を、前記単結晶半導体基板の面方向に沿って前記単結晶半導体基板の一面側に形成する第2工程と、
前記単結晶半導体基板における前記一面側に、隣り合う前記グリッド電極の間に対応する領域に前記劈開面に沿って前記不純物拡散層の表面から前記単結晶半導体基板の内部に達する溝部を形成する第3工程と、
前記単結晶半導体基板の他面側において前記単結晶半導体基板と電気的に接続する裏面側電極を形成する第4工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。 - 前記溝部は、前記単結晶半導体基板の厚みの50%以上70%以下の深さで形成されること、
を特徴とする請求項5に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記単結晶半導体基板は、4つの側面が{100}面とされ、面方向において四角形状の外形を有する前記単結晶シリコン基板であり、
前記受光面側電極であって、前記グリッド電極に導通して前記グリッド電極よりも幅広のバス電極を、前記四角形状における対向する一対の辺に平行に前記単結晶半導体基板の面方向に沿って形成し、
前記グリッド電極を、前記単結晶半導体基板の面方向において前記バス電極と45度の角度で交わる状態に形成すること、
を特徴とする請求項5または6に記載の太陽電池セルの製造方法。
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