JP2014027133A - 太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができる太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】受光面に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極の外縁が裏側電極の外縁を内包するように表側電極が配置されている太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールである。
【選択図】図１

Description

本発明は、太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。

太陽電池セルの受光面に発生するマイクロクラック等の欠陥は、従来から問題とされており、特に、太陽電池セルの電極にインターコネクタを接続する際の機械的な応力や加熱による熱膨張によって太陽電池セルに発生するマイクロクラックについては、従来より様々な対策が講じられている。

たとえば、特許文献１には、裏面バスバー電極および／または受光面バスバー電極の長手方向の端部を、剛性の高い半田ではなく、充填材で覆うことによって、ストレスを緩和した太陽電池素子が開示されている。

また、特許文献２には、受光面接続用バスバー電極の幅をインターコネクタの幅よりも広くし、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、半田が形成されていない箇所を設けることによって、電極の外縁にかかる応力を分散して、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制したインターコネクタ付き太陽電池が開示されている。

特開２００５―３１７９０４号公報 特開２００７―２６６２６２号公報

しかしながら、特許文献１においては、裏面バスバー電極および／または受光面バスバー電極の長手方向の端部を充填材で覆う領域を設ける必要がある。また、特許文献２においては、受光面接続用バスバー電極の外縁にインターコネクタおよび半田が形成されていない領域を設ける必要がある。

すなわち、特許文献１および特許文献２においては、電極の外縁は、インターコネクタとの接続に使用できないという制限があった。特に、受光面側の電極を幅広にした場合には、受光面積が減少してしまうため、受光面側の電極の幅はできるだけ狭くする必要がある。

しかしながら、特許文献１および特許文献２に記載の太陽電池のように、電極の外縁をインターコネクタとの接続に使用できない場合には、限られた電極領域を有効に利用することができず、インターコネクタと電極との接続部分の幅が十分に確保できないため、電気抵抗が増加して、太陽電池モジュールとしての発電効率が低下するという問題がある。

さらに、インターコネクタを電極に接続する際に、インターコネクタが電極の外縁に接続されないようにする必要があるため、製造工程も複雑になるといった問題もある。

上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができる太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することにある。

本発明は、受光面と受光面とは反対側の裏面とを有する光電変換基板と、受光面に設けられた表側電極と、裏面に設けられた裏側電極と、を備え、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極は、表側電極の外縁が裏側電極の外縁を内包するように配置されている太陽電池セルである。

ここで、本発明の太陽電池セルにおいては、表側電極の外縁が、裏側電極の外縁よりも０．２ｍｍ以上外側に位置していることが好ましい。

また、本発明の太陽電池セルにおいて、裏側電極は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなり、受光面に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極が配置されていない領域における表側電極の幅の少なくとも一部が、裏側電極が配置されている領域における表側電極の幅よりも狭くなっていることが好ましい。

また、本発明の太陽電池セルにおいて、表側電極および裏側電極は、それぞれ、金属を含み、表側電極は受光面上に所定の厚みを有して設けられており、裏側電極は裏面上に所定の厚みを有して設けられていることが好ましい。

また、本発明は、上記のいずれかの太陽電池セルと、インターコネクタとを備えるインターコネクタ付き太陽電池セルであって、表側電極と裏側電極のそれぞれにインターコネクタが接続されているインターコネクタ付き太陽電池セルである。

ここで、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、インターコネクタと表側電極とは半田を介して電気的に接続されており、半田の少なくとも一部がインターコネクタからはみ出して表側電極上に露出していることが好ましい。

また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいて、インターコネクタは、断面が略矩形で帯状の金属からなることが好ましい。

さらに、本発明は、上記のインターコネクタ付き太陽電池セルが封止材によって封止されている太陽電池モジュールである。

本発明によれば、受光面積の減少を抑えつつ、受光面側の電極にインターコネクタを接続した場合でも、受光面にマイクロクラックが発生するのを抑制することができる太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。

実施の形態の太陽電池セルの受光面の模式的な平面図である。 図１に示す受光面とは反対側の裏面の一例の模式的な平面図である。 （ａ）〜（ｈ）は、実施の形態の太陽電池セルの製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図である。 図４（ａ）および図４（ｂ）に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図である。 図４（ａ）および図５（ａ）に示される実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの模式的な断面図である。 実施の形態の太陽電池ストリングの受光面の模式的な平面図である。 実施の形態の太陽電池モジュールの模式的な断面図である。 実施の形態の太陽電池セルの表側電極の外縁が裏側電極の外縁よりも外側に位置していることを図解する模式的な断面図である。 図４（ａ）および図５（ａ）のＸ−Ｘに沿った模式的な断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図である。 図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図である。 （ａ）は、図４（ａ）および図５（ａ）のＸＩＩＩａ−ＸＩＩＩａに沿った模式的な断面図であり、（ｂ）は、図４（ｂ）および図５（ｂ）のＸＩＩＩｂ−ＸＩＩＩｂに沿った模式的な断面図である。 （ａ）は、図１１（ａ）および図１２（ａ）のＸＩＶａ−ＸＩＶａに沿った模式的な断面図であり、（ｂ）は、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）のＸＩＶｂ−ＸＩＶｂに沿った模式的な断面図である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。

図１に、本発明の太陽電池セルの一例である実施の形態の太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図２に、図１に示す受光面とは反対側の裏面の一例の模式的な平面図を示す。

図１に示すように、光電変換基板１の受光面２には、インターコネクタと接続するための表側電極３が２本設けられており、表側電極３はそれぞれ一方向（図１では上下方向）に伸長している。なお、図１には図示していないが、表側電極３には、表側電極３の伸長方向と垂直な方向に伸長する帯状の複数の受光面集電用電極が接続されている。

図２に示すように、光電変換基板１の裏面４には、インターコネクタと接続するための島状の裏側電極５が互いに間隔をあけて６個配置されている。また、裏側電極５の外縁５ａは、裏側電極５がそれぞれ矩形となるように構成されている。なお、裏側電極５以外の領域の少なくとも一部には裏面集電用電極が配置されていてもよい。

なお、図１には、裏側電極５の形成位置が破線で示されており、図２には、表側電極３の形成位置が破線で示されている。

そして、実施の形態の太陽電池セルにおいては、図１に示すように、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３は、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されている。

これは、本発明者が鋭意検討した結果、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３が、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されることによって、受光面積の減少を抑えつつ、表側電極３にインターコネクタを接続した場合でも、受光面２にマイクロクラックが発生するのを抑制することができることを見出したことによるものである。

すなわち、表側電極３は、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａから外側にはみ出るように形成されているため、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側は、裏側電極５が形成されていない状態となっている。

そして、この形態においては、インターコネクタが表側電極３の外縁３ａに配置された場合であっても、受光面２にマイクロクラックは発生しなかった。一方、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に、裏側電極５が形成されている場合に、インターコネクタが表側電極３の外縁３ａに配置されると、表側電極３の外縁３ａ近傍の受光面２にマイクロクラックが発生することがあった。

これらの結果より、インターコネクタが表側電極３の外縁３ａに配置された場合には、インターコネクタからの応力が表側電極３の外縁３ａに直接かかるので、表側電極３の外縁３ａに接している受光面２の部分にその応力が集中しやすくなるが、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５が形成されていない場合には、その部分には少なくとも裏側電極５の厚みの分の隙間があるので、光電変換基板１が撓むことでその応力を受け流すことができるため、受光面２にマイクロクラックが発生することを抑制できたと考えられる。

一方、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５が形成されている場合は、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏面の部分には、上記のような隙間がないため、光電変換基板１が撓みにくくなる。特に、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏面の部分に、裏側電極５を介してインターコネクタが配置されている場合には、光電変換基板１はほとんど撓むことができないので、受光面２にかかった応力を吸収できなくなっており、表側電極３の外縁３ａに接している受光面２の部分に応力が集中することによって、マイクロクラックが発生してしまうことがあると考えられる。

したがって、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５を配置しないことによって、インターコネクタが表側電極３の外縁３ａに配置された場合であっても、受光面２におけるマイクロクラックの発生を抑制できる。

光電変換基板１においては、受光面２に近い側に、発電部分となるｐｎ接合などの接合面が形成されることが一般的であるため、受光面２から浅い位置にｐｎ接合面が形成されている。このような受光面２にマイクロクラックが発生した場合には、受光面２におけるｐｎ接合面が損傷して非発電領域となったり、光電変換基板１のｐｎ接合間をリークする経路が形成されてしまったりする可能性がある。

つまり、受光面２にマイクロクラックが発生することは、太陽電池セルの性能低下に直結する問題である。その一方で、表側電極３の外縁３ａにインターコネクタが配置されないように、表側電極３の外縁３ａに冗長領域を設けたり、インターコネクタと接続しない領域を設けたりすることは、受光面積を減少させることを意味するため、太陽電池セルの発電効率を低下させることにつながる。

さらに、製造工程でインターコネクタと表側電極３との位置関係を厳密に管理する必要があるため、製造コストも上昇してしまう。これらの問題に対して、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５を配置しないことによって、インターコネクタが表側電極３の外縁３ａに配置された場合であっても、受光面２におけるマイクロクラックの発生を抑制できる。これにより、受光面積の減少を抑えつつ、受光面２にマイクロクラックが発生するのを抑えることができるため、インターコネクタと表側電極３との配置を制限しなくてもよくなり、上記の問題を解決できる。

ここで、実施の形態の太陽電池セルにおいて、表側電極３の外縁３ａは、たとえば図９の模式的断面図に示すように、裏側電極５の外縁５ａよりも外側に位置していることが好ましい。表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを覆う距離Ｘ１は０．２ｍｍ以上であることが好ましいため、表側電極３の外縁３ａは、裏側電極５の外縁５ａよりも０．２ｍｍ以上外側に位置していることが好ましい。この場合には、受光面２におけるマイクロクラックの発生をより抑制することができる。特に、光電変換基板１の厚さが２００μｍ以下であるときに、表側電極３の外縁３ａを裏側電極５の外縁５ａよりも０．２ｍｍ以上外側に位置させることによって、受光面２におけるマイクロクラックの発生を十分に抑制することができる。

一方、表側電極３の外縁３ａと裏側電極５の外縁５ａとの間の距離を０．２ｍｍ以上とした場合には、受光面２にマイクロクラックが発生するのをより抑制することができるが、表側電極３の幅の増加によって受光面積が減少して太陽電池セルの発電効率が低下するおそれがあることから、Ｘ１は０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下とすることが好ましい。

なお、表側電極３と裏側電極５との相対的な位置関係が上記の関係を満たして配置できるようにするために、たとえば、裏側電極５の設置領域における表側電極３の幅（表側電極３の伸長方向に対して垂直な方向の長さ（図１に示す例ではＹ１））を、裏側電極５の幅（表側電極３の幅方向の長さ）に対して、０．８ｍｍ以上大きくすることが好ましい。

表側電極３と裏側電極５とを別工程で形成する場合でも、表側電極３と裏側電極５との製造上の位置ズレ量は０．２ｍｍ以内に収められることはさほど困難ではないので、この場合には、表側電極３の幅を、（裏側電極５の幅＋０．８ｍｍ）としておけば、表側電極３の幅方向の中心が裏側電極５の幅方向の中心に対して０．２ｍｍズレた場合であっても、表側電極３の外縁３ａと裏側電極５の外縁５ａとの間の距離である０．２ｍｍを確保できる。

表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属を含み、表側電極３は受光面２上に所定の厚さを有するように設けられることが好ましく、裏側電極５は裏面４上に所定の厚さを有するように設けられることが好ましい。たとえば、表側電極３および裏側電極５をそれぞれ銀、銅、ニッケルまたはアルミニウムなどの高導電性の金属材料から１０μｍ以上の厚さで形成することにより、電気抵抗を低減し、かつ、機械的に強固な電極とすることができる。

そして、裏側電極５を所定の厚さを有するように設けることで、裏側電極５の外縁５ａに重なるようにインターコネクタが配置された場合であっても、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏面の部分に、少なくとも所定の厚み分の隙間を設けることができ、その隙間によって光電変換基板１の撓みを許容することができるため、光電変換基板１の受光面２にかかった応力を吸収できる。

また、たとえば図１および図２に示すように、裏側電極５は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなるものとすることが好ましい。これによって、裏側電極５に用いられる銀や銅などの高価な金属の使用量をさらに低減することができる。そして、裏側電極５を互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極とすることによって、図１に示されるように、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極５が配置されていない領域における表側電極３の幅Ｙ２の少なくとも一部を、裏側電極５が配置されている領域における表側電極３の幅Ｙ１よりも狭くすることができるため、受光面積を増大させることができるとともに、表側電極３の使用材料の量を低減することができる。

図３（ａ）〜図３（ｈ）に、実施の形態の太陽電池セルの製造方法の一例を図解する模式的な断面図を示す。まず、図３（ａ）に示すように、たとえばワイヤーソーなどを用いて多結晶のｐ型シリコンインゴットをたとえば１６０μｍ程度の厚さに切り出すことによってｐ型シリコン基板１１を形成する。ここで、ｐ型シリコン基板１１の表面にはワイヤーソーなどによってダメージ層１２が形成される。なお、ｐ型シリコン基板１１としては単結晶シリコンを用いることもできる。

次に、図３（ｂ）に示すように、たとえばフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いたエッチングによって、ダメージ層１２を除去するとともに、ｐ型シリコン基板１１の両方の主面に大きな段差を有する凹凸（図示せず）を形成する。なお、ｐ型シリコン基板１１としては単結晶シリコンを用いた場合には、ＫＯＨ（水酸化カリウム）またはＮａＯＨにイソプロピルアルコールを添加したアルカリ溶液を用いた異方性エッチングを行なって凹凸を形成することもできる。

次いで、図３（ｃ）に示すように、ｐｎ接合分離を目的として、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面の周縁部にたとえばシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材１３をスピンコータにより塗布する。

そして、図３（ｄ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面に、拡散源としてたとえばＰ₂Ｏ₅（五酸化二リン）を含むドーパント液１４をスピンコータにより塗布する。

続いて、このｐ型シリコン基板１１を拡散炉で８００〜９００℃程度に加熱することによって、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面にｎ型ドーパントが拡散して、図３（ｅ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面に不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層１５を形成する。このとき、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面のマスク材１３が塗布された領域にはマスク材１３が加熱されて生じたＴｉＯ₂（酸化チタン）とＳｉＯ₂（酸化シリコン）とが混在したマスク膜１３ａが形成されるとともに、ドーパント液１４が加熱されて生じたＰＳＧ（リンシリケートガラス）層１６が形成される。

そして、ｐ型シリコン基板３をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜１３ａとＰＳＧ層１６とを除去することによって、図３（ｆ）に示すｐ型シリコン基板１１を得る。

次いで、図３（ｇ）に示すように、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面上に、たとえば厚さ７０ｎｍ〜１００ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜１７を形成する。

次に、ｐ型シリコン基板１１の裏面となる方の主面に、裏側電極５用の銀ペーストをスクリーン印刷し、表側電極３と受光面集電用電極の形成のために銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１５０〜２００℃程度で乾燥させた後に７００〜７５０℃程度で焼成する。

これにより、図３（ｈ）に示すように、ｐ型シリコン基板１１の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層１５とオーミック接触をとる表側電極３および受光面集電用電極（図示せず）がファイヤースルーにより形成され、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面にはｐ型不純物拡散層１８とオーミック接触をとる裏側電極５が形成される。また、ｐ型シリコン基板１１とｎ型不純物拡散層１５とｐ型不純物拡散層１８とからなる光電変換機能を有する光電変換基板１が形成される。

上記のようにして製造された実施の形態の太陽電池セルにおいては、表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属として銀を含み、表側電極３は、受光面２上に所定の厚みを有して設けられており、裏側電極５は、裏面４上に所定の厚みを有して設けられている。

図４（ａ）および図４（ｂ）に、本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルの一例である実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図５（ａ）および図５（ｂ）に、図４（ａ）および図４（ｂ）に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図を示す。

実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルは、上記の実施の形態の太陽電池セルの表側電極３にインターコネクタ２１を電気的に接続し、裏側電極５にインターコネクタ２１を電気的に接続することによって作製することができる。このように、実施の形態の太陽電池セルの表側電極３および裏側電極５にそれぞれインターコネクタ２１を接続してインターコネクタ付き太陽電池セルとすることによって、太陽電池セルが発電した電力を外部に取り出すことが容易となる。

なお、図４（ａ）および図５（ａ）が、それぞれ、インターコネクタ２１が、表側電極３および裏側電極５の表面の幅方向の中心に接続された形態を示している。また、図４（ｂ）および図５（ｂ）が、それぞれ、インターコネクタ２１が、表側電極３および裏側電極５の表面の幅方向の中心からズレた状態で接続された形態を示している。

図６に、図４（ａ）および図５（ａ）に示される実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの模式的な断面図を示す。図６に示すように、インターコネクタ２１と、表側電極３および裏側電極５とは、それぞれ、半田３１を用いて電気的に接続されることが好ましい。これにより、インターコネクタ２１と、表側電極３および裏側電極５とを電気的に接続するとともに、機械的にも強固に固定することが可能となる。

半田３１を用いて、インターコネクタ２１と表側電極３および裏側電極５とをそれぞれ電気的に接続する場合には、半田３１を加熱する必要があり、半田３１の加熱、および表側電極３と光電変換基板１との熱膨張率の差によって発生する歪み応力もまた、受光面にマイクロクラックが発生する原因となり得る。

このような場合であっても、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５が形成されていないことで、表側電極３の外縁３ａと受光面との界面にかかる歪み応力を裏面に分散させることができる。これにより、表側電極３の外縁３ａと受光面との界面に歪み応力が集中するのを抑制することができるため、受光面積の減少を抑えつつ、受光面におけるマイクロクラックの発生を効果的に抑制することができる。

なお、半田３１の少なくとも一部がインターコネクタ２１からはみ出して表側電極３の表面上に露出していることが好ましい。この場合には、表側電極３の表面上に半田３１のフィレット３１ａが形成されたことを確認できるため、表側電極３とインターコネクタ２１との半田３１による接続をより確実とすることができる。

この場合には、インターコネクタ２１からはみ出た半田３１が表側電極３の外縁３ａに到達することもあり、インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに配置されたときと同様の状態となるが、表側電極３の外縁３ａの、光電変換基板１を挟んだ裏側に裏側電極５が形成されていないことで、受光面積の減少を抑えつつ、受光面におけるマイクロクラックの発生を効果的に抑制することができる。

また、インターコネクタ２１としては、たとえば、断面が略矩形で帯状の金属からなる金属導体を用いることができる。

インターコネクタ２１は、たとえば、断面が略矩形で帯状の金属からなる金属導体の周囲を半田３１で被覆したものを用意し、半田３１または表側電極３若しくは裏側電極５の表面にフラックスを塗布し、インターコネクタ２１でｐ型シリコン基板１１を挟み込んで、リフロー炉にて２００〜２５０℃の熱処理を行なう。これにより、インターコネクタ２１を表側電極３および裏側電極５のそれぞれの表面に半田３１により半田付けすることができる。

図７に、実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの複数が電気的に接続されてなる太陽電池ストリングの一例である実施の形態の太陽電池ストリングの受光面の模式的な平面図を示す。

実施の形態の太陽電池ストリングは、隣り合う実施の形態のインターコネクタ付き太陽電池セル同士が、受光面側または裏面側のインターコネクタ２１の一方を共有することによって、順次電気的に接続されていき、接続方向の端部に配置されたインターコネクタ付き太陽電池セルのインターコネクタ２１同士がバスバー４１で接続されることによって構成されている。

図８に、本発明の太陽電池モジュールの一例である実施の形態の太陽電池モジュールの模式的な断面図を示す。図８に示す実施の形態の太陽電池モジュールは、図７に示す実施の形態の太陽電池ストリングが、ガラス板５１と保護フィルム５３との間のＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）などの封止材５２で封止することによって構成されている。

実施の形態の太陽電池モジュールにおいては、上述したように、実施の形態の太陽電池モジュールを構成する実施の形態の太陽電池セルおよびインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面積の減少を抑えつつ、受光面におけるマイクロクラックの発生を抑制することができる。

なお、上記において、裏側電極５は、互いに間隔を空けて配置された複数の島状の電極とした場合について説明したが、裏側電極５は一続きの形状としてもよく、また、他のあらゆる形状とするものも含まれ、いずれの場合であっても、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３は、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されていればよい。

また、表側電極３および裏側電極５の材料としては銀を用いた場合について説明したが表側電極３および裏側電極５の材料はこれらに限定されるものではない。

また、表側電極３および裏側電極５の本数はそれぞれ２本のパターンを形成した場合について説明したが、表側電極３および裏側電極５の本数はこれに限定されるものではない。

また、上記においては、光電変換基板１の主材料として、ｐ型シリコン基板１１を用いた場合について説明したが、光電変換基板１の主材料としてｐ型シリコン基板１１を用いることに限定されず、太陽電池に用いることができる他の半導体基板を用いてもよいことは言うまでもない。

また、上記において、半田３１としては、たとえば従来から公知の半田を用いることができる。また、上記において、インターコネクタ２１に用いられる金属導体としては、たとえば銅箔などの従来から公知のものなどを用いることができる。

なお、図８においては、説明の便宜のため、表側電極３および裏側電極５の記載は省略されている。

また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの受光面側の受光面保護部材としてガラス板５１を用いた場合について説明したが、ガラス板５１以外にも太陽光を透過する透明な材質の受光面保護部材を用いてもよい。

また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの封止材５２としてＥＶＡを用いた場合について説明したが、ＥＶＡ以外にも太陽光を透過する透明な材質の従来から公知の封止材を用いてもよい。

また、上記においては、実施の形態の太陽電池モジュールの裏面保護部材として保護フィルム５３を用いた場合について説明したが、保護フィルム５３以外の裏面保護部材を用いてもよい。

＜実施例＞
まず、多結晶のｐ型シリコンインゴットをワイヤーソーを用いて、幅１５５ｍｍ、長さ１５５ｍｍおよび厚さ１６０μｍの平板状に切り出した。次に、この平板状のｐ型シリコン基板の表面をフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いてエッチングして、微細な凹凸を形成した。

次いで、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面の周縁部にシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材をスピンコータにより塗布した。そして、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に、拡散源としてＰ₂Ｏ₅を含むドーパント液をスピンコータにより塗布した。続いて、このｐ型シリコン基板を拡散炉で８５０℃に加熱することによって、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面にリンが拡散して、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に表面抵抗率が約５０Ωの不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層を形成した。

そして、ｐ型シリコン基板をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜と、ドーパント液が加熱されて生じたＰＳＧ層とを除去した。次いで、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にたとえば厚さ８０ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜を形成した。

また、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面にＢ₂Ｏ₃を含むドーパント液をスピンコータにより全面に塗布した後に拡散炉で加熱することで、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面の全面にボロンが拡散してｐ型不純物拡散層を形成した。そして、表側電極、受光面集電用電極、および裏側電極用の銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１７５℃で乾燥させた後に７２５℃で焼成した。

これにより、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層とオーミック接触をとる図１に示す形状の表側電極３および受光面集電用電極をファイヤースルーにより形成し、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面にｐ型不純物拡散層を形成するとともに、ｐ型不純物拡散層とオーミック接触をとる図２に示す形状の裏側電極５を形成した。また、ｐ型シリコン基板とｎ型不純物拡散層とｐ型不純物拡散層とから光電変換機能を有する光電変換基板１が形成された。

上記のようにして製造された実施例の太陽電池セルにおいては、表側電極３および裏側電極５は、それぞれ、金属として銀を含み、表側電極３は、光電変換基板１の受光面２上に約１０μｍの厚みを有して設けられ、裏側電極５は、光電変換基板１の裏面４上に約１０μｍの厚みを有して設けられた。

実施例の太陽電池セルは、図１に示すように、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されている箇所を有していた。

また、実施例の太陽電池セルにおいては、図２に示すように、裏側電極５は、互いに間隔をあけて配置された幅３ｍｍの複数の島状の電極からなり、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、裏側電極５が配置されていない領域における表側電極３の幅Ｙ２が２ｍｍで、裏側電極５が配置されている領域における表側電極３の幅Ｙ１は３．８ｍｍとした。

その後、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕからなる半田で被覆された幅２ｍｍで厚さ０．２ｍｍの断面が略矩形で帯状の銅箔から構成されるインターコネクタをフラックスが塗布された表側電極３の上面および裏側電極５の上面にそれぞれ設置し、これらのインターコネクタでｐ型シリコン基板を挟み込んでリフロー炉にて２４０℃の熱処理を行なった。これにより、表側電極３の上面および裏側電極５の上面にそれぞれインターコネクタを電気的に接続した。これにより、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの複数を作製した。

図４（ａ）および図４（ｂ）に、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図５（ａ）および図５（ｂ）に、図４（ａ）および図４（ｂ）に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図を示す。

このような実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３とインターコネクタ２１との接続箇所が、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包する箇所を含んでいた。

＜比較例＞
図１１（ａ）および図１１（ｂ）に、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面の模式的な平面図を示し、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示す受光面とは反対側の裏面の模式的な平面図を示す。

なお、図１１（ａ）および図１２（ａ）が、それぞれ、インターコネクタ２１が、表側電極３および裏側電極５の表面の幅方向の中心に接続された形態を示している。また、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）が、それぞれ、インターコネクタ２１が、表側電極３および裏側電極５の表面の幅方向の中心からズレた状態で接続された形態を示している。

比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、表側電極３の幅を２．５ｍｍ、裏側電極５の幅を３ｍｍとし、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３が、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されていないこと以外は、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルと同様の構成として、その複数が作製された。

＜評価＞
図１３（ａ）に、図４（ａ）および図５（ａ）のＸＩＩＩａ−ＸＩＩＩａに沿った模式的な断面図を示す。図１３（ｂ）に、図４（ｂ）および図５（ｂ）のＸＩＩＩｂ−ＸＩＩＩｂに沿った模式的な断面図を示す。

実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを覆う距離Ｘ１は、０．４ｍｍであり、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下となっている。

図１４（ａ）に、図１１（ａ）および図１２（ａ）のＸＩＶａ−ＸＩＶａに沿った模式的な断面図を示す。図１４（ｂ）に、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）のＸＩＶｂ−ＸＩＶｂに沿った模式的な断面図を示す。

比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルにおいては、表側電極３の外縁３ａは、裏側電極５の外縁５ａを覆っていない。

なお、図１３（ａ）および図１３（ｂ）ならびに図１４（ａ）および図１４（ｂ）には裏側電極５に接続されるインターコネクタ２１については図示されていない。

（理想的な位置関係）
図１３（ａ）に、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面側のインターコネクタ２１と、表側電極３と、裏側電極５との理想的な相対的な位置関係を示す。また、図１４（ａ）に、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面側のインターコネクタ２１と、表側電極３と、裏側電極５との理想的な相対的な位置関係を示す。

図１３（ａ）および図１４（ａ）に示すように、インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なっていない場合には、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルおよび比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルのいずれの受光面にもマイクロクラックは発生しなかった。

（インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なった場合）
図１３（ｂ）に、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面側のインターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なった場合のインターコネクタ２１と、表側電極３と、裏側電極５との相対的な位置関係を示す。また、図１４（ｂ）に、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面側のインターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なった場合のインターコネクタ２１と、表側電極３と、裏側電極５との相対的な位置関係を示す。

図１３（ｂ）および図１４（ｂ）に示すように、インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なっている場合には、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面にはマイクロクラックが発生しなかったが、比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面にはマイクロクラック１３０が発生した。

図１０に、図４（ａ）および図５（ａ）のＸ−Ｘに沿った模式的な断面図を示す。図４（ａ）および図５（ａ）に示すように、Ｙ１＞Ｙ２とした場合には、表側電極３の伸長方向と交差する方向（図１０においては、図１０の紙面表裏方向）にも表側電極３の外縁３ａができることがあるが、この方向に対しても、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されていることによって、インターコネクタ２１が表側電極３の外縁３ａに重なって配置された場合でも、実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルの受光面にはマイクロクラックが発生しなかった。

なお、図１０には裏側電極５に接続されるインターコネクタ２１については図示されていない。

＜まとめ＞
以上の結果から、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３は、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置された実施例のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面２に対して垂直な方向からの投影視において、表側電極３が、表側電極３の外縁３ａが裏側電極５の外縁５ａを内包するように配置されていない比較例のインターコネクタ付き太陽電池セルと比較して、受光面におけるマイクロクラックの発生を抑制でき、また、受光面積の減少も抑えることができる。

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明は、太陽電池セル、インターコネクタ付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに好適に利用することができる。

１ 光電変換基板、２ 受光面、３ 表側電極、３ａ 外縁、４ 裏面、５ 裏側電極、５ａ 外縁、１１ ｐ型シリコン基板、１２ ダメージ層、１３ マスク材、１３ａ マスク膜、１４ ドーパント液、１５ ｎ型不純物拡散層、１６ ＰＳＧ層、１７ 反射防止膜、１８ ｐ型不純物拡散層、２１ インターコネクタ、３１ 半田、３１ａ フィレット、４１ バスバー、５１ ガラス板、５２ 封止材、５３ 保護フィルム。

Claims (8)

1. 受光面と前記受光面とは反対側の裏面とを有する光電変換基板と、
   前記受光面に設けられた表側電極と、
   前記裏面に設けられた裏側電極と、を備え、
   前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記表側電極は、前記表側電極の外縁が前記裏側電極の外縁を内包するように配置されている、太陽電池セル。
2. 前記表側電極の外縁は、前記裏側電極の前記外縁よりも０．２ｍｍ以上外側に位置している、請求項１に記載の太陽電池セル。
3. 前記裏側電極は、互いに間隔をあけて配置された複数の島状の電極からなり、
   前記受光面に対して垂直な方向からの投影視において、前記裏側電極が配置されていない領域における前記表側電極の幅の少なくとも一部が、前記裏側電極が配置されている領域における前記表側電極の幅よりも狭くなっている、請求項１または２に記載の太陽電池セル。
4. 前記表側電極および前記裏側電極は、それぞれ、金属を含み、
   前記表側電極は、前記受光面上に所定の厚みを有して設けられており、
   前記裏側電極は、前記裏面上に所定の厚みを有して設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の太陽電池セル。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載の太陽電池セルと、インターコネクタとを備えるインターコネクタ付き太陽電池セルであって、
   前記表側電極と前記裏側電極とのそれぞれに前記インターコネクタが接続されている、インターコネクタ付き太陽電池セル。
6. 前記インターコネクタと前記表側電極とは、半田を介して電気的に接続されており、
   前記半田の少なくとも一部が、前記インターコネクタからはみ出して前記表側電極上に露出している、請求項５に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
7. 前記インターコネクタは、断面が略矩形で帯状の金属からなる、請求項５または６に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
8. 請求項５から７のいずれか１項に記載のインターコネクタ付き太陽電池セルが、封止材によって封止されている、太陽電池モジュール。

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