JP5975110B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
例えば、冷却器の入口部と冷却媒体通路との間に、冷却媒体の分散を促進するための壁が設けられたものがある(特許文献2)。また、冷却器の入口と出口との間に、冷媒を拡散させるための溝又は突起が設けられたものがある(特許文献3)。また、冷却剤の導入管及び排出管が、放熱器の長手方向端側の周縁の角部近傍に設けられ、導入管及び排出管との間に柱状部材が設けられたものがある(特許文献4)。また、周壁部と一体化した長方形のベース部に、その角部を除いて放熱突起が設けられ、この放熱突起の先端に対向して設けられた下蓋に、冷却媒体の流入口、流出口が設けられ、ベース部の角部で冷却媒体の乱流を促進させて冷却効率を向上させたものがある(特許文献5)
また、特許文献1や特許文献5に図示された冷却器は、冷却媒体の入口と出口が、冷却器の底面に設けられていることから、この冷却器の底面より下方に、冷却器に重ねて電子部品、例えばフィルムコンデンサを設けることができなかった。
この半導体装置は、絶縁基板と、該絶縁基板上に搭載された半導体素子と、該半導体素子を冷却する冷却器とを備える。前記冷却器は、該絶縁基板に接合される放熱基板と、該放熱基板における該絶縁基板との接合面とは反対側の面における略長方形の領域に設けられた複数のフィンと、該フィンを収容し底壁及び側壁を有する箱型形状になる冷却ケースとを備える。該冷却ケースの側壁のうち、フィンの集合体の長手方向に沿って設けられた一対の第1側壁及び第2側壁に、冷却媒体の導入口と排出口とが、フィンの集合体の短手方向の中心線から互いに逆方向にずれた位置に設けられる。前記導入口が設けられた前記第1側壁と前記底壁との間に、前記導入口から導入された前記冷却媒体を前記第1側壁に沿って拡散させる拡散壁が設けられた。該拡散壁が前記第1側壁の底辺から前記底壁に向かって形成された上り傾斜面である。
図1(a)、(b)、(c)に斜視図で示す本発明の一実施形態の半導体装置1は、半導体モジュール10と、この半導体モジュールを冷却する冷却器20とを備えている。半導体モジュール10は、図示した本実施形態では、冷却器20の放熱基板21の上に配置された複数の回路素子部11A、11B、11Cを有している。これらの回路素子部11A、11B、11Cにより、半導体モジュール10は、三相インバータ回路が構成されている。具体的には、回路素子部11A、11B、11Cは、それぞれ図3に回路図を示す三相インバータ回路40を形成するW相用回路、V相用回路及びU相用回路として構成されている。なお図3では三相インバータ回路40に三相交流モータ41が接続されている。
W相用回路となる回路素子部11Aは、図1(a)に示すように、上側アームを構成する半導体素子としてのIGBT素子12及びこのIGBT素子12に逆並列に接続されるフリーホイールダイオード13と、下側アームを形成するIGBT素子12及びこのIGBT素子12に逆並列に接続されるフリーホイールダイオード13とが、放熱基板21に取付けられた絶縁基板14上に実装されている。また、V相用回路となる回路素子部11B及びU相用回路となる回路素子部11Cも上記回路素子部11Aと同様の構成を有する。各絶縁基板14には、上記回路を構成するための回路パターンが形成されている。なお、半導体モジュール10は、図示した例では三相インバータ回路を構成するものであるが、本発明における半導体モジュール10は、三相インバータ回路を構成するものに限られない。
冷却ケース23内において、第1側壁23b1と底壁23aとの間に、導入口23cから導入された冷却媒体を第1側壁23b1に沿って拡散させる拡散壁23gが、冷却ケース23の長手方向に沿って設けられている。また、冷却ケース23内において第2側壁23b2と底壁23aとの間に、冷却媒体を第2側壁23b2に沿って排出口23dへ収束させる収束壁23hが冷却ケース23の長手方向に沿って設けられている。
拡散壁23g、収束壁23hが傾斜面であることにより、拡散壁23g、収束壁23hが導入口23cや排出口23dに対して垂直に設けられている場合に生じるおそれがある渦流を抑制することができる。また、拡散壁23g、収束壁23hが単純な傾斜面であることにより、冷却ケース23をダイカスト等により製造するときに、容易に拡散壁23g、収束壁23hを形成することができる。拡散壁23g、収束壁23hの導入口23cや排出口23dに対する傾斜角度は、拡散壁23g、収束壁23hが、冷却ケースの上方から見てフィン22と対向する領域の底壁内面と、側壁23bとの間の領域に設けられることから、この領域の距離によって設定可能な角度とすることができる。この領域の距離L(図4参照)は、およそ2〜12mmである。
なお、上記の実施形態では、熱的あるいは電気的に等価であり、発生損失の等しい複数の半導体素子(回路素子部)を冷却器の長手方向に並列配置する場合について説明した。しかしながら、本発明は、上記構成に限定されるものではなく、発生損失の異なる半導体素子(回路素子部)を一部に含む半導体モジュールにも適用できる。また、複数の回路素子部を1枚の絶縁基板に形成してもよい。
10 半導体モジュール
11A、11B、11C 回路素子部
12 IGBT素子
13 フリーホイールダイオード
14 絶縁基板
15 樹脂ケース
16、17 端子
20 冷却器
21 放熱基板
22、22A、22B フィン
22e フィン領域
23 冷却ケース
23a 底壁
23b 側壁
23c 導入口
23d 排出口
23e Oリング
23f ネジ孔
23g 拡散壁
23h 収束壁
23i 導入管
23j 排出管
30 フィルムコンデンサ
31 端子
32 バスバー
40 インバータ回路
41 三相交流モータ
Claims (11)
- 絶縁基板と、
該絶縁基板上に搭載された半導体素子と、
該半導体素子を冷却する冷却器と
を備える半導体装置であって、
前記冷却器が、該絶縁基板に接合される放熱基板と、
該放熱基板における該絶縁基板との接合面とは反対側の面における略長方形の領域に設けられた複数のフィンと、
該フィンを収容し底壁及び側壁を有する箱型形状になる冷却ケースと
を備え、
該冷却ケースの側壁のうち、フィンの集合体の長手方向に沿って設けられた一対の第1側壁及び第2側壁に、冷却媒体の導入口と排出口とが、フィンの集合体の短手方向の中心線から互いに逆方向にずれた位置に設けられるとともに、
前記導入口が設けられた前記第1側壁と前記底壁との間に、前記導入口から導入された前記冷却媒体を前記第1側壁に沿って拡散させる拡散壁が設けられ、かつ、
該拡散壁が前記第1側壁の底辺から前記底壁に向かって形成された上り傾斜面である
ことを特徴とする半導体装置。 - 前記排出口が設けられた前記第2側壁と前記底壁との間に、前記冷却媒体を前記第2側壁に沿って前記排出口へ収束させる収束壁が設けられた請求項1に記載の半導体装置。
- 前記収束壁が前記底壁から前記第2側壁の底辺に向かって形成された下り傾斜面である請求項2に記載の半導体装置。
- 前記導入口の内径は、前記拡散壁の高さより大きい請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導入口の内径が10〜15mmであり、前記拡散壁の高さが、0.1〜13mmである請求項4に記載の半導体装置。
- 前記導入口と前記排出口の位置が、前記冷却ケースに対して回転対称である請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記底壁、前記拡散壁及び前記収束壁により、前記冷却ケースの前記底壁裏面側に窪みを形成した請求項2又は3に記載の半導体装置。
- 前記半導体装置の端子が前記冷却ケースの長手方向に沿って設けられた請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記フィンが、ピンフィンである請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記ピンフィンが複数のピンから構成され、ピンのピッチがピン径の1.25倍〜2倍である請求項9に記載の半導体装置。
- 前記冷却器の前記底壁より下方に、フィルムコンデンサを重ねて設けてなる請求項1又は2に記載の半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012238284 | 2012-10-29 | ||
JP2012238284 | 2012-10-29 | ||
PCT/JP2013/077235 WO2014069174A1 (ja) | 2012-10-29 | 2013-10-07 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP5975110B2 true JP5975110B2 (ja) | 2016-08-23 |
JPWO2014069174A1 JPWO2014069174A1 (ja) | 2016-09-08 |
Family
ID=50627090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014544397A Active JP5975110B2 (ja) | 2012-10-29 | 2013-10-07 | 半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10014236B2 (ja) |
EP (2) | EP4064336A1 (ja) |
JP (1) | JP5975110B2 (ja) |
CN (1) | CN104247010B (ja) |
WO (1) | WO2014069174A1 (ja) |
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EP2824703A4 (en) | 2016-01-27 |
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EP2824703B1 (en) | 2022-06-29 |
US20150021756A1 (en) | 2015-01-22 |
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CN104247010B (zh) | 2017-06-20 |
JPWO2014069174A1 (ja) | 2016-09-08 |
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