JP5960030B2 - ガス中のガス成分濃度多点計測装置 - Google Patents
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Description
ガスを吸引して測定用の配管に導く際、測定の高速化が困難である。
ガスを測定用の配管に引き込んだ後に濃度測定を行うことから、配管を流通しているガスと測定管に引き込まれたガスの状態(例えば、温度等)が異なってしまい、測定精度が低下する。
流通ガスを局所的に採取して濃度測定を行うため、局所的なガス濃度測定はできても、濃度分布を取得することができない。また、サンプリング箇所を逐次変えて濃度測定を行えば、濃度分布を取得することは可能であるが、位置毎にガスの吸引、排出が必要となり、作業が煩雑であるとともに時間がかかる。
また、ガス計測部では一つの長孔にガスを導入して計測しているが、反射鏡に導入する前のレーザ光も排ガス中に晒されるので、散乱が発生し、適切なビーム形状を維持できなくなり、ノイズ信号が増大するという、問題がある。
図1に示すように、実施例1に係るボイラ装置100は、ボイラ101からの燃焼排ガス(以下「排ガス」という)102中に還元剤(例えばアンモニア:NH3)を供給する還元剤供給手段であるアンモニア注入装置104と、還元剤が含まれた排ガス102中のNOxを脱硝する脱硝触媒106を備えた脱硝装置105と、前記脱硝装置105の入口側と出口側とに各々設けられ、排ガス中のNOx濃度分布を多点で計測するレーザ計測手段によりガス成分濃度を測定するガス成分濃度計測装置50A〜50Cと、前記ガス成分濃度計測装置50A〜50Cの計測結果より、多点でのNOx濃度を求め、求めたNOx濃度より、複数個所のいずれかにおいて、NOx濃度が所定値以上の場合、アンモニア注入装置104からのアンモニア供給量を調節する制御手段である開度設定部109とを具備するものである。
図1中、符号107は空気予熱器、108は煙突を図示する。
図3に示すように、脱硝装置105の煙道103内に配設された挿入方向に長さが異なるプローブ手段51A〜51Cを有するガス成分濃度計測装置50A〜50Cを示す。
図3においては、煙道103の壁部103bからの挿入方向に一番長いプローブ手段51Aを有するガス成分濃度計測装置50Aは、排ガスのガス流れ方向の上部側に設置し、長さが中間のプローブ手段51Bを有するガス成分濃度計測装置50Bは排ガスの中部に設置し、挿入方向に一番短いプローブ手段51Cを有するガス成分濃度計測装置50Cは排ガスの下流側に設置している。
これにより、煙道103のプローブ挿入方向において、複数個所の区画された領域の排ガス中のNOx濃度を計測することができる。
この制御マップでは、煙道103内のNOx濃度を複数区画された領域内で測定した複数位置のNOx濃度に対して、複数系統のアンモニア供給系統26毎に異なる流量制御元弁25の開度を個別に設定するものである。
そして、NOx濃度が基準値以上であると判断したら、脱硝不良として、制御装置20から開度設定部109に信号を送り、開度設定部109からアンモニア注入装置104に開度信号をおくって、アンモニアの供給量を調整する。
本実施例では、排ガス中のNOx濃度を計測する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば排ガス中のアンモニア濃度を計測するようにしてもよい。
図4、図5及び図6に示すように、ガス成分濃度計測装置50は、計測対象ガスである例えば排ガス102が存在する計測場の外部からレーザ光70を出射させるレーザ送光器(以下「送光器」という)11と、前記計測場を通過したレーザ光を受光し、レーザ光70の光強度を検出するレーザ受光器(以下「受光器」という)12と、前記計測場に挿入されるレーザ光用プローブ手段51とを具備し、前記レーザ光用プローブ手段51が、前記レーザ光70を入射する入射口52と、90度の角度に対向して設置された一対の反射鏡53、53を有し、入射したレーザ光70を回帰反射させる回帰反射部と、反射したレーザ光71を出射する出射口54とを備えたコーナ反射部55と、前記コーナ反射部55の入射口52に連結され、前記レーザ送光器11から出射されたレーザ光70を送光する筒状の入射送光筒56と、前記コーナ反射部55の出射口54に連結され、前記反射したレーザ光71をレーザ受光器12へ送光する筒状の受光送光筒57とを備えている。
そして、前記受光送光筒57の一部が所定距離区切られ、計測場の排ガスに晒される計測領域Lを有している。
すなわち、受光送光筒57においては、開口端部57a、57bが所定距離だけ切り取られ、排ガス102が存在する計測場に晒される計測領域Lが形成されている。
すなわち、計測領域Lに到達する前に、煤塵の影響でレーザ光70が散乱されるとそのような状態で、レーザ光が反射され、さらに拡散が助長され、計測不能となるからである。
ここで、入射送光筒56と、受光送光筒57とは支持具65を介して支持するようにしている。
このように90度の角度で反射鏡53、53を設定すると、レーザ光は回帰反射となり、入射したレーザ光70に対して、平行な反射レーザ光71が反射して受光器12側に戻ってくることとなる。よって、入射のレーザ光70を合わせることで、戻り光の反射レーザ光71は必ず平行となる。この回帰反射部により、送光レーザ光と反射レーザ光の光軸のズレの問題が生じることがなくなる。
サファイヤ基盤を用いるのは、サファイヤとSiO2、TiO2の線膨張係数が同等であるため、熱伸びの影響を受けにくく、多層膜の剥がれ等も防止することができるからである。
例えば窒素酸化物(NOx)を計測する場合には、例えばアルミニウム(Al)、SiO2多層膜を用いることができる。
例えば酸化硫黄(SO2)、メタン(CH4)を計測する場合には、例えばアルミニウム(Al)膜等の金属膜を用いることができる。
また、ガス成分として、メタン(CH4)を計測する場合には、半導体レーザ(半導体素子:InGaAsを例示することができる。波長:1.6μm、出力:1mW程度のものを例示することができる)を用いることができる。
この場合、可視・紫外分光にて計測する場合、それに応じた可視・紫外を効率的に反射できる例えばフッ化カルシウム(CaF2)結晶膜、アルミニウム(Al)膜、金(Au)等の金属を用いることができる。
図20は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
そして、排ガス102中のガス成分を計測する場合には、所定濃度の煤塵が含まれる送光点と受光点との間のレーザ経路である計測領域Lを通過した後の受光強度(I0’)を基準とし、この基準から特定のガス組成の吸収による光強度(I)を求める。
そして、(I)/(I0’)によりガス成分(例えばNOx)濃度(TNOx)を求める。なお、受光強度(I0)は、大気中で煤塵がない環境で測定した光透過率の初期データである。
I0’は、煤塵有りガス中の透過後の光強度である。
αは、煤塵による散乱係数(g/m2)である。
cは、煤塵濃度(g/m3)である。
Lは、光路長である。
tは、温度補正値である。
そして、受光送光筒57の一部を所定距離57a、57bだけ開口させ、計測場の計測領域Lに晒すことで、この計測領域Lに存在する排ガス12中のガス成分を計測するようにしている。
この結果、煤塵の影響で散乱された状態で、レーザ光が反射されることを防止されるので、計測精度の低下を防止している。
よって、本実施例によれば、パージガス60が、入射送光筒56、入射口52、コーナ反射部55及び出射口54と通過させているので、送光するレーザ光70は、送光器11から出射されたままの状態で、反射鏡53、53で反射させて、反射レーザ光71は、所定距離57a、57bだけ開口された計測領域Lではじめて煤塵に接触することとなり、散乱が防止される。
図21は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
図21では、波長が1.5μmの場合、煤塵濃度が6g/Nm3程度の石炭灰中に2mの光路長で計測が可能であることを確認している。
よって、煤塵濃度がそれ以上の場合には、1.5m、より好適には1m前後の光路長で計測することが良好である。
実施例1のガス成分濃度計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図7及び図8に示すように、ガス成分濃度計測装置50は、前記レーザ送光器11とレーザ受光器12とを、計測場の壁面に取り付ける光学系取付フランジ80と、前記コーナ反射部55を取り付ける反射系取付フランジ81とを備え、光学系取付フランジ80に、レーザ送光器11とレーザ受光器12とを固定している。
そして、前記光学系取付フランジ80と反射系取付フランジ81とを用いて、入射送光筒56が取り付けられると共に、両フランジ80、81を支える第1及び第2の支持筒82、83を2箇所設けている。
なお、図7のガス成分濃度計測装置の全体構成を示す概略図では、第2の支持筒83は図示を省略している。また、図8の図7の平面図では、受光送光筒57、受光器12の図示は省略している。
実施例1では、入射送光筒57が支持筒を兼用していたが、本実施例では入射送光筒56と受光送光筒56とを支持する支持筒82、83を別途設けているので、高温環境においても、これらの支持を確実に行うことができる。
本実施例では、図9に示すように送光器11と入射送光筒56とをレーザビーム窓15を介して接続している。このレーザビーム窓15は、図9に示すように、中空部材であり、フランジ16により外壁103b面にそれぞれ固定されている。レーザビーム窓15の内部には、内部と外部との間のガスの出入りを遮断するシール用光学ガラス17が設けられる。シール用光学ガラス17の受光面は、レーザ光の反射を防止するため、レーザ光に対して垂直ではなく斜めに形成されてもよい。
本実施例では、図10に示すように受光器12と受光送光筒57とをレーザビーム窓15を介して接続している。このレーザビーム窓15は、図10に示すように、中空部材であり、フランジ16により外壁103b面にそれぞれ固定されている。レーザビーム窓15の内部には、内部と外部との間のガスの出入りを遮断するシール用光学ガラス17が設けられる。シール用光学ガラス17の受光面は、レーザ光の反射を防止するため、レーザ光に対して垂直ではなく斜めに形成されてもよい。
また、脱硝装置の煙道の片側の壁103aのスペース等が無いような場合でも、片側の壁103bからのプローブ手段を有するユニットの挿入固定となるので、計測装置の設置が容易となる。
また、パージガスをコーナ反射部55の内部まで導入し、計測領域Lまでレーザ光の散乱を防止しているので、レーザ光の散乱がなく、高い計測精度を提供することができる。
実施例1及び2のガス成分濃度計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
本実施例に係るガス中のガス成分濃度計測装置50は、実施例2のガス中のガス成分濃度計測装置において、レーザ送光器11とレーザ受光器12とが、光学系取付フランジ80に光ファイバ19、19を介して接続されている。
この接続には、レーザビーム窓15に設けた光ファイバポート(図示せず)を介して行うようにしている。
よって、コーナ反射部55の反射鏡53、53の設置距離D2を短くできるので、コーナ反射部55内での光路を短くすることとなり、光軸精度の維持を図ると共に、コーナ反射部55の軽量化を図ることができる。
実施例1乃至3のガス成分濃度計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図12に示すように、本実施例のガス成分濃度計測装置では、脱硝装置105の煙道103内のガス流れ方向(Z方向)に沿って、計測場に挿入される挿入長さの異なる複数のレーザ光用プローブ手段51A、51B、51Cとを、上流部、中間部、下流部とに配置すると共に、壁面103bの壁方向(X方向)に沿って、これらが複数列(I、II、III)配置されており、空間部の9点のNOx濃度を計測するようにしている。
レーザ光用プローブ手段51Bは挿入方向(Y方向)に長さが中間の入射送光筒56−2と、受光送光筒57−2とを設け、煙道103内の排ガス102のガス流れの中間部に配置している。これにより、煙道の中間におけるNOx濃度を計測することができる。
レーザ光用プローブ手段51Cは挿入方向(Y方向)に長さが短い入射送光筒56−3と、受光送光筒57−3とを設け、煙道103内の排ガス102のガス流れの下流部に配置している。これにより、煙道の手前におけるNOx濃度を計測することができる。
このような長さの異なるレーザ光用プローブ手段を用意して、複数個所においてNOx濃度分布を計測することで、煙道内のNOx濃度分布を計測することが可能となる。
ユニット台30には、レーザ光源を有しレーザ光を照射する送光器11と、光検出部を有しレーザ光を受光する受光器12が設けられている。
ユニット台30が移動可能に載置されるガイドレール31と、煙道の壁面に設置されるレーザビーム窓15A、15Bを有している。ガイドレール31は、煙道の外部にて煙道の壁面に対して平行に設置される。
送光器11から照射されるレーザ光の照射強度や、受光器12によって検出された受光強度は、図1に示す制御装置20に通知される。受光器12は、入力された光の情報を電気信号に変換して制御装置20に出力する。
図14では、煙道の同一平面において区画された領域(P1、P2、P3)の三箇所のNOx濃度を計測する様子を示している。
区画P1では、挿入長さが長いレーザ光用プローブ手段51Aを用い、区画P2では、挿入長さが中間のレーザ光用プローブ手段51Bを用い、区画P3では、挿入長さが短いレーザ光用プローブ手段51Cを用いている。
送光器11及び受光器12は、ユニット台30に所定間隔を持って載置され、煙道の外部にて煙道103の外壁103面に対して平行に移動する。したがって、送光器11は、レーザ経路に応じて、煙道103の外壁103b面に設けられたレーザビーム窓15Aにレーザ光を照射でき、受光器12は、レーザ経路に応じて、レーザビーム窓15Bを通過したレーザ光を受光できる。
ユニット台30やガイドレール31は、制御ケーブル32、33で結ばれた制御装置20によって制御される。制御装置20によってガイドレール31に設けられたユニット台30が移動されることにより、送光器11からレーザビーム窓15Aを介して照射されたレーザ光70が入射送光筒70を通過する。コーナ反射部55で反射した後、計測領域LでNOxを含む排ガス102を通過した反射レーザ光71は、レーザビーム窓15Bを通過して、受光器12によって受光される。
図15に示すように、本実施例のガス成分濃度計測装置では、脱硝装置105の煙道103内のガス流れ方向(Z方向)に沿って、計測場に挿入される挿入長さの異なる複数のレーザ光用プローブ手段51A、51B、51Cを、上流部、中間部、下流部に配置すると共に、壁面103bの壁方向(X方向)に沿って、これらが複数列(I、II・・・)配置されており、空間部の複数点のNOx濃度を計測するようにしている。
チャンネルセレクタ19a、19bを選択することで順次入射送光筒56−1、56−2、56−3にレーザ光70を送り、反射した反射レーザ光71を受光器12で順次受光するようにしている。
図18は、実施例3に係る脱硝装置に設置するガス成分濃度計測装置のプローブ手段の分解構成を示す概略図である。
実施例1乃至4のガス成分濃度計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図16に示すように、ガス成分濃度計測装置は、計測対象ガスが存在する計測場の外部からレーザ光を出射させるレーザ送光器11と、前記計測場を通過したレーザ光を受光し、ガス成分の光吸収によるレーザ光の光強度を検出するレーザ受光器(図示せず)と、前記計測場に挿入されるレーザ光用プローブ手段90とを具備し、前記レーザ光用プローブ手段90が、前記レーザ光を入射する入射口と、90度の角度に対向して設置された一対の反射鏡を有し、入射したレーザ光を回帰反射させる回帰反射部と、反射したレーザ光71を出射する出射口とを備えたコーナ反射部55と、前記コーナ反射部55の入射口に連結され、前記レーザ送光器11から出射されたレーザ光70を送光する筒状の入射送光筒56と、前記コーナ反射部55の出射口54に連結され、前記反射したレーザ光71をレーザ受光器12へ送光する筒状の受光送光筒57と、を備えている。
この第1の長孔92a、92b、92cは、その周方向の対向する同一箇所(180度位相がずれた箇所)にも同様な孔が形成され、ガスの流通を可能としている。
この第2の長孔93a、93b、93cは、図17に示すように、その周方向の対向する同一箇所にも形成され、図中上下方向でのガスの流通を可能としている。
12 受光器
15 レーザビーム窓
20 制御装置
50(50A〜50C) ガス成分濃度計測装置
51 レーザ光用プローブ手段
53 反射鏡
55 コーナ反射部
56 入射送光筒
57 受光送光筒
60 パージガス
70 レーザ光
71 反射レーザ光
101 ボイラ
102 燃焼排ガス(排ガス)
103 煙道
104 アンモニア注入装置
105 脱硝装置
106 脱硝触媒
Claims (5)
- 計測対象ガスが存在する計測場の外部からレーザ光を出射させるレーザ送光器と、
前記計測場を通過した前記レーザ光を受光し、受光した前記レーザ光の前記計測対象ガス中のガス成分の光吸収に基づく前記レーザ光の光強度を検出するレーザ受光器と、
前記計測場に挿入される挿入長さの異なる複数のレーザ光用プローブ手段とを具備し、
前記レーザ光用プローブ手段が、
前記レーザ光を入射する入射口と、90度の角度に対向して設置された一対の反射鏡を有し、入射した前記レーザ光を回帰反射させる回帰反射部と、回帰反射した前記レーザ光を出射する出射口とを備えたコーナ反射部と、
前記コーナ反射部の入射口に連結され、前記レーザ送光器から出射されたレーザ光を前記回帰反射部に送光する筒状の入射送光筒と、
前記コーナ反射部の出射口に連結され、回帰反射した前記レーザ光を前記レーザ受光器へ送光する筒状の受光送光筒と、を備え、
前記レーザ送光器と前記レーザ受光器とを、前記計測場の壁面に取り付ける光学系取付フランジと、
前記コーナ反射部を取り付ける反射系取付フランジとを備え、
前記光学系取付フランジに、前記レーザ送光器と前記レーザ受光器とを、前記計測場の外側で固定し、前記光学系取付フランジと前記反射系取付フランジとの間に、前記入射送光筒が取り付けられると共に、
前記光学系取付フランジと前記反射系取付フランジとを支える支持筒を少なくとも1本以上有し、
前記受光送光筒の一部が所定距離区切られ、前記計測場に晒される計測領域を有することを特徴とするガス中のガス成分濃度多点計測装置。 - 計測対象ガスが存在する計測場の外部からレーザ光を出射させるレーザ送光器と、
前記計測場を通過した前記レーザ光を受光し、受光した前記レーザ光の前記計測対象ガス中のガス成分の光吸収に基づく前記レーザ光の光強度を検出するレーザ受光器と、
前記計測場に挿入されるレーザ光用プローブ手段とを具備し、
前記レーザ光用プローブ手段が、
前記レーザ光を入射する入射口と、90度の角度に対向して設置された一対の反射鏡を有し、入射した前記レーザ光を回帰反射させる回帰反射部と、回帰反射した前記レーザ光を出射する出射口とを備えたコーナ反射部と、
前記コーナ反射部の入射口に連結され、前記レーザ送光器から出射されたレーザ光を前記回帰反射部に送光する筒状の入射送光筒と、
前記コーナ反射部の出射口に連結され、回帰反射した前記レーザ光を前記レーザ受光器へ送光する筒状の受光送光筒と、を備え、
前記受光送光筒は、該受光送光筒を回転する回転手段と、
回転する前記受光送光筒の長手方向に沿って全体を覆う固定外枠と、
前記受光送光筒に形成され、その長手方向の一部に所定距離をもって且つ時計方向で長手方向に異なる箇所で複数開口される第1の長孔と、
前記固定外枠に形成され、その長手方向の一部が所定距離をもって複数開口される第2の長孔と、
前記受光送光筒が回転した際、受光送光筒の第1の長孔と、固定外枠の第2の長孔とが一致し、前記計測場に晒される計測領域を形成することを特徴とするガス中のガス成分濃度多点計測装置。 - 請求項1又は2において、
前記入射送光筒及び前記受光送光筒内に、前記計測場の外部からパージガスを導入する第1パージガス導入手段を有することを特徴とするガス中のガス成分濃度多点計測装置。 - 請求項1において、
前記支持筒内に、前記計測場の外部からパージガスを導入する第2パージガス導入手段を有することを特徴とするガス中のガス成分濃度多点計測装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一つにおいて、
前記レーザ送光器と前記レーザ受光器とが、光ファイバを介して接続されていることを特徴とするガス中のガス成分濃度多点計測装置。
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