JPS60257347A - 直入形非分散赤外線ガス分析計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、赤外線を利用してガスの濃度を測定する非分
散赤外線ガス分析針に係り、特にサンプルセルを測定対
象ガス中に位置せしめる直火形非分散赤外線ガス分析計
に関するものである。

従来技術 水素、窒素、酸素のように同一の２原子で１分子を構成
するガスを除き、−酸化炭素（Ｃｏ）。

炭酸ガス（ｃｏ２）、メタン（ＣＨ，）、亜硫酸ガス（
ＳＯ２）、水蒸気（Ｈ２Ｏ）等の殆んど全てのガスは赤
外線に対してそれぞれ固有の吸収波長帯を有する。した
がって、測定対象ガス中に赤外線を通し、赤外線がどの
波長でどの程度吸収されたかを知れば、測定対象ガス中
のガスの成分乃至はその濃度を知ることができる。この
ような原理に基づいて、測定対象ガス中の所定のガスの
濃度を測定するようにしたものが、赤外線ガス分析針で
あり、その際赤外線を単波長毎に分光することなくガス
濃度を測定するようにした分析計が、いわゆる非分散形
と称されるものである。

ところで、このような非分散赤外線ガス分析針では、従
来、試料槽と呼ばれるサンプルセル内にポンプなどによ
って測定対象ガスを吸引し、そのサンプルセル内に吸引
した測定対象ガスに対して赤外線を通過させるようにな
っていたが、近年、測定対象ガス中にサンプルセルを位
置させ、そのサンプルセル内を通過する測定対象ガスに
対して赤外線を通過せしめることが提案されるようにな
ってきた。直火形非分散赤外線ガス分析計と呼ばれるも
のがそれであり、例えば第１２図および第１３図に示す
ようなものが提案されている。

すなわち、第１２図に示す分析計では、測定対象ガスの
流路自体がサンプルセルとされており、赤外線源１０か
ら放射された赤外線が測定対象ガスの流路の管壁１２に
設けられた第一透過窓１４から測定対象ガス内に導かれ
、そしてこの第一透過窓１４と対向して設けられた第二
透過窓１６を経て、赤外線検出器１８で検出されるよう
になっている。なお、２０は赤外線を周期的に遮断して
断続光とするための遮光板であり、２２および２４は、
それぞれ赤外線源１０から放射された赤外線を平行光線
にして管壁１２内に入光させるためのレンズ、および管
壁１２を透過した平行光線を再び一点に集光させるため
のレンズである。また、２６および２８は、それぞれガ
ス封入フィルタおよび光学フィルタである。

また、第１３図に示す分析計では、赤外線源１０から放
射された赤外線をハーフミラ−３０によって導光バイブ
３２内に導き、その導光パイプ３２によって、赤外線を
測定対象ガス中に位置させたサンプルセル３４内に導く
とともに、サンプルセル３４の先端部に設けた凹面鏡３
６で赤外線を反射させ、再びサンプルセル３４および導
光パイプ３２を経て赤外線検出器１日に導くようになっ
′ている。そして、その際、導光パイプ３２の両端部に
設けられた第一および第二レンズ２２．２４によって、
導光パイプ３２内では赤外線が平行光線となるように、
また凹面鏡３６および赤外線検出器１８に対しては赤外
線が一点に収束するようにされている。なお、３８は目
盛校正用の標準ガスをサンプルセル３４内に送入する校
正ガスバイブである。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、従来提案されている上述のような直火形
非分散赤外線ガス分析計では、それぞれ次のような点で
実用的とは言い難かった。すなわち、測定対象ガスの流
路自体をサンプルセルとする前者の分析計では、サンプ
ルセルの容積が大き過ぎるため、目盛校正用の標準ガス
を速やかにサンプルセル内に充満させることができず、
また精度よく校正するためには、標準ガスの送入時に流
路内への測定対象ガスの流入を一時停止しなければなら
なかったのである。

また、後者の分析針では、サンプルセル３４が測定対象
ガスの流路と画定されることから、目盛校正用の標準ガ
スのサンプルセル３４内への充満操作は流路自体をサン
プルセルとする前者の分析針に比べて速く行うことがで
きるが、第一および第二のレンズ２２．２４によって赤
外線を一点に収束するようになっていることから、濃度
を測定するガスによって赤外線の波長が変わると、それ
に応じて赤外線の集光位置が変わるため、その都度、赤
外線の集光位置を調整しなければならないという不都合
があったのである。

問題点を解決するための手段 本発明は、このような事情を背景として為されたもので
あって、その要旨とするところは、測定対象ガス中にサ
ンプルセルを位置せしめ、該サンプルセル内の測定対象
ガス中を通過せしめられた赤外線を、所定の赤外線検出
器にて検出するようにした直入形非分散赤外線ガス分析
計にして、＋ａ）所定の赤外線源から放射された赤外線
を、先端の透過窓を通じて前記サンプルセル内に導く第
一の導光パイプと、（ｂｌ該第−の導光パイプと略平行
に配置され、該サンプルセル内を通過した赤外線を先端
の透過窓から受け入れて、前記赤外線検出器に導く第二
の導光パイプと、（Ｃ１前記第一の導光パイプから前記
サンプルセル内に入光された赤外線を反射せしめて、前
記第二の導光パイプの透過窓に入光せしめる反射器と、
（ｄ＋前記サンプルセル内に目盛校正用の標準ガスを送
入せしめる校正ガスパイプとを、含むことにある。

作用および効果 このようにすれば、第一導光パイプからサンプルセル内
への赤外線の入光１反射器による赤外線の反射およびサ
ンプルセル内から第二の導光パイプへの入光は、赤外線
が平行光線の状態を維持したまま行われる。つまり、測
定に用いる赤外線の波長が変わる都度、すなわち測定の
対象となるガスが変わる都度、レンズの集光距離を調整
しなければならないという、従来必要であった面倒な操
作が不要となったのである。また、本発明では、サンプ
ルセルが測定対象ガスの流路から画定されているため、
目盛校正用の標準ガスのサンプルセル内への充満が速や
かに行なわれ得る利点もあり、これらによって実用性が
著しく向上させられ得たのである。

実施例 以下、本発明をより一層具体的に明らかにするために、
その二、三の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

第１図は本発明に従う一つの直入形非分散赤外線ガス分
析計４０の使用状態を示すものであるが、そこにおいて
４２は分析計４０のハウジングであって、中心線方向の
両端部が密閉された略円筒形状を成しており、その基端
側（第１図の左側）が大径部４４とされ、先端側が小径
部４６とされている。そして、ハウジング４２の小径部
４６の基端部よりの外周面部分に固定されたフランジ４
７において、第１図に示されているように、先端側がボ
イラの排出ガス等の測定対象ガスの流路内に挿入された
姿勢で、測定対象ガスの流路の管壁４９に取り付けられ
ている。

ハウジング４２の大径部４４内には、その中心線方向の
中間部に位置して、中心穴を有する隔壁４８が設けられ
ており、その隔壁４８の中心穴を挟んで対向する位置に
、赤外線放射機構５０と赤外線検出機構５２とが設けら
れている。また、小径部４６内の先端部には、支持部材
５４に支持されて反射器としての直角プリズム５６が取
り付けられており、その手前に隔壁５８によって画定さ
れてサンプルセル６０が形成されている。隔壁５８とプ
リズム５６との間のハウジング４２で囲ま　゛れた部分
が、サンプルセル６０とされているのである。そして、
そのサンプルセル６０と前記赤外線放射機構５０および
赤外線検出機構５２との間に、それぞれ第一および第二
の導光バイブロ２゜６４が共にハウジング４２の中心線
に平行に設けられている。また、ハウジング４２の基端
部の壁を貫き、先端部がサンプルセル６０内に突出した
状態で、ハウジング４２と同心的に校正ガスバイブロ５
が配設されている。

前記赤外線放射機構５０は、ハウジング４２の先端部に
向かってその中心線に平行に赤外線を放射するニクロム
線等の赤外線源６６と、その赤外線源６６と前記第一の
導光バイブロ２との間に設けられて、赤外線源６６から
放射された赤外線を一定の周期、例えば１０〜３０Ｈｚ
程度の周期で遮光する円板状の遮光板６８とから成って
いる。

この遮光板６８は、隔壁４８に固定された電動モータ７
０によって、その中心線まわりに回転されるようになっ
ており、半径方向に形成されたスリット７２を備えてい
る。そして、スリット７２が赤外線源６６と第一の導光
バイブロ２との間に位置するとき、赤外線の第一の導光
バイブロ２への通過を許容し、それ以外のとき、その通
過を阻止するようになっている。このように遮光板６８
によって赤外線が適当な周期で遮光されることにより、
後述の赤外線検出器７６によって赤外線の強度が検出さ
れ得るようになっているのである。

また、赤外線検出機構５２は、隔壁４８に固定された赤
外線強度を測定する赤外線検出器７６と、その前面（先
端側の面）に設けられた光学フィルタ７８と、光学フィ
ルタ７８と第二の導光バイブロ４との間に設けられたガ
ス封入フィルタ８０とから成っている。ガス封入フィル
タ８０は、ハウジング４２の中心線に平行な軸心を有す
る円筒容器状とされており、隔壁によってその内部空間
が第−室８１と第二室８２とに２分され、第−室８１に
窒素等の赤外線を吸収しないガスが封入されるとともに
、第二室８２に濃度を測定しようとするガス、例えば炭
酸ガスの濃度を測定する場合には炭酸ガスが封入されて
いる。そして、隔壁４８に固定された電動モータ８３に
よってその軸心まわりに回転させられて、上記２室が赤
外線検出器７６と第二の導光バイブロ４との間に一定の
周期で交互に位置するようにされている。なお、ガス封
入フィルタ８０の軸心方向の両壁は、共に弗化カルシウ
ム（ＣａＦ２）等の、赤外線の吸収が少−なく、耐熱衝
撃性に強い材料から成る透過窓８４とされている。また
、光学フィルタ７８は、目的とするガスの濃度の測定に
必要な波長の赤外線を透過し、それ以外の波長の赤外線
の通過を阻止する、いわゆるバンドパスフィルタとされ
ている。

一方、前記サンプルセル６０を形成するハウジング４２
の側壁部分には、測定対象ガスの流れの上流側に位置し
て、ガス導入孔８６が形成されているとともに、下流側
に位置して、ガス排出孔８８が形成されており、ガス導
入孔８６からサンプルセル６０内に測定対象ガスが流入
するとともに、サンプルセル６０内に流入した測定対象
ガスがガス排出孔８８から流出せしめられるようになっ
ている。また、サンプルセル６ｏ内には円筒状の多孔質
セラミックスフィルタ９０がガス導入孔８６およびガス
排出孔８８を塞ぐ状態で嵌入されており、測定対象ガス
がこのフィルタ９ｏを通過する際、その測定対象ガス中
に存在する煤塵等の微粒子が除去され、サンプルセル６
ｏ内に極力侵入しないようにされている。

また、第一および第二の導光バイブロ２．６４は、パイ
プ本体９２の基端開口部と先端開口部とがそれぞれ前記
ガス封入フィルタ８ｏの透過窓８４と同様の材料から成
る平板状の透過窓９４および９６で塞がれた構造とされ
ており、一方の透過窓から赤外線がパイプ本体９２の中
心線に平行に入光された場合、その赤外線の方向を変え
ることなく他方の透過窓を介して反対側へ導くようにな
っている。そして、それぞれ、その基端部が前述のよう
に赤外線源６６および赤外線検出器７６に対向させられ
ているとともに、先端部が隔壁５８を貫通してサンプル
セル６ｏ内に突出させられている。つまり、第一の導光
バイブロ２は赤外線源６６から放射された赤外線をサン
プルセル６ｏに導くようになっているのであり、第二の
導光バイブロ４はプリズム５６で反射され、サンプルセ
ル６０を再度通過した赤外線を赤外線検出器７６に導く
ようになっているのである。

そして、本実施例では、それら導光バイブロ２および６
４の基端部に、それぞれハウジング４２の側壁を貫通し
て保護ガス導入パイプ９８が接続されて、それらガス導
入パイプ９８を通じて、導光バイブロ２および６４内に
、測定の目的とするガスに固有の赤外線吸収波長域と赤
外線の吸収波長域がオーハラツブしない、若しくは既知
の成分の空気等の保護ガスが圧送されるようになってい
る。また、第２図および第３図に示されているように、
導光バイブロ２および６４の先端側の透過窓９６に、そ
の外周に沿ってガス放出口としての円弧状の切欠部１０
０が複数形成され、さらにパイプ本体９２の先端部が半
径方向内側に折り曲げられた折曲部１０２とされて、前
記圧送された保護ガスがその切欠部１００から放出され
、折曲部１０２で方向を変えられて透過窓９６の外面に
吹き付けられるようになっている。

なお、このように透過窓９６の外面に保護ガスを常時吹
き付けて、測定対象ガス中の煤塵等が透過窓９６に付着
することを阻止するようにすれば、それらの透過窓９６
への付着によって分析計４０の測定精度が低下すること
を防止でき、ガスの濃度測定を高い精度で長期間継続し
て行うことが可能となる。

因みに、目的とするガスの濃度を一定（ここでは０．８
％濃度）とした場合の本実施例の分析計４”　０による
ガス濃度指示値の経時変化の様子、および透過窓９６の
外面が保護ガスで保護されていない分析針での同様の経
時変化の様子を、それぞれ第４図に実線および点線で示
すが、それらの比較から、本実施例のようにサンプルセ
ルに臨む透過窓の外面を常時保護ガスで保護す慝ことに
より、精度の高いガスの濃度測定を長期間安定してでき
ることが明らかに認識できる。なお、第４図において、
符号ＡおよびＢで示される指示値は、それぞれサンプル
セル内に測定対象ガスおよび目盛校正のための標準ガス
が充満されているときの指示値を表している。

また、前記直角プリズム５６は、上記導光バイブロ２お
よび６４の透過窓９４および９６と同様の材料から成り
、第５図からも明らかなように、導光バイブロ２および
６４の中心線を含む面と直交し、且つハウジング４２の
中心線を含む面に対して対称に設けられており、第一の
導光バイブロ２からハウジング４２の中心線に平行にサ
ンプルセル６０内に入光された赤外線を、第１図に一点
鎖線で示すように、同じくハウジング４２の中心線に平
行に反射し、第二の導光バイブロ４に入光させるように
なっている。

つまり、本実施例の分析計４０では、赤外線源６６から
放射された赤外線はレンズ等の集光装置を経ることなく
サンプルセル６０内を通過し、赤外線検出器７６に導か
れて、そこで強度が検出されるようになっているのであ
り、したがって従来のように赤外線の波長が変わる毎に
集光距離を調整する必要がないのである。

また、前記校正ガスバイブロ５は、測定の目的とするガ
スに固有の赤外線吸収波長域と赤外線の吸収波長域がオ
ーバラップしない目盛校正用の標準ガスをサンプルセル
６０内に送入するものであって、分析計４０は、この校
正ガスバイブロ５によって標準ガスがサンプルセル６０
内に充満させられたとき、ガス濃度の指示値を校正する
一方の基準値を得ることができるようにされている。す
なわち、サンプルセル６０内に標準ガスが充満させられ
た場合には、サンプルセル６０内を通過する赤外線はほ
とんど吸収されないため、この状態のときに前記ガス封
入フィルタ８０の第−室８１を通過した赤外線の強度を
検出すれば、測定の目的とするガスが測定対象ガス中に
含まれない場合に対応する赤外線の検出強度を得ること
ができるのである。なお、指示値を校正するためのもう
一方の基準値は、ガス封入フィルタ８０の第二室８２を
通過した赤外線の強度を測定することによって得られ、
測定対象ガス中の測定の目的とするガ１ス濃度は、サン
プルセル６０内に測定対象ガスが充満している状態のと
きにガス封入フィルタ８０の第−室８１を通過した赤外
線の強度を、それらの基準値と比較することによって得
られるようになっている。

そして、本実施例では、上述のような校正ガスバイブロ
５の先端部に、第６図に示されているように、側壁部に
複数のガス拡散孔１０４を備えたガス拡散器１０６が着
脱可能に蝦着されて、標準ガスがサンプルセル６０内に
効果的に送入され、標準ガスのサンプルセル６０内への
充満操作が速やかに、且つ少量の標準ガスで行なわれ得
るようになっている。

因みに、直径３ｍｍの校正ガスバイブロ５に、それぞれ
直径２ｍｍのガス拡散孔１０４をガス導入孔８６側に片
寄せて、１０個形成したガス拡散器１０６を取り付けた
場合と、２個形成したガス拡散器１０６を取り付けた場
合と、ガス拡散器１０４を取り付けなかった場合とにつ
いて、共通のサンプルセル６０内に標準ガスを送入した
場合の標準ガス流量とその充満速度（赤外線検出器７６
で検出した赤外線強度Φ指示値がサンプルセル６０内に
標準ガスが１００％充満したときの赤外線強度の指示値
の９０％に達するまでの立ち上がり応答時間）との関係
をそれぞれ実線、一点鎖線および点線で第７図に示し、
また、標準ガス流量が１および４１７分の場合における
９０％および１００％応答時間、並びに標準ガスがサン
プルセル６０内に１００％充満するまでに消費される標
準ガス消費量を、上記３条件の場合について下記第１表
に示す。また、第８図には、上記ガスサンプルセル６０
内に、目的とするガスを０．８％含む測定対象ガスと標
準ガスとを交互に２７！／分の流量で流入した場合の赤
外線検出器７６の指示値の経時変化を、１０個のガス拡
散孔１０４を備えたガス拡散器１０６を用いた場合とガ
ス拡散器１０６を用いなかった場合についてそれぞれ実
線および点線で示す。

第　１　表 それら第７図、第８図および第１表から明らかなように
、芳ス拡散器１０４を設ければ、標準ガスのサンプルセ
ル６０内への充満速度が速くなり、かつその消費量が少
なくて済むのである。

また、本実施例のガス拡散器１０６は、ガス導入孔８６
に面した側により多くのガス拡散孔１０４を備え、標準
ガスが測定対象ガスの流入方向へより多量に送出され得
るようになっており、これによって、標準ガスが、サン
プルセル６０内により少ない消費量で、より速やかに充
満させられ得るようになっている。なお、このような効
果は、ガス拡散器１０６のガス拡散孔１０４が一様に分
布している場合でも、校正ガスバイブロ５をガス導入孔
８６側に偏心させて設けることによって、得ることがで
きる。

以上説明したように、本実施例の赤外線ガス分析計４０
によれば、集光装置を使用することなくサンプルセル６
０を通過した赤外線の強度を検出するようになっている
ので、測定の目的とするガスが変わる都度、集光装置の
集光距離を調節する必要がなく、またサンプルセル６０
が測定対象ガスの流路から画定された構成が採用されて
いるので、目盛校正用の標準ガスのサンプルセル６０内
への充満操作を速やかに行うことができるのであしかも
、本実施例の赤外線ガス分析計４０では、前述のように
、導光バイブロ２および６４の透過窓９６の外面に煤塵
等が付着することが防止されて、精度の高い測定が長時
間の継続して可能とされている利点もあるのであり、ま
た校正ガスバイブロ５の先端部にガス拡散器１０６が設
けられ、さらにそのガス拡散器１０６から、測定対象ガ
スの流入方向に対して標準ガスがより多量に放出される
ようにされて、サンプルセル６０内に標準ガスをより少
い消費量でより速く充満することが可能とされている利
点もあるのである。

次に、本発明の他の実施例を第９図に基づいて説明する
。なお、前記実施例と同様の作用を成すものについては
同じ符号を付し、また同図に示されていない部分は前記
実施例と同様の構成とされているものとする。

すなわち、第９図の赤外線ガス分析計４０では、サンプ
ルセル６０内に、前記実施例の多孔質セラミックスフィ
ルタ９０の代わりに、円筒状のし−タ１１０が設けられ
、このヒータ１１０によって、サンプルセル６０内が一
定の温度に保たれるようになっている。また、サンプル
セル６ｏ内に温度センサ１１２が設けられ、サンプルセ
ル６ｏ内の温度を測定し得るようになっている。なお、
１１４はヒータ１１０のリードである。

一方、第１０図に示されるように、直角プリズム５６を
支持する支持部材５４をハウジング４２の中心線方向に
貫いて一対の貫通穴１１６が形成されており、これら貫
通穴１１６の外側開口部を覆う状態で、多孔質セラミッ
クスフィルタ１１８が支持部材５４の先端側面に固定さ
れている。′また、ハウジング４２の測定対象ガスの下
流側の先端部に、フィルタ１１８よりも前方に延び出し
たのち測定対象ガスの上流側に折り曲げられたガス導入
板１２０が形成され、測定対象ガスふ前記貫通孔１１６
に導かれるようになっている。つまり、測定対象ガスは
支持部材５４に形成された貫通孔１１６を通ってサンプ
ルセル６ｏ内に導入されるようになっているのである。

なお、サンプルセル６０内からの測定対象ガスの排出は
、測定対象ガスの下流側に設げられた排出孔１２１を通
じて行われる。

このような構成の赤外線ガス分析計４０でも、前記実施
例と同様の効果が得られるのである。なお、本実施例の
分析計４０では、温度センサ１１２によって得られた温
度信号によって２．ヒータ１１０の作動が制御されて、
サンプルセル６ｏ内の温度が測定対象ガスの温度変化に
拘わらず一定となるようにされており、これによって高
精度の指示値が安定して得られるようになっている。

因みに、共通の測定対象ガス（炭酸ガス）に対してサン
プルセル６０内の温度を２５０℃で一定に保った場合の
濃度指示値と、測定対象ガスの温度に応じてサンプルセ
ル６ｏ内の温度が変化する場合の濃度指示値とを、第１
１図にそれぞれ実線および点線で示すが、その図から、
サンプルセル６０内の温度を一定に保つことによって、
濃度指示値が安定して得られることが容易に認識される
のである。

以上、本発明の幾つかの実施例を説明したが、これらは
文字通りの例示であって、本発明はこれら実施例に限定
して解釈されるべきものではない。

例えば、反射器としては直角プリズム５６以外の反射器
であってもよく、また第一および第二の導光バイブロ２
および６４も厳密に平行に設けられていな（でも、実質
的に平行な状態となるように設けられていればよいので
ある。

また、導光バイブロ２および６４の先端の透過窓９６の
ガス放出口は、透過窓９６の外周部に円弧状に形成した
スリットでもよく、また丸孔でもよい。勿論、そのよう
なガス放出口を形成しなくても本発明の目的は達成され
る。

また、前記実施例では、校正ガスバイブロ５の先端にガ
ス拡散器１０６が設けられて、標準ガスのサンプルセル
６０内への充満が速やかに行われるようになっていたが
、そのようなガス拡散器１０６は必ずしも設ける必要は
ない。なお、ガス拡散器１０６を設けない場合でも、校
正ガスバイブロ５をサンプルセル６０内の中心部に開口
できることから、標準ガスの充満操作は従来よりも少な
い消費量で速く行うことが可能となる。

その他、−々列挙はしないが、本発明がその趣旨を逸脱
しない範囲内で種々なる変形、改良等を施した態様で実
施し得ることは言うまでもないところである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を使用状態とともに示す正
面断面図であり、第２図は第１図における導光パイプの
先端部を拡大して示す断面図であり、第３図は第２図の
■−■断面図であり、第４図は導光パイプの先端の透過
窓が保護ガスで保護されている場合と保護されていない
場合のガス濃度指示値の経時変化の様子を比較して示す
グラフであり、第５図は第１図のＶ−Ｖ断面図であり、
第６図は第１図におけるガス拡散、器を拡大して示す図
であり、第７図はダス拡散器を用いた場合と用いない場
合の指示値が最終指示値の９０％に達するまでの時間と
標準ガス流量との関係を比較して説明するためのグラフ
であり、第８図は同じ（標準ガス流量が一定の場合にお
ける経過時間に対する指示値の変化の様子を比較して示
すグラフである。第９図は本発明の他の実施例の要部を
示すを一定に維持した場合とサンプルセル内の温度が測
定対象ガスの温度変化によって変化する場合との指示値
の変化の様子を比較して説明するためのグラフである。 第１２図および第１３図は、それぞれ従来の直入形弁分
散赤外線ガス分析計を説明するための略図である。 ４０：直入形非分散ガス分析計 ４２：ハウジング　４９：ガス流路の管壁５０：赤外線
放射機構　５２：赤外線検出機構５６：直角プリズム（
反射器） ６０：サンプルセル ６２：第一の導光バイブ ロ４：第二の導光バイブ ロ５：校正ガスパイプ　６石：赤外線源７６；赤外線検
出器　７８：光学フィルタ８０：ガス封入フィルタ ８６：ガス導入孔　８８：ガス排出孔 ９０、ｔｔｓ：多孔質セラミックスフィルタ９４．９６
：透過窓 ９８：保護ガス導入パイプ １００：切欠部（ガス放出口） １０２：折曲部　１ｏ４：ガス拡散孔 １０６：ガス拡散器　１１ｏ：ヒータ 出願人　日本碍子株式会社　□ 第７図 第８図 経過時間（秒） 第１０図 ムフ ７ンアル万ス温及　（０Ｃ）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定対象ガス中にサンプルセルを位置せしめ、該
   サンプルセル内の測定対象ガス中を通過せしめられた赤
   外線を、所定の赤外線検出器にて検出するようにした直
   火形非分散赤外線ガス分析計にして、 所定の赤外線源から放射された赤外線を、先端の透過窓
   を通じて前記サンプルセル内に導く第一の導光パイプと
   、 該第−の導光パイプと略平行に配置され、該サンプルセ
   ル内を通過した赤外線を先端の透過窓から受け入れて、
   前記赤外線検出器に導く第二の導光パイプと、 前記第一の導光パイプから前記サンプルセル内に入光さ
   れた赤外線を反射せしめて、前記第二の導光パイプの透
   過窓に入光せしめる反射器と、 前記サンプルセル内に目盛校正用の標準ガスを送入せし
   める校正ガスパイプとを、 含むことを特徴とする直火形非分散赤外線ガス分析針。
2. （２）前記校正ガスパイプが、前記サンプルセル内に位
   置する部位に、該サンプルセル内に流入すする測定対象
   ガス流入方向ト対向するように適数個の放出穴を少なく
   とも有し、該放出穴を通じて標準ガスが該測定対象ガス
   流入方向とは逆方向により多量に放出せしめられるよう
   にした特許請求の範囲第１項記載の赤外線ガス分析針。
3. （３）前記第−及び第二の導光パイプが、その先端の透
   過窓配設部位にガス放出口を有し、該第−及び第二の導
   光パイプ内に供給される所定圧力の保護ガスを、該放出
   口を通して放出せしめることにより、該透過窓外面を保
   護するようにした特許請求の範囲第１項または第２項記
   載の赤外線ガス分析計。
4. （４）前記サンプルセル内に加熱手段が設けられ、該加
   熱手段にて該サンプルセル内の測定対象ガスが所定温度
   に加熱せしめられ得るようにした特許請求の範囲第１項
   乃至第３項の何れかに記載の赤外線ガス分析計。