JP3126759B2 - 光学式分析装置 - Google Patents
光学式分析装置Info
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- JP3126759B2 JP3126759B2 JP23104791A JP23104791A JP3126759B2 JP 3126759 B2 JP3126759 B2 JP 3126759B2 JP 23104791 A JP23104791 A JP 23104791A JP 23104791 A JP23104791 A JP 23104791A JP 3126759 B2 JP3126759 B2 JP 3126759B2
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- light source
- light
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式分析装置に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ＣＯ、ＣＯ2 等の濃度を測定
する方法の一例として、光学式分析装置が知られてい
る。この光学式分析装置は、その一例を図４に示すよう
に、紫外線、可視光または赤外線を発する光源部５１
と、被測定ガスを導入する透明なセル５２と、Ｎ2 およ
びＣＯガス相関フィルタ５３、５４と、セル５２および
相関フィルタ５３、５４を通過した光をセクタモータ５
９に直結されたセクタ羽根５８により断続的に切り、こ
の光を受光する検出器５５、５６と、検出器５５と５６
との出力を比較演算出力する比較演算器５７とから少な
くとも構成されている。
する方法の一例として、光学式分析装置が知られてい
る。この光学式分析装置は、その一例を図４に示すよう
に、紫外線、可視光または赤外線を発する光源部５１
と、被測定ガスを導入する透明なセル５２と、Ｎ2 およ
びＣＯガス相関フィルタ５３、５４と、セル５２および
相関フィルタ５３、５４を通過した光をセクタモータ５
９に直結されたセクタ羽根５８により断続的に切り、こ
の光を受光する検出器５５、５６と、検出器５５と５６
との出力を比較演算出力する比較演算器５７とから少な
くとも構成されている。
【０００３】上述した従来の光学式分析装置では、Ｃ
Ｏ、ＣＯ2 等の異なった原子からなる分子がそれぞれ特
有の波長の光を吸収することを利用する。今、この吸収
波長において入射の光強度をＩ0 、透過の光強度をＩと
したとき、以下のLambert-Beerの法則が成立する。 Ｉ＝Ｉ0 ε-kcl ここで、ｋ：分子の光吸収係数、ｃ：セル中の分子濃
度、ｌ：セル長さである。すなわち、セル長さｌが一定
の場合、切を透過した光はセル中に存在する分子濃度に
応じて減少するので、入射光と透過光とを検出し、比較
演算することにより、セル内の被測定ガスの分子濃度を
知ることができる。
Ｏ、ＣＯ2 等の異なった原子からなる分子がそれぞれ特
有の波長の光を吸収することを利用する。今、この吸収
波長において入射の光強度をＩ0 、透過の光強度をＩと
したとき、以下のLambert-Beerの法則が成立する。 Ｉ＝Ｉ0 ε-kcl ここで、ｋ：分子の光吸収係数、ｃ：セル中の分子濃
度、ｌ：セル長さである。すなわち、セル長さｌが一定
の場合、切を透過した光はセル中に存在する分子濃度に
応じて減少するので、入射光と透過光とを検出し、比較
演算することにより、セル内の被測定ガスの分子濃度を
知ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光学式分析装置では、図５にその詳細を示すよ
うに、光源部５１はコイル状に巻いたヒータ６１に反射
ミラー６２に絶縁碍管６３を介して固定したリード線６
４をスポット溶接して形成されており、リード線６４な
どの金属表面への酸化被膜の付き具合で、光源としての
放射係数が長時間にわたり少しずつ変化し、これが測定
値のドリフトの原因となる問題があった。また、ヒータ
６１の表面、光学反射ミラー６２の表面に吸着されてい
るガス成分が徐々に放出されることにより、このガス成
分が干渉ガス成分として光源部５１の内部に蓄積され、
やはり測定値の誤差の要因となる問題もあった。
た従来の光学式分析装置では、図５にその詳細を示すよ
うに、光源部５１はコイル状に巻いたヒータ６１に反射
ミラー６２に絶縁碍管６３を介して固定したリード線６
４をスポット溶接して形成されており、リード線６４な
どの金属表面への酸化被膜の付き具合で、光源としての
放射係数が長時間にわたり少しずつ変化し、これが測定
値のドリフトの原因となる問題があった。また、ヒータ
６１の表面、光学反射ミラー６２の表面に吸着されてい
るガス成分が徐々に放出されることにより、このガス成
分が干渉ガス成分として光源部５１の内部に蓄積され、
やはり測定値の誤差の要因となる問題もあった。
【０００５】本発明の目的は上述した課題を解消して、
安定した測定値を長時間にわたって得ることができ、さ
らに固体電気化学セルを用いたガス分析を同時に実施す
ることのできる光学式分析装置を提供しようとするもの
である。
安定した測定値を長時間にわたって得ることができ、さ
らに固体電気化学セルを用いたガス分析を同時に実施す
ることのできる光学式分析装置を提供しようとするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式分析装置
は、紫外線、可視光または赤外線を発する光源部と、被
測定ガスを通過した該光源部からの出射光を受光する検
出部とを少なくとも有する光学式分析装置において、前
記光源部として有底円筒形状の固体電気化学セルを用
い、固体電気化学セルの外側にヒータを巻き、固体電気
化学セルの内側を光源として使用し、被測定ガスが光源
部を構成する固体電気化学セルの内側のみにさらされて
いることを特徴とするものである。
は、紫外線、可視光または赤外線を発する光源部と、被
測定ガスを通過した該光源部からの出射光を受光する検
出部とを少なくとも有する光学式分析装置において、前
記光源部として有底円筒形状の固体電気化学セルを用
い、固体電気化学セルの外側にヒータを巻き、固体電気
化学セルの内側を光源として使用し、被測定ガスが光源
部を構成する固体電気化学セルの内側のみにさらされて
いることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】上述した構成において、光学式分析装置の光源
部を固体化学セルで構成しているため、光学式分析装置
の光源としての放射率を長時間安定にすることができる
とともに、光源部を構成する固体化学セルの加熱は常時
一定の値となる様温度制御がなされているとともに、ヒ
ータから発生する赤外線を直接の光源としないため、安
定した光源としての熱エネルギーを連続して放射するこ
とができる。
部を固体化学セルで構成しているため、光学式分析装置
の光源としての放射率を長時間安定にすることができる
とともに、光源部を構成する固体化学セルの加熱は常時
一定の値となる様温度制御がなされているとともに、ヒ
ータから発生する赤外線を直接の光源としないため、安
定した光源としての熱エネルギーを連続して放射するこ
とができる。
【０００８】また、固体電気化学セルを光源に用い、固
体電気化学セルを構成するジルコニアセルだけが直接被
測定ガスと接触する構造としたため、従来技術のヒータ
を用いた場合の光源部内部の光学反射ミラー表面やヒー
タ表面に吸着されていたガス成分は被測定ガスと置換さ
れ、前記吸着していたガス成分がこもる不具合もなくな
る。さらに、光学式分析装置と固体電気化学セルを一体
に構成しているため、固体電気化学セルを利用してＯ2
濃度が測定できる。このため、測定装置として夫々独立
した二つの装置（Ｏ2 濃度測定装置と光学式分析装置）
が一つの装置とすることもでき、装置の小型化も達成す
ることができる。
体電気化学セルを構成するジルコニアセルだけが直接被
測定ガスと接触する構造としたため、従来技術のヒータ
を用いた場合の光源部内部の光学反射ミラー表面やヒー
タ表面に吸着されていたガス成分は被測定ガスと置換さ
れ、前記吸着していたガス成分がこもる不具合もなくな
る。さらに、光学式分析装置と固体電気化学セルを一体
に構成しているため、固体電気化学セルを利用してＯ2
濃度が測定できる。このため、測定装置として夫々独立
した二つの装置（Ｏ2 濃度測定装置と光学式分析装置）
が一つの装置とすることもでき、装置の小型化も達成す
ることができる。
【０００９】
【実施例】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の光学式分析装
置の一例の構成を示す図である。本実施例では、光学式
分析装置を、フランジ部１ａを有する光源部１と、フラ
ンジ部１１ａ、１１ｂを有するセル部１１と、フランジ
部２１ａを有する検出部２１とを、フランジ部１ａとフ
ランジ部１１ａとを接続するとともに、フランジ部１１
ｂとフランジ部２１ａとを接続することにより、一体に
構成している。この構成により、光源部１を出射した光
はセル部１１内の被測定ガスを通過し、通過光を検出部
２１で受光してセル部１１内の被測定ガスの濃度を測定
している。
置の一例の構成を示す図である。本実施例では、光学式
分析装置を、フランジ部１ａを有する光源部１と、フラ
ンジ部１１ａ、１１ｂを有するセル部１１と、フランジ
部２１ａを有する検出部２１とを、フランジ部１ａとフ
ランジ部１１ａとを接続するとともに、フランジ部１１
ｂとフランジ部２１ａとを接続することにより、一体に
構成している。この構成により、光源部１を出射した光
はセル部１１内の被測定ガスを通過し、通過光を検出部
２１で受光してセル部１１内の被測定ガスの濃度を測定
している。
【００１０】本実施例の光源部１の構成は、従来から公
知のジルコニア式酸素センサと同一の構成をとってい
る。すなわち、ここでいう固体電気化学セルは、ジルコ
ニアセルの外側にヒータを巻き、ジルコニアセルの内側
を光源として使用するもの、ジルコニアセルの内側にヒ
ータを挿入し、ジルコニアセルの外側を光源として使用
するもの、アルミナシートにヒータを印刷しヒータを積
層して、これを板状のジルコニアセンサに積層したもの
を使用することができる。すなわち、フランジ部１ａと
一体となったカバー１ｂ内に、有底円筒形状のジルコニ
ア製の固体電気化学セル２を、その内筒部がセル部１１
と面するように配置し、図示しない測定電極をセル部１
１内の被測定ガスが直接接触する内筒部に設けるととも
に、同じく図示しない基準電極を外筒部に設けている。
また、加熱用のヒータ３は直接被測定ガスと接触しない
ようにして、また、温度測定用の熱電対４、温度を一定
に保つための断熱材５を電気化学的セル２の周囲に配置
している。さらに、上述した各部材と外部の装置とは、
コネクタ６を介して外部との電気的接続ができるよう構
成している。
知のジルコニア式酸素センサと同一の構成をとってい
る。すなわち、ここでいう固体電気化学セルは、ジルコ
ニアセルの外側にヒータを巻き、ジルコニアセルの内側
を光源として使用するもの、ジルコニアセルの内側にヒ
ータを挿入し、ジルコニアセルの外側を光源として使用
するもの、アルミナシートにヒータを印刷しヒータを積
層して、これを板状のジルコニアセンサに積層したもの
を使用することができる。すなわち、フランジ部１ａと
一体となったカバー１ｂ内に、有底円筒形状のジルコニ
ア製の固体電気化学セル２を、その内筒部がセル部１１
と面するように配置し、図示しない測定電極をセル部１
１内の被測定ガスが直接接触する内筒部に設けるととも
に、同じく図示しない基準電極を外筒部に設けている。
また、加熱用のヒータ３は直接被測定ガスと接触しない
ようにして、また、温度測定用の熱電対４、温度を一定
に保つための断熱材５を電気化学的セル２の周囲に配置
している。さらに、上述した各部材と外部の装置とは、
コネクタ６を介して外部との電気的接続ができるよう構
成している。
【００１１】本実施例のセル部１１は、フランジ部１１
ａ、１１ｂと一体となったパイプ１１ｃとから構成し、
このパイプ１１ｃに、被測定ガスを供給するためのガス
入口１２を設けるとともに、被測定ガスを排出するため
のガス出口１３を、設けている。セル部１１は被測定ガ
スを通過できればどの様な形状のものでも良いが、少な
くとも光源部１からの光が遮られずに直接検出部２１に
入射するよう構成する必要があり、本実施例のようにセ
ル部１１のパイプ１１ｃを直線的に構成することが好ま
しい。
ａ、１１ｂと一体となったパイプ１１ｃとから構成し、
このパイプ１１ｃに、被測定ガスを供給するためのガス
入口１２を設けるとともに、被測定ガスを排出するため
のガス出口１３を、設けている。セル部１１は被測定ガ
スを通過できればどの様な形状のものでも良いが、少な
くとも光源部１からの光が遮られずに直接検出部２１に
入射するよう構成する必要があり、本実施例のようにセ
ル部１１のパイプ１１ｃを直線的に構成することが好ま
しい。
【００１２】本実施例の検出部２１は、ガス分配部２
２、ガスフィルタ部２３およびガス検出部２４から構成
されている。ガス分配部２２は、フランジ部２１ａ、２
１ｂと一体のテーパ形状のパイプ２５内に、４つの光通
路２６ａ〜２６ｄを設け、セル部１１に接する面にＣａ
Ｆ2 製光学まど２７を設けるとともに、ガスフィルタ部
２３に接する４つの光通路２６ａ〜２６ｄの出口にそれ
ぞれ同じくＣａＦ2 製光学まど２８ａ〜２８ｄを設けて
構成している。
２、ガスフィルタ部２３およびガス検出部２４から構成
されている。ガス分配部２２は、フランジ部２１ａ、２
１ｂと一体のテーパ形状のパイプ２５内に、４つの光通
路２６ａ〜２６ｄを設け、セル部１１に接する面にＣａ
Ｆ2 製光学まど２７を設けるとともに、ガスフィルタ部
２３に接する４つの光通路２６ａ〜２６ｄの出口にそれ
ぞれ同じくＣａＦ2 製光学まど２８ａ〜２８ｄを設けて
構成している。
【００１３】ガスフィルタ部２３は、フランジ部２１
ｃ、２１ｄと一体のパイプ２９内に、図１（ｂ）に示す
ようにガス分配部２２内の光通路に対応する光通路２６
ａ〜２６ｄを設け、ガス分配部２２に接する４つの光通
路２６ａ〜２６ｄの入口のそれぞれにＣａＦ2 製光学ま
ど３０ａ〜３０ｄを設けるとともに、光通路２６ａ〜２
６ｄの出口のそれぞれにバンドパスフィルタ３１ａ〜３
１ｄを設けて構成している。また、各光通路２６ａ〜２
６ｄ内には、被測定ガスの種類に応じて、例えばそれぞ
れＮ2 ガス、ＣＯガス、Ｎ2 ガス、ＳＯ2 ガスを封入し
ている。
ｃ、２１ｄと一体のパイプ２９内に、図１（ｂ）に示す
ようにガス分配部２２内の光通路に対応する光通路２６
ａ〜２６ｄを設け、ガス分配部２２に接する４つの光通
路２６ａ〜２６ｄの入口のそれぞれにＣａＦ2 製光学ま
ど３０ａ〜３０ｄを設けるとともに、光通路２６ａ〜２
６ｄの出口のそれぞれにバンドパスフィルタ３１ａ〜３
１ｄを設けて構成している。また、各光通路２６ａ〜２
６ｄ内には、被測定ガスの種類に応じて、例えばそれぞ
れＮ2 ガス、ＣＯガス、Ｎ2 ガス、ＳＯ2 ガスを封入し
ている。
【００１４】ガス検出部２４は、フランジ部２１ｅと一
体のカバー３２内に、ガスフィルタ部２３の各光通路２
６ａ〜２６ｄから出射する光を受光できる位置に４つの
検出器３３ａ〜３３ｄを設けて構成している。検出器３
３ａ〜３３ｄはカバー３２に設けた基板３４上に配置す
るとともに、コネクタ３５を介して外部の装置と電気的
接続ができるよう構成している。
体のカバー３２内に、ガスフィルタ部２３の各光通路２
６ａ〜２６ｄから出射する光を受光できる位置に４つの
検出器３３ａ〜３３ｄを設けて構成している。検出器３
３ａ〜３３ｄはカバー３２に設けた基板３４上に配置す
るとともに、コネクタ３５を介して外部の装置と電気的
接続ができるよう構成している。
【００１５】上述した構成の光学式分析装置において
は、５００℃以上に赤熱化したジルコニアからなる固体
電気化学的セル２から発せられる光を利用して被測定ガ
スの濃度を測定している。すなわち、セル部１１内の被
測定ガスを通過した光をガスフィルタ部２３に導入し、
Ｎ2 ガスおよびＣＯガスを通過した光を受光した検出器
の出力の差からＣＯガス濃度を測定するとともに、Ｎ2
ガスおよびＳＯ2 ガスを通過した光を受光した検出部の
出力の差からＳＯ2 ガス濃度を測定している。さらに、
Ｏ2 濃度を固体電気化学的セルを使用して測定してい
る。
は、５００℃以上に赤熱化したジルコニアからなる固体
電気化学的セル２から発せられる光を利用して被測定ガ
スの濃度を測定している。すなわち、セル部１１内の被
測定ガスを通過した光をガスフィルタ部２３に導入し、
Ｎ2 ガスおよびＣＯガスを通過した光を受光した検出器
の出力の差からＣＯガス濃度を測定するとともに、Ｎ2
ガスおよびＳＯ2 ガスを通過した光を受光した検出部の
出力の差からＳＯ2 ガス濃度を測定している。さらに、
Ｏ2 濃度を固体電気化学的セルを使用して測定してい
る。
【００１６】図２（ａ）、（ｂ）は本発明の光学式分析
装置の他の例の構成を示す図である。本実施例では、図
１と同じ構成の光源部１と検出部２１とを、被測定ガス
が通過する管路４１を挟んだ位置に一体に設けるととも
に、さらに管路４１の光源部１および検出部２１と対応
する位置にダスト検出部４２を設けている。光源部１の
固体電気化学セル２の内筒および検出部２１のＣａＦ2
製光学まど２７とが、管路４１内の被測定ガスに直接接
するよう構成している。上述した構成の光学式分析装置
では、ＣＯ等のガス濃度を光学式分析装置で測定し、Ｏ
2 ガス濃度を固体電気化学セルを使用して測定できると
ともに、管路４１内を通過する被測定ガス中のダスト量
をも測定することができる。
装置の他の例の構成を示す図である。本実施例では、図
１と同じ構成の光源部１と検出部２１とを、被測定ガス
が通過する管路４１を挟んだ位置に一体に設けるととも
に、さらに管路４１の光源部１および検出部２１と対応
する位置にダスト検出部４２を設けている。光源部１の
固体電気化学セル２の内筒および検出部２１のＣａＦ2
製光学まど２７とが、管路４１内の被測定ガスに直接接
するよう構成している。上述した構成の光学式分析装置
では、ＣＯ等のガス濃度を光学式分析装置で測定し、Ｏ
2 ガス濃度を固体電気化学セルを使用して測定できると
ともに、管路４１内を通過する被測定ガス中のダスト量
をも測定することができる。
【００１７】本実施例のダスト検出部４２は、フランジ
部４２ａと一体のカバー４３内に設けた基板４４上に光
学式のダスト検出器４５を設け、ＣａＦ2製光学まど４
６を介して管路４１内の被測定ガスと接する位置に設置
している。また、ダスト検出器４５と外部の装置との電
気的接続は、コネクタ４７を介して実施される。この光
学式のダスト検出器４５では、光源部１から発せられる
光で被測定ガス中のダストを照らすことにより、被測定
ガス中のダスト量を光散乱方式にて測定できる。
部４２ａと一体のカバー４３内に設けた基板４４上に光
学式のダスト検出器４５を設け、ＣａＦ2製光学まど４
６を介して管路４１内の被測定ガスと接する位置に設置
している。また、ダスト検出器４５と外部の装置との電
気的接続は、コネクタ４７を介して実施される。この光
学式のダスト検出器４５では、光源部１から発せられる
光で被測定ガス中のダストを照らすことにより、被測定
ガス中のダスト量を光散乱方式にて測定できる。
【００１８】実際に、図１に示す構造の本発明の光学式
分析装置と図４に示す構造の従来の光学式分析装置とを
使用して、光の放射率を比較した。すなわち、従来の光
学式分析装置では、ヒータに一定電圧を印加して赤外線
を放射させ、ここより発生する放射エネルギを検出器に
より受け、このときの検出器が発生する初期の電圧を測
定するとともに、定期的（始めのうちは１日毎、１０日
経過後は７日毎）に検出器の発生出力を測定し、予め求
めた初期の検出器の発生電圧との比を百分率で表して放
射率とした。一方、ジルコニアからなる固体電気化学セ
ルの温度が一定になるようヒータと熱電対により電力制
御して、上述したのと同じ方法で放射率を測定した。結
果を図３に示す。図３の結果から、本発明の光学式分析
装置の方が従来の光学式分析装置と比較して、長期間安
定して光を放射できることがわかる。
分析装置と図４に示す構造の従来の光学式分析装置とを
使用して、光の放射率を比較した。すなわち、従来の光
学式分析装置では、ヒータに一定電圧を印加して赤外線
を放射させ、ここより発生する放射エネルギを検出器に
より受け、このときの検出器が発生する初期の電圧を測
定するとともに、定期的（始めのうちは１日毎、１０日
経過後は７日毎）に検出器の発生出力を測定し、予め求
めた初期の検出器の発生電圧との比を百分率で表して放
射率とした。一方、ジルコニアからなる固体電気化学セ
ルの温度が一定になるようヒータと熱電対により電力制
御して、上述したのと同じ方法で放射率を測定した。結
果を図３に示す。図３の結果から、本発明の光学式分析
装置の方が従来の光学式分析装置と比較して、長期間安
定して光を放射できることがわかる。
【００１９】本発明は上述した実施例にのみ限定される
ものではなく、幾多の変形、変更が可能である。例え
ば、上述した実施例では、光源部１、検出部２１および
ダスト検出部４２の一例の構成を示したが、これらの構
成は従来から公知の他の構成でも好適に使用できること
はいうまでもない。また、例えば紫外線領域のＮＨ3 、
近赤外線領域のH2O も計測でき、光通路の数およびガス
相関フィルタ内に封入するガスの種類は、上述した実施
例に限らず、比測定ガスの種類に応じて変化することも
いうまでもない。
ものではなく、幾多の変形、変更が可能である。例え
ば、上述した実施例では、光源部１、検出部２１および
ダスト検出部４２の一例の構成を示したが、これらの構
成は従来から公知の他の構成でも好適に使用できること
はいうまでもない。また、例えば紫外線領域のＮＨ3 、
近赤外線領域のH2O も計測でき、光通路の数およびガス
相関フィルタ内に封入するガスの種類は、上述した実施
例に限らず、比測定ガスの種類に応じて変化することも
いうまでもない。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、光学式分析装置の光源部を固体化学セルで構
成しヒータからの影響を排除する構造であるため、光学
式分析装置の光源としての放射率を長時間安定にするこ
とができるとともに、光源部を構成する高温固体化学セ
ルの加熱は常時一定の値となる様温度制御がなされてい
るため、安定した光源としての熱エネルギーを連続して
放射することができる。また、装置の小型化を達成する
こともできる。
によれば、光学式分析装置の光源部を固体化学セルで構
成しヒータからの影響を排除する構造であるため、光学
式分析装置の光源としての放射率を長時間安定にするこ
とができるとともに、光源部を構成する高温固体化学セ
ルの加熱は常時一定の値となる様温度制御がなされてい
るため、安定した光源としての熱エネルギーを連続して
放射することができる。また、装置の小型化を達成する
こともできる。
【図１】本発明の光学式分析装置の一例の構成を示す図
である。
である。
【図２】本発明の光学式分析装置の他の例の構成を示す
図である。
図である。
【図３】本発明装置及び従来装置における経過日数と放
射率との関係を示す図である。
射率との関係を示す図である。
【図４】従来の光学式分析装置の一例の構成を示す図で
ある。
ある。
【図５】従来の光学式分析装置における光源部の詳細を
示す図である。
示す図である。
１ 光源部 ２ 高温固体電気化学セル 11 セル部 21 検出部 42 ダスト検出部
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−265554（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−284046（ＪＰ，Ａ) 特開 昭48−89498（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−140739（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−139459（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−165681（ＪＰ，Ｕ) 国際公開91／5240（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/61
Claims (2)
- 【請求項１】紫外線、可視光または赤外線を発する光源
部と、被測定ガスを通過した該光源部からの出射光を受
光する検出部とを少なくとも有する光学式分析装置にお
いて、前記光源部として有底円筒形状の固体電気化学セ
ルを用い、固体電気化学セルの外側にヒータを巻き、固
体電気化学セルの内側を光源として使用し、被測定ガス
が光源部を構成する固体電気化学セルの内側のみにさら
されていることを特徴とする光学式分析装置。 - 【請求項２】被測定ガス中のダスト量を測定するための
ダスト検出部を備える請求項１記載の光学式分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23104791A JP3126759B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 光学式分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23104791A JP3126759B2 (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | 光学式分析装置 |
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