JP2020112428A - ガス分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施例1に係るガス分析装置は、本発明に係るガス分析装置をプローブ型のガス分析装置に適用したものである。ここで、プローブ型とは、例えば、光源、反射構造、および光検出器を一体的に内蔵し、被測定ガスが流れる管材に片側から差し込まれる構造を有するガス分析装置の種類を意味する。
本発明の実施例2に係るガス分析装置は、本発明に係るガス分析装置をクロスダクト型のガス分析装置に適用したものである。ここで、クロスダクト型とは、例えば、光源と光検出器とを独立して備え、被測定ガスが流れる管材を挟むように対向して設置される構造を有するガス分析装置の種類を意味する。
2 ガス管(管材)
2a 取り付け部材
11 プローブ(筒状部材)
12 冷却ユニット(冷却機構、断熱機構)
13 分析ユニット
21 プローブ本体(筒状部材)
21a フランジ
21b 上流側開口部
21c 下流側開口部
22 反射部(反射部材)
23 ウィンドウ(透過部材)
31 冷却ユニット本体(筒状部材)
31a 冷媒供給口(冷却機構、断熱機構)
31b 冷媒排出口(冷却機構、断熱機構)
32 ウィンドウ(透過部材)
41 分析ユニット本体
42 発光部
43 受光部
44 演算部
G 被測定ガス(測定対象ガス)
DS1a 所定距離
S1a 測定領域
S1b 伝熱抑制空間(冷却空間)
S11 測定外領域
S12 内部空間
101 ガス分析装置
102 ガス管(管材)
102a 取り付け部材
111,112 インサーションチューブ(筒状部材)
111a,112a フランジ
113,114 冷却ユニット(冷却機構、断熱機構)
113a,114a 冷媒供給口(冷却機構、断熱機構)
113b,114b 冷媒排出口(冷却機構、断熱機構)
115,116 光軸調整ユニット
117 発光ユニット
118 受光ユニット
121,122 チューブ本体(筒状部材)
123,124 ウィンドウ(透過部材)
131,132 冷却ユニット本体(筒状部材)
133,134 ウィンドウ(透過部材)
141,142 取り付けフランジ
143,144 ベローズ
145,146 固定フランジ
147,148 調整ねじ
151 発光ユニット本体
152 発光部
153 制御部
161 受光ユニット本体
162 受光部
163 演算部
G 被測定ガス(測定対象ガス)
DS101a 所定距離
S101a 測定領域
S101b,S101c 伝熱抑制空間(冷却空間)
S111,S112 測定外領域
S113,S114 内部空間
Claims (7)
- 管材の中を流れる測定対象ガスに測定光を照射し、測定対象ガスを透過した前記測定光の吸収スペクトルに基づいて、測定対象ガスに含まれる成分の分析を行うガス分析装置であって、
前記測定光の光路を覆うように設けられ、少なくとも一部が前記管材の中に配置される筒状部材と、
前記筒状部材の中空部分を塞ぐと共に前記管材の中を流れる測定対象ガスに晒されるように設けられ、前記測定光を透過可能な透過部材と
を備えることを特徴とするガス分析装置。 - 冷媒を前記透過部材によって前記管材の中の空間と隔離された前記筒状部材内の空間に流通させる冷却機構を備える
ことを特徴とする請求項1に記載のガス分析装置。 - 前記透過部材によって前記管材の中の空間と隔離された前記筒状部材内の空間を真空状態とする断熱機構を備える
ことを特徴とする請求項1に記載のガス分析装置。 - 前記筒状部材が、セラミックから成る
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のガス分析装置。 - 前記透過部材と所定距離離間して設けられ、前記測定光の少なくとも一部を反射可能な反射部材を備え、
前記透過部材と前記反射部材との間に測定対象ガスが流通する測定領域を画成する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のガス分析装置。 - 前記筒状部材における少なくとも前記測定領域に面する部分が測定対象ガスを透過可能な多孔質材で構成される
ことを特徴とする請求項5に記載のガス分析装置。 - 前記筒状部材および前記透過部材が、それぞれ対向して前記管材に設けられるものであり、
対向配置される前記透過部材の間に測定対象ガスが流通する測定領域を画成する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のガス分析装置。
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