JP2014115200A - レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置 - Google Patents

レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置 Download PDF

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晋作 土橋
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Abstract

【課題】レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を提供する。
【解決手段】レーザ光22を導入する送光用光ファイバ23と、レーザ光を導出する受光用光ファイバ25と、中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバ11と、光ファイバ11の一端11a側に接続する第1の接続部31aと、送光用光ファイバ23と接続する第2の接続部31bと、内部にガス40を導入するガス導入口31cとを有し、導入したガスを光ファイバの中空孔に導入する第1のT型コネクタ31と、光ファイバ11の他端11b側に接続する第3の接続部32aと、受光用光ファイバとを接続する第4の接続部32bと、外部にガスを排出するガス排出口32cとを有し、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端から中空孔に導入したガスを排出する第2のT型コネクタ32と、を具備する。
【選択図】図1

Description

本発明は、レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置に関するものである。
従来、配合ガスに含まれる特定物質の濃度測定を行う装置としてレーザ式ガス分析計が知られている。このレーザ式ガス分析計は、気体状のガス分子がそれぞれ固有の光吸収波長を有するという特性を利用し、特定物質が含まれるガスにレーザ光を照射し、その特定波長の吸光量から特定物質の濃度を測定するものである。
下記特許文献1には、アンモニアを含むガスが流通する配管ユニットからガスを吸引し、吸引したガスをレーザ式ガス分光計に導いてガス中に含まれるアンモニア濃度を測定する技術が開示されている。
特許文献2には、煙道の内部に挿入されて排ガスを採取するサンプリング管と、サンプリング管に対して加熱導管を介して接続されるフローセルユニットと、フローセルユニットに接続されるレーザ式ガス分析計とを備えるアンモニア濃度測定装置が開示されている。特許文献2に開示されているアンモニア濃度測定装置では、サンプリング管の内部に三酸化硫黄(SO)を吸着するがアンモニアを通過させる吸着剤を装填し、排ガスから三酸化硫黄を除去したガスをレーザ式ガス分析計に導入させることで、アンモニアの測定精度を向上させている。
特許文献1、2に開示されているサンプリング方式の濃度測定装置では、以下のような問題点があった。
ガスを吸引して測定用の配管に導く際、測定の高速化が困難である。
ガスを測定用の配管に引き込んだ後に濃度測定を行うことから、配管を流通しているガスと測定管に引き込まれたガスの状態(例えば、温度等)が異なってしまい、測定精度が低下する。
流通ガスを局所的に採取して濃度測定を行うため、局所的なガス濃度測定はできても、濃度分布を取得することができない。また、サンプリング箇所を逐次変えて濃度測定を行えば、濃度分布を取得することは可能であるが、位置毎にガスの吸引、排出が必要となり、作業が煩雑であるとともに時間がかかる。
また、上記のように、ガスを測定用の配管に吸引するのではなく、ガスが流通する管そのものにレーザ式ガス分析計を配置する方法も提案されている(例えば、特許文献3参照)。特許文献3には、ガスが存在する内部空間に突出させた外筒と、外筒内にレーザを透過する光透過性部材によって閉塞された密閉空間を有する内筒とからなる二重管ノズルをレーザ光照射装置とレーザ光受光装置とにそれぞれ設け、この二重管ノズルの間の距離及び突出位置を調節することにより、二重管ノズル間に存在する特定物質の濃度を測定する技術が開示されている。
また、特許文献4には、煙道内に挿入されるレーザ光を反射するプローブと、レーザ光の光路を切り替える光路切替器と、プローブ内に形成された長孔のガス通路でのレーザ光の光強度を計測し、ガス中の硫黄酸化物の濃度を求めることが開示されている。
特開2012−8008号公報 特開2010−236877号公報 特開2011−38877号公報 特開2010−185694号公報
しかしながら、特許文献4のガス濃度測定装置では、レーザ光を切り替える光学系である光切り替え装置が設けられているので、例えばボイラからの燃焼排ガス等における大型プラントでの実機適用においては、操業中における振動による光学系のレーザ光の光軸のズレが生じることがある。
また、ガス計測部では一つの長孔にガスを導入して計測しているが、反射鏡に導入する前のレーザ光も排ガス中に晒されるので、散乱が発生し、適切なビーム形状を維持できなくなり、ノイズ信号が増大するという、問題がある。
よって、ボイラプラントの排ガス中のガス組成を安定して計測ができる排ガス中のガス成分濃度計測装置の出現が切望されている。
本発明は、前記問題に鑑み、排ガス中のガス組成を安定して計測ができるレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を提供することを課題とする。
上述した課題を解決するための本発明の第1の発明は、レーザ送光器からのレーザ光を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバと、レーザ受光器へレーザ光を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバと、中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバと、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端側に接続する第1の接続部と、前記送光用光ファイバと接続する第2の接続部と、内部にガスを導入するガス導入口とを有し、導入したガスを前記ガス導入及び光送光用光ファイバの中空孔14に導入する第1のT型コネクタと、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの他端側に接続する第3の接続部と、前記受光用光ファイバとを接続する第4の接続部と、外部にガスを排出するガス排出口とを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端から中空孔に導入したガスを排出する第2のT型コネクタと、を具備することを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置にある。
第2の発明は、第1の発明において、複数のガス導入及び光送光用光ファイバを、ガス導入口を有するT型コネクタで接続してなることを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置にある。
本発明によれば、送光用光ファイバを通過したレーザ光は、第1のT型コネクタに接続されるガス導入及び光送光用光ファイバの一端側の中空孔から導入された排ガスと接触することとなり、ここで排ガス中のガス成分による吸収が生じることとなり、この特定成分が吸収されたレーザ光が受光用光ファイバを通過して受光器に送られ、ここでガス濃度が計測される。
図1は、実施例1に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。 図2は、ガス導入及び光送光用光ファイバの斜視図である。 図3は、ガス導入及び光送光用光ファイバの部分拡大図である。 図4−1は、T型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。 図4−2は、T型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。 図5は、吸収分光計測の概念図である。 図6は、吸収分光計測の吸収チャート図である。 図7は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。 図8は、実施例2に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。 図9は、実施例2に係る他のレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。 図10は、実施例3に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、また、実施例が複数ある場合には、各実施例を組み合わせて構成するものも含むものである。
図1は、実施例1に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置の概略図である。図2は、ガス導入及び光送光用光ファイバの斜視図である。図3は、ガス導入及び光送光用光ファイバの部分拡大図である。
図1に示すように、本実施例に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置10は、レーザ送光器(以下「送光器」という)21からのレーザ光22を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバ23と、レーザ受光器(以下「受光器」という)24へレーザ光22を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバ25と、中心軸に沿って中空孔14を有し、中空孔14の周囲のクラッド13に複数の微小細孔12が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバ11と、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端11a側に接続する第1の接続部31aと、前記送光用光ファイバ23と接続する第2の接続部31bと、内部にガス40を導入するガス導入口31cとを有し、導入したガス40を前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の中空孔14に導入する第1のT型コネクタ31と、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の他端11b側に接続する第3の接続部32aと、前記受光用光ファイバ25とを接続する第4の接続部32bと、外部にガスを排出するガス排出口32cとを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端から中空孔14に導入したガス40を排出する第2のT型コネクタ32と、を具備するものである。
本発明で用いるガス導入及び光送光用光ファイバ11は、図2及び3に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の軸に沿って中心に中空孔14を有すると共に、該中空孔14を囲うように所定間隔dを持って微小細孔12が、軸に沿って複数配設されている。
ここで、微小細孔12、12同士の間隔dは、ガス導入及び光送光用光ファイバ11に入射するレーザ光の波長(λ)と同一又は3倍の間隔(3λ)とすることで、微小細孔12の内部領域がコア15の機能を発揮するようにしたものである。
そして、図3に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ11は、クラッド13の中心部分の微小細孔12で囲まれた部分(図中斜線部分)が、コア15を構成することとなる。なお、斜線部分もクラッド13の材料であるが、微小細孔12が囲むので、コア15の機能が発揮されることとなる。
この結果、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の中心部分の中空孔14にはガスが流れると共に、光ファイバに導入されたレーザ光はコア15に沿って送光されることとなる。
図4−1及び図4−2は、T型コネクタと光ファイバとの接続状態を示す概略図である。
図4−1は、第1のT型コネクタ31の送光用光ファイバ23とガス導入及び光送光用光ファイバ11との接続状態を示し、図4−2は、第2のT型コネクタ32の受光用光ファイバ25とガス導入及び光送光用光ファイバ11との接続状態を示している。
第1のT型コネクタ31は、図4−1に示すように、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端11a側に接続する第1の接続部31aと、送光用光ファイバ23の端部23aと接続する第2の接続部31bと、内部にガス40を導入するガス導入口31cとを有している。そして、ガス導入口31cより導入したガス40は、コネクタ内部の通路を介して前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の中空孔14に導入している。
第2のT型コネクタ32は、図4−2に示すように、前記ガス導入及び光送光用光ファイバ11の他端11b側に接続する第3の接続部32aと、前記受光用光ファイバ25の端部25aとを接続する第4の接続部32bと、外部にガス40を排出するガス排出口32cとを有している。そして、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の中空孔14内を通過したガス40を、その一端11bから排出し、コネクタ内の通路を介して、排出口32cから外部の排気ライン33に排出している。
そして、この中空孔14内を通過するガス40にレーザ光22が導入されると、ガス40中の各ガス成分がレーザ光を吸収し、その吸収度合いを受光器24で計測する。
すなわち、送光用光ファイバ23を通過してレーザ光22は、第1のT型コネクタ31に接続されるガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端11a側の中空孔14から導入されたガス40と接触することとなり、ここでガス40中のガス成分による吸収が生じることとなり、この特定成分が吸収されたレーザ光が受光用光ファイバ25を通過して受光器24に送られ、ここでガス濃度が計測されることとなる。
ここで、中空孔14を有するガス導入及び光送光用光ファイバ11の長さをLとする。また、中空ファイバ前後の光強度をそれぞれI0、I1とし、中空ファイバ中のガス濃度をcとすると、-ln(I1/I0)=α×c×Lの関係が成立する。
上式より、あらかじめファイバ長さLを把握し、I0、I1を測定することによって、ガス濃度cを導出することができる。
ここで、例えばミラー光学系などを設置した場合、煩雑なレーザ光軸調整を必要とする。これに対して、本発明によれば、その光軸調整が不要となる。具体的には、測定部にファイバを設置すれば、ただちに対象ガス濃度が計測可能となり、レーザ吸収法を適用した高精度なガス分析を簡易に行うことが可能な手法となる。
例えばガス40中のガス成分であるアンモニア(NH3)を計測する場合について説明する。
ここで、図5は、吸収分光計測の概念図である。図6は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
そして、ガス40中のガス成分を計測する場合には、所定濃度の煤塵が含まれる送光点と受光点との間のレーザ経路(光路長)Lであるガス導入及び光送光用光ファイバ11の中空孔の計測領域(L)を通過した後の受光強度(I0’)を基準とし、この基準から特定のガス組成の吸収による光強度(I)を求める。
そして、(I)/(I0’)によりガス成分(例えばアンモニア(NH3))濃度を求める。なお、受光強度(I0)は、大気中で煤塵がない環境で測定した光透過率の初期データである。
ガス成分(アンモニア等)の濃度を求める場合の光透過率は、下記数1に示すランベルト・ベールの式を用いて算出することができる。
Figure 2014115200
ここで、Iは、ガス成分(アンモニア)の吸収による光強度である。
0’は、煤塵有りの状態での中空光ファイバ透過後のアンモニアの光吸収がない場合のレーザ光強度である。
αは、アンモニア吸光係数(ppm/m2)である。
Cは、アンモニア濃度(ppm/m3)である。
Lは、中空光ファイバの長さである。
tは、温度補正値である。
上式より、あらかじめファイバ長さLを測定し、I0、I1を測定することによって、アンモニアガス濃度Cを計測することができる。
アンモニア(NH3)を計測する場合には、半導体レーザ(半導体素子:InGaAsを例示することができる。波長:1.5μm、出力:1mW程度のものを例示することができる。
排ガス中のその他のガス成分として、上記構成を備えるガス中のガス組成計測装置10においては、以下のような手順により、煙道41内を通過するガス40中の濃度測定領域の例えば一酸化窒素(NO)の濃度を取得することができる。
ここで、ガスとして排ガス中のNOを計測するには量子カスケードレーザ(半導体素子:InGaAs/InAlAsを例示することができる。波長:5〜6μm、出力:1mW)を用いている。
なお、例えば窒素酸化物(NOx)を計測する場合には、量子カスケードレーザ(半導体素子:InGaAs/InAlAsを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。
排ガス中のその他のガス成分として、例えばアンモニア(NH3)を計測する場合には、半導体レーザ(半導体素子:InGaAsを例示することができる。波長:1.5μm、出力:1mW程度のものを例示することができる)を用いることができる。
例えばアンモニア以外のガス成分として、SO2(酸化硫黄)を計測する場合には、量子カスケードレーザ(波長:7.0〜7.5μmを例示することができる)を用いることができる。
また、ガス成分として、メタン(CH4)を計測する場合には、半導体レーザ(半導体素子:InGaAsを例示することができる。波長:1.6μm、出力:1mW程度のものを例示することができる)を用いることができる。
また、例えばボイラからのガス40には、煤塵が含まれているので、計測領域であるレーザ光22と排ガスとが通過する中空孔14の光路長Lの長さを長くすると、煤塵の影響により光透過率が減衰することとなる。
図7は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
図7では、波長が1.5μmの場合、煤塵濃度が6g/Nm3程度の石炭灰中に2mの光路長で計測が可能であることを確認している。
よって、煤塵濃度がそれ以上の場合には、1.5m、より好適には1.0m前後の光路長で計測することが良好である。
ここで、ガス導入及び光送光用光ファイバ11の一端部11aから他端部11bまでに距離が、光路長Lとなる。
このように、本実施例では、赤外領域で計測しているが、本発明はこれに限定されず、可視・紫外領域での光吸収分光計測にも適用できる。
図8は、実施例2に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を用いて排ガス中のガス成分を計測する様子を示す概略図である。なお、実施例1のガス中のガス組成計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図8に示すように、煙道41の側壁に設けた光ファイバ取付ポート42を介してレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置10のガス導入及び光送光用光ファイバ11と第1のT型コネクタ31と、第2のT型コネクタ32とが煙道41内に配設されている。
また、第2のT型コネクタ32から排出ライン33を介して排出されるガス40はポンプPを介して吸引し、排出ポート43を介して、煙道41内に排出している。
本発明に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置10によれば、光軸調整を不要とし、光軸ズレがなく、簡易な構成でガス中のガス組成をレーザ光分析により取得することができる。
光ファイバ取付ポート42をハンディタイプとすることで、煙道の任意の箇所に計測手段を簡易に取り付けることができる。
図8に示すガス組成計測装置では、1つのガス導入及び光送光用光ファイバ11を用いて、排ガス中のガス組成を計測しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば図9に示すガス中のガス組成計測装置のように、煙道41内の奥行き方向(図中右方向)の異なる領域において、ガス40A、40B、40C中のガス組成を計測するように、複数(3本)のガス導入及び光送光用光ファイバ11A、11B、11Cを用いて計測するようにしている。
本実施例では、レーザ光22のチャンネルを選択するチャンネルセレクタ51a、51bを光ファイバ23、24に介装している。
チャンネルセレクタ51a、51bを選択することで順次ガス導入及び光送光用光ファイバ11A、11B、11C内にレーザ光22を送り、内部を通過して、排ガス40A、40B、40C中のガス組成を吸収したレーザ光22を受光器25で順次受光するようにしている。
これにより、任意の領域での複数個所でのガス40A、40B、40C中のガス組成の計測を行うことができる。
また、第1及び第2のT型コネクタ31、32に、中空孔14を洗浄する洗浄用のパージガスを導入するガス導入ポートを設け、中空孔14内の洗浄を実施するようにしてもよい。
本発明による光ファイバを用いたレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置10によれば、装置のコンパクト化を図ると共に、振動が多い実機の近傍にレーザ光用の送光器及び受光器を設けることがなくなるので、装置の簡略化と共に、測定精度の向上を図ることができる。
図10は、実施例3に係るレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置を用いて排ガス中のガス成分を計測する様子を示す概略図である。なお、実施例1及び2のガス中のガス組成計測装置の構成と同一部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
本実施例では、ガスリークが発生するおそれがあるような各種設備60において、その設備60の外側に沿って、レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置10を設けたものである。
図10に示すように、本実施例のレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置は、ガス導入及び光送光用光ファイバ11A、11B、11Cを内部に電磁弁を備えたT型コネクタ62A〜62C、63を設けることにより、各T型コネクタ62A、62B、62Cのガス導入口から導入されるガス中にリークガスがあるか否かを判断することができる。
なお、電磁弁を備えたT型コネクタ62A〜62Cの構成は、第1のT型コネクタ31と同様であり、さらに内部の通路を遮断する電磁弁が設けられている。また、電磁弁を備えたT型コネクタ63の構成は、第2のT型コネクタ32と同様であり、さらに内部の通路を遮断する電磁弁が設けられている。
すなわち、第1のガス導入及び光送光用光ファイバ11A内にガスを導入する場合には、第2のガス導入及び光送光用光ファイバ11B、第3のガス導入及び光送光用光ファイバ11Cにガスがコネクタを介して流入しないように、第2及び第3のT型コネクタ62B、62C内の電磁弁を閉じておく。
そして、第1のT型コネクタ62Aの電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス61が含まれているか否かを計測することができる。
また、第2のガス導入及び光送光用光ファイバ11B内にガスを導入する場合には、第1のガス導入及び光送光用光ファイバ11A、第3のガス導入及び光送光用光ファイバ11Cにガスがコネクタを介して流入しないように、第1及び第3のT型コネクタ62A、62C内の電磁弁を閉じておく。
そして、第2のT型コネクタ62B内の電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス61が含まれているか否かを計測することができる。
また、第3のガス導入及び光送光用光ファイバ11C内にガスを導入する場合には、第1のガス導入及び光送光用光ファイバ11A、第2のガス導入及び光送光用光ファイバ11Bにガスがコネクタを介して流入しないように、第1及び第2のT型コネクタ62A、62B内の電磁弁を閉じておく。
そして、第3のT型コネクタ62C内の電磁弁を開放しておくことで、ここからのみ、ガスの流入を許容することで、流入したガス中にリークガス61が含まれているか否かを計測することができる。
なお、流入したガスは排出用口を有するT型コネクタ63により排出される。
よって、このように複数のガス導入及び光送光用光ファイバとガス流入用のT型コネクタを用いることで、設備の表面に沿って配置することで、ガスリーク検知対策に適用することができる。
すなわち、雰囲気ガスは常に同じガス組成であるが、リークガス61が発生した場合には、雰囲気ガスに加えてリークガス61が存在するので、そのリークガスを吸収するレーザ光とすることでガス検知が可能となる。
10 レーザ計測によるガス中のガス組成計測装置
21 レーザ送光器
22 レーザ光
23 送光用光ファイバ
24 レーザ受光器
25 受光用光ファイバ
31 第1のT型コネクタ
32 第2のT型コネクタ

Claims (2)

  1. レーザ送光器からのレーザ光を導入するコア及びクラッドからなる送光用光ファイバと、
    レーザ受光器へレーザ光を導出するコア及びクラッドからなる受光用光ファイバと、
    中心軸に沿って中空孔を有し、中空孔の周囲のクラッドに複数の微小細孔が形成されたガス導入及び光送光用光ファイバと、
    前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端側に接続する第1の接続部と、前記送光用光ファイバと接続する第2の接続部と、内部にガスを導入するガス導入口とを有し、導入したガスを前記ガス導入及び光送光用光ファイバの中空孔に導入する第1のT型コネクタと、
    前記ガス導入及び光送光用光ファイバの他端側に接続する第3の接続部と、前記受光用光ファイバとを接続する第4の接続部と、外部にガスを排出するガス排出口とを有し、前記ガス導入及び光送光用光ファイバの一端から中空孔に導入したガスを排出する第2のT型コネクタと、
    を具備することを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置。
  2. 請求項1において、
    複数のガス導入及び光送光用光ファイバを、ガス導入口を有するT型コネクタで接続してなることを特徴とするレーザ計測によるガス中のガス組成計測装置。
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