JP5951438B2 - 熱処理装置 - Google Patents

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Description

本発明は、熱処理装置に関する。
基板を加熱処理するための、基板加熱処理装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の基板加熱処理装置は、基板を収容可能な処理チャンバを備えている。処理チャンバ内には、ホットプレートが配置されている。ホットプレートは、基板を加熱するために設けられている。ホットプレートの側方には、熱電変換モジュールが配置されている。熱電変換モジュールは、ホットプレートからの熱エネルギーを電力に変換する。この電力は、電力供給源に与えられる。電力供給源からの電力は、基板加熱処理装置の各部の駆動に利用される。上記の構成により、ホットプレートの熱エネルギーの有効利用が意図されている。
特開2000−68183号公報([0026],[0032])
ところで、熱処理装置は、基板等の被処理物を電熱ヒータで加熱するために、大きな電力を必要とする。このため、熱処理装置は、通常、電力会社から提供される電源である外部電源を用いて、必要な電力を確保している。特許文献1に記載の構成では、熱電変換モジュールから供給される電力は、基板処理装置の各部を駆動するための電力供給源へ与えられており、外部電源からの電力と区別無く使用される。このように、特許文献1に記載の構成は、熱電変換モジュールからの電力と、外部電源からの電力と、を使い分ける構成となっていない。
本発明は、上記事情に鑑みることにより、熱処理装置において、省エネルギー化を実現でき、且つ、電力を供給する態様を、より多様化できるようにすることを、目的とする。
(1)上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、熱処理炉と、変換部材と、制御装置と、切替部と、を備える。前記熱処理炉は、被処理物を熱処理するために設けられている。前記変換部材は、前記熱処理炉からの熱のエネルギーを電力に変換する。前記制御装置は、前記熱処理炉を制御するために設けられている。前記切替部は、外部電源からの電力と、前記変換部材からの電力とを、択一的に前記制御装置へ供給するために設けられている。また、前記切替部は、前記熱処理炉の温度が所定のしきい値未満である場合、前記外部電源からの電力を前記制御装置へ供給するように構成され、且つ、前記熱処理炉の温度が前記しきい値以上である場合、前記変換部材からの電力を前記制御装置へ供給するように構成されている。
この構成によると、変換部材は、熱処理炉の熱エネルギーを電力に変換できる。切替部は、この電力を、制御装置へ供給することができる。これにより、熱処理炉で発生する熱エネルギーの有効利用を通じて、省エネルギー化を実現できる。また、切替部は、必要に応じて、外部電源からの電力と、前記変換部材からの電力とを、択一的に制御装置へ供給できる。これにより、熱処理装置の制御装置へ電力を供給する態様を、多様化できる。しかも、制御装置に必要な電力は、熱処理炉の加熱に必要な熱エネルギーと比べて格段に小さい。よって、発電量が比較的小さい電源としての変換部材であっても、制御装置の電源として用いられることは、十分に可能である。
したがって、本発明によると、熱処理装置において、省エネルギー化を実現でき、且つ、電力を供給する態様を、より多様化できる。
また、この構成によると、制御装置の動作に必要な電力の供給を滞らせることなく、省エネルギー化を実現できる。具体的には、例えば、停止状態にある常温の熱処理炉の起動開始時には、変換部材からの電力は、小さく、制御装置を動作させるのに十分ではない。この場合、切替部は、外部電源からの電力を、制御装置へ供給する。一方、例えば、熱処理炉が被処理物を熱処理可能な程度に、熱処理炉の温度が十分に高い場合、変換部材からの電力は、大きく、制御装置を動作させるのに十分である。この場合、切替部は、変換部材からの電力を、制御装置へ供給する。この場合、制御装置は、外部電源からの電力を消費せずに済む。
)好ましくは、前記切替部は、前記外部電源に異常が生じている場合には、前記変換部材からの電力を、前記制御装置へ供給可能である。
この構成によると、外部電源に停電等の異常が生じている場合でも、変換部材を、非常用電源(無停電電源)として用いることで、制御装置へ電力を供給することができる。よって、外部電源に異常が生じている場合でも、制御装置に、必要な動作を行わせることができる。即ち、外部電源の異常に伴って、制御装置の動作が突然遮断されることを抑制できる。これにより、制御装置、及び熱処理炉に異常が生じることを抑制できる。尚、外部電源の異常等によって、熱処理炉の加熱動作が停止した場合でも、熱処理炉の熱容量は通常大きいので、熱処理炉の温度は、長期間に亘って維持される。よって、被処理物の熱処理中に外部電源に異常時が生じても、変換部材によって十分な電力を発生できる時間は、長い。よって、外部電源に異常が生じた場合でも、長時間に亘って、制御装置を動作し続けることができる。これにより、制御装置の停止に必要なバックアップ作業等、熱処理装置の停止に必要な作業を行うことができる。また、非常用電源として、バッテリ等の蓄電池を用いる必要がないか、又は、蓄電池の使用量を、少なくできる。このため、蓄電池の定期的な交換作業が不要か、又は蓄電池の交換量が少なくて済む。よって、制御装置のメンテナンスにかかる手間を少なくできる。その上、蓄電池の削減を通じて、地球環境保全にも貢献できる。
)好ましくは、前記熱処理装置は、前記制御装置によって制御される補助機器を更に備える。前記補助機器は、前記変換部材からの電力によって動作可能である。
この構成によると、熱処理炉に付随して設置される補助機器であれば、動作に必要な電力は、比較的小さくて済む。よって、補助機器に必要な電力を、変換部材によって、十分に供給することができる。
)好ましくは、前記変換部材は、前記熱処理炉に設けられた排気路、及び前記熱処理炉の壁部の少なくとも一方に取り付けられている。
この構成によると、熱処理炉からの熱を、変換部材へ、より確実に伝達することができる。
本発明によると、熱処理装置において、省エネルギー化を実現でき、且つ、電力を供給する態様を、より多様化できる。
本発明の実施形態に係る熱処理装置の構成を示す模式図である。 熱処理装置における電力供給制御の動作の一例を説明するためのフローチャートである。 本発明の変形例の主要部を示す模式図である。 本発明の別の変形例の主要部を示す模式図である。
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、被処理物を熱処理するための熱処理装置として、広く適用することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置1の構成を示す模式図である。図1を参照して、熱処理装置1は、被処理物100に熱処理を施すための装置である。この熱処理として、浸炭処理、拡散処理、アニール処理、CVD(Chemical Vapor Deposition)処理等を例示することができる。
熱処理装置1は、熱処理炉2と、熱電変換部材3と、制御装置4と、切替部5と、第1コンバータ6と、第2コンバータ7と、補助機器ユニット8と、を備えている。
熱処理炉2は、被処理物100を収容した状態で、この被処理物100を熱処理するように構成されている。
熱処理炉2は、炉本体11と、ドア12と、ヒータ13と、排気路14と、を有している。
炉本体11は、被処理物100を収容するために設けられている。炉本体11は、例えば、金属によって形成されている。炉本体11は、例えば、中空の箱形形状に形成されており、被処理物100を収容するための収容空間16を有している。炉本体11は、複数の壁部17を有しており、これらの壁部17によって、収容空間16が形成されている。各壁部17の厚みは、十分に大きな値に設定されている。これにより、炉本体11の熱容量は、十分に大きく設定されている。
また、炉本体11の一側部には、ドア12が取り付けられている。ドア12は、ヒンジ部材18を介して炉本体11に連結されており、炉本体11に対して開閉可能である。このドア12が開かれることによって、収容空間16を、炉本体11の外部の空間に開放することができる。被処理物100は、ドア12が開かれた状態で、炉本体11の外部の空間から、収容空間16へ搬入される。また、被処理物100は、ドア12が開かれた状態で、収容空間16から搬出される。また、このドア12が閉じられることによって、収容空間16を、炉本体11の外部の空間から遮断することができる。尚、炉本体11は、図示しない吸気管に接続されている。被処理物100の熱処理に必要な気体が、この吸気管を介して収容空間16内に供給される。被処理物100は、ドア12が閉じられた状態で、熱処理される。炉本体11は、ヒータ13によって加熱される。
ヒータ13は、例えば、電熱ヒータであり、大電力で動作される強電機器である。ヒータ13は、加熱部19を有している。加熱部19は、例えば、炉本体11の収容空間16内に配置されている。加熱部19は、電力を供給されることにより、発熱する。加熱部19の熱は、炉本体11、収容空間16、及び被処理物100に伝わる。これにより、炉本体11、収容空間16の気体、及び被処理物100は、所定の熱処理温度まで加熱される。この場合の熱処理温度は、例えば、数百℃〜千℃程度の範囲内である。ヒータ13は、図示しない電源回路を有している。この電源回路は、外部電源20に接続されている。この電源回路は、外部電源20からの電力を、加熱部19の動作に適した電圧及び電流に調整した上で、加熱部19へ出力する。
外部電源20は、例えば、商用電源であり、電力会社によって提供される電源である。外部電源20の電圧は、例えば、数百ボルトである。本実施形態では、外部電源20は、交流電源である。上記の構成を有するヒータ13によって加熱された、収容空間16内の気体は、被処理物100の熱処理後に、排気路14へ排出される。
排気路14は、収容空間16内の気体を、炉本体11の外部へ排出するために設けられている。排気路14は、金属等の耐熱材料によって形成されている。排気路14は、管状に形成されている。本実施形態では、排気路14は、L字状に形成されている。排気路14の途中部は、屈曲した形状を有している。排気路14の一端は、炉本体11の壁部17を貫通しており、収容空間16に連続している。排気路14の他端は、炉本体11の外部の空間に連続している。
排気路14には、弁21が取り付けられている。弁21は、補助機器ユニット8の一部を構成している。この弁21は、例えば、電磁弁であり、制御装置4から電力を供給され、且つ、制御装置4によって開閉制御される。弁21は、熱処理装置1の停止時等には、閉じられている。一方、この弁21は、被処理物100の動作時に、開かれる。弁21は、例えば、被処理物100が熱処理されている最中に開かれる。弁21は、被処理物100が熱処理されている最中は閉じられ、被処理物100の熱処理が完了した後に開かれてもよい。収容空間16内において、ヒータ13で加熱された高温の気体は、弁21が開くことにより、排気路14を通過して、炉本体11の外部の空間に排出される。被処理物100の熱処理の最中に、弁21が開かれている場合、高温の排気ガスは、熱処理の間、常時、排気路14に流れる。これにより、排気路14の熱容量に拘わらず、熱電変換部材3に、十分な熱量を与えることができる。尚、被処理物100の熱処理の最中に弁21が開かれる場合、熱処理の間、常時、図示しない吸気管から、気体が供給される。
また、排気路14は、炉本体11に接続されている。このため、ヒータ13からの熱は、炉本体11を介して、排気路14に伝わる。これにより、炉本体11に熱が蓄積されている間、排気路14は、この熱を受けて温度低下を抑制される。また、排気路14の熱容量は、炉本体11の熱容量よりも小さい。このため、炉本体11から排気路14に熱が伝わっている状態において、炉本体11の温度低下量は、十分に小さい。この排気路14は、熱電変換部材3を保持している。
熱電変換部材3は、熱処理炉2の熱エネルギーを、電力(電気エネルギー)に変換するために設けられている。熱処理装置1の電源として、本実施形態では、この熱電変換部材3と、外部電源20と、が用いられる。外部電源20は、熱処理炉2(ヒータ13)及び制御装置4の双方へ電力を供給可能な電源として用いられる。一方、熱電変換部材3は、制御装置4へは電力を供給するけれども、熱処理炉2へは電力を供給しない電源として用いられる。
熱電変換部材3は、ゼーベック効果(Seebeck effect)を利用した熱電変換素子であり、ペルチェ素子を、複数有している。より具体的には、熱電変換部材3は、p型半導体と、n型半導体とを組み合わせて形成されている。熱電変換部材3は、表面3a及び裏面3bを有している。熱電変換部材3は、表面3aと裏面3bとの間に温度差が生じることで、電力を発生するように構成されている。熱電変換部材3で発生する電圧は、例えば、数ボルトである。
熱電変換部材3の大きさは、熱電変換部材3に求められる電力量等に応じて、適宜設定される。また、熱電変換部材3の形状は、特に限定されない。熱電変換部材3は、熱処理炉2の炉本体11からの熱を受け得るように配置されている。
本実施形態では、熱電変換部材3は、全体として、L字状に形成されており、排気路14の外表面14aの形状に沿った形状を有している。より具体的には、熱電変換部材3の表面3aは、第1部分3cと、第2部分3dと、を有している。第1部分3c及び第2部分3dは、平面状に形成されている。第1部分3cと、第2部分3dは、直交するように延びている。これらの第1部分3c及び第2部分3dは、それぞれ、排気路14の外表面14aと面接触している。本実施形態では、熱電変換部材3の表面3aは、排気路14の外表面14aに固定されている。これにより、排気路14の熱は、効率よく、熱電変換部材3の表面3aに伝わる。
熱電変換部材3の裏面3bは、排気路14から遠ざかる方向を向いている。この裏面3bは、第1部分3eと、第2部分3fと、を有している。第1部分3eは、表面3aの第1部分3cと平行に延びている。第2部分3fは、表面3aの第2部分3dと平行に延びている。上記の構成を有する裏面3bには、放熱部材22が取り付けられている。
放熱部材22は、熱電変換部材3の裏面3bからの放熱を促進するために設けられている。これにより、熱電変換部材3における表面3aと裏面3bとの温度差を、より大きくできる。その結果、熱電変換部材3で発生する電力を、より大きくできる。放熱部材22は、例えば、アルミ合金、銅合金等の熱伝導性に優れた材料を用いて形成されている。放熱部材22は、熱電変換部材3の裏面3bの第1部分3e及び第2部分3fに固定されている。熱電変換部材3で発生した電力は、制御装置4へ出力されることが可能である。
制御装置4は、熱処理炉2を制御するために設けられている。本実施形態では、制御装置4は、弱電機器としての制御回路である。より具体的には、制御装置4は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、及びRAM(Random Access Memory)を含むハードウェアを有している。また、制御装置4は、ROMに記憶されたソフトウェアを有している。制御装置4は、ROMに記憶されたプログラムをCPUが読み出し、このプログラムを実行することによって、動作する。なお、制御装置4は、このように、ソフトウェアとハードウェアとの協働によって実現されてもよいし、ハードウェアによって実現されてもよい。
制御装置4の動作電圧は、例えば、数十ボルトである。制御装置4は、熱処理炉2等と電気的に接続されている。より具体的には、制御装置4は、熱処理炉2のヒータ13、及び補助機器ユニット8に接続されており、これらヒータ13及び補助機器ユニット8等を制御する。制御装置4は、補助機器ユニット8の後述する計測装置24の計測結果等に基づいて、熱処理炉2を制御する。
補助機器ユニット8は、熱処理炉2に付随して設置された複数の補助機器を有している。これらの補助機器は、制御装置4に接続されており、制御装置4から電力を供給されることで動作し、且つ、制御装置4によって制御される。
補助機器ユニット8は、補助機器として、前述の弁21と、ロック機構23と、計測装置24と、表示装置25と、を含んでいる。
ロック機構23は、ドア12をロックするために設けられている。ロック機構23は、例えば、電磁ソレノイドを有している。この電磁ソレノイドのロッドが、炉本体11及びドア12を連結することで、炉本体11に対するドア12の開動作を、規制する。また、このロッドによる炉本体11とドア12との連結を解除することで、ドア12のロックが解除される。ロック機構23は、制御装置4の制御によって、上記のロック、及びロックの解除を行う。
計測装置24は、熱処理炉2の動作状態を計測するために設けられている。計測装置24は、熱処理炉2に取り付けられている。計測装置24は、例えば、デジタル式の温度センサであり、電力を用いて動作するように構成されている。計測装置24は、熱処理炉2の収容空間16等の温度を計測する。計測装置24は、制御装置4からの電力によって動作し、計測結果を、制御装置4へ出力する。制御装置4は、この計測結果に基づいて、ヒータ13を動作するタイミング、及び排気路14の弁21の開閉タイミング等を制御する。
表示装置25は、例えば、液晶ディスプレイである。表示装置25は、制御装置4から与えられる表示用データを読み込み、この表示用データで特定される画像を表示するように構成されている。これにより、表示装置25は、熱処理炉2内の温度、外部電源20の異常の有無等を、表示する。また、表示装置25を制御する制御装置4は、切替部5にも接続されており、切替部5から電力を受けるとともに、切替部5の動作を制御する。
切替部5は、外部電源20からの電力と、熱電変換部材3からの電力とを、択一的に制御装置4へ供給するために設けられている。換言すれば、切替部5は、制御装置4に供給される給電経路を切り替えることが可能に構成されている。
切替部5は、例えば、リレースイッチである。尚、切替部5は、半導体素子を用いて形成されたPLC(Programmable Logic Controller)等であってもよい。切替部5は、第1導電部材26に接続されている。第1導電部材26は、例えば電線であり、プラグ27,28等を介して、外部電源20に接続されている。また、切替部5は、第2導電部材29に接続されている。第2導電部材29は、例えば電線であり、熱電変換部材3に接続されている。また、切替部5は、第3導電部材30を介して、制御装置4に接続されている。第3導電部材30は、例えば基板に形成された導体パターンである。
切替部5は、制御装置4の制御によって、第1導電部材26と、第3導電部材30とを接続可能に構成されている。この接続動作により、これら第1導電部材26及び第3導電部材30を含む第1給電経路31が実現される。尚、図1では、第1給電経路31が形成されている状態を示している。また、切替部5は、制御装置4の制御によって、第2導電部材29と、第3導電部材30とを接続可能に構成されている。この接続動作により、これら第2導電部材29及び第3導電部材30を含む第2給電経路32が実現される。第1導電部材26の途中部には、第1コンバータ6が設けられている。また、第2導電部材29の途中部には、第2コンバータ7が設けられている。
第1コンバータ6は、外部電源20からの電力を、制御装置4の動作に適した電流及び電圧に変換して出力するように構成されている。本実施形態では、第1コンバータ6は、AC/DCコンバータである。第1コンバータ6は、外部電源20からの交流電力を、直流電力に変換した後、切替部5及び制御装置4へ出力する。第1コンバータ6は、制御装置4に接続されている。第1コンバータ6は、外部電源20に異常が生じているか否かを特定する情報を、制御装置4へ出力する。これにより、制御装置4は、外部電源20に停電等の異常が生じているか否かを、特定可能である。
第2コンバータ7は、熱電変換部材3からの電力を、制御装置4の動作に適した電流及び電圧に変換して出力するように構成されている。本実施形態では、第2コンバータ7は、DC/DCコンバータである。第2コンバータ7は、熱電変換部材3からの直流電力を、電圧調整した後、この電力を、切替部5へ出力する。第2コンバータ7は、熱電変換部材3からの電流を安定化させる機能も有している。したがって、熱電変換部材3からの電流が不安定な場合であっても、この第2コンバータ7によって、制御装置4の駆動に適した、安定した電力を、制御装置4へ供給できる。
上記の構成により、被処理物100を熱処理する際、制御装置4は、まず、外部電源20からの電力がヒータ13に供給されるように、ヒータ13を制御する。これにより、炉本体11、及び炉本体11内の被処理物100は、加熱される。制御装置4は、計測装置24によって計測された温度が、所定の熱処理温度になるように、ヒータ13の動作を制御する。制御装置4は、被処理物100の熱処理が完了した後に、ヒータ13を停止させる。
また、制御装置4は、後述するように、炉本体11の温度Tに応じて、第1給電経路31と第2給電経路32とを切り替える。また、制御装置4は、外部電源20に停電等の異常が生じた場合でも、動作を継続可能である。以下、熱処理装置1における電力供給制御の動作の一例を説明する。
図2は、熱処理装置1における電力供給制御の動作の一例を説明するためのフローチャートである。図1及び図2を参照して、制御装置4は、炉本体11の温度Tが、所定のしきい値T1未満であるか否かを判定する(ステップS1)。この場合、制御装置4は、計測装置24によって計測された温度を、炉本体11の温度Tとして用いる。
例えば、熱処理装置1の熱処理炉2が、常温の停止状態から起動し始めた時点では、ヒータ13及び炉本体11の温度Tは、常温であり、しきい値T1未満である(ステップS1でYES)。この場合、制御装置4は、外部電源20と接続されるように、切替部5を制御する(ステップS2)。これにより、外部電源20からの電力は、第1給電経路31を介して、制御装置4へ供給される。
即ち、外部電源20からの電力は、第1導電部材26、第1コンバータ6、切替部5、及び第3導電部材30を介して、制御装置4へ供給される。これにより、制御装置4は、外部電源20からの電力によって動作できる。制御装置4は、炉本体11の温度Tがしきい値T1以上になるまで、外部電源20に接続されている状態を維持する(ステップS1,S2)。
一方、ヒータ13が発熱を開始してから所定時間が経過すると、炉本体11の温度Tは、しきい値T1以上となる(ステップS1でNO)。この場合、制御装置4は、熱電変換部材3と接続されるように、切替部5を制御する(ステップS3)。これにより、熱電交換部材3からの電力は、第2給電経路32を介して、制御装置4へ供給される。即ち、熱電変換部材3からの電力は、第2導電部材29、第2コンバータ7、切替部5、及び第3導電部材30を介して、制御装置4へ与えられる。これにより、制御装置4は、熱電変換部材3からの電力によって動作する。また、制御装置4に接続されている弁21、ロック機構23、計測装置24、切替部5、及び表示装置25も、熱電変換部材3からの電力によって動作する。
次に、制御装置4は、外部電源20に異常が生じているか否かを判定する(ステップS4)。具体的には、制御装置4は、第1コンバータ6に、外部電源20からの電力が入力されているか否かを判定する。制御装置4は、第1コンバータ6に、外部電源20からの電力が入力されている場合、外部電源20に異常が生じていないと判定する(ステップS4でNO)。この場合、制御装置4は、ステップS1の処理を再び行う。
一方、外部電源20から第1コンバータ6へ電力が供給されていない場合、制御装置4は、外部電源20に異常が生じていると判定する(ステップS4でYES)。第1コンバータ6へ電力が供給されていない状態として、外部電源20が停電状態にある状態を例示することができる。
制御装置4は、外部電源20に異常が生じていると判定した場合、外部電源異常時処理を行う(ステップS5)。尚、外部電源20に異常が生じている場合、ヒータ13への通電が停止されていることとなるため、熱処理炉2は停止状態となる。しかしながら、制御装置4は、熱電変換部材3から電力を供給されているので、外部電源異常時処理を行うことができる。
具体的には、制御装置4は、外部電源20からヒータ13への通電用スイッチをオフにする。これにより、外部電源20の異常解消時において、ヒータ13が勝手に加熱されることを防止できる。また、制御装置4は、計測装置24から与えられるデータを基に、熱処理炉2に異常が生じていないかを監視する。熱処理炉2に異常が生じている場合には、制御装置4は、この異常の内容を表示装置25に表示させる。また、制御装置4は、計測装置24の温度計測結果を、表示装置25に表示させる。
また、制御装置4は、ロック機構23によるドア12のロックが解除されないように、ロック機構23を制御する。これにより、停電直後の高温の炉本体11内に、オペレータが誤って手を入れることを防止できる。また、制御装置4は、弁21を閉じた状態を維持するように、弁21を制御する。また、制御装置4は、実行中のプログラムを正常に停止できるように、処理を行う。また、制御装置4は、計測装置24で得られたデータを保存する等のバックアップ処理を行う。炉本体11の温度Tがしきい値T1未満に低下するまでの間、即ち、熱電変換部材3から制御装置4の動作に必要な電力が供給されている間、制御装置4は、これらの処理を行う。
以上説明したように、熱処理装置1によると、熱電変換部材3は、熱処理炉2の熱エネルギーを、電力に変換できる。切替部5は、この電力を、制御装置4へ供給することができる。これにより、熱処理炉2で発生する熱エネルギーの有効利用を通じて、省エネルギー化を実現できる。また、切替部5は、必要に応じて、外部電源20からの電力と、熱電変換部材3からの電力とを、択一的に制御装置4へ供給できる。これにより、制御装置4へ電力を供給する態様を、多様化できる。しかも、制御装置4に必要な電力は、熱処理炉2の加熱に必要な熱エネルギーと比べて格段に小さい。よって、発電量が比較的小さい電源としての熱電変換部材3であっても、制御装置4の電源として用いられることは、十分に可能である。
したがって、熱処理装置1において、省エネルギー化を実現でき、且つ、電力を供給する態様を、より多様化できる。
また、熱処理装置1によると、切替部5は、熱処理炉2の温度Tがしきい値T1未満である場合、外部電源20からの電力を制御装置4へ供給する。また、切替部5は、熱処理炉2の温度Tがしきい値T1以上である場合、熱電変換部材3からの電力を制御装置4へ供給する。この構成によると、制御装置4の動作に必要な電力の供給を滞らせることなく、省エネルギー化を実現できる。
例えば、停止状態にある常温の熱処理炉2の起動開始時には、熱電変換部材3からの電力は、小さく、制御装置4を動作させるのに十分ではない。この場合、切替部5は、外部電源20からの電力を、制御装置4へ供給する。一方、例えば、熱処理炉2が被処理物100を熱処理可能な程度に、熱処理炉2の温度が十分に高い場合、熱電変換部材3からの電力は、大きく、制御装置4を動作させるのに十分である。この場合、切替部5は、熱電変換部材3からの電力を、制御装置4へ供給する。この場合、制御装置4は、外部電源20からの電力を消費せずに済む。
また、熱処理装置1によると、外部電源20に停電等の異常が生じている場合でも、熱電変換部材3を、非常用電源(無停電電源、UPS:Uninterruptible Power Supply)として用いることで、制御装置4へ電力を供給することができる。よって、外部電源20に異常が生じている場合でも、制御装置4に、必要な動作を行わせることができる。即ち、外部電源20の異常に伴って、制御装置4の動作が突然遮断されることを抑制できる。これにより、制御装置4、及び熱処理炉2に異常が生じることを抑制できる。
尚、外部電源20の異常等によって、熱処理炉2の加熱動作が停止した場合でも、熱処理炉2の熱容量は大きいので、熱処理炉2の温度は、長期間に亘って維持される。よって、被処理物100の熱処理中に外部電源20に異常が生じても、熱電変換部材3によって十分な電力を発生できる時間は、長い。よって、外部電源20に異常が生じた場合でも、長時間に亘って、制御装置4を動作し続けることができる。これにより、制御装置4の停止に必要なバックアップ作業等、熱処理装置1の停止に必要な作業を行うことができる。また、非常用電源として、バッテリ等の蓄電池を用いる必要がない。このため、蓄電池の定期的な交換作業が不要であり、制御装置4のメンテナンスにかかる手間を少なくできる。その上、蓄電池の削減を通じて、地球環境保全にも貢献できる。
また、熱処理装置1によると、熱処理炉に付随して設置される補助機器としての弁21、ロック機構23、計測装置24、及び表示装置25は、それぞれ、動作に必要な電力が比較的小さくて済む。よって、これら補助機器としての弁21、ロック機構23、計測装置24、及び表示装置25に必要な電力を、熱電変換部材3によって、十分に供給することができる。
また、熱処理装置1によると、熱電変換部材3は、熱処理炉2に設けられた排気路14に取り付けられている。この構成によると、熱処理炉2からの熱を、熱電変換部材3へ、より確実に伝達することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られるものではない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。
[変形例]
(1)上述の実施形態では、熱電変換部材3として、ペルチェ素子を用いる構成を説明したけれども、この通りでなくてもよい。熱電変換部材は、熱エネルギーを電力に変換できる構成を有していればよい。例えば、熱電変換部材として、熱処理炉2の熱を受けるボイラと、タービンと、発電機と、を含む構成を採用してもよい。この場合、ボイラで蒸気を発生させ、この蒸気でタービンを回転させることとなる。タービンに接続された発電機の回転によって電力が発生する。この電力は、熱電変換部材からの電力として扱われる。
(2)また、上述の実施形態では、切替部5は、制御装置4の制御によって、給電経路31,32を切り替える形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。例えば、切替部5は、作業員による手動操作によって、給電経路31,32を切り替えるように構成されていてもよい。
(3)また、上述の実施形態では、補助機器として、弁21、ロック機構23、計測装置24、及び表示装置25を例示したけれども、この通りでなくてもよい。例えば、弁21、ロック機構23、計測装置24、及び表示装置25の少なくとも1つを、省略してもよい。また、計測装置として、温度センサ以外の他の計測装置が用いられてもよい。また、補助機器として、上記弁21、ロック機構23、計測装置24、及び表示装置25以外の補助機器が用いられてもよい。
(4)また、上述の実施形態では、排気路14に熱電変換部材3が取り付けられる形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。例えば、図3に示すように、炉本体11の壁部17に取り付けられる熱電変換部材3Aが、設けられていてもよい。熱電変換部材3Aは、熱電変換部材3と同様の構成を有している。尚、以下では、図1に示す実施形態と異なる構成を説明し、同様の構成には図に同様の符号を付して説明を省略する。この場合、熱電変換部材3Aの表面3aは、炉本体11の壁部17の外表面と面接触している。熱電変換部材3Aは、第導電部材2に接続される。また、図4に示すように、熱電変換部材3,3Aの双方が設けられていてもよい。また、熱電変換部材3は、熱処理炉2からの熱を受けることが可能な場所に配置されていればよい。したがって、熱電変換部材3は、熱処理炉2から離隔した状態で配置されていてもよい。
(5)また、上述の実施形態では、外部電源20の異常時に、制御装置4が、熱電変換部材3からの電力のみで動作される形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。例えば、外部電源20の異常時に、熱電変換部材3からの電力に加えて、蓄電池からの電力を用いて、制御装置4を動作させてもよい。この場合でも、蓄電池に求められる出力を小さくできるので、用意する蓄電池の数は、少なくて済む。
(6)また、上述の実施形態では、ヒータ13が電熱ヒータである形態を例に説明したけれども、この通りでなくてもよい。例えば、ヒータは、ガスの燃焼によって発熱するヒータであってもよい。
本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。
1 熱処理装置
2 熱処理炉
3,3A 熱電変換部材
4 制御装置
5 切替部
14 排気路
17 熱処理炉の壁部
20 外部電源
21 弁(補助機器)
23 ロック機構(補助機器)
24 計測装置(補助機器)
25 表示装置(補助機器)
100 被処理物
T 熱処理炉の温度
T1 しきい値

Claims (4)

  1. 被処理物を熱処理するための熱処理炉と、
    前記熱処理炉からの熱のエネルギーを電力に変換する変換部材と、
    前記熱処理炉を制御するための制御装置と、
    外部電源からの電力と、前記変換部材からの電力とを、択一的に前記制御装置へ供給するための切替部と、
    を備え
    前記切替部は、
    前記熱処理炉の温度が所定のしきい値未満である場合、前記外部電源からの電力を前記制御装置へ供給するように構成され、且つ、
    前記熱処理炉の温度が前記しきい値以上である場合、前記変換部材からの電力を前記制御装置へ供給するように構成されていることを特徴とする、熱処理装置。
  2. 請求項に記載の熱処理装置であって、
    前記切替部は、前記外部電源に異常が生じている場合には、前記変換部材からの電力を、前記制御装置へ供給可能であることを特徴とする、熱処理装置。
  3. 請求項1又は請求項に記載の熱処理装置であって、
    前記制御装置によって制御される補助機器を更に備え、
    前記補助機器は、前記変換部材からの電力によって動作可能であることを特徴とする、熱処理装置。
  4. 請求項1〜請求項の何れか1項に記載の熱処理装置であって、
    記変換部材は、前記熱処理炉に設けられた排気路、及び前記熱処理炉の壁部の少なくとも一方に取り付けられていることを特徴とする、熱処理装置。
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