CN103712465A - 热处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种热处理装置，其能够实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。热处理装置（1）具备热处理炉（2）、热电转换部件（3）、控制装置（4）以及切换部（5）。热处理炉（2）设置为用于对被处理物（100）进行热处理。热电转换部件（3）用于将来自热处理炉（2）的热能转换为电力。控制装置（4）设置为用于控制热处理炉（2）。切换部（5）将来自外部电源（20）的电力和来自热电转换部件（3）的电力择一供给至控制装置（4）。

Description

热处理装置
技术领域
本发明涉及热处理装置。
背景技术
已知有用于对基板进行加热处理的基板加热处理装置（例如参照专利文献1）。在专利文献1中记载的基板加热处理装置具备能够收纳基板的处理腔。在处理腔内配置有热板。热板设置为用于加热基板。在热板的侧方配置有热电转换模块。热电转换模块用于将来自热板的热能转换为电力。该电力供给至电力供给源。来自电力供给源的电力用于基板加热处理装置的各部的驱动。通过上述结构，企图对热板的热能进行有效利用。
专利文献1：日本特开2000-68183号公报（0026段、0032段）
但是，热处理装置为了通过电热加热器来对基板等被加热物进行加热，需要较大的电力。因此，热处理装置通常使用作为由电力公司提供的电源的外部电源，来确保必需的电力。在专利文献1中记载的结构中，由热电转换模块供给的电力被供给至用于驱动基板处理装置的各部的电力供给源，并与来自外部电源的电力没有区别地被使用。这样，专利文献1中记载的结构不是将来自热电转换模块的电力和来自外部电源的电力分开使用的结构。
发明内容
通过鉴于上述情况，本发明的目的在于能够在热处理装置中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。
（1）为了解决上述课题，本发明的某一方面所涉及的热处理装置具备热处理炉、热电转换部件、控制装置和切换部。所述热处理炉设置为用于对被处理物进行热处理。所述热电转换部件用于将来自所述热处理炉的热能转换为电力。所述控制装置设置为用于控制所述热处理炉。所述切换部设置为用于将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至所述控制装置。
根据该结构，热电转换部件能够将热处理炉的热能转换为电力。切换部能够将该电力供给至控制装置。由此，能够通过对由热处理炉产生的热能的有效利用，来实现节能化。此外，根据需要，切换部能够将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至控制装置。由此，能够使向热处理装置的控制装置供给电力的形态多样化。而且，控制装置所必需的电力与对热处理炉的加热所必需的热能相比非常小。由此，即使是作为发电量相对较小的电源的热电转换部件，也足以能够用作控制装置的电源。
因此，根据本发明，能够在热处理装置中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。
（2）优选为：所述切换部构成为，在所述热处理炉的温度小于预定的阈值时，将来自所述外部电源的电力供给至所述控制装置。所述切换部构成为，在所述热处理炉的温度为所述阈值以上时，将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。
根据此结构，能够实现节能化，且不延误对控制装置的动作所必需的电力的供给。具体地，例如，在处于停止状态的常温的热处理炉的启动开始时，来自热电转换部件的电力较小，不足以使控制装置进行动作。此时，切换部将来自外部电源的电力供给至控制装置。另一方面，例如在热处理炉的温度非常高、达到热处理炉能够对被处理物进行热处理的程度的情况下，来自热电转换部件的电力较大，足以使控制装置进行动作。此时，切换部将来自热电转换部件的电力供给至控制装置。此时，控制装置不需要消耗来自外部电源的电力即可。
（3）优选为：在所述外部电源发生异常时，所述切换部能够将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。
根据此结构，即使在外部电源发生停电等异常的情况下，也能够通过将热电转换部件用作紧急用电源（无停电电源），来对控制装置供给电力。由此，即使在外部电源发生异常时，也能够使控制装置进行必要的动作。即，能够抑制随着外部电源的异常而使控制装置的动作突然切断的情况。由此，能够抑制在控制装置和热处理炉发生异常的情况。此外，即使在由于外部电源的异常等导致热处理炉的加热动作停止的情况下，由于热处理炉的热容量一般较大，因此热处理炉的温度在长时间内得以维持。由此，即使在对被处理物的热处理中外部电源发生异常时，能够利用热电转换部件产生足够的电力的时间也较长。由此，即使在外部电源发生异常时，也能够在长时间内使控制装置继续进行动作。由此，能够进行对控制装置的停止所必需的备份作业等、和对热处理装置的停止所必需的作业。此外，无需使用电池等蓄电装置来作为紧急用电源，或者可以减少蓄电装置的使用量。因此，无需蓄电装置的定期的更换作业，或者蓄电装置的更换量较少即可。由此，能够减少控制装置的维护所花费的劳力和时间。此外，通过对蓄电装置的削减，还能对保护地球环境做出贡献。
（4）优选为：所述热处理装置进一步具备被所述控制装置所控制的辅助设备。所述辅助设备能够利用来自所述热电转换元件的电力进行动作。
根据此结构，只要是附随设置于热处理炉的辅助设备，动作所需的电力相对较小即可。由此，能够通过热电转换部件充分地向辅助设备供给所需的电力。
（5）优选为：所述热电转换部件安装于排气通道和所述热处理炉的壁部中的至少一方，所述排气通道设置于所述热处理炉。
根据此结构，能够将来自热处理炉的热更为可靠地传递至热电转换部件。
根据本发明，能够在热处理装置中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的热处理装置的结构的示意图。
图2是用于说明热处理装置中的电力供给控制的动作的一个例子的流程图。
图3是示出本发明的变形例的主要部分的示意图。
图4是示出本发明的其它变形例的主要部分的示意图。
标号说明
1：热处理装置；
2：热处理炉；
3、3A：热电转换部件；
4：控制装置；
5：切换部；
14：排气通道；
17：热处理炉的壁部；
20：外部电源；
21：阀（辅助设备）；
23：锁定机构（辅助设备）；
24：计测装置（辅助设备）；
25：显示装置（辅助设备）；
100：被处理物；
T：热处理炉的温度；
T1：阈值。
具体实施方式
下面，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。此外，本发明能够作为用于对被处理物进行热处理的热处理装置广泛应用。
图1是示出本发明的实施方式的热处理装置1的结构的示意图。参照图1，热处理装置1是用于对被处理物100实施热处理的装置。作为该热处理，可以例示出渗碳处理、扩散处理、退火处理、CVD（Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积）处理等。
热处理装置1具备：热处理炉2、热电转换部件3、控制装置4、切换部5、第1转换器6、第2转换器7、以及辅助设备单元8。
热处理炉2构成为，在收纳有被处理物100的状态下对该被处理物100进行热处理。
热处理炉2具有炉主体11、门12、加热器13以及排气通道14。
炉主体11设置为用于收纳被处理物100。炉主体11例如由金属形成。炉主体11例如形成为中空的箱形形状，其具有用于收纳被处理物100的收纳空间16。炉主体11具有多个壁部17，通过这些壁部17来形成收纳空间16。将各壁部17的厚度设定为非常大的值。由此，炉主体11的热容量被设定为非常大。
此外，在炉主体11的一侧部安装有门12。门12经由铰链部件18与炉主体11连结，并能够相对于炉主体11开闭。通过打开该门12，能够使收纳空间16向炉主体11的外部的空间开放。在门12打开的状态下，将被处理物100从炉主体11的外部的空间搬入到收纳空间16中。此外，在门12打开的状态下，将被处理物100从收纳空间16搬出。此外，通过关闭该门12，能够将收纳空间16与炉主体11的外部的空间隔断。此外，炉主体11连接于未图示的进气管。经由该进气管来向收纳空间16内供给对被处理物100的热处理所需要的气体。在门12关闭的状态下，对被处理物100进行热处理。通过加热器13对炉主体11进行加热。
加热器13例如为电热加热器，是利用较大电力工作的强电设备。加热器13具有加热部19。加热部19例如配置在炉主体11的收纳空间16内。加热部19通过被供给电力而发热。加热部19的热传递至炉主体11、收纳空间16以及被处理物100。由此，将炉主体11、收纳空间16的气体以及被处理物100加热到预定的热处理温度。该情况的热处理温度例如为大约几百℃～几千℃的范围内。加热器13具有未图示的电源电路。该电源电路与外部电源20连接。该电源电路将来自外部电源20的电力在调整为适合于加热部19的动作的电压和电流的基础上输出到加热部19。
外部电源20例如为商用电源，是由电力公司提供的电源。外部电源20的电压例如为几百伏特。在本实施方式中，外部电源20为交流电源。被具有上述结构的加热器13加热的收纳空间16内的气体在被处理物100的热处理后向排气通道14排出。
排气通道14设置为用于将收纳空间16内的气体排出到炉主体11的外部。排气通道14由金属等耐热材料形成。排气通道14形成为管状。在本实施方式中，排气通道14形成为L字状。排气通道14的中途部具有弯曲的形状。排气通道14的一端贯穿炉主体11的壁部17，并与收纳空间16相连接。排气通道14的另一端与炉主体11的外部的空间相连接。
在排气通道14安装有阀21。阀21构成辅助设备单元8的一部分。该阀21例如为电磁阀，其由控制装置4供给电力，且由控制装置4来进行开闭控制。阀21在热处理装置1停止等时关闭。另一方面，该阀21在被处理物100动作时打开。阀21例如在正在对被处理物100进行热处理时打开。阀21也可以在正在被处理物100进行热处理时关闭，而在对被处理物100的热处理结束后打开。在收纳空间16内，通过打开阀21，被加热器13加热后的高温的气体从排气通道14通过，而排出到炉主体11的外部的空间。在正在对被处理物100进行热处理时，如果打开阀21，则高温的排出气体在热处理的期间始终流至排气通道14。由此，能够不受排气通道14的热容量的约束，对热电转换部件3给予足够的热量。此外，在正在对被处理物100进行热处理时打开阀21的情况下，在热处理的期间，始终从未图示的进气管供给气体。
此外，排气通道14与炉主体11相连接。因此，来自加热器13的热经由炉主体11传递至排气通道14。由此，当热在炉主体11积蓄时，排气通道14受到该热而抑制了温度降低。此外，排气通道14的热容量比炉主体11的热容量小。因此，在热从炉主体11传递到排气通道14的状态下，炉主体11的温度降低量非常小。该排气通道14对热电转换部件3进行保持。
热电转换部件3设置为用于将热处理炉2的热能转换为电力（电能）。作为热处理装置1的电源，在本实施方式中，使用该热电转换部件3和外部电源20。外部电源20被用作能够向热处理炉2（加热器13）和控制装置4双方供给电力的电源。另一方面，热电转换部件3被用作向控制装置4供给电力但不向热处理炉2供给电力的电源。
热电转换部件3是利用了塞贝克效应（Seebeck effect）的热电转换元件，其具有多个珀尔帖元件。更为具体地，热电转换部件3由p型半导体和n型半导体组合形成。热电转换部件3具有表面3a和背面3b。热电转换部件3构成为通过在表面3a和背面3b之间产生温度差来产生电力。由热电转换部件3产生的电压例如为几伏特。
热电转换部件3的大小根据对热电转换部件3要求的电力量等来恰当设定。此外，对热电转换部件3的形状没有特别限定。热电转换部件3配置为能够接受来自热处理炉2的炉主体11的热。
在本实施方式中，热电转换部件3作为整体形成为L字状，其具有沿着排气通道14的外表面14a的形状的形状。更为具体地，热电转换部件3的表面3a具有第1部分3c和第2部分3d。第1部分3c和第2部分3d形成为平面状。第1部分3c和第2部分3d以正交的方式延伸。所述第1部分3c和第2部分3d分别与排气通道14的外表面14a面接触。在本实施方式中，热电转换部件3的表面3a固定于排气通道14的外表面14a。由此，排气通道14的热高效地传递至热电转换部件3的表面3a。
热电转换部件3的背面3b向着远离排气通道14的方向。该背面3b具有第1部分3e和第2部分3f。第1部分3e以与表面3a的第1部分3c平行的方式延伸。第2部分3f以与表面3a的第2部分3d平行的方式延伸。在具有上述结构的背面3b安装有散热部件22。
散热部件22设置为用于促进从热电转换部件3的背面3b的散热。由此，能够使热电转换部件3的表面3a与背面3b之间的温度差更大。其结果是能够使由热电转换部件3产生的电力更大。散热部件22例如使用铝合金、铜合金等热传导性优异的材料来形成。散热部件22固定在热电转换部件3的背面3b的第1部分3e和第2部分3f。由热电转换部件3产生的电力能够输出到控制装置4。
控制装置4设置为用于控制热处理炉2。在本实施方式中，控制装置4是作为弱电设备的控制电路。更为具体地，控制装置4具有包括CPU（Central Processing Unit，中央处理器）、ROM（Read Only Memory，只读存储器）以及RAM（RandomAccessMemory，随机存取存储器）的硬件。此外，控制装置4具有存储在ROM中的软件。控制装置4通过CPU读取存储在ROM中的程序并执行该程序来进行动作。此外，控制装置4可以像这样通过软件与硬件的协作来实现，也可以由硬件来实现。
控制装置4的动作电压例如为几十伏特。控制装置4与热处理炉2等电连接。更为具体地，控制装置4与热处理炉2的加热器13以及辅助设备单元8连接，来控制所述加热器13和辅助设备单元8等。控制装置4根据辅助设备单元8的后述计测装置24的计测结果等来控制热处理炉2。
辅助设备单元8具有附随设置于热处理炉2的多个辅助设备。这些辅助设备连接于控制装置4，通过从控制装置4供给电力来进行动作，并被控制装置4所控制。
辅助设备单元8作为辅助设备包括所述阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25。
锁定机构23设置为用于锁定门12。锁定机构23例如具有电螺管。该电螺管的杆通过连结炉主体11和门12，来限制门12相对于炉主体11的打开动作。此外，通过解除该杆对炉主体11和门12之间的连结，来解除对门12的锁定。锁定机构23通过控制装置4的控制来进行上述的锁定以及锁定的解除。
计测装置24设置为用于对热处理炉2的动作状态进行计测。计测装置24安装于热处理炉2。计测装置24例如为数码式的温度传感器，构成为使用电力来进行动作。计测装置24对热处理炉2的收纳空间16等的温度进行计测。计测装置24利用来自控制装置4的电力来进行动作，并将计测结果输出至控制装置4。控制装置4根据该计测结果来对使加热器13进行动作的时机、以及排气通道14的阀21的开闭时机等进行控制。
显示装置25例如为液晶显示器。显示装置25构成为，读取由控制装置4提供的显示用数据，并显示由该显示用数据确定的图像。由此，显示装置25对热处理炉2内的温度和外部电源20的异常的有无等进行显示。此外，用于控制显示装置25的控制装置4还与切换部5连接，其接受来自切换部5的电力，并控制切换部5的动作。
切换部5设置为用于将来自外部电源20的电力和来自热电转换部件3的电力择一供给至控制装置4。换言之，切换部5构成为能够切换向控制装置4供给电力的供电路径。
切换部5例如为继电器开关。此外，切换部5也可以为使用半导体元件形成的PLC（Programmable Logic Controller，可编程序逻辑控制器）等。切换部5与第1导电部件26相连接。第1导电部件26例如为电线，其经由插头27、28等来与外部电源20连接。此外，切换部5与第2导电部件29相连接。第2导电部件29例如为电线，其与热电转换部件3连接。此外，切换部5经由第3导电部件30与控制装置4相连接。第3导电部件30例如为形成于基板的导体图案。
切换部5构成为能够通过控制装置4的控制而将第1导电部件26和第3导电部件30连接起来。通过该连接动作，来实现包括所述第1导电部件26和第3导电部件30的第1供电路径31。此外，在图1中，示出了形成有第1供电路径31的状态。此外，切换部5构成为能够通过控制装置4的控制而将第2导电部件29和第3导电部件30连接起来。通过该连接动作，来实现包括所述第2导电部件29和第3导电部件30的第2供电路径32。在第1导电部件26的中途部设有第1转换器6。此外，在第2导电部件29的中途部设有第2转换器7。
第1转换器6构成为将来自外部电源20的电力转换成适于控制装置4的动作的电流和电压并输出。在本实施方式中，第1转换器6为AC/DC（交流/直流）转换器。第1转换器6将来自外部电源20的交流电力转换为直流电力后，输出到切换部5和控制装置4。第1转换器6与控制装置4相连接。第1转换器6将对是否在外部电源20发生异常进行确定的信息输出到控制装置4。由此，控制装置4能够确定是否在外部电源20发生停电等异常。
第2转换器7构成为将来自热电转换部件3的电力转换成适于控制装置4的动作的电流和电压并输出。在本实施方式中，第2转换器7为DC/DC（直流/直流）转换器。第2转换器7在对来自热电转换部件3的直流电力进行电压调整后，将该电力输出到切换部5。第2转换器7还具有使来自热电转换部件3的电流稳定化的功能。因此，即使在来自热电转换部件3的电流不稳定的情况下，也能够通过该第2转换器7向控制装置4供给适合控制装置4的驱动的、稳定的电力。
根据上述结构，在对被处理物100进行热处理时，控制装置4首先控制加热器13，以将来自外部电源20的电力供给至加热器13。由此，对炉主体11以及炉主体11内的被处理物100进行加热。控制装置4对加热器13的动作进行控制，以使通过计测装置24计测出的温度成为预定的热处理温度。在对被处理物100的热处理结束后，控制装置4停止加热器13。
此外，如后所述，控制装置4根据炉主体11的温度T来对第1供电路径31和第2供电路径32进行切换。此外，即使在外部电源20产生停电等异常的情况下，控制装置4也能继续进行动作。以下，对热处理装置1中的电力供给控制的动作的一个例子进行说明。
图2是用于说明热处理装置1中的电力供给控制的动作的一个例子的流程图。参照图1和图2，控制装置4对炉主体11的温度T是否小于预定的阈值T1进行判定（步骤S1）。此时，控制装置4将通过计测装置24计测出的温度作为炉主体11的温度T来使用。
例如，在热处理装置1的热处理炉2从常温的停止状态开始启动的时刻，加热器13和炉主体11的温度T为常温，且小于阈值T1（步骤S1中为YES（是））。此时，控制装置4控制切换部5以使控制装置4与外部电源20相连接（步骤S2）。由此，来自外部电源20的电力经由第1供电路径31供给至控制装置4。
即，来自外部电源20的电力经由第1导电部件26、第1转换器6、切换部5以及第3导电部件30供给至控制装置4。由此，控制装置4能够利用来自外部电源20的电力来进行动作。控制装置4维持与外部电源20相连接的状态直到炉主体11的温度T为阈值T1以上（步骤S1、S2）。
另一方面，当从加热器13开始发热起经过预定时间时，炉主体11的温度T成为阈值T1以上（步骤S1中为NO（否））。此时，控制装置4控制切换部5以使控制装置4与热电转换部件3相连接（步骤S3）。由此，来自热电转换部件3的电力经由第2供电路径32供给至控制装置4。即，来自热电转换部件3的电力经由第2导电部件29、第2转换器7、切换部5以及第3导电部件30供给至控制装置4。由此，控制装置4利用来自热电转换部件3的电力进行动作。此外，与控制装置4连接的阀21、锁定机构23、计测装置24、切换部5以及显示装置25也利用来自热电转换部件3的电力来进行动作。
接着，控制装置4对是否在外部电源20发生异常进行判定（步骤S4）。具体地，控制装置4对来自外部电源20的电力是否输入到第1转换器6进行判定。控制装置4在来自外部电源20的电力输入到第1转换器6的情况下判定为在外部电源20未发生异常（步骤S4中为NO）。此时，控制装置4再次进行步骤S1的处理。
另一方面，在电力未从外部电源20输入到第1转换器6的情况下，控制装置4判定为在外部电源20发生异常（步骤S4中为YES）。作为未向第1转换器6供给电力的状态，可以例示出外部电源20处于停电状态的状态。
在控制装置4判定为在外部电源20发生异常的情况下，进行外部电源异常时处理（步骤S5）。此外，当在外部电源20发生异常时，对加热器13的通电停止，因此热处理炉2处于停止状态。但是，由于控制装置4由热电转换部件3供给电力，因此能够进行外部电源异常时处理。
具体地，控制装置4使由外部电源20向加热器13通电的通电用开关断开。由此，能够防止在外部电源20的异常解除时加热器13被随意加热。此外，控制装置4根据由计测装置24提供的数据，对在热处理炉2是否发生异常进行监视。当在热处理炉2发生异常时，控制装置4将该异常内容显示在显示装置25。此外，控制装置4将计测装置24的温度计测结果显示在显示装置25。
此外，控制装置4对锁定机构23进行控制，以使锁定机构23对门12的锁定不被解除。由此，能够防止操作人员误将手伸入到刚停电后的高温的炉主体11内。此外，控制装置4控制阀21，以将阀21维持在关闭状态。此外，控制装置4进行处理，以使执行中的程序能够正常地停止。此外，控制装置4进行对由计测装置24获得的数据进行保存等的备份处理。在到炉主体11的温度T降低至小于阈值T1为止的期间，即，在由热电转换部件3供给控制装置4的动作所必需的电力的期间，控制装置4进行上述这些处理。
如同以上说明，根据热处理装置1，热电转换部件3能够将热处理炉2的热能转换为电力。切换部5能够将该电力供给至控制装置4。由此，能够通过对由热处理炉2产生的热能的有效利用，来实现节能化。此外，根据需要，切换部5能够将来自外部电源20的电力和来自热电转换部件3的电力择一供给至控制装置4。由此，能够使向控制装置4供给电力的形态多样化。而且，控制装置4所必需的电力与对热处理炉2的加热所必需的热能相比非常小。由此，即使是作为发电量相对较小的电源的热电转换部件3，也足以能够用作控制装置4的电源。
因此，能够在热处理装置1中实现节能化，且能够使供给电力的形态更为多样化。
此外，根据热处理装置1，在热处理炉2的温度T小于阈值T1时，切换部5将来自外部电源20的电力供给至控制装置4。此外，在热处理炉2的温度T为阈值T1以上时，切换部5将来自热电转换部件3的电力供给至控制装置4。根据此结构，能够实现节能化，且不延误对控制装置4的动作所必需的电力的供给。
例如，在处于停止状态的常温的热处理炉2的启动开始时，来自热电转换部件3的电力较小，不足以使控制装置4进行动作。此时，切换部5将来自外部电源20的电力供给至控制装置4。另一方面，例如在热处理炉2的温度非常高、达到热处理炉2能够对被处理物100进行热处理的程度的情况下，来自热电转换部件3的电力较大，足以使控制装置4进行动作。此时，切换部5将来自热电转换部件3的电力供给至控制装置4。此时，控制装置4不需要消耗来自外部电源20的电力即可。
此外，根据热处理装置1，即使在外部电源20发生停电等异常的情况下，也能够通过将热电转换部件3用作紧急用电源（无停电电源，UPS：Uninterruptible PowerSupply（不间断电源）），来对控制装置4供给电力。由此，即使在外部电源20发生异常时，也能够使控制装置4进行必要的动作。即，能够抑制随着外部电源20的异常而使控制装置4的动作突然切断的情况。由此，能够抑制在控制装置4和热处理炉2发生异常的情况。
此外，即使在由于外部电源20的异常等导致热处理炉2的加热动作停止的情况下，由于热处理炉2的热容量较大，因此热处理炉2的温度在长时间内得以维持。由此，即使在对被处理物100的热处理中外部电源20发生异常，能够利用热电转换部件3产生足够的电力的时间也较长。由此，即使在外部电源20发生异常时，也能够在长时间内使控制装置4继续进行动作。由此，能够进行对控制装置4的停止所必需的备份作业等、和对热处理装置1的停止所必需的作业。此外，作为紧急用电源，无需使用电池等蓄电装置。因此，不需要定期进行蓄电装置的更换作业，能够减少对控制装置4的维护所需的劳力和时间。此外，通过对蓄电装置的削减，还能对保护地球环境做出贡献。
此外，根据热处理装置1，作为附随设置于热处理炉2的辅助设备的阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25的各自的动作所必需的电力相对较小即可。由此，能够通过热电转换部件3来对作为这些辅助设备的阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25充分地供给所需的电力。
此外，根据热处理装置1，热电转换部件3安装于设置在热处理炉2的排气通道14。根据此结构，能够将来自热处理炉2的热更为可靠地传递至热电转换部件3。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。本发明能够在记载于权利要求书的范围内进行各种变更。
[变形例]
（1）在上述的实施方式中，作为热电转换部件3，对使用了珀尔帖元件的结构进行了说明，但也可以不是这样。热电转换部件具有能够将热能转换为电力的结构即可。例如，作为热电转换部件，也可以采用包括涡轮、发电机和用于接受热处理炉2的热的锅炉的结构。此时，通过锅炉产生蒸汽，通过该蒸汽使涡轮旋转。通过与涡轮连接的发电机的旋转来产生电力。将该电力作为来自热电转换部件的电力来使用。
（2）此外，在上述的实施方式中，对于切换部5，以通过控制装置4的控制来对供电路径31、32进行切换的形态为例进行了说明，但也可以不是这样。例如，切换部5也可以构成为通过作业人员的手动操作来切换供电路径31、32。
（3）此外，在上述的实施方式中，作为辅助设备，例示了阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25，但也可以不是这样。例如，也可以省略阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25中的至少一个。此外，作为计测装置，也可以使用温度传感器以外的其它的计测装置。此外，作为辅助设备，也可以使用上述阀21、锁定机构23、计测装置24以及显示装置25以外的辅助设备。
（4）此外，在上述的实施方式中，以热电转换部件3安装在排气通道14的形态为例进行了说明，但也可以不是这样。例如，如图3所示，也可以设置安装于炉主体11的壁部17的热电转换部件3A。热电转换部件3A具有与热电转换部件3同样的结构。此外，在下面，对与如图1所示的实施方式不同的结构进行说明，对于相同的结构，在图中附加相同的标号并省略说明。此时，热电转换部件3A的表面3a与炉主体11的壁部17的外表面成面接触。热电转换部件3A与第2导电部件29相连接。此外，如图4所示，也可以设置热电转换部件3、3A双方。此外，将热电转换部件3配置在能够接受到来自热处理炉2的热的场所即可。因此，也可以将热电转换部件3以与热处理炉2隔开的状态配置。
（5）此外，在上述的实施方式中，以在外部电源20异常时控制装置4仅通过来自热电转换部件3的电力进行动作的形态为例进行了说明，但也可以不是这样。例如，也可以为，在外部电源20异常时，在来自热电转换部件3的电力的基础上，使用来自蓄电装置的电力，来使控制装置4进行动作。即使在此情况下，由于对蓄电装置要求的输出较小，因此准备的蓄电装置的数量较少即可。
（6）此外，在上述的实施方式中，以加热器13为电热加热器的形态为例进行了说明，但也可以不是这样。例如，加热器也可以为利用气体的燃烧来发热的加热器。
产业上的可利用性
本发明能够作为热处理装置广泛应用。

Claims (5)

1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置具备：
热处理炉，其用于对被处理物进行热处理；
热电转换部件，其将来自所述热处理炉的热能转换为电力；
控制装置，其用于控制所述热处理炉；以及
切换部，其用于将来自外部电源的电力和来自所述热电转换部件的电力择一供给至所述控制装置。
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，
所述切换部构成为，
在所述热处理炉的温度小于预定的阈值时，将来自所述外部电源的电力供给至所述控制装置，并且，
在所述热处理炉的温度为所述阈值以上时，将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。
3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，
在所述外部电源发生异常时，所述切换部能够将来自所述热电转换部件的电力供给至所述控制装置。
4.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，
所述热处理装置进一步具备被所述控制装置所控制的辅助设备，
所述辅助设备能够利用来自所述热电转换元件的电力进行动作。
5.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，
所述热电转换部件安装于排气通道和所述热处理炉的壁部中的至少一方，所述排气通道设置于所述热处理炉。
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