JP5938918B2 - 配線基板を有する半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかる半導体装置に備えられるキャパシタ構造部を有する配線基板の断面図である。また、図2は、図1に示す配線基板のレイアウト図である。図1は、図2中のA−A’線に沿ったライン上で配線基板を切断したときの断面図に相当している。以下、これらの図を参照して、本実施形態にかかる半導体装置に備えられる配線基板について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態では、第1実施形態で示した配線基板を備えた半導体装置の一例について説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャパシタ構造部2の一部を単なる貫通電極として用いるようにしたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
上記各実施形態では、基板としてシリコン基板1を用いる場合について説明したが、シリコン基板1以外の基板、例えばガラス基板や金属基板などを用いることができる。シリコン基板1の不純物濃度が高い場合や金属基板を用いる場合には、スルーホール3の内壁面や基板の表裏面に一層目絶縁膜1aを備えるようにすればよく、シリコン基板1であっても不純物濃度が低い場合もしくはガラス基板などの場合には、一層目絶縁膜1aを備えなくても良い。また、配線基板に限らず、活性素子又は受動素子の入った半導体基板に対しても本発明を適用することができる。
1a 一層目絶縁膜
2 キャパシタ構造部
2a 外側導体
2b 誘電体
2c 中心導体
3 スルーホール
4 第1配線パターン
5 二層目絶縁膜
6 第2配線パターン
7 引出配線部
8 二層目絶縁膜
10a、10b、20 バンプ
21 LSIチップ
Claims (7)
- 表面および裏面を有し、前記表面から前記裏面に貫通するスルーホール(3)が形成された基板(1)と、
前記基板(1)の前記スルーホール(3)内に、中心導体(2c)を中心として誘電体(2b)と外側導体(2a)とが同軸状に配置された複数のキャパシタ構造部(2)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記外側導体(2a)同士を電気的に接続する第1配線パターン(4)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記中心導体(2c)同士を電気的に接続する第2配線パターン(6)とを有してなる配線基板を備え、
前記第1配線パターン(4)および前記第2配線パターン(6)は、前記基板(1)の法線方向から見て、絶縁膜(5)を介して部分的に重なり合って配置され、該重なり合っている部分に前記キャパシタ構造部(2)が所定間隔毎に複数個配置されていると共に、前記基板(1)の表裏面の両方に形成されており、前記基板(1)の表裏面の両方において、前記第1配線パターン(4)が前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記外側導体(2a)同士を電気的に接続しており、前記第2配線パターン(6)が前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記中心導体(2c)同士を電気的に接続していることを特徴とする配線基板を有する半導体装置。 - 表面および裏面を有し、前記表面から前記裏面に貫通するスルーホール(3)が形成された基板(1)と、
前記基板(1)の前記スルーホール(3)内に、中心導体(2c)を中心として誘電体(2b)と外側導体(2a)とが同軸状に配置された複数のキャパシタ構造部(2)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記外側導体(2a)同士を電気的に接続する第1配線パターン(4)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記中心導体(2c)同士を電気的に接続する第2配線パターン(6)とを有してなる配線基板を備え、
前記第1配線パターン(4)および前記第2配線パターン(6)は、前記基板(1)の法線方向から見て、絶縁膜(5)を介して部分的に重なり合って配置され、該重なり合っている部分に前記キャパシタ構造部(2)が所定間隔毎に複数個配置されていると共に、
前記絶縁膜(5)にはコンタクトホール(5c)が形成されており、該コンタクトホール(5c)を介して前記第1配線パターン(4)と前記第2配線パターン(6)とが電気的に接続されることで、前記外側導体(2a)と前記中心導体(2c)とが同電位とされ、前記キャパシタ構造部(2)によって貫通電極が構成されていることを特徴とする配線基板を有する半導体装置。 - 表面および裏面を有し、前記表面から前記裏面に貫通するスルーホール(3)が形成された基板(1)と、
前記基板(1)の前記スルーホール(3)内に、中心導体(2c)を中心として誘電体(2b)と外側導体(2a)とが同軸状に配置された複数のキャパシタ構造部(2)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記外側導体(2a)同士を電気的に接続する第1配線パターン(4)と、
前記基板(1)の表裏面のうち少なくとも表面側に形成され、前記複数のキャパシタ構造部(2)における前記中心導体(2c)同士を電気的に接続する第2配線パターン(6)とを有してなる配線基板を備え、
前記第1配線パターン(4)および前記第2配線パターン(6)は、前記基板(1)の法線方向から見て、絶縁膜(5)を介して部分的に重なり合って配置され、該重なり合っている部分に前記キャパシタ構造部(2)が所定間隔毎に複数個配置されていると共に、
前記誘電体(2b)は、前記スルーホール(3)の外側まで張り出して前記第1配線パターン(4)の表面まで形成されていることを特徴とする配線基板を有する半導体装置。 - 前記第1配線パターン(4)を信号配線とし、前記第2配線パターン(6)をグランド配線とする電気的な接続構成とすることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記基板(1)が半導体を使った配線基板あるいは活性素子又は受動素子の入った半導体基板であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 表面および裏面を有する基板(1)を用意する工程と、
前記基板(1)の表面から裏面に貫通する複数のスルーホール(3)を形成する工程と、
前記基板(1)の表面および裏面と前記スルーホール(3)の内壁面の上に第1金属膜(13)を成膜すると共に、該第1金属膜(13)の表面に誘電膜(14)を成膜し、さらに該誘電膜(14)の表面に第2金属膜(15)を成膜することで、前記スルーホール(3)内を前記第1金属膜(13)と前記誘電膜(14)および前記第2金属膜(15)によって埋め込む工程と、
前記第2金属膜(15)、前記誘電膜(14)および前記第1金属膜(13)を順にパターニングし、前記スルーホール(3)内に残された前記第1金属膜(13)と前記誘電膜(14)および前記第2金属膜(15)によって、それぞれ、外側導体(2a)と誘電体(2b)および中心導体(2c)を構成することで複数のキャパシタ構造部(2)を形成すると共に、前記基板(1)の表面および裏面の上に形成された前記第1金属膜(13)によって前記外側導体(2a)と電気的に接続された第1配線パターン(4)を形成する工程と、
前記第1配線パターン(4)を含む、前記基板(1)の表面および裏面の上に、絶縁膜(5)を形成する工程と、
前記絶縁膜(5)に対して、前記第1配線パターン(4)に繋がるコンタクトホール(5a)と前記中心導体(2c)に繋がるコンタクトホール(5b)とを形成する工程と、
前記絶縁膜(5)の表面に金属膜を配置したのち、該金属膜をパターニングし、前記コンタクトホール(5a、5b)を介して、前記第1配線パターン(4)に接続される引出配線部(7)を形成すると共に、前記中心導体(2c)に電気的に接続される第2配線パターン(6)を形成する工程とを含み、
前記第1配線パターン(4)および前記第2配線パターン(6)を、前記基板(1)の法線方向から見て、絶縁膜(5)を介して部分的に重なり合って配置し、該重なり合っている部分に前記キャパシタ構造部(2)が所定間隔毎に複数個配置されるようにすることを特徴とする配線基板を有する半導体装置の製造方法。 - 前記誘電膜(14)をパターニングして前記誘電体(2b)を構成するときには、前記誘電体(2b)を前記スルーホール(3)の外側まで張り出させ前記第1配線パターン(4)の表面まで残すことを特徴とする請求項6に記載の配線基板を有する半導体装置の製造方法。
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