JP6424715B2 - 半導体装置、及び、半導体装置の電圧設定方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る半導体装置1を示す断面図である。
空乏層10−3D及び10−4Dの厚さは、バイアス電圧が増大すれば厚くなり、バイアス電圧が減少すれば薄くなる。
式(2)において、Vccは電源電圧、Imaxは最大消費電流を示す。最大消費電流Imaxの値は、半導体装置1に含まれる電子回路あるいは演算処理装置等、又は、半導体装置1に接続されるLSIチップ等の仕様に基づいて予め計算しておけばよい。なお、電源インピーダンスの上限値Ztを表すデータは、メモリ25に格納しておけばよい。
図9は、実施の形態2に係る半導体装置2を示す断面図である。
負荷部440Aは、半導体装置2から電源が供給される負荷である。
以上の実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
(付記1)
基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と、
前記電源部が出力する直流電圧を制御する電圧制御部と
を含み、
前記電圧制御部は、前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を制御する、半導体装置。
(付記2)
前記第1貫通電極に接続され、前記電源インピーダンスを測定する測定部をさらに含み、
前記電圧制御部は、前記測定部によって測定される前記電源インピーダンスが、前記所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を制御する、付記1記載の半導体装置。
(付記3)
前記電圧制御部は、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが前記所定値よりも大きい周波数領域がある場合は、前記所定の周波数範囲内に前記電源インピーダンスの反共振が生じる反共振周波数が含まれるかどうかを判定し、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合には、前記反共振周波数が前記所定の周波数範囲外になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を変化させる、付記1又は2記載の半導体装置。
(付記4)
前記電圧制御部は、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合に、前記反共振周波数が前記所定の周波数範囲の下限の第1周波数よりも、前記所定の周波数範囲の上限の第2周波数に近い場合は、前記電源部に前記直流電圧の値を増大させ、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合に、前記反共振周波数が前記第2周波数よりも前記第1周波数に近い場合は、前記電源部に前記直流電圧の値を低下させる、付記3記載の半導体装置。
(付記5)
前記基板を貫通し、前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極の側面に配設される絶縁層をさらに含む、付記1乃至4のいずれか一項記載の半導体装置。
(付記6)
基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と
を含み、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記直流電圧の値が設定される、半導体装置。
(付記7)
前記基板と前記第2貫通電極との間に印加する直流電圧を調整して前記絶縁層に生じる空乏層の厚さを調節することにより、前記第1貫通電極の電源インピーダンスを、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下にする、付記1乃至6のいずれか一項記載の半導体装置。
(付記8)
前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極は、TSVである、付記1乃至7のいずれか一項記載の半導体装置。
(付記9)
基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と
を含む半導体装置の前記電源部が出力する前記直流電圧をコンピュータが設定する、半導体装置の電圧設定方法であって、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記直流電圧の値を設定する、半導体装置の電圧設定方法。
10 基板
10−1、10−2、10−3、10−4 基板部
11 絶縁層
12、13、14 貫通ビア
15A、15B、16A、16B 配線
20 制御部
21 計測部
22 可変電源部
23 判定部
24 電圧制御部
25 メモリ
1A 半導体装置
20A 調整部
20G 制御装置
23G 判定部
24G 電圧制御部
25G メモリ
1B 半導体装置
10−2A、10−2B 基板部
14A、14B 貫通ビア
2 半導体装置
220 制御装置
220A 制御部
221 読み出し部
222 可変電源部
223 判定部
224 電圧制御部
225 メモリ
Claims (7)
- 基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と、
前記電源部が出力する直流電圧を制御する電圧制御部と
を含み、
前記電圧制御部は、前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を制御する、半導体装置。 - 前記第1貫通電極に接続され、前記電源インピーダンスを測定する測定部をさらに含み、
前記電圧制御部は、前記測定部によって測定される前記電源インピーダンスが、前記所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を制御する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記電圧制御部は、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが前記所定値よりも大きい周波数領域がある場合は、前記所定の周波数範囲内に前記電源インピーダンスの反共振が生じる反共振周波数が含まれるかどうかを判定し、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合には、前記反共振周波数が前記所定の周波数範囲外になるように、前記電源部が出力する直流電圧の値を変化させる、請求項1又は2記載の半導体装置。 - 前記電圧制御部は、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合に、前記反共振周波数が前記所定の周波数範囲の下限の第1周波数よりも、前記所定の周波数範囲の上限の第2周波数に近い場合は、前記電源部に前記直流電圧の値を増大させ、
前記所定の周波数範囲内に前記反共振周波数が含まれる場合に、前記反共振周波数が前記第2周波数よりも前記第1周波数に近い場合は、前記電源部に前記直流電圧の値を低下させる、請求項3記載の半導体装置。 - 前記基板を貫通し、前記第1貫通電極及び前記第2貫通電極の側面に配設される絶縁層をさらに含む、請求項1乃至4のいずれか一項記載の半導体装置。
- 基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と
を含み、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記直流電圧の値が設定される、半導体装置。 - 基板と、
前記基板を貫通し、電源又は基準電位点に接続される第1貫通電極と、
前記基板を貫通する第2貫通電極と、
前記基板と前記第2貫通電極との間に接続され、前記基板と前記第2貫通電極との間に直流電圧を出力する電源部と
を含む半導体装置の前記電源部が出力する前記直流電圧をコンピュータが設定する、半導体装置の電圧設定方法であって、
前記第1貫通電極の電源インピーダンスが、前記第1貫通電極に生じるノイズの周波数を含む所定の周波数範囲内において所定値以下になるように、前記直流電圧の値を設定する、半導体装置の電圧設定方法。
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