JP5927218B2 - 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
R11<R13<R12<R14・・・(式1)
|R11−R12|<100μm・・・(式2)
|R12−R14|<100μm・・・(式3)
|R14−R13|<100μm・・・(式4)
内径R11〜R14の具体例としては、R11=20.00mm、R12=20.06mm、R13=20.03mm、R14=20.09mmである。
R21<R23<R22<R24<R25・・・(式5)
|R21−R22|<100μm・・・(式6)
|R22−R25|<100μm・・・(式7)
|R25−R24|<100μm・・・(式8)
|R24−R23|<100μm・・・(式9)
内径R21〜R25の具体例としては、R21=20.00mm、R22=20.06mm、R23=20.03mm、R24=20.09mm、R25=20.12mmである。
R41<R42≦R43<R44・・・(式10)
R45<R46≦R47<R48・・・(式11)
R44≒R48・・・(式12)
内径R41〜R48の具体例としては、R41=20.00mm、R42=20.05mm、R43=20.05mm、R44=20.10mm、R45=20.00mm、R46=20.05mm、R47=20.05mm、R48=20.10mmである。
r1<rn<r2<rn−1<・・・<rn/2(nが偶数の場合) ・・・(式13)
r1<rn<r2<rn−1<・・・<r(n+1)/2(nが奇数の場合) ・・・(式14)
|rm−rm−1|<100μm(mは任意の整数) ・・・式(15)
20 レーザ発振器
30,60,90,140,190,210 共振器部
32 出力鏡
34 リア鏡
35,36,38,62,92,94,96,98,100,142,144,146,148,150,152,192,212,214,216,218,220 放電管
Claims (4)
- レーザ発振器であって、
互いに対向して配置された出力鏡およびリア鏡と、
前記出力鏡と前記リア鏡との間に配置され、前記出力鏡に面する軸方向の第1端部、および前記リア鏡に面する軸方向の第2端部を有する放電管と、を備え、
前記放電管の内径は、
該放電管の軸方向に変化し、
前記第1端部から、前記内径が最大となる前記放電管の部分までの区間に亘って、該第1端部から該部分に向かうにつれて大きくなり、且つ、
前記第2端部から前記部分までの区間に亘って、該第2端部から該部分に向かうにつれて大きくなり、
前記内径は、
前記第1端部から前記リア鏡に向かうにつれて段階的に大きくなり、且つ、
前記第2端部から前記出力鏡に向かうにつれて段階的に大きくなり、
前記放電管は、
前記第1端部を含み、軸方向において一定の第1の内径を有する第1の放電管と、
前記第1の放電管に、前記出力鏡とは反対側に隣接して配置され、軸方向において一定の第2の内径を有する第2の放電管であって、該第2の内径は、前記第1の内径よりも大きい、第2の放電管と、を有する、レーザ発振器。 - 前記第1の内径と前記第2の内径との差は、100μmよりも小さい、請求項1に記載のレーザ発振器。
- 前記放電管は、
前記第2端部を含み、軸方向において一定の第3の内径を有する第3の放電管と、
前記第3の放電管に前記リア鏡とは反対側で隣接して配置され、軸方向において一定の第4の内径を有する第4の放電管であって、該第4の内径は、前記第3の内径よりも大きい、第4の放電管と、を有する、請求項1または2に記載のレーザ発振器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のレーザ発振器を備える、レーザ加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014049154A JP5927218B2 (ja) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
DE102015002763.8A DE102015002763B4 (de) | 2014-03-12 | 2015-03-05 | Mit Entladungsröhre ausgestatteter Laseroszillator und Laserbearbeitungsmaschine |
US14/644,821 US10128629B2 (en) | 2014-03-12 | 2015-03-11 | Laser oscillator provided with discharge tube and laser processing machine |
CN201510106909.XA CN104917038B (zh) | 2014-03-12 | 2015-03-11 | 激光振荡器和激光加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014049154A JP5927218B2 (ja) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015173220A JP2015173220A (ja) | 2015-10-01 |
JP5927218B2 true JP5927218B2 (ja) | 2016-06-01 |
Family
ID=54010280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014049154A Active JP5927218B2 (ja) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10128629B2 (ja) |
JP (1) | JP5927218B2 (ja) |
CN (1) | CN104917038B (ja) |
DE (1) | DE102015002763B4 (ja) |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3428914A (en) | 1965-01-25 | 1969-02-18 | Spectra Physics | Gas lasers with plasma tube having variable cross-section and discharge current |
DE2824761A1 (de) | 1977-06-08 | 1978-12-14 | Gen Electric | Entladungserhitzter kupferdampf-laser |
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IN152704B (ja) | 1979-03-20 | 1984-03-17 | Perkins & Powell Ltd | |
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-
2014
- 2014-03-12 JP JP2014049154A patent/JP5927218B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-05 DE DE102015002763.8A patent/DE102015002763B4/de active Active
- 2015-03-11 US US14/644,821 patent/US10128629B2/en active Active
- 2015-03-11 CN CN201510106909.XA patent/CN104917038B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015173220A (ja) | 2015-10-01 |
US10128629B2 (en) | 2018-11-13 |
CN104917038B (zh) | 2017-06-09 |
DE102015002763A1 (de) | 2015-09-17 |
DE102015002763B4 (de) | 2019-03-07 |
US20150263476A1 (en) | 2015-09-17 |
CN104917038A (zh) | 2015-09-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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