JPS5879785A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS5879785A JPS5879785A JP17804481A JP17804481A JPS5879785A JP S5879785 A JPS5879785 A JP S5879785A JP 17804481 A JP17804481 A JP 17804481A JP 17804481 A JP17804481 A JP 17804481A JP S5879785 A JPS5879785 A JP S5879785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- optical path
- small pipe
- tube
- oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ細管を有するガスレーザ管に関する。
周知のように放電励起ガスレーザはレーザ媒質とな６１
ラズマを発生する放電管部と、この放電管を介して置か
れ、一方はレーザ発振の波長に対しである程度の透過率
を有する反射鏡と、もう一方は高い反射率を有する反射
鏡よりなる共振部より構成される。
ラズマを発生する放電管部と、この放電管を介して置か
れ、一方はレーザ発振の波長に対しである程度の透過率
を有する反射鏡と、もう一方は高い反射率を有する反射
鏡よりなる共振部より構成される。
レーザ光を用いる時、一般にはその光軸に対し垂直な面
での強度分布（横モード）がガウス分布（ＴＥＭｏ。）
に近いほど曳く、このためには共振部の一方あるいは双
方に曲率會持たせることが好ましい。この場合、共振部
内でのレーザ光の光路は傾斜をもち１円錐状に近い形状
である。空冷Ａｒレーザにおいて、このような光路を持
りたレーザ光をより効率曳く発振させるためには、光路
内に存在するレーザ媒質のプラズマのエネルギーを効率
良く取り出す必要がある。
での強度分布（横モード）がガウス分布（ＴＥＭｏ。）
に近いほど曳く、このためには共振部の一方あるいは双
方に曲率會持たせることが好ましい。この場合、共振部
内でのレーザ光の光路は傾斜をもち１円錐状に近い形状
である。空冷Ａｒレーザにおいて、このような光路を持
りたレーザ光をより効率曳く発振させるためには、光路
内に存在するレーザ媒質のプラズマのエネルギーを効率
良く取り出す必要がある。
従来共振部の一方が平面でしかももう一方に曲面を持つ
空冷Ａｔレーザにおいて、放電をおこない、レーザ媒質
を形成する部分は、ベリリアセラミック等の円柱に細い
一定内径の穴ｔ″あけたレーザ細管を使用していた、こ
のような場合光路に傾斜があるため、レーザ媒質中レー
ザ発振に直接かかわらない領域が存在する。またベリリ
アセラミックにおいて一定内径の穴をあけることは困難
であり、このため、咳レーザ細管を作ることが容易では
なかった・ 本発明の目的は、前記のような欠点を除き、効率が高く
製作の容易なレーザ細管を提供することにおる。
空冷Ａｔレーザにおいて、放電をおこない、レーザ媒質
を形成する部分は、ベリリアセラミック等の円柱に細い
一定内径の穴ｔ″あけたレーザ細管を使用していた、こ
のような場合光路に傾斜があるため、レーザ媒質中レー
ザ発振に直接かかわらない領域が存在する。またベリリ
アセラミックにおいて一定内径の穴をあけることは困難
であり、このため、咳レーザ細管を作ることが容易では
なかった・ 本発明の目的は、前記のような欠点を除き、効率が高く
製作の容易なレーザ細管を提供することにおる。
以下、図に示し九本発明の一実施例をもちいて詳細に説
明する。図において、レーザ電源７の負極出力端をレー
ザ管のカソード５に接続する。また、該レーザ電源の正
極出力端をレーザ管のアノード４に接続する。ここでレ
ーザ電源ＩＯＮとすると、カソード、アノード間でレー
ザ細管１を貫通する放電が形成される。この時レーザ細
管１は。
明する。図において、レーザ電源７の負極出力端をレー
ザ管のカソード５に接続する。また、該レーザ電源の正
極出力端をレーザ管のアノード４に接続する。ここでレ
ーザ電源ＩＯＮとすると、カソード、アノード間でレー
ザ細管１を貫通する放電が形成される。この時レーザ細
管１は。
ここに熱的に密着して接続された放熱フィン３により、
レーザ細管の温度が極端に上昇しないよう冷却される。
レーザ細管の温度が極端に上昇しないよう冷却される。
このようにしてレーザ媒質となるプラズマが形成される
。周知のように本実施例のような外部共振器形Ａｒレー
ザにおいては、このレーザ媒質は、共振部６，６′と独
立して密封される。
。周知のように本実施例のような外部共振器形Ａｒレー
ザにおいては、このレーザ媒質は、共振部６，６′と独
立して密封される。
この時、共振部６．６′内で光学的に損失のないようレ
ーザ媒質を密封するレーザ管の両端には、ブリュスター
ウィンドー２，２′が存在する。共振部の一方出力ミラ
ー６はレーザ発振の波長に対し、数チ程度の透過率を有
し、かっレーザ光の横モード２ＴＥＭｏｏとするため焦
点距離が０．７ｍとなる曲率を有している。もう−万全
反射ミラー６′ はレーザ発振の波長に対し高い反射率
を有している。
ーザ媒質を密封するレーザ管の両端には、ブリュスター
ウィンドー２，２′が存在する。共振部の一方出力ミラ
ー６はレーザ発振の波長に対し、数チ程度の透過率を有
し、かっレーザ光の横モード２ＴＥＭｏｏとするため焦
点距離が０．７ｍとなる曲率を有している。もう−万全
反射ミラー６′ はレーザ発振の波長に対し高い反射率
を有している。
このような共振部６．６′により形成されるレーザ発振
の光路は傾斜を有するため、この形状にあわせた穴をレ
ーザ細管１内に形成すれば、プラズマ媒質のほとんどの
部分がレーザ発振の光路内に存在することとなり、効率
よくレーザ発振させることが可能である。また一般にベ
リリアセラミ、りのこのような細管の製作は、抜き型に
ベリリアセラミックを入れ６結させこの後ベリリアセラ
ミック？抜き型から抜き取るという方法をおこなうが、
該レーザ細管のように傾斜を有している方が抜き型を抜
き取り易く、より製作が容易である。
の光路は傾斜を有するため、この形状にあわせた穴をレ
ーザ細管１内に形成すれば、プラズマ媒質のほとんどの
部分がレーザ発振の光路内に存在することとなり、効率
よくレーザ発振させることが可能である。また一般にベ
リリアセラミ、りのこのような細管の製作は、抜き型に
ベリリアセラミックを入れ６結させこの後ベリリアセラ
ミック？抜き型から抜き取るという方法をおこなうが、
該レーザ細管のように傾斜を有している方が抜き型を抜
き取り易く、より製作が容易である。
このように本発明によれば、効率良く、レーザ発振がお
こなわれ、かつ、レーザ細管の製作が容易であるレーザ
発振器を得ることができる。
こなわれ、かつ、レーザ細管の製作が容易であるレーザ
発振器を得ることができる。
図は、本発明によるレーザ細管を用いたレーザ発振器の
一実施例の断面図である。 １・・・・・・レーザ細管、２，２′・・・・・・プリ
ュスターウィントー、３・・・・・・放熱フィン、４・
・・・・・アノード。 ５・・・・・・カソード、６．６’・・・・・・共振部
、７・・・・・・レーザ電源。
一実施例の断面図である。 １・・・・・・レーザ細管、２，２′・・・・・・プリ
ュスターウィントー、３・・・・・・放熱フィン、４・
・・・・・アノード。 ５・・・・・・カソード、６．６’・・・・・・共振部
、７・・・・・・レーザ電源。
Claims (1)
- レーザ細管の内部が、レーザ発振光の光路に従った傾斜
をもつ円錐状を有することを特徴とするガスレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17804481A JPS5879785A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17804481A JPS5879785A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879785A true JPS5879785A (ja) | 1983-05-13 |
Family
ID=16041606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17804481A Pending JPS5879785A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879785A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015173220A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP17804481A patent/JPS5879785A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015173220A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
| US10128629B2 (en) | 2014-03-12 | 2018-11-13 | Fanuc Corporation | Laser oscillator provided with discharge tube and laser processing machine |
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