JP2814861B2 - Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管 - Google Patents
Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管Info
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- JP2814861B2 JP2814861B2 JP28971692A JP28971692A JP2814861B2 JP 2814861 B2 JP2814861 B2 JP 2814861B2 JP 28971692 A JP28971692 A JP 28971692A JP 28971692 A JP28971692 A JP 28971692A JP 2814861 B2 JP2814861 B2 JP 2814861B2
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- gas
- laser
- gas laser
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＨｅ−Ｎｅガスレーザ管
に関し、特にレーザ光のノイズを低減した内部ミラー形
及び外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管に関する。
に関し、特にレーザ光のノイズを低減した内部ミラー形
及び外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレー
ザ管は、図２に示すように、円筒状のガラス製外囲器２
２と、この外囲器２２内面に間隔をおいて配置されたア
ルミニウム製カソード２３と、このカソード２３に接続
し外囲器２２外部へ導出されるカソード電極２６と、外
囲器２２を貫通し内部から外部へ導出されるアノード電
極２７と、外囲器２２の中心軸の位置に配置されたガラ
ス製細管２１と、外囲器２２の両端部に配置された一対
のレーザミラー２４，２５とを主な構成要素として形成
され、外囲器２２内部にはＨｅ−Ｎｅ混合ガスが封入さ
れた構造となっている。
ザ管は、図２に示すように、円筒状のガラス製外囲器２
２と、この外囲器２２内面に間隔をおいて配置されたア
ルミニウム製カソード２３と、このカソード２３に接続
し外囲器２２外部へ導出されるカソード電極２６と、外
囲器２２を貫通し内部から外部へ導出されるアノード電
極２７と、外囲器２２の中心軸の位置に配置されたガラ
ス製細管２１と、外囲器２２の両端部に配置された一対
のレーザミラー２４，２５とを主な構成要素として形成
され、外囲器２２内部にはＨｅ−Ｎｅ混合ガスが封入さ
れた構造となっている。
【０００３】このＨｅ−Ｎｅガスレーザ管では、カソー
ド電極２６とアノード電極２７の間に電圧を印加すると
細管２１を通して放電が行われ、この放電部がレーザ媒
質となりレーザ光の増幅が行われる。レーザミラー２
４，２５の間をレーザ光が往復すると、増大したレーザ
光の一部が一方のレーザミラーを通過して外部に出射す
る。
ド電極２６とアノード電極２７の間に電圧を印加すると
細管２１を通して放電が行われ、この放電部がレーザ媒
質となりレーザ光の増幅が行われる。レーザミラー２
４，２５の間をレーザ光が往復すると、増大したレーザ
光の一部が一方のレーザミラーを通過して外部に出射す
る。
【０００４】このような構造の内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅ
ガスレーザ管の他に外囲器の両端に一対のブルースター
バルブが配置された外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ
管もある。
ガスレーザ管の他に外囲器の両端に一対のブルースター
バルブが配置された外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ
管もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザ管では、初期においてレーザ光に放電による
ランダムノイズが発生していなくても放電の累積時間の
増大に伴ない、ガラス製外囲器２２等からの放出ガスや
封入されているＨｅとＮｅガスのガス圧，ガス比の変化
により放電状態が変化し、細管２１の内径の中において
発生する放電の移動縞が陽極柱の中を進行しながら増大
する現象が発生し、この結果放電が乱れ、レーザ光のラ
ンダムノイズが発生するという問題点があり、この問題
点解決の１つとして細管２１を分割して陽極柱の増大を
抑える方法があるが構造が複雑であり、また高価になっ
てしまう欠点があった。
ガスレーザ管では、初期においてレーザ光に放電による
ランダムノイズが発生していなくても放電の累積時間の
増大に伴ない、ガラス製外囲器２２等からの放出ガスや
封入されているＨｅとＮｅガスのガス圧，ガス比の変化
により放電状態が変化し、細管２１の内径の中において
発生する放電の移動縞が陽極柱の中を進行しながら増大
する現象が発生し、この結果放電が乱れ、レーザ光のラ
ンダムノイズが発生するという問題点があり、この問題
点解決の１つとして細管２１を分割して陽極柱の増大を
抑える方法があるが構造が複雑であり、また高価になっ
てしまう欠点があった。
【０００６】本発明の目的は、構造が単純で安価に陽極
柱の増大を抑え、ランダムノイズの発生のないＨｅ−Ｎ
ｅガスレーザ管を提供することにある。
柱の増大を抑え、ランダムノイズの発生のないＨｅ−Ｎ
ｅガスレーザ管を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、 （１）円筒状のガラス製外囲器と、該外囲器内面に間隔
をおいて配置されたアルミニウム製カソードと、前記外
囲器を貫通し内部から外部へ導出されるアノード電極
と、前記外囲器の中心軸の位置に配置されたガラス製細
管と、前記外囲器の両端に配置された一対のレーザミラ
ーと、前記外囲器内に封入されたＨｅ−Ｎｅ混合ガスと
を有する内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管におい
て、前記細管の内径に複数の太径部を設ける。
をおいて配置されたアルミニウム製カソードと、前記外
囲器を貫通し内部から外部へ導出されるアノード電極
と、前記外囲器の中心軸の位置に配置されたガラス製細
管と、前記外囲器の両端に配置された一対のレーザミラ
ーと、前記外囲器内に封入されたＨｅ−Ｎｅ混合ガスと
を有する内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管におい
て、前記細管の内径に複数の太径部を設ける。
【０００８】（２）円筒状のガラス製外囲器と、該外囲
器内面に間隔をおいて配置されたアルミニウム製カソー
ドと、前記外囲器を貫通し内部から外部へ導出されるア
ノード電極と、前記外囲器の中心軸の位置に配置された
ガラス製細管と、前記外囲器の両端に配置された一対の
ブルースターバルブと、前記外囲器内に封入されたＨｅ
−Ｎｅ混合ガスとを有する外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガス
レーザ管において、前記細管の内径に複数の太径部を設
ける。
器内面に間隔をおいて配置されたアルミニウム製カソー
ドと、前記外囲器を貫通し内部から外部へ導出されるア
ノード電極と、前記外囲器の中心軸の位置に配置された
ガラス製細管と、前記外囲器の両端に配置された一対の
ブルースターバルブと、前記外囲器内に封入されたＨｅ
−Ｎｅ混合ガスとを有する外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガス
レーザ管において、前記細管の内径に複数の太径部を設
ける。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の第１の実施例の概略の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【００１１】第１の実施例は、図１に示すように、ガラ
ス製の円筒状の外囲器２２の両端に一対のレーザミラー
２４，２５を具備した内部ミラー形のＨｅ−Ｎｅガスレ
ーザ管の例で、円筒状の外囲器２２の中心軸の位置に配
置されたガラス製細管１１には、内径の小さい細管細径
部１２と複数個の内径の大きい細管太径部１３が形成さ
れている。第１の実施例は、細管１１に細管太径部１３
を形成した以外は図２に示す従来の内部ミラー形Ｈｅ−
Ｎｅガスレーザ管の構造と同じである。
ス製の円筒状の外囲器２２の両端に一対のレーザミラー
２４，２５を具備した内部ミラー形のＨｅ−Ｎｅガスレ
ーザ管の例で、円筒状の外囲器２２の中心軸の位置に配
置されたガラス製細管１１には、内径の小さい細管細径
部１２と複数個の内径の大きい細管太径部１３が形成さ
れている。第１の実施例は、細管１１に細管太径部１３
を形成した以外は図２に示す従来の内部ミラー形Ｈｅ−
Ｎｅガスレーザ管の構造と同じである。
【００１２】このように、細管１１に細管太径部１３を
形成することにより、細管１１の内径部において放電が
行われレーザ媒体となる。
形成することにより、細管１１の内径部において放電が
行われレーザ媒体となる。
【００１３】外囲器２２の両端に配置されたレーザミラ
ー２４，２５は、通常、１方が高反射率を有し他方が数
％の透過率を有する組合わせとなっている。
ー２４，２５は、通常、１方が高反射率を有し他方が数
％の透過率を有する組合わせとなっている。
【００１４】カソード電極２６に負，アノード電極２７
に正の電圧を印加すると細管１１の細管細径部１２と細
管太径部１３内で放電が行われ、この放電内でレーザ光
が増幅されレーザ光が一対のレーザミラー２４，２５間
を往復し、更に、増大し、その一部が数％の透過率を有
するレーザミラーから出射される。
に正の電圧を印加すると細管１１の細管細径部１２と細
管太径部１３内で放電が行われ、この放電内でレーザ光
が増幅されレーザ光が一対のレーザミラー２４，２５間
を往復し、更に、増大し、その一部が数％の透過率を有
するレーザミラーから出射される。
【００１５】このとき、Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管のレー
ザ光の増大に伴ない外囲器２２からの放出ガスや封入さ
れているＨｅとＮｅガス圧，ガス比の変化により、細管
１１内の放電状態が変化し移動縞が発生して陽極柱の中
を進行し細管細径部１２を進行してゆくときに細管太径
部１３に進んだとき、径が広がっているため陽極柱はこ
の部分で減衰するというプロセスを繰返すため放電を乱
し、結果としてレーザ光のランダムノイズの発生を抑制
できる。
ザ光の増大に伴ない外囲器２２からの放出ガスや封入さ
れているＨｅとＮｅガス圧，ガス比の変化により、細管
１１内の放電状態が変化し移動縞が発生して陽極柱の中
を進行し細管細径部１２を進行してゆくときに細管太径
部１３に進んだとき、径が広がっているため陽極柱はこ
の部分で減衰するというプロセスを繰返すため放電を乱
し、結果としてレーザ光のランダムノイズの発生を抑制
できる。
【００１６】第２の実施例は、外囲器の両端に一対のブ
ルースターバルブを配置した外部ミラー形のＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザ管の細管を第１の実施例と同じ構造とした例
で、その効果は、第１の実施例と同じである。
ルースターバルブを配置した外部ミラー形のＨｅ−Ｎｅ
ガスレーザ管の細管を第１の実施例と同じ構造とした例
で、その効果は、第１の実施例と同じである。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、細管の内
径に太径部を設けることにより、構造が単純で安価に陽
極柱を減衰しレーザ光のランダムノイズの発生を抑制で
きるという効果がある。
径に太径部を設けることにより、構造が単純で安価に陽
極柱を減衰しレーザ光のランダムノイズの発生を抑制で
きるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例の概略の構成を示す断面
図である。
図である。
【図２】従来の内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管の
一例の構成を示す断面図である。
一例の構成を示す断面図である。
１１，２１ 細管 １２ 細管細形部 １３ 細管太径部 ２２ 外囲器 ２３ カソード ２４，２５ レーザミラー ２６ カソード電極 ２７ アノード電極
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒状のガラス製外囲器と、該外囲器内
面に間隔をおいて配置されたアルミニウム製カソード
と、前記外囲器を貫通し内部から外部へ導出されるアノ
ード電極と、前記外囲器の中心軸の位置に配置されたガ
ラス製細管と、前記外囲器の両端に配置された一対のレ
ーザミラーと、前記外囲器内に封入されたＨｅ−Ｎｅ混
合ガスとを有する内部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管
において、前記細管の内径に複数の太径部を設けたこと
を特徴とするＨｅ−Ｎｅガスレーザ管。 - 【請求項２】 円筒状のガラス製外囲器と、該外囲器内
面に間隔をおいて配置されたアルミニウム製カソード
と、前記外囲器を貫通し内部から外部へ導出されるアノ
ード電極と、前記外囲器の中心軸の位置に配置されたガ
ラス製細管と、前記外囲器の両端に配置された一対のブ
ルースターバルブと、前記外囲器内に封入されたＨｅ−
Ｎｅ混合ガスとを有する外部ミラー形Ｈｅ−Ｎｅガスレ
ーザ管において、前記細管の内径に複数の太径部を設け
たことを特徴とするＨｅ−Ｎｅガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28971692A JP2814861B2 (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28971692A JP2814861B2 (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06140693A JPH06140693A (ja) | 1994-05-20 |
| JP2814861B2 true JP2814861B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=17746830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28971692A Expired - Lifetime JP2814861B2 (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2814861B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5927218B2 (ja) | 2014-03-12 | 2016-06-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
-
1992
- 1992-10-28 JP JP28971692A patent/JP2814861B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06140693A (ja) | 1994-05-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980714 |