JPH04223382A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH04223382A JPH04223382A JP40649890A JP40649890A JPH04223382A JP H04223382 A JPH04223382 A JP H04223382A JP 40649890 A JP40649890 A JP 40649890A JP 40649890 A JP40649890 A JP 40649890A JP H04223382 A JPH04223382 A JP H04223382A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 20
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電管の軸方向と光軸
方向が一致し、特に安定なレーザビームが得られるよう
にしたガスレーザ発振装置に関する。
方向が一致し、特に安定なレーザビームが得られるよう
にしたガスレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基本的なガスレーザ発振装置は、図３に
示すものであった。この図において、１はガラスなどの
誘電体よりなる放電管であり、２および３はその放電管
１の内部に設けられた金属電極である。４は電極２およ
び３に接続された高電圧電源であり、たとえば３０ＫＶ
の電圧を電極２と３の間に印加している。５は電極２と
３の間にはさまれた放電管１内の放電空間である。６は
全反射鏡、７は部分反射鏡であり、この全反射鏡６と部
分反射鏡７は放電空間５の両端に固定配置され、光共振
器を形成している。８は部分反射鏡７より出力されるレ
ーザビームである。矢印９はレーザガスの流れる方向を
示しており、軸流型レーザ装置の中を循環している。１
０は送気管であり、１１および１２は放電空間５におい
て放電および送風機により上昇したレーザガスの温度を
下げるための熱交換器、１３はレーザガスを循環させる
ための送風機である。なお、送風機１３により放電区間
５において約１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得ている
。
示すものであった。この図において、１はガラスなどの
誘電体よりなる放電管であり、２および３はその放電管
１の内部に設けられた金属電極である。４は電極２およ
び３に接続された高電圧電源であり、たとえば３０ＫＶ
の電圧を電極２と３の間に印加している。５は電極２と
３の間にはさまれた放電管１内の放電空間である。６は
全反射鏡、７は部分反射鏡であり、この全反射鏡６と部
分反射鏡７は放電空間５の両端に固定配置され、光共振
器を形成している。８は部分反射鏡７より出力されるレ
ーザビームである。矢印９はレーザガスの流れる方向を
示しており、軸流型レーザ装置の中を循環している。１
０は送気管であり、１１および１２は放電空間５におい
て放電および送風機により上昇したレーザガスの温度を
下げるための熱交換器、１３はレーザガスを循環させる
ための送風機である。なお、送風機１３により放電区間
５において約１００ｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得ている
。
【０００３】以上が従来の軸流型レーザ装置の構成であ
り、次にその動作について説明する。
り、次にその動作について説明する。
【０００４】まず一対の金属電極２と３の間に高電圧電
源４から高電圧を印加し、放電空間５にグロー状の放電
を発生させる。放電空間５を通過するレーザガスは、放
電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガ
スは全反射鏡６および部分反射鏡７により形成された光
共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビー
ム８が出力される。このレーザビーム８が種々のレーザ
加工等の用途に利用される。
源４から高電圧を印加し、放電空間５にグロー状の放電
を発生させる。放電空間５を通過するレーザガスは、放
電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガ
スは全反射鏡６および部分反射鏡７により形成された光
共振器で共振状態となり、部分反射鏡７からレーザビー
ム８が出力される。このレーザビーム８が種々のレーザ
加工等の用途に利用される。
【０００５】図４は従来のレーザ発振装置の金属電極陰
極部の詳細図である。周囲に数個のスリット１５を有す
るスリット管体１４と陰極２とはガス流整流化のために
内面がテーパー状の物体１６で接続されており、スリッ
ト管体１４および内面がテーパー状の物体１６の材質は
、レーザ散乱光による損傷を防止するために主にアルミ
ニウム，銅などの反射率の高い材質ものを使用していた
。
極部の詳細図である。周囲に数個のスリット１５を有す
るスリット管体１４と陰極２とはガス流整流化のために
内面がテーパー状の物体１６で接続されており、スリッ
ト管体１４および内面がテーパー状の物体１６の材質は
、レーザ散乱光による損傷を防止するために主にアルミ
ニウム，銅などの反射率の高い材質ものを使用していた
。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の構成では、スリ
ット管体１４および内面がテーパー状の物体１６の内表
面において反射されたレーザ散乱光がレーザ出力として
正常な横モードに混入し、良質な横モードが得られない
という問題点があった。図５は従来例における横モード
の出力特性図であり、横モードの周辺に散乱光１８が現
れている。
ット管体１４および内面がテーパー状の物体１６の内表
面において反射されたレーザ散乱光がレーザ出力として
正常な横モードに混入し、良質な横モードが得られない
という問題点があった。図５は従来例における横モード
の出力特性図であり、横モードの周辺に散乱光１８が現
れている。
【０００７】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、光共振区間内の散乱光発生を抑制し
、かつ吸収することにより良質な横モードが得られるガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
になされたもので、光共振区間内の散乱光発生を抑制し
、かつ吸収することにより良質な横モードが得られるガ
スレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風
機によりレーザガスを流し、その放電管の両端に設けら
れた金属電極間に高電圧を印加し、放電管内に放電を発
生させ放電管を１本以上光軸方向に配置し、その放電管
または放電管群の両端に部分反射鏡と全反射鏡を配置し
光増幅することにより前記放電管の軸方向にレーザビー
ムを発するガスレーザ発振装置において、少なくとも金
属電極と部分反射鏡の間または金属電極と全反射鏡の間
を赤外線吸収体、例えばパイレックスガラス（アメリカ
Ｃｏｒｎｉｎｇ社の商品名）管またはセラミック管など
接続したものである。
に本発明は、絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風
機によりレーザガスを流し、その放電管の両端に設けら
れた金属電極間に高電圧を印加し、放電管内に放電を発
生させ放電管を１本以上光軸方向に配置し、その放電管
または放電管群の両端に部分反射鏡と全反射鏡を配置し
光増幅することにより前記放電管の軸方向にレーザビー
ムを発するガスレーザ発振装置において、少なくとも金
属電極と部分反射鏡の間または金属電極と全反射鏡の間
を赤外線吸収体、例えばパイレックスガラス（アメリカ
Ｃｏｒｎｉｎｇ社の商品名）管またはセラミック管など
接続したものである。
【０００９】
【作用】上記手段によれば、金属電極と部分反射鏡の間
または金属電極と全反射鏡の間を赤外線吸収体で接続す
ることにより、散乱光を抑制し良質な横モードを出力す
るレーザ発振装置を提供できる。
または金属電極と全反射鏡の間を赤外線吸収体で接続す
ることにより、散乱光を抑制し良質な横モードを出力す
るレーザ発振装置を提供できる。
【００１０】
【実施例】図１に本発明のレーザ発振装置の要部の一実
施例を示す。金属電極２と全反射鏡６との間を金属電極
の内径以上の内径をもつパイレックスガラス管１７に接
続している。パイレックスガラス管１７の赤外線に対す
る吸収率は非常に高く、散乱光を抑制するのに大きな効
果がある。
施例を示す。金属電極２と全反射鏡６との間を金属電極
の内径以上の内径をもつパイレックスガラス管１７に接
続している。パイレックスガラス管１７の赤外線に対す
る吸収率は非常に高く、散乱光を抑制するのに大きな効
果がある。
【００１１】図２は本発明の一実施例によって得られた
良質な横モードの出力特性図である。横モードの周辺の
散乱光が消滅しているのがわかる。
良質な横モードの出力特性図である。横モードの周辺の
散乱光が消滅しているのがわかる。
【００１２】また、パイレックスガラスは、耐熱性に非
常に優れ、化学的にも安定であり、赤外線特に波長が９
ミクロンから１１ミクロンのレーザ光の吸収もよく光共
振器内部を汚染する心配もない。
常に優れ、化学的にも安定であり、赤外線特に波長が９
ミクロンから１１ミクロンのレーザ光の吸収もよく光共
振器内部を汚染する心配もない。
【００１３】なお、一般にパイレックスガラス管１７は
、金属電極と全反射鏡の間または金属電極と部分反射鏡
の間のどちらかに接続するが、それらの両方に接続する
場合もある。
、金属電極と全反射鏡の間または金属電極と部分反射鏡
の間のどちらかに接続するが、それらの両方に接続する
場合もある。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、少なくと
も金属電極と反射鏡の間または金属電極と全反射鏡の間
を赤外線吸収体で接続することにより良質な横モードを
出力するレーザ発振装置を提供でき、加工性能が著しく
向上する。
も金属電極と反射鏡の間または金属電極と全反射鏡の間
を赤外線吸収体で接続することにより良質な横モードを
出力するレーザ発振装置を提供でき、加工性能が著しく
向上する。
【図１】本発明のガスレーザ発振装置の要部の一実施例
の構成を示す断面図
の構成を示す断面図
【図２】本発明のガスレーザ発振装置によって得られる
横モードの出力特性図
横モードの出力特性図
【図３】ガスレーザ発振装置の基本的構成を示す断面図
【図４】従来のガスレーザ発振装置の要部の構成を示す
断面図
断面図
【図５】従来のガスレーザ発振装置の横モードの出力特
性図
性図
１ 放電管
２，３ 金属電極
６ 全反射鏡
７ 部分反射鏡
８ レーザビーム
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に
送風機によりレーザガスを流し、その放電管の両端に設
けられた金属電極間に高電圧を印加し、放電管内に放電
を発生させ、放電管を１本以上光軸方向に配置し、その
放電管または放電管群の両端に部分反射鏡と全反射鏡を
配置し光増幅することにより前記放電管の軸方向にレー
ザビームを発するガスレーザ発振装置であって、少なく
とも金属電極と部分反射鏡の間または金属電極と全反射
鏡の間を赤外線吸収体で接続したガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40649890A JP2833219B2 (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40649890A JP2833219B2 (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04223382A true JPH04223382A (ja) | 1992-08-13 |
| JP2833219B2 JP2833219B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=18516120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40649890A Expired - Fee Related JP2833219B2 (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833219B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014045889A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | ギガフォトン株式会社 | スラブ型増幅器、それを含むレーザ装置および極短紫外光生成装置 |
| JP2015173220A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
-
1990
- 1990-12-26 JP JP40649890A patent/JP2833219B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014045889A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | ギガフォトン株式会社 | スラブ型増幅器、それを含むレーザ装置および極短紫外光生成装置 |
| JPWO2014045889A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2016-08-18 | ギガフォトン株式会社 | スラブ型増幅器、それを含むレーザ装置および極短紫外光生成装置 |
| US9680277B2 (en) | 2012-09-18 | 2017-06-13 | Gigaphoton Inc. | Slab amplifier, and laser apparatus and extreme ultraviolet light generation apparatus including slab amplifier |
| JP2015173220A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | ファナック株式会社 | 放電管を備えるレーザ発振器、およびレーザ加工装置 |
| US10128629B2 (en) | 2014-03-12 | 2018-11-13 | Fanuc Corporation | Laser oscillator provided with discharge tube and laser processing machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833219B2 (ja) | 1998-12-09 |
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Legal Events
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