JP5912557B2 - 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス - Google Patents

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Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5499852B2 (ja) * 2010-04-08 2014-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子
JP2014165573A (ja) * 2013-02-22 2014-09-08 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体
JP6349622B2 (ja) * 2013-03-14 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
KR20140118792A (ko) * 2013-03-29 2014-10-08 세이코 엡슨 가부시키가이샤 진동 소자, 진동자, 발진기, 전자 기기, 센서, 및 이동체
JP2014200051A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
KR20140118840A (ko) * 2013-03-29 2014-10-08 세이코 엡슨 가부시키가이샤 진동 소자, 진동자, 발진기, 전자 기기 및 이동체
JP5742868B2 (ja) 2013-04-11 2015-07-01 株式会社大真空 音叉型水晶振動片、及び水晶振動デバイス
JP2015023422A (ja) 2013-07-18 2015-02-02 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6281254B2 (ja) * 2013-11-16 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015097366A (ja) * 2013-11-16 2015-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015128268A (ja) * 2013-12-27 2015-07-09 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器、物理量センサー、移動体および振動素子の周波数調整方法
US9887687B2 (en) 2015-01-28 2018-02-06 Analog Devices Global Method of trimming a component and a component trimmed by such a method
JP6479509B2 (ja) * 2015-03-09 2019-03-06 シチズン時計株式会社 圧電振動子
JP6719178B2 (ja) * 2015-05-22 2020-07-08 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片の製造方法及び圧電振動子の製造方法
JP2017098911A (ja) * 2015-11-28 2017-06-01 京セラクリスタルデバイス株式会社 音叉型水晶素子
JP6676403B2 (ja) * 2016-02-23 2020-04-08 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、及び圧電振動子
CN109804560B (zh) * 2016-10-11 2023-03-14 株式会社村田制作所 压电振子及其制造方法
JP6439808B2 (ja) * 2017-01-31 2018-12-19 株式会社大真空 音叉型振動子
JP6318418B1 (ja) * 2017-07-24 2018-05-09 有限会社ピエデック技術研究所 圧電振動子、圧電ユニット、圧電発振器と電子機器
JP7689421B2 (ja) * 2020-11-30 2025-06-06 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片の製造方法
TWI776445B (zh) * 2021-03-30 2022-09-01 台灣晶技股份有限公司 晶體振子封裝結構
CN117767909A (zh) * 2023-12-27 2024-03-26 天津大学 一种音叉型压电振动片及振荡器
CN117767910B (zh) * 2023-12-29 2025-09-12 天津大学 一种音叉型压电振动片及振荡器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5224487A (en) * 1975-08-20 1977-02-23 Seiko Instr & Electronics Ltd Piezoelectric vibrator
JP4852195B2 (ja) * 1999-01-20 2012-01-11 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動子
JP3931662B2 (ja) * 2001-01-15 2007-06-20 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器及び電子機器
US6894428B2 (en) 2001-01-15 2005-05-17 Seiko Epson Corporation Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic device
JP2005123828A (ja) * 2003-10-15 2005-05-12 Seiko Epson Corp 音叉型圧電振動片及び圧電デバイス
JP2006033065A (ja) * 2004-07-12 2006-02-02 Seiko Epson Corp 圧電振動片および圧電デバイス
JP4301200B2 (ja) * 2004-10-20 2009-07-22 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP2007243435A (ja) * 2006-03-07 2007-09-20 Daishinku Corp 圧電振動片、圧電振動片の周波数調整方法
JP4389924B2 (ja) * 2006-11-07 2009-12-24 エプソントヨコム株式会社 圧電デバイス
JP4594412B2 (ja) * 2008-05-22 2010-12-08 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4838873B2 (ja) * 2008-07-22 2011-12-14 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP4647677B2 (ja) * 2008-08-11 2011-03-09 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP4709884B2 (ja) * 2008-09-29 2011-06-29 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP5155275B2 (ja) 2008-10-16 2013-03-06 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片、圧電フレーム及び圧電デバイス
JP2010147953A (ja) * 2008-12-22 2010-07-01 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電フレーム及び圧電デバイス
JP5085682B2 (ja) * 2010-04-26 2012-11-28 日本電波工業株式会社 圧電デバイス
JP5617392B2 (ja) * 2010-07-09 2014-11-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子及び発振器
JP2012039226A (ja) * 2010-08-04 2012-02-23 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 音叉型の圧電振動片および圧電デバイス

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