JP5900754B2 - 炭素膜成膜装置 - Google Patents
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Description
背景技術
スパッタリング法としては、特許文献3に示される方法が知られている。
DLC膜の高速な成膜方法としては、特許文献4に示す方法が知られている。この方法による成膜によれば成膜速度を10μm/hまで上昇させることが可能とされる。
先行技術文献
特許文献
特許文献4によれば、マグネトロンスパッタリング法を初めとするPVD法においては成膜速度は1μm/hといわれ、生産性に優れているとは言い難い。
課題を解決するための手段
本発明に係る炭素膜形成装置において、成膜真空槽の被加工材保持基板に対向配置される炭素原料基板は、炭素を主材とし、チタン、シリコン、アルミニウム、ジルコニウム、亜鉛、タングステンのうちのいずれか一種あるいはこれらを複数選択して含有して構成されるものであることが好ましい。
本発明に係る炭素膜形成装置において、炭素原料基板へ印加する電圧を0Vを超えて1400Vまでの間で調整することにより、成膜速度を毎分0nmを超え毎分75nmまでの範囲で調整可能とすることが好ましい。
まず、本発明による作用・効果について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る炭素膜成膜装置の成膜真空槽10の内部構成を示す図である。図2は、本実施形態に係るパルス電源17、パルス生成機構18、及び基板電圧印加手段13の概略構成を示す回路図である。図3は、本実施形態に係る炭素膜成膜装置の内部構成を示す図である。
成膜真空槽10は、図1又は図3に示すように、その内部を不図示の真空ポンプを作動して矢印方向に排気を行い、所定の真空度に減圧可能である。成膜真空槽10の真空チャンバ11内には被加工材保持基板としての基板2が配置され、前記基板2は図2に示される基板電圧印加手段13により所定の電圧に印加される。基板電圧印加手段13は、基板2用のパルス電圧又は直流電圧を印加する。
(実施例1)
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで0.8kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を3.2kWの条件で出力した。また、基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は3.38×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚が0.60μm、硬さがビッカース換算値HV 1190であった。
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.0kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を8.14kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は3.38×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚が0.60μm、硬さがビッカース換算値HV 890であった。
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.2kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を24.2kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は3.38×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚が0.60μm、硬さがビッカース換算値HV 1010であった。
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.4kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を43.3kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は3.38×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚が0.60μm、硬さがビッカース換算値HV 680であった。
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.2kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を160μs印加し、パルスピーク電力を56.2kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は1.51×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚が3.20μm、硬さがビッカース換算値HV 178であった。また、この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、体積抵抗率1.66×10−1Ω・cmであった。
5×8インチの金属含有カーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.0kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を56.2kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は1.51×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、体積抵抗率6.3×10−3Ω・cmであった。
5×8インチのカーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.0kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を56.2kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は1.51×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚49nm、酸素のガス透過率が2.5 cc/(m2・day・atm)、水蒸気のガス透過率が9.0g/(m2・day・atm)であった。ここで図7は、酸素透過度を基材だけのもの、基材に対しダイアモンドライクカーボン層(DLC層)を成膜したものと比較して示したものである。ここで本発明に係る水素フリーの炭素膜(真性カーボン膜)の酸素透過度は右端に表示され、DLC層の膜よりも極端に酸素透過度が低く、ガスバリア性が向上されていることが理解できる。
5×8インチのシリコン含有カーボンターゲット(炭素原料基板5)に出力するパルス電源17の調整電力において、ピークで1.0kV,安定部分で0.61kVのパルス電圧を100μs印加し、パルスピーク電力を56.2kWの条件で出力した。また基板電圧印加手段13より基板2に印加する電圧は0Vとした。Arガス圧力は1.51×10−1Paとした。この条件で成膜された炭素膜(真性カーボン膜)の特性は、膜厚50nm、水蒸気のガス透過率が6.7 g/(m2・day・atm)であった。
また成膜される炭素膜(真性カーボン膜)に関しては、その表面の鏡面度も変化させることができ、そのことは出願人が様々な条件で成膜された炭素膜を分光エリプソメトリー測定により屈折率nおよび消衰係数kの値を測定し、波長550nmにおけるnが2.5〜2.7 kが0.1〜0.6硬さ22〜35GPaの高硬度かつ抵抗値1.0×101〜1.0×102 [Ω・cm]のカーボン膜、nが2.1〜2.5 kが0.6〜0.8硬さ9〜20GPaの中硬度かつ抵抗値1.0×10-1〜1.0×101 [Ω・cm]のカーボン膜、nが1.4〜2.1 kが0.6〜0.8硬さ0.04〜11GPaの低硬度かつ抵抗値1.0×10-1〜1.0×10-2 [Ω・cm]のカーボン膜に作り分けられることを確認することができた。さらに本発明に係る炭素膜成膜装置に関しては、ロール状に巻かれた被加工材に対して炭素膜を成膜させることはもちろん、フィルム等の被加工材の表面に多層の複合膜を成膜することも可能となり、こうして成膜されたフィルムについては例えば包装用のフィルムや電極の表面保護膜、回路パターンの表面封止膜などに用いることが可能となる。
4 被加工材
5 炭素原料基板
6 ガス導入ポート
10 成膜真空槽
11 真空チャンバ
13 基板電圧印加手段
15 インピーダンス整合機構
16 スイッチング回路
17 パルス電源
18 パルス生成機構
19 スイッチング回路
20 巻出真空槽
21 巻き出しロール
30 巻取真空槽
31 巻き取りロール
Claims (9)
- ロール状に巻かれた被加工材を内部に設置した巻出真空槽と、
前記巻出真空槽から巻き出された前記被加工材を加工するための成膜真空槽と、
成膜真空槽によって加工された前記被加工材をロール状に巻き取るための巻取真空槽と、を有する炭素膜成膜装置であって、
前記成膜真空槽は、
所定の真空度に減圧可能とされる真空チャンバ内に前記被加工材を保持する被加工材保持基板と、
前記被加工材保持基板に対向配置される少なくとも1つ以上の炭素原料基板を有し、前記炭素原料基板上で、前記真空チャンバ内に導入される放電発生用の媒体ガスをパルス電源より前記炭素原料基板に出力される調整電力に基づきプラズマ化し、前記被加工材保持基板に保持される前記被加工材に向けて前記炭素原料基板から炭素原料とともに放電するプラズマ発生源と、を備え、
スパッタリング法によって前記被加工材の表面に炭素膜を加工形成し、
前記パルス電源は、パルス幅を100μs〜160μs、周波数を50Hz〜2000Hz、電圧を700V〜2000Vの範囲で制御する調整回路を有し、
前記炭素原料基板と前記被加工材との間隔を30mmから200mmの間で調整することにより、成膜速度を毎分1nmから毎分700nmの範囲で調整可能としたことを特徴とする炭素膜成膜装置。 - 前記パルス電源より前記炭素原料基板へ印加される電力が単位面積当たり0.5kW/m 2 〜3000kW/m 2 の間に制御されることによって硬度・成膜速度をある領域で制御可能なことを特徴とする請求項1に記載の炭素膜成膜装置。
- 前記炭素原料基板には温度を計測する測定子と温度を調整するための機構が備えつけられており、前記炭素原料基板の表面温度が1000℃以上になるまで加熱し前記炭素原料基板から蒸発する原材料の蒸気圧が0.001Pa〜130Paとなるように制御することによって硬度・成膜速度をある領域で制御可能なことを特徴とする請求項1に記載の炭素膜成膜装置。
- インピーダンス整合用抵抗により前記炭素原料基板に出力される電圧、電流値を調整することにより、回路に対する装置内部のインピーダンスを20%〜70%となるように制御可能なことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の炭素膜成膜装置。
- 成膜された炭素膜について、YAGレーザーを用いたラマン分光スペクトルにおいて、800〜2000cm −1 間にピークを有する特性バンドを持ち、GバンドとDバンドのピーク強度比が0.4以上2.0以下、あるいは面積強度比が1.5以上3.2以下であるように調整可能であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の炭素膜形成装置。
- 前記被加工材保持基板に保持される被加工材は、ポリエチレン、ポリエステル、ポリエチレンテレフタラート、ポリイミド、SiC(炭化ケイ素)、アルミニウム合金、アルミナ、SUJ2(高炭素クロム軸受鋼鋼材)、WC(タングステンカーバイド)、Siウェハ、繊維製品、及び生分解性プラスチックのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の炭素膜形成装置。
- 前記真空槽に導入される気体は、窒素、アルゴン、クリプトン、酸素、炭化水素系ガス又は、これらの混合ガスのいずれかであることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の炭素膜形成装置。
- 前記成膜真空槽の前記被加工材保持基板に対向配置される前記炭素原料基板は、炭素を主材とし、チタン、シリコン、アルミニウム、ジルコニウム、亜鉛、タングステンのうちのいずれか一種あるいはこれらを複数選択して含有して構成されるものである請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の炭素膜成膜装置。
- 前記炭素原料基板へ印加する電圧を0Vを超えて1400Vまでの間で調整することにより、成膜速度を毎分0nmを超え毎分75nmまでの範囲で調整可能とすることを特徴とする請求項1に記載の炭素膜成膜装置。
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