JP5886680B2 - 研削方法及び研削装置 - Google Patents
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Description
2:保持テーブル
2a:テーブルベース 2b:保持部 2c:保持面 2d:支持部
3:ターンテーブル
4:回転軸
5:荷重検出手段
6:判断部
7:制御部
8:回転軸
9:吸引源
10:研削手段 11:スピンドル 12:スピンドルハウジング 13:マウンタ
14:研削ホイール 15:研削砥石
20:研削送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:軸支部 24:移動基台
30:ベルト 31:モータ
Claims (2)
- 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークに研削砥石を接触させて該板状ワークを研削する研削手段と、該保持テーブルに接近する方向及び該保持テーブルから離間する方向に該研削手段を研削送りする研削送り手段と、を備えた研削装置を用いる研削方法であって、
該保持テーブルまたは該研削手段には、該研削手段を該研削送り手段によって研削送りする際に該板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段が配設され、
該研削送り手段が該研削手段を下降させ該研削砥石を該保持テーブルに保持された板状ワークに接触させ、さらに該研削手段を所定の研削送り速度で下降させることによって該荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、該研削送り手段によって該研削手段を所定の速度で上昇させる第1の研削送り工程と、
該第1の研削送り工程において該研削手段を上昇させることにより該荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときには、該研削送り手段によって該研削手段を所定の研削送り速度で下降させる第2の研削送り工程と、を備え、
該第1の研削送り工程と該第2の研削送り工程とを交互に繰り返し行う研削方法。 - 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、該保持テーブルに接近する方向及び該保持テーブルから離間する方向に該研削手段を研削送りする研削送り手段と、を備える研削装置であって、
該保持テーブルまたは該研削手段に配設され、該研削手段を該研削送り手段によって研削送りする際に該板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段と、
該荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、該研削送り手段により該研削手段を所定の速度で上昇させ、該研削手段の上昇によって該荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときに、該研削送り手段により該研削手段を所定の速度で下降させ、該研削送り手段による該研削手段の上昇と下降とを交互に繰り返す制御を行う制御部と、
を備えた研削装置。
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