JP5886680B2 - 研削方法及び研削装置 - Google Patents

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本発明は、難研削材料により形成される被加工物に対して研削加工を施す研削方法及び当該研削方法を実施することができる研削装置に関する。
板状ワークを研削する研削装置では、保持テーブルにおいて板状ワークを保持し、板状ワークに研削砥石を接触させて板状ワークを所定の厚みに研削している。板状ワークの研削中は、保持テーブルが回転するとともに、研削砥石を備えた研削手段が回転しながら所定の速度で保持テーブルに向かう方向に研削送りされる。
被加工物である板状ワークが難研削材料(例えば、サファイア,シリコンカーバイトなど)により形成されている場合は、研削手段を所定の研削送り速度で研削送りして板状ワークを研削しても、板状ワークが希望どおりの厚みに減じられず、研削砥石が板状ワークを押し付けている状態となり、研削砥石を回転させるモータに過剰な回転負荷がかかることになる。このような問題に対応し、下記の特許文献1では、被加工物の加工時に生じる圧力をモータにかかる回転負荷として検知し、加工送り速度を制御する研磨装置が提案されている。また、下記の特許文献2では、スピンドルのラジアル方向あるいはスラスト方向におけるエアーの圧力差を検出して加工送り速度を制御する加工装置が提案されている。
特開2001−138219号公報 特開2008−49445号公報
しかしながら、上記のように研削砥石にかかる圧力をモータにかかる回転負荷として検知する制御では、板状ワークに研削砥石を押し付け、板状ワークに荷重がかかった後に、研削砥石を回転させるモータの回転負荷として検知するため、荷重がかかってから回転負荷を検知するまでにタイムラグがある。そのため、荷重がかかった後も研削手段をさらに研削送りして板状ワークに研削砥石を押し付けてしまい、研削砥石に目つぶれが生じてしまう。その結果、研削砥石の自生発刃作用が失われて板状ワークを研削できなくなることがある。
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、研削砥石によって難研削材料により形成される板状ワークを研削する際に、当該研削砥石が自生発刃作用を失わないよう研削送りを制御することに発明の解決すべき課題を有している。
第1の発明は、板状ワークを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された板状ワークに研削砥石を接触させて板状ワークを研削する研削手段と、保持テーブルに接近する方向及び保持テーブルから離間する方向に研削手段を研削送りする研削送り手段とを備えた研削装置を用いる研削方法に関し、保持テーブルまたは研削手段には、研削手段を研削送り手段によって研削送りする際に板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段が配設され、研削送り手段が研削手段を下降させ研削砥石を保持テーブルに保持された板状ワークに接触させ、さらに研削手段を所定の研削送り速度で下降させることによって荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、研削送り手段によって研削手段を所定の速度で上昇させる第1の研削送り工程と、第1の研削送り工程において研削手段を上昇させることにより荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときには、研削送り手段によって該研削手段を所定の研削送り速度で下降させる第2の研削送り工程とを備え、第1の研削送り工程と該第2の研削送り工程とを交互に繰り返し行う。
第2の発明は、板状ワークを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、保持テーブルに接近する方向及び保持テーブルから離間する方向に研削手段を研削送りする研削送り手段とを備える研削装置に関し、保持テーブルまたは研削手段に配設され、研削手段を研削送り手段によって研削送りする際に板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段と、荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、研削送り手段により研削手段を所定の速度で上昇させ、研削手段の上昇によって荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときに、研削送り手段により研削手段を所定の速度で下降させ、研削送り手段による研削手段の上昇と下降とを交互に繰り返す制御を行う制御部とを備える。
第1の発明は、保持テーブルと、板状ワークを研削する研削手段と、研削手段を研削送りする研削送り手段とを備えた研削装置を用いる研削方法であって、保持テーブルまたは研削手段に、研削手段に装着される研削砥石により板状ワークを研削する際に板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段が配設されており、研削手段が所定の研削送り速度で下降することによって荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに研削送り手段によって研削手段を所定の速度で上昇させる第1の研削送り工程と、該第1の研削送り工程において該研削手段を上昇させることにより該荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷であるときに該研削送り手段によって該研削手段を所定の研削送り速度で下降させる第2の研削送り工程とを備えているため、板状ワークにかかる研削荷重に応じて研削送り手段による研削手段の研削送りを制御することができ、荷重がかかってから研削手段が上昇するまでにタイムラグがないため、研削砥石に目つぶれが発生して研削砥石の自生発刃作用が失われることがない。また、第1の研削送り工程と第2の研削送り工程とを交互に繰り返して板状ワークを研削するため、研削砥石の自生発刃作用を確保しながら研削を行うことができ、被加工物が難研削材料により形成される板状ワークであったとしても、継続して研削を行うことができる。
第2の発明は、研削手段を研削送り手段によって研削送りする際に板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段と、荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、研削送り手段により研削手段を所定の速度で上昇させ、研削手段の上昇によって荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときに、研削送り手段により研削手段を所定の速度で下降させ、研削送り手段による研削手段の上昇と下降とを交互に繰り返す制御を行う制御部とを備えるため、荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときには研削手段を所定の研削送り速度で上昇させ、この上昇により荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときには研削手段を下降させることができ、かかる制御を繰り返し行うことができるため、難研削材料により形成される板状ワークについても、研削砥石の自生発刃作用を確保しながら継続して研削を行うことができる。
研削装置の構成を示す断面図である。 研削方法の手順を示すフローチャートである。 研削送りによる研削手段の高さ位置と研削荷重値との関係を示すグラフである。
図1に示す研削装置1は、各種材料により形成される板状ワークWに研削を施す研削装置である。研削装置1は、Y軸方向にのびる基台100と、基台100の端部からZ軸方向にのびる立設基台101とを備えている。研削装置1には、板状ワークWを保持する保持テーブル2と、保持テーブル2に保持された板状ワークWを研削する研削手段10と、該保持テーブル2に接近する方向及び該保持テーブル2から離間する方向に研削手段10を研削送りする研削送り手段20とを備えている。
基台100の上面には、回転可能なターンテーブル3が配設されている。ターンテーブル3の中央部分には、Z軸方向の軸心を有する回転軸4が配設されている。保持テーブル2は、テーブルベース2aと、テーブルベース2aの上面側に配設された保持部2bとを備え、保持部2bの表面は板状ワークWを吸引保持する保持面2cとなっている。保持テーブル2は、支持部2dの一端をターンテーブル3に連結し、他端をテーブルベース2aの下端に連結することによって、ターンテーブル3上において支持されている。そして、ターンテーブル3が回転すると、保持テーブル2を公転させることができる。
テーブルベース2aの中央部下端には、吸引源9に連通する吸引路が内部に形成された回転軸8が連結されている。回転軸8にはベルト30が巻回され、このベルト30は、モータ31の回転軸にも巻回されており、モータ31による駆動により、チャックテーブル2を、例えば矢印A方向に回転させることができる。
図1に示すように、立設基台101の側方において、研削送り手段20を介して研削手段10が配設されている。研削手段10は、Z軸方向の軸心Cを有するスピンドル11と、スピンドル11を回転可能に支持するスピンドルハウジング12と、スピンドル11の下端にマウンタ13を介して装着された研削ホイール14と、研削ホイール14の下部に環状に固着された複数の研削砥石15と、スピンドルハウジング12の内部においてスピンドル11に連結された図示していないモータとを備えている。そして、研削手段10においては、モータによって研削ホイール14を回転させることができる。
研削手段10の側部には、研削手段10を昇降移動させる研削送り手段20が配設されている。研削送り手段20は、Z軸方向にのびる回動可能なボールネジ21と、ボールネジ21の上端に接続されたモータ22と、ボールネジ21を回動可能に支持する軸支部23と、スピンドルハウジング12の側部に取り付けられ研削手段10を昇降させる移動基台24とを備えている。研削送り手段20は、モータ22の駆動によりボールネジ21を回動させることにより移動基台24をZ軸方向に移動させ、研削手段10もZ軸方向に移動させることができる。
図1に示すように、支持部2dの上端側には、保持テーブル2に保持された板状ワークWを研削する際に、板状ワークWにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段5が取り付けられている。この荷重検出手段5は、テーブルベース2bの下端に接触しており、保持テーブル2が回転可能となるように接している。荷重検出手段5は、圧電方式の荷重測定に用いられる圧電素子を備えており、当該圧電素子は、研削砥石15により板状ワークWにかけられる圧力を受けると、電圧を発生することができる。荷重検出手段5は、この電圧を板状ワークWにかかる荷重値として検出することができる。例えば、保持テーブル2の下端の三箇所にそれぞれ荷重検出手段5を取り付けることができる。また、荷重検出手段5は、研削手段10の内部、例えばスピンドル11を支持するスピンドルハウジング12とスピンドル11との鉛直方向の間に配設する構成でもよい。
荷重検出手段5には、荷重検出手段5によって検出した荷重値が研削装置1にあらかじめ設定されたしきい値に達しているか否かを判断する判断部6が接続されている。さらに、判断部6の判断結果に基づき、研削送り手段20による研削手段10の昇降動作を交互に繰り返すように制御する制御部7が、判断部6と研削送り手段20とに接続されている。
以下においては、上記の如く構成される研削装置1を用い、図2に示すフローチャートに沿って、板状ワークWを研削する手順について説明する。研削対象となる板状ワークWは、例えば、サファイア,シリコンカーバイトなどの難研削材料により形成されている。
図1に示す研削装置1においては、研削手段10により板状ワークWにかけられ荷重検出手段5によって検出される研削荷重のしきい値を、例えば100Nとして予め判断部6に設定しておく。そして、板状ワークWにかかる研削砥石15の荷重値がしきい値に達したときには、研削送り手段20が研削送り速度0.5mm/sで研削手段10を上昇させるように制御部7に予め設定しておく。また、板状ワークWにかかる研削砥石15の荷重値が無負荷(0N)となったときには、研削送り手段20が研削送り速度0.5mm/sで研削手段10を下降させるように制御部7に予め設定しておく。研削送り手段20の制御は、制御部7によって行われる。
図1に示すように、研削装置1では、板状ワークWが保持テーブル2に吸引保持されるともに、保持テーブル2が例えば、矢印A方向に回転する。また、これと同時にターンテーブル3が回転し、保持テーブル2を研削手段10の下方に位置づける。
次に、研削送り手段20が研削手段10を保持テーブル2に保持された板状ワークWに向けて下降させる。このとき、制御部7は、例えば、研削送り速度10mm/sで研削手段10が下降するように研削送り手段20を制御する。そして、保持テーブル2に保持された板状ワークWに研削砥石15が接触した時点で板状ワークWの研削を開始する。図1に示した板状ワークWに研削砥石15が接触すると、荷重検出手段5が板状ワークWにかかる研削荷重の荷重値の検出を行う。
研削作業が開始されると、図1に示した判断部6は、荷重検出手段5の値を読み出し、板状ワークWにかかる研削荷重の荷重値が無負荷であるかどうかを判断する(ステップS1)。
そして、判断部6が荷重値が無負荷でないと判断すると、制御部7による制御の下で、研削送り手段20が研削手段10を所定速度で上昇させ、板状ワークWと研削砥石15とを非接触状態とする(ステップS4)。
一方、荷重値が無負荷であると判断すると、研削送り手段20が研削手段10を所定速度で下降させ、板状ワークWに研削砥石15を接触させて研削を行う(ステップS2、第2の研削送り工程)。そして、研削を行いながら、判断部6が荷重検出手段5の荷重値を読み続け、その荷重値が所定のしきい値に達するか否かを判断する(ステップS3)。
読み出した荷重値が所定のしきい値に達していないときは、研削送り手段20が研削手段10をさらに下降させ、板状ワークWの研削を続行する(ステップS2)。
一方、読み出した荷重値が所定のしきい値に達したときは、研削送り手段20が研削手段10を所定の速度で上昇させる(ステップS4、第1の研削送り工程)。そして、判断部6が、第1の研削送り工程における研削手段10の上昇と第2の研削送り工程における研削手段10の下降とを繰り返すための時間があるかないかを判断する(ステップS5)。
判断部6により、繰り返すための時間がないと判断されると、制御部7は、研削送り手段20に研削手段10を上昇させ研削を終了する。
一方、判断部6が、繰り返すための時間があると判断すると、ステップS1に戻り、板状ワークWにかかる研削荷重の荷重値が無負荷であれば研削手段10を下降させ(ステップS2、第2の研削送り工程)、荷重値が無負荷でなければ研削手段10を上昇させる(ステップS4、第1の研削送り工程)。このようにして、制御部7による制御の下で、研削荷重の値に基づき、第1の研削送り工程と第2の研削送り工程とを交互に繰り返す。
このような手順にて板状ワークWを研削すると、研削手段10の高さ位置と研削荷重値とは、例えば図3に示す関係の下で推移する。
図3に沿って説明すると、制御開始時t0から研削送り手段20が研削手段10を下降させていき、研削砥石15が板状ワークWに接触して研削開始時t1において研削が開始されると、さらに研削手段10が下降していく(フェーズZ0)。研削を行いながら研削手段10が下降するフェーズZ0においては、研削荷重の値は徐々に上昇していく(フェーズL0)。
こうして研削荷重の値が上昇していくことにより、切替え時t2において研削荷重の値が所定のしきい値に達する。そうすると、研削手段10が上昇に転じ(フェーズZ1、第1の研削送り工程)、研削荷重の値が下がっていく(フェーズL1)。
フェーズZ1において研削手段10が上昇していき、研削砥石15が板状ワークWに接触しなくなると、研削荷重は、切替え時t3において0(無負荷)になる。そうすると、研削手段10が下降に転じ(フェーズZ2、第2の研削送り工程)研削荷重の値は上昇する(フェーズL2)。
こうして研削荷重が上昇して切替え時t2’においてしきい値に達すると、研削手段10が上昇に転じ(フェーズZ1’、第1の研削送り工程)、研削荷重の値が下がっていく(フェーズL1’)。
フェーズZ1’において研削手段10が上昇していき、研削砥石15が板状ワークWに接触しなくなると、研削荷重は、切替え時t3’おいて無負荷になる。そうすると、研削手段10が下降に転じ(フェーズZ2’、第2の研削送り工程)研削荷重の値は上昇する(フェーズL2’)。
研削荷重の値が上昇し、タイムアウト時t4においてしきい値に達すると、研削手段10が上昇に転じる。そして、第1の研削送り工程と第2の研削送り工程との繰り返し時間がゼロになり、さらに研削手段10が上昇し、研削を終了する。
このように、研削装置1では、荷重検出手段5で板状ワークWにかかる研削荷重を検出しながら、制御部7が研削送り手段20の研削送りを制御することができる。そして、第1の研削送り工程において研削荷重の値が所定のしきい値に達したと判断部6が判断したときには所定の研削送り速度で研削手段10を上昇させて研削を中断し、第2の研削送り工程ではこの上昇により研削荷重の荷重値が無負荷になったと判断部6が判断したときには所定の研削送り速度で研削手段10を下降させて研削を再開することができ、このようにして研削の中断と再開とを交互に繰り返し行いながら板状ワークWを研削することができる。したがって、研削砥石15を回転させるモータに過剰な回転負荷がかかって研削砥石15が自生発刃作用を失うのを防止することができ、被加工物が難研削材料により形成される板状ワークであったとしても継続して研削を行うことができる。
1:研削装置 100:基台 101:立設基台
2:保持テーブル
2a:テーブルベース 2b:保持部 2c:保持面 2d:支持部
3:ターンテーブル
4:回転軸
5:荷重検出手段
6:判断部
7:制御部
8:回転軸
9:吸引源
10:研削手段 11:スピンドル 12:スピンドルハウジング 13:マウンタ
14:研削ホイール 15:研削砥石
20:研削送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:軸支部 24:移動基台
30:ベルト 31:モータ

Claims (2)

  1. 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークに研削砥石を接触させて該板状ワークを研削する研削手段と、該保持テーブルに接近する方向及び該保持テーブルから離間する方向に該研削手段を研削送りする研削送り手段と、を備えた研削装置を用いる研削方法であって、
    該保持テーブルまたは該研削手段には、該研削手段を該研削送り手段によって研削送りする際に該板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段が配設され、
    該研削送り手段が該研削手段を下降させ該研削砥石を該保持テーブルに保持された板状ワークに接触させ、さらに該研削手段を所定の研削送り速度で下降させることによって該荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、該研削送り手段によって該研削手段を所定の速度で上昇させる第1の研削送り工程と、
    該第1の研削送り工程において該研削手段を上昇させることにより該荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときには、該研削送り手段によって該研削手段を所定の研削送り速度で下降させる第2の研削送り工程と、を備え、
    該第1の研削送り工程と該第2の研削送り工程とを交互に繰り返し行う研削方法。
  2. 板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを研削する研削手段と、該保持テーブルに接近する方向及び該保持テーブルから離間する方向に該研削手段を研削送りする研削送り手段と、を備える研削装置であって、
    該保持テーブルまたは該研削手段に配設され、該研削手段を該研削送り手段によって研削送りする際に該板状ワークにかかる研削荷重を検出する荷重検出手段と、
    該荷重検出手段が検出する荷重値が所定のしきい値に達したときに、該研削送り手段により該研削手段を所定の速度で上昇させ、該研削手段の上昇によって該荷重検出手段が検出する荷重値が無負荷となったときに、該研削送り手段により該研削手段を所定の速度で下降させ、該研削送り手段による該研削手段の上昇と下降とを交互に繰り返す制御を行う制御部と、
    を備えた研削装置。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014104552A (ja) * 2012-11-28 2014-06-09 Komatsu Ntc Ltd 研削加工方法および研削加工装置
JP6510374B2 (ja) * 2015-09-16 2019-05-08 光洋機械工業株式会社 ワークの平面研削方法及び平面研削盤
JP6594215B2 (ja) * 2016-01-22 2019-10-23 株式会社東京精密 研削装置
JP6937370B2 (ja) * 2017-07-12 2021-09-22 東京エレクトロン株式会社 研削装置、研削方法及びコンピュータ記憶媒体
JP6906859B2 (ja) 2017-09-13 2021-07-21 株式会社ディスコ 加工装置
JP7431589B2 (ja) 2020-01-17 2024-02-15 株式会社ディスコ 加工装置
JP2022072047A (ja) 2020-10-29 2022-05-17 株式会社ディスコ ウェーハの研削方法
JP2023173585A (ja) 2022-05-26 2023-12-07 株式会社ディスコ スピンドルユニット

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5615975A (en) * 1979-07-19 1981-02-16 Toshiba Corp Grinding controller
JPS57205068A (en) * 1981-06-08 1982-12-16 Shibata Denki Kenkyusho:Kk Automatic grinding unit
JP2552537B2 (ja) * 1987-12-01 1996-11-13 セイコー精機 株式会社 撓み検知手段付スピンドル装置を備えた研削加工装置の制御方法
JPH0219463U (ja) * 1988-07-21 1990-02-08
JPH04193474A (ja) * 1990-11-27 1992-07-13 Toyo A Tec Kk 研削盤の砥石修正方法および同装置
JP2567178B2 (ja) * 1992-02-14 1996-12-25 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 砥石研削機
JP2002028860A (ja) * 2000-07-17 2002-01-29 Sumitomo Heavy Ind Ltd 研削盤

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