JP2015006709A - ウエーハの研削方法及び研削装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 73
- 238000009966 trimming Methods 0.000 abstract description 23
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 76
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
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Abstract
Description
砥石の切り込み深さ:50μm
チャックテーブル回転速度:5deg/sec
砥石の回転速度:20000rpm
砥石の切り込み深さ:50μm
Z軸送り速度:1.0μm/sec
チャックテーブル回転速度:300rpm
砥石の回転速度:20000rpm
6:溝 10:研削手段 11:スピンドル 12:スピンドルハウジング
13:スピンドルモータ 14:砥石部 15:支持部 20:研削送り手段
21:ボールネジ 22:モータ 23:ガイドレール 24:ガイド板
30:割り出し送り手段 31:ボールネジ 32:モータ 33:ガイドレール
34:ガイド板 40:測定手段 41:制御手段
50:研削手段 51:砥石部 51a:研削部 52:砥粒 53:掴持部
54:モータ 55:支持部
W:ウエーハ Wa:上面 Wb:下面 Wc:周縁部
Claims (4)
- チャックテーブルに保持された板状のウエーハの周縁部を研削手段によって研削する研削方法であって、
ウエーハを保持した該チャックテーブルを連続的に回転させつつウエーハの厚さ方向に該研削手段を連続的に移動させて該周縁部を押圧し、ウエーハの周縁部の厚みが所定の厚みに到達するまで研削する研削方法。 - 板状のウエーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを連続回転させる回転手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの周縁部を研削する砥石部を備えた研削手段と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの該周縁部に対し該研削手段を接近及び離反させる研削送り手段と、
該研削手段によって研削されるウエーハの該周縁部の厚みを測定する測定手段と、を少なくとも備える研削装置。 - 前記研削手段は、前記チャックテーブルの上面と平行に配設され軸となるスピンドルと、
該スピンドルの先端に装着される円盤状の砥石部と、
該砥石部の中心を軸として該スピンドルを回転させるスピンドルモータとにより少なくとも構成され、
該砥石部の外周側面をウエーハの周縁部に接触させ研削する請求項2記載の研削装置。 - 前記研削手段は、矩形に形成された砥石からなる砥石部と、該砥石部を掴持する掴持部と、により少なくとも構成される請求項2記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013132559A JP2015006709A (ja) | 2013-06-25 | 2013-06-25 | ウエーハの研削方法及び研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family
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Family Applications (1)
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JP2013132559A Pending JP2015006709A (ja) | 2013-06-25 | 2013-06-25 | ウエーハの研削方法及び研削装置 |
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JP (1) | JP2015006709A (ja) |
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2013
- 2013-06-25 JP JP2013132559A patent/JP2015006709A/ja active Pending
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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