JP2021122073A - ウェーハ及びウェーハの薄化方法並びにウェーハの薄化装置 - Google Patents
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Abstract
Description
は一対のZ軸ガイドレール82、82が所定の間隔を持って敷設される。この一対のZ軸
ガイドレール82、82にはZ軸リニアガイド84、84を介してZ軸テーブル86がス
ライド自在に支持される。
ボールネジ90が螺合される。Z軸ボールネジ90は、一対のZ軸ガイドレール82、82の間において、その両端部がZ軸ベース80に配設された軸受部材92、92に回動自在に支持されており、その下端部にZ軸モータ94の出力軸が連結される。
L=T/tanφ+αとなる形状に加工する。
Tは、使用するウェーハWの目的厚さ、φは搬送カセット等の保持具、又は研磨テープとの接触角と略等しくされた面取り角度として、バックグラインディング前に加工することで、ウェーハW端面に生じうるダメージを回避することができる。
Claims (6)
- ウェーハをバックグラインディングによって所望の厚さに加工するウェーハの薄化方法であって、
前記ウェーハ外周のエッジ部を面取り部として加工し、
前記面取り部の上部を前記ウェーハの上面から薄化する目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に除去し、
外周から除去される取り代長さをL、面取り部の水平に対する角度φ、余裕代α、として、L=T/tanφ+αとなる形状に加工し、
前記ウェーハを前記形状に加工した後、前記ウェーハの最外周部を研磨する研磨テープとの接触角と前記角度φとを等しくなるように決定することを特徴とするウェーハの薄化方法。 - ウェーハをバックグラインディングによって所望の厚さに加工するウェーハの薄化方法であって、
前記ウェーハ外周のエッジ部を面取り部として加工し、
前記面取り部の上部を前記ウェーハの上面から薄化する目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に除去し、
外周から除去される取り代長さをL、面取り部の水平に対する角度φ、余裕代α、として、L=T/tanφ+αとなる形状に加工し、
前記角度φを前記ウェーハの搬送カセットの内面で前記ウェーハの外周部と接触する部分の角度と等しくなるように決定することを特徴とするウェーハの薄化方法。 - ウェーハをバックグラインディングによって所望の厚さに加工するウェーハの薄化装置において、
前記ウェーハ外周のエッジ部を面取り部として加工する面取り装置と、
前記バックグラインディングの加工前に予め面取り加工された前記面取り部の上部を目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に切り込んで除去する砥石と、
を備え、除去される取り代長さをL、余裕代α、前記ウェーハの搬送カセットの内面で前記ウェーハの外周部と接触する部分の角度をφとして、L=T/tanφ+αとなる形状に加工し、
前記ウェーハを前記形状に加工した後、前記ウェーハの最外周部を研磨する研磨テープとの接触角と前記角度φとを等しくなるように決定することを特徴とするウェーハの薄化装置。 - ウェーハをバックグラインディングによって所望の厚さに加工するウェーハの薄化装置において、
前記ウェーハ外周のエッジ部を面取り部として加工する面取り装置と、
前記バックグラインディングの加工前に予め面取り加工された前記面取り部の上部を目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に切り込んで除去する砥石と、を備え、
除去される取り代長さをL、余裕代α、前記ウェーハの搬送カセットの内面で前記ウェーハの外周部と接触する部分の角度をφとして、L=T/tanφ+αとなる形状に加工し、
前記角度φを前記ウェーハの搬送カセットの内面で前記ウェーハの外周部と接触する部分の角度と等しくなるように決定することを特徴とするウェーハの薄化装置。 - バックグラインディングによって所望の厚さに薄化されるウェーハにおいて、
前記ウェーハ外周のエッジ部が面取り部として加工され、
前記面取り部の上部は前記ウェーハの上面から薄化する目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に除去され、
外周から除去される取り代長さをL、面取り部の水平に対する角度φ、余裕代α、として、L=T/tanφ+αとなる形状に加工され、
前記角度φは、前記ウェーハの外周部を研磨する研磨テープとの接触角と等しくなるように決定されたことを特徴とするウェーハ。 - バックグラインディングによって所望の厚さに薄化されるウェーハにおいて、
前記ウェーハ外周のエッジ部が面取り部として加工され、
前記面取り部の上部は前記ウェーハの上面から薄化する目的厚さ(T)まで前記ウェーハの外周から内周に向かって水平に除去され、
外周から除去される取り代長さをL、面取り部の水平に対する角度φ、余裕代α、として、L=T/tanφ+αとなる形状に加工され、
前記角度φは、前記ウェーハの搬送カセットの内面で前記ウェーハの外周部と接触する部分の角度と等しくなるように決定されたことを特徴とするウェーハ。
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