JP5885662B2 - 光触媒材料および光触媒装置 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 142
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 title claims description 99
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 150
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 claims description 96
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims description 95
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 claims description 93
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 70
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 64
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 claims description 57
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 47
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 20
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 13
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 claims description 11
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 72
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 72
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 67
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 57
- 239000010408 film Substances 0.000 description 56
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 52
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 46
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 43
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 33
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 33
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 23
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 19
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 18
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 17
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000003014 ion exchange membrane Substances 0.000 description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical group O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 6
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 4
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910011210 Ti—O—N Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000002803 fossil fuel Substances 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 description 2
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003088 Ti−O−Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000010779 crude oil Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 231100000701 toxic element Toxicity 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
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Description
すなわち、本発明の光触媒材料は、一般式Al1−yGayN(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm−1以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含むことを特徴とするものである。
本発明の光触媒材料は、一般式Al1−yGayN(0≦y≦1)で表される化合物半導体のAlおよび/またはGaの一部が、少なくとも1種の3d遷移金属(Tで表す)で置換された窒化物系化合物半導体を含む材料である。
GaN系化合物半導体のうち、GaNは、バンドギャップが3.4eV(光の波長の365nmに相当)であり紫外光は吸収するが、可視光以上の波長を持つ光を吸収しない半導体であり、可視光以上の波長を持つ光を照射しても価電子帯から伝導帯への電子の遷移はない。これに対し、Gaの一部を3d遷移金属Tで置換した、一般式Ga1−xTxN(0.02≦x≦0.3)で表される化合物半導体(以下、GaTNと略す。)は、GaNのバンド構造を保持した状態で、バンドギャップ中に、置換した3d遷移金属であるTによる不純物バンドを有する。ここで3d遷移金属は一種類に限るものではなく複数用いることもでき、その場合、複数の3d遷移金属による置換合計がxになるように構成する。なお、本発明においては、Gaおよび/またはAlを3d遷移金属で置換するとは、置換した3d遷移金属が不純物バンドを形成できる範囲内でGaあるいはAlを3d遷移金属で置換できることをいう。
図2は、本発明のGaMnNのバンド構造の一例を示す模式図である。同図中、VBは価電子帯、CBは伝導帯、IBは不純物バンドからなる中間バンド、EgはGaMnNのバンドギャップ、Efはフェルミ準位、Euは不純物バンドと伝導帯の間のバンドギャップ、Elは価電子帯と不純物バンドの間のバンドギャップを示す。ここで、中間バンドが存在してもGaMnNのバンドギャップEgは、Mnを添加していないGaNのバンドギャップと同じである。GaMnNに太陽光を照射することにより、紫外光により価電子帯VBから伝導帯CBに電子e−が直接励起(同図中に記載の(0))されるとともに、可視光および赤外光により中間バンドIBを介して価電子帯VBから不純物バンドIBの非占有部分への電子e−の励起(同図中に記載の(2))、そして中間バンドIBの占有部分から伝導帯CBへの電子e−の励起(同図中に記載の(1))の3タイプの励起が起きる。これらの励起によって伝導帯CBには多くの電子e−が、価電子帯VBには多くの正孔h+が存在するようになる。この直接励起(0)と不純物バンドIBを介した励起(1)(2)が可能なことにより、本発明の光触媒材料は、前述のように紫外光だけでなく、可視光、赤外光にいたる広い波長範囲の太陽光を吸収し、高効率で電荷キャリアを励起することができる。つまり、本発明の光触媒材料は、電子e−の励起が可能な中間バンドを有することが大きな特徴である。
図4は、p−GaN/GaMnNの積層構造のバンド構造の一例を示す模式図である。同図中、211はp−GaN層、212はGaMnN層であり、VBは価電子帯、CBは伝導帯、IBは不純物バンドからなる中間バンド、EgはGaMnNのバンドギャップ、Efはフェルミ準位、Euは不純物バンドと伝導帯の間のバンドギャップ、Elは価電子帯と不純物バンドの間のバンドギャップを示す。GaMnN層212に光を照射することにより、価電子帯から伝導帯に電子e−が直接励起(0)されるとともに、不純物バンドを介して価電子帯から不純物バンドの非占有部分への電子の励起(2)、そして不純物バンドの占有部分から伝導帯への電子の励起(1)が起きることを示している。励起による電子e−はp−GaN層211によりブロックされGaMnN層212に留まり、正孔h+はp−GaN層211へ移動し、電荷キャリアの分離が行われる。ここで、紫外線照射によってp−GaN層211でも価電子帯から伝導帯に電子e−が直接励起されるが、基本的動作は変わらないので説明の明確化のため図4では省略している。
図6は、図4に示したp−GaN/GaMnNの積層構造を有する光触媒材料をカソードとして用いた光触媒装置300の構造を示す模式図である。水槽307は純水または電解質水溶液308で満たされ、イオン交換膜305によりカソード室309とアノード室310に分けられている。アノード室310には白金板がアノード306として設置され、カソード室309にはカソード301が設置されている。カソード301は、p−GaN層303の一方の主面にGaMnN層302が積層された構造を有し、p−GaN層303の他方の主面には電荷取り出し電極304が形成されている。電荷取り出し電極304は直接電解質水溶液308と接触しないように防水絶縁膜312でコートされている。ここで313は導線311が電解質水溶液308と直接接触しないようにするための防水絶縁管である。
図7は、n−GaN/GaMnNの積層構造のバンド構造の別の例を示す模式図である。同図中、401はn−GaN層、402はGaMnN層であり、VBは価電子帯、CBは伝導帯、MBは不純物バンドからなる中間バンド、EgはGaNのバンドギャップ、Efはフェルミ準位、Euは不純物バンドと伝導帯の間のバンドギャップ、Elは価電子帯と不純物バンドの間のバンドギャップを示す。光照射により、価電子帯から伝導帯に電子が励起され、また価電子帯から不純物バンドの非占有部分への電子の励起(2)、そして不純物バンドの占有部分から伝導帯への電子の励起(1)が起きることを示している。光励起による電子e−はn−GaN層401へ移動するが、正孔h+はn−GaN層401にブロックされGaMnN層402内に留まる。ここで、紫外線照射によってn−GaN層401でも価電子帯から伝導帯に電子e−が直接励起されるが、基本的動作は変わらないので説明の明確化のため図7では省略している。
図9は、図7に示したn−GaN/GaMnNの積層構造を有する光触媒材料をカソードとして用いた光触媒装置500の構造を示す模式図である。水槽507は純水または電解質水溶液508で満たされ、イオン交換膜505によりカソード室509とアノード室510に分けられている。アノード室510には白金板がアノード506として設置され、カソード室509にはカソード501が設置されている。カソード501は、GaMnN層502の一方の主面にn−GaN層503が積層された構造を有し、n−GaN層503の他方の主面には電荷取り出し電極504が形成されている。電荷取り出し電極508は電解質水溶液508と直接接触しないように防水絶縁膜512でコートされている。ここで513は導線511が電解質水溶液508と直接接触しないようにするための防水絶縁管である。
図10は、p−GaMnN/n−GaMnNの積層構造を有する光触媒材料を用いた光触媒装置600の構造を示す模式図である。601はn−GaMnN層、602はp−GaMnN層であり、水槽607は純水または電解質水溶液608で満たされ、p−GaMnN/n−GaMnNの積層構造の接合面を境にして、イオン交換膜605によりカソード室610とアノード室609に分けられている。カソード室610にはn−GaMnN層601が、アノード室609にはp−GaMnN層602が電解質水溶液608と接している。n−GaMnN層601もしくはp−GaMnN層602の片側または両側に太陽光が照射されると(図中ではp−GaMnN層602にのみ光が照射されている)、電荷キャリアが励起され、価電子帯に励起された正孔h+はp−GaMnN層602に移動し、伝導帯に励起された電子e−はn−GaMnN層601へ移動する。p−GaMnN層602の表面では水と反応して正孔h+の酸化作用により酸素と水素イオンを発生し、水素イオンはイオン交換膜605を通ってカソード室610へ移動し、n−GaMnN層601側では電子の還元作用により水素を発生する。
実施の形態1から6では光触媒材料としてGaMnNを用いた例について説明したが、次に別の光触媒材料として、母材としてGaN、3d遷移金属としてCoを使用したGaCoN、母材としてAlN、3d遷移金属としてNiを使用したAlNiN、母材としてAlGaN、3d遷移金属としてNiを使用したAlGaNiNなどの材料を用いた実施形態を説明する。
図24は、p−GaN/GaCoN/n−GaNのpan積層構造体のバンド構造の一例を示す模式図である。同図中、824はp−GaN層、822は光触媒材料であるGaCoN層、823はn−GaN層であり、VBは価電子帯、CBは伝導帯、IBは不純物バンドからなる中間バンド、EgはGaMnNのバンドギャップ、Efはフェルミ準位、Euは不純物バンドと伝導帯の間のバンドギャップ、Elは価電子帯と不純物バンドの間のバンドギャップを示す。同図中の鎖線の矢印は、GaCoN層822に太陽光を照射することにより、価電子帯から伝導帯に電子e−が直接励起(0)されるとともに、不純物バンドを介して価電子帯から不純物バンドの非占有部分への電子の励起(2)、そして不純物バンドの占有部分から伝導帯への電子の励起(1)が起きることを示している。励起による電子e−はp−GaN層824によりブロックされn−GaN層823へ移動し、正孔h+はn−GaN層823によりブロックされp−GaN層804へ移動し、電荷キャリアの分離が有効に行われる。
図26は、サファイア基板901の上に図24に示したpan構造体と同様のp−GaN/GaCoN(300nm厚)/n−GaN(250nm厚)が積層された構造を有する光触媒材料を半導体電極として用いたもう一つの実施の形態を示す光触媒装置900の構造を示す模式図である。光触媒材料GaCoN層902はGaが93.5%でCoが6.5%の組成のものを使用している。水槽907には1mol/Lの塩酸水溶液が電解質水溶液908として満たされており、実施の形態8と異なり半導体電極のみが電極として設置されている。GaCoN層902とn−GaN層903の接合面には電荷取り出し電極905が形成されている。電荷取り出し電極905は直接電解質水溶液908と接触しないように防水絶縁膜913としてエポキシ樹脂でコートされている。ここで912は電荷取り出し電極905間に電圧を印加するための外部電源である。導線911は電荷取り出し電極905間を電気的に接続する役目を果たす。
次に、光触媒材料としてAlNiNを用いた実施の形態10について説明を行う。図27は、サファイア基板1001の上にAlNiN 1002を、さらにAlN 1003を積層した構造を有する半導体電極1004として用いた光触媒装置1000の構造を示す模式図である。光触媒材料AlNiN 1002はAlが80%で3d遷移金属Niが20%の組成のものを使用している。水槽1007には1mol/Lの塩酸水溶液が電解質水溶液1008として満たされており、また、水槽1007には半導体電極1004とともに白金電極1006が設置されている。AlNiN層1002とAlN層1003との端面には電荷取り出し電極1005が形成されている。電荷取り出し電極1005は直接電解質水溶液1008と接触しないように防水絶縁膜1013としてエポキシ樹脂でコートされている。ここで1012は電荷取り出し電極1005に電圧を印加するための外部電源である。導線1011は電荷取り出し電極1005と白金電極1006を電気的に接続する役目を果たす。
光触媒材料としてAlGaNiNを用いた実施の形態11ついて説明を行う。図28は、サファイア基板1101の上にn−GaN 1103を、さらにAlGaNiN 1102を積層した構造を有する半導体電極1104として用いた光触媒装置1100の構造を示す模式図である。ここで、光触媒材料AlGaNiN 1002は、AlとGaの比率は10%:90%で、(AlGa)が92%で3d遷移金属Niが8%の組成のものを使用している。水槽1107には1mol/Lの塩酸水溶液が電解質水溶液1108として満たされており、また、水槽1107には半導体電極1104とともに白金電極1106が設置されている。サファイア基板1101上に形成されたn−GaN層1103には、AlGaNiN層1102が形成されるとともに、電荷取り出し電極1105が形成されている。電荷取り出し電極1105は直接電解質水溶液1108と接触しないように防水絶縁膜1113としてエポキシ樹脂でコートされている。ここで1112は電荷取り出し電極1105に電圧を印加するための外部電源である。導線1111は電荷取り出し電極1105と白金電極1106を電気的に接続する役目を果たす。
実施例1(Ga1−xMnxN膜の作製)
MBE装置を用いてGa1−xMnxN膜を作製した。この装置は、真空槽を有し、その底壁側にはガス源からアンモニアガスを導入するガス導入ノズルと、第1の蒸着源および第2の蒸着源とが配置されている。真空槽の天井側にはヒータが配置されている。第1、第2の蒸着源内には、それぞれGaを主成分とする第1の金属材料と、Mnを主成分とする第2の金属材料が配置されている。基板には、サファイア、シリコン、石英、GaNなどが使用できるがここではサファイア基板を用いた。
薄膜X線回折装置(日本フィリップス製、X’part)を用いて、MBE法で作製したGaMnN膜のX線回折パターンの測定を行った。ウルツ鉱型GaNと同様に34.5度付近に反射ピークを観測し、ウルツ鉱型であることがわかった。
光吸収スペクトルは、紫外可視分光光度計(島津製作所製、UV−3600及びSOLID Spec−3700)を用いて測定した。
成膜時のMnセル温度を調整することによりMn供給量を制御した以外は、実施例1と同様の方法により、Ga1−xMnxN膜を作製した。膜厚は0.4μm、xは0.05であった。光吸収係数は、300〜1500nmの波長域で1000cm−1以上であった。
作製時にGa、Mnと同時にMgを供給した以外は、実施例2と同様の方法によりGa1−x−zMnxMgzN膜を作製した。膜厚は0.4μm、xは0.05、zは0.02であった。光吸収係数は、300〜1500nmの波長域で1000cm−1以上であった。
Ga1−xMnxN膜を作製する際、基板温度を600℃程度の低い値に設定し、アンモニアの分解を一部抑制することで水素を残留させた以外は実施例1と同様の方法によりGa1−xMnxN:Hy膜を作製した。また、700℃以上の高い基板温度で作製し、水素が残留しなかったGa1−xMnxN膜については、水素雰囲気中でホットフィラメント法により水素分子を熱分解し、Ga1−xMnxN膜に照射することで、Ga1−xMnxN:Hyを作製した。膜厚は0.3μm、xは0.06、yは0.03であった。光吸収スペクトルを図12に示す。Ga1−xMnxN:Hy膜は、400〜1000nmの波長域で7000cm−1以上であり、300〜1500nmの波長域で1000cm−1以上の吸収係数を有していた。また、紫外及び赤外領域でもGaNよりも大きな吸収を有する。不純物バンドによる吸収は1500〜700nm領域のブロードなピーク構造および700〜400nm領域の連続吸収構造に認められた。なお、MBE法による光触媒材料の製膜例とその特性としてGaNに3d遷移金属をドープした時の例を示したが、GaAlN、AlNに3d遷移金属をドープして製膜した時にも同様に優れた光吸収特性を示し、本発明の光触媒素子用の光触媒材料として用いることができる。
例えば、スパッタ法によってGaN系化合物半導体を作製した例を説明する。高周波スパッタ装置の真空槽内に基板として単結晶サファイア上に形成したp-GaN、あるいはn-GaNを設置し、これと対向してGaNターゲットを設置する。ターゲット上にはGaと置換する3d遷移金属Tのチップを設置した。3d遷移金属Tの添加量の調整は、ここではチップの個数を変化させて行った。基板を設置するホルダーの裏面には基板加熱用ヒータが設置されている。チャンバ内を一旦排気した後、Ar−N2の混合ガスを導入し、基板を所定温度に加熱した後、高周波電力を印加してプラズマを誘起し、所定時間スパッタ製膜を行った。また、スパッタ製膜に先立って、基板およびターゲットをプラズマ中で清浄化してもよい。
主なスパッタ製膜条件を下記に示す。
RFパワー:200W
基板温度 :300℃
Ar:N2混合比:2:1
製膜速度 :11nm/min
得られたGa1―xTxN膜は、3d遷移金属添加の有無に関わらず、緻密で平坦性を有し、また欠陥の少ない膜であった。スパッタ法により作製したGaN系化合物半導体膜の組成分析をラザフォード後方散乱分光法により行い、Ga1-xTxNのxを求めた。分析結果では、Gaおよび3d遷移金属の分析量と窒素の分析量から、薄膜が非化学量論的な組成を有する薄膜となっていることを示した。したがって、3d遷移金属元素の一部はGa位置を置換していない可能性もあるが、詳細は現在究明中である。
スパッタ法で製膜した薄膜の光吸収スペクトルを測定した。例えば、図13〜図16にGaNのGaを各種の3d遷移金属で置換した試料の光吸収スペクトルの測定結果の一例を示す。図13は3d遷移金属がVで、x=0.056の試料の光吸収スペクトルであり、3.3eVより長波長側に吸収のテールを有し、1.5eV近傍にブロードな吸収ピーク持つ。波長300〜1500nmでの吸収係数は3000cm―1以上である。
次に、スパッタ法による光触媒材料の製膜例とその特性としてGaN、GaAlN、AlNに3d遷移金属Tをドープして製膜した時にも同様に優れた光吸収特性を示す。スパッタ法で製膜した薄膜の光吸収スペクトルを測定した。図17〜図21にGaN、GaAlN、AlNのGaあるいはAlを各種の3d遷移金属Tで置換した試料の光吸収スペクトルの測定結果を示す。図17は母材がGaN、AlGaN、AlNであり、3d遷移金属TがVで、x=0.056の試料の光吸収スペクトルであり、3.3eVより長波長側に吸収のテールを有し、1.5eV近傍にブロードな吸収ピーク持つ。波長300〜1500nmでの吸収係数は3000cm―1以上である。
101、201、401 アノード
102、202、222、302、402、422、502 GaMnN層
702、802、822、902 GaCoN層
1002 AlNiN
1003 AlN
203、211、202、221、303、703、804、824、904
p−GaN層
401、403、421、503、803、823、903 n−GaN層
601 n−GaMnN
602 p−GaMnN
701、801、901、1001、1101 サファイア基板
704、1004、1104 半導体電極
104、204、304、404、504、705、805、905、1005、1105 電荷取り出し電極
706、806、1006、1106 白金電極
105、205、305、405、505、605 イオン交換膜
106、206、301、406、501 カソード
107、207、307、407、507、607、707、807、907、1007、1107 水槽
108、208、308、408、508、608、708、808、908、1008、1108 電解質水溶液
109、209、310、409、510、609 アノード室
110、210、309、410、509、610 カソード室
111、211、311、411、511、711、811、911、1011、1111 導線
112、212、312、412、512、713、813、913、1013、1113 防水絶縁膜
113、213、313、413、513 防水絶縁管
712、812、912、1012、1112 外部電源
Claims (15)
- 一般式Al1−yGayN(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm−1以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料であって、
上記窒化物系化合物半導体からなる第1の半導体層に、一般式Al 1−m Ga m N(0≦m≦1、mはyと同じであってもよい。)で表される化合物からなる第2の半導体層が積層されてなり、
上記3d遷移金属が、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、NiおよびCuからなる群から選択された少なくても1種である、光触媒材料。 - 上記の第1の半導体層と上記の第2の半導体層がpn接合を形成している請求項1記載の光触媒材料。
- 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料であって、
上記窒化物系化合物半導体にアクセプタドーパントおよび/またはドナードーパントがドープされてなる光触媒材料。 - 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料であって、
上記窒化物系化合物半導体からなる第1の半導体層が、pn接合を形成する二層からなる光触媒材料。 - 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料であって、
積層された第1の半導体層、中間層および第2の半導体層からなり、中間層が上記窒化物系化合物半導体からなり、第1の半導体層および第2の半導体層が一般式Al1−nGanN(0≦n≦1、nはyと同じであってもよい。)で表される化合物からなる光触媒材料。 - 上記3d遷移金属が、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、NiおよびCuからなる群から選択された少なくても1種である請求項3〜5のいずれか一項に記載の光触媒材料。
- 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料であって、前記窒化物系化合物半導体は以下の(i)または(ii)のいずれかである光触媒材料。
(i)0≦y<1である窒化物系化合物半導体
(ii)0≦y≦1であり、かつ上記3d遷移金属が、V、Cr、Co、およびNiからなる群から選択された少なくても1種である窒化物系化合物半導体 - 上記Alに対するGa置換量をyとし、3d遷移金属Tの置換量をxとしたとき、一般式(Al 1−y Ga y ) 1−x T x Nで表され、yが0≦y≦1であり、xが0.02≦x≦0.3の範囲である請求項1〜7のいずれか一項に記載の光触媒材料。
- 一般式Al1−yGayN(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm−1以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料を備えた光触媒装置であって、
上記窒化物系化合物半導体からなる第1の半導体層に、一般式Al 1−m Ga m N(0≦m≦1、mはyと同じであってもよい。)で表される化合物からなる第2の半導体層が積層されてなる光触媒材料を備え、
上記3d遷移金属が、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、NiおよびCuからなる群から選択された少なくても1種である、光触媒装置。 - 上記の第1の半導体層と上記の第2の半導体層がpn接合を形成してなる光触媒材料を備える請求項9記載の光触媒装置。
- 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料を備えた光触媒装置であって、
上記窒化物系化合物半導体からなる第1の半導体層が、pn接合を形成する二層からなる光触媒材料を備えた光触媒装置。 - 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料を備えた光触媒装置であって、
積層された第1の半導体層、中間層および第2の半導体層からなり、中間層が上記窒化物系化合物半導体からなり、第1の半導体層および第2の半導体層が一般式Al1−nGanN(0≦n≦1、nはyと同じであってもよい。)で表される化合物からなる光触媒材料を備えた光触媒装置。 - 一般式Al 1−y Ga y N(0≦y≦1)で表される化合物のAlおよび/またはGaの一部が少なくとも1種の3d遷移金属で置換された窒化物系化合物半導体であって、価電子帯と伝導帯の間に1以上の不純物バンドを有し、波長領域1500nm以下、300nm以上の全波長領域における光吸収係数が1000cm −1 以上の値を有する窒化物系化合物半導体を含む光触媒材料を備えた光触媒装置であって、前記窒化物系化合物半導体は以下の(i)または(ii)のいずれかである、光触媒装置。
(i)0≦y<1である窒化物系化合物半導体
(ii)0≦y≦1であり、かつ上記3d遷移金属が、V、Cr、Co、およびNiからなる群から選択された少なくても1種である - 上記Alに対するGa置換量をyとし、3d遷移金属Tの置換量をxとしたとき、一般式(Al 1−y Ga y ) 1−x T x Nで表され、yが0≦y≦1であり、xが0.02≦x≦0.3の範囲である請求項9〜13のいずれか一項に記載の光触媒装置。
- 電気的に接続されたカソードとアノードとを備え、該カソードまたは該アノードに上記光触媒材料を用いる請求項9記載の光触媒装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012521548A JP5885662B2 (ja) | 2010-06-25 | 2011-06-24 | 光触媒材料および光触媒装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010145138 | 2010-06-25 | ||
JP2010145138 | 2010-06-25 | ||
PCT/JP2011/064534 WO2011162372A1 (ja) | 2010-06-25 | 2011-06-24 | 光触媒材料および光触媒装置 |
JP2012521548A JP5885662B2 (ja) | 2010-06-25 | 2011-06-24 | 光触媒材料および光触媒装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2011162372A1 JPWO2011162372A1 (ja) | 2013-08-22 |
JP5885662B2 true JP5885662B2 (ja) | 2016-03-15 |
Family
ID=45371538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012521548A Expired - Fee Related JP5885662B2 (ja) | 2010-06-25 | 2011-06-24 | 光触媒材料および光触媒装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20130105306A1 (ja) |
JP (1) | JP5885662B2 (ja) |
WO (1) | WO2011162372A1 (ja) |
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Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014034004A1 (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-06 | パナソニック株式会社 | 二酸化炭素還元用光化学電極、および該光化学電極を用いて二酸化炭素を還元する方法 |
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JP5753641B2 (ja) * | 2013-05-13 | 2015-07-22 | パナソニック株式会社 | 二酸化炭素還元装置および二酸化炭素を還元する方法 |
JP6249362B2 (ja) * | 2013-05-21 | 2017-12-20 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 二酸化炭素を還元する方法、二酸化炭素還元セル及び二酸化炭素還元装置 |
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JP6470190B2 (ja) * | 2016-01-05 | 2019-02-13 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光触媒 |
JP6802474B2 (ja) | 2016-04-28 | 2020-12-16 | 富士通株式会社 | 光化学電極、光化学電極の製造方法 |
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-
2011
- 2011-06-24 WO PCT/JP2011/064534 patent/WO2011162372A1/ja active Application Filing
- 2011-06-24 US US13/806,950 patent/US20130105306A1/en not_active Abandoned
- 2011-06-24 JP JP2012521548A patent/JP5885662B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-08-12 US US14/824,658 patent/US20160093448A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011162372A1 (ja) | 2011-12-29 |
JPWO2011162372A1 (ja) | 2013-08-22 |
US20160093448A1 (en) | 2016-03-31 |
US20130105306A1 (en) | 2013-05-02 |
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