JP5868081B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
10,10A〜10C チャックテーブル
11 保持部
11a 吸着部
20 加工手段
30 検出手段
40 X軸移動手段
50 Z軸移動手段
60 Y軸移動手段
70 カセットエレベータ
80 仮置き手段
90 洗浄・乾燥手段90
100 制御手段
110 記録手段
120 警告手段
W,WA〜WC 被加工物
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、支持部に保持されかつ該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工するための加工手段と、該加工手段および該チャックテーブルを制御する制御手段とを備える加工装置であって、
該チャックテーブルは、該被加工物を保持する保持部と、該保持部の外側に設置されたチャックテーブルを識別するための識別マークとを備え、
該加工装置は、さらに、該識別マークを検出しかつ前記支持部に取り付けられた検出手段と、チャックテーブルの識別マークと該チャックテーブルが保持することができる被加工物との対応関係に関する情報を該被加工物ごとに記録する記録手段と、警告を発生する警告手段とを備え、
該制御手段は、加工動作開始前に該検出手段により検出された該チャックテーブルの該識別マークと加工動作を開始しようとする該被加工物とが該対応関係を具備するか否かを判断し、該対応関係を具備しない場合には該警告手段に警告を発生させることを特徴とする加工装置。 - 該被加工物は、デバイスが複数形成されるデバイス部と、該デバイス部の外周にリング状に形成される補強部とを有し、該補強部が該デバイス部に対して該デバイスが形成された側と反対側に突出して形成され、該補強部により形成される円形凹部の内径が異なる複数のウエーハであり、
該チャックテーブルは、該円形凹部に挿入され、該被加工物を吸引することで保持する吸着部を有し、
該吸着部の外径は、該円形凹部の内径に対応して設定されていることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
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