JP7250637B2 - 加工装置及びチャックテーブル - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る加工装置の外観構成を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係る被加工物の外観構成を示す斜視図である。図1に示す加工装置1(加工装置の一例)は、被加工物11をチャックテーブル14で保持し、切削ブレード42で切削する装置である。
制御ユニット100は、複合測定ユニット44の高さ測定ユニット44-1により、チャックテーブル14の保持面16の高さを測定する高さ測定処理を実行する。図4は、実施形態1に係るチャックテーブルと高さ測定ユニットとの位置関係を示す側面図である。図5は、実施形態1に係る測定ラインの設定例を示す図である。図6は、実施形態1に係る測定点の設定例を示す図である。
図9を用いて、実施形態1に係る加工装置の処理の手順の一例を説明する。図9は、実施形態1に係る加工装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。図9に示す処理は、制御ユニット100が備える各部により実行される。
上記実施形態1では、チャックテーブル14のテーブルID(識別情報)を記録する情報媒体として、二次元バーコード201を用いる例を説明したが、この例には特に限定される必要はない。図10は、変形例に係るチャックテーブルの構成例を模式的に示す図である。図10に示すように、チャックテーブル14は、保持面16を囲繞する枠体17の上面に、チャックテーブル14を区別するテーブルID(識別情報の一例)を記録した二次元コード202(情報媒体の一例)が設けてもよい。この場合、撮像ユニット44-2は、チャックテーブル14に設けられた二次元コード202に記録された情報を読み取る機能を備え、二次元コード202から読み取ったテーブルIDを制御ユニット100に送る。
上記の実施形態1では、チャックテーブル14のテーブルIDを記録する情報媒体として、二次元バーコード201や二次元コード202を用いる例を説明した。しかしながら、この例には特に限定される必要はなく、チャックテーブル14のテーブルIDを記録する情報媒体として、RFID(Radio Frequency IDentification)対応のRFタグを用いてもよい。以下では、図11~図13を用いて、実施形態2に係る加工装置について説明する。図11は、実施形態2に係る加工装置の外観構成を示す斜視図である。図12は、実施形態2に係るチャックテーブルの構成例を模式的に示す図である。図13は、実施形態2に係る加工装置の処理手順の一例を示すフローチャートである。
図13を用いて、実施形態2に係る加工装置の処理の手順の一例を説明する。図13に示す処理は、制御ユニット100が備える各部により実行される。なお、図13に示す処理の手順は、ステップS201の手順が図9に示す処理の手順とは異なる。
上記の実施形態では、加工装置1は、二次元バーコード201や二次元コード202、RFタグ203などの情報媒体からテーブルIDを読み取り、読み取ったテーブルIDに紐付く高さデータに基づいて、加工制御を実行する例を説明した。しかしながら、この例には特に限定される必要はなく、例えば、これらの情報媒体に対して、テーブルIDの代わりに、チャックテーブル14の保持面16の高さデータを記録してもよい。これにより、加工装置1は、これらの情報媒体から読み取った高さデータを直接利用して、加工制御を実行できる。
上記の各実施形態は、切削装置などの加工装置の他、レーザー加工装置においても同様に適用することができる。例えば、レーザー加工装置に備えられたチャックテーブルの高さデータを上記の実施形態と同様方法で取得し、取得した高さデータに基づいて、レーザービームの集光点の形成位置を上下させることができる。これにより、レーザー加工装置に備えられたチャックテーブルの凹凸に限らず被加工物の均一の高さにレーザービームを照射することができ、加工品質が向上できる。
4 基台
6 カセット支持台
10 X軸移動テーブル
11 被加工物
13 分割予定ライン
14 チャックテーブル
15 デバイス
16 保持面
17 枠体
18 加工ユニット
20 支持構造
22 加工ユニット移動機構
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動プレート
28 Y軸ボールねじ
32 Z軸ガイドレール
34 Z軸移動プレート
36 Z軸ボールねじ
42 切削ブレード
44 複合測定ユニット
44-1 高さ測定ユニット
44-2 撮像ユニット
46 洗浄ユニット
90 リーダー
100 制御ユニット
110 データ記録部
120 加工制御部
201 二次元バーコード
202 二次元コード
203 RFタグ
Claims (5)
- 加工装置であって、
該加工装置は、
被加工物を保持する保持面と、該保持面を囲繞する枠体と、を備えるチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルと該加工ユニットとを該保持面に対して平行なX軸方向及びY軸方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
該加工ユニットに装着され、該移動ユニットを移動させて測定した該保持面の複数の座標(X,Y)における高さ(Z)を高さデータとして測定する高さ測定部と、
情報媒体の読取が可能な読取部と、
制御部と、を備え、
該チャックテーブルは、該チャックテーブルを区別する識別情報を記録する情報媒体を含み、
該読取部は、該加工装置に設置された該チャックテーブルの該情報媒体を読み取り、
該制御部は、
該高さデータと該識別情報とを紐付けて記録する高さデータ記録部と、
該読取部が読み取った該識別情報と紐付く該高さデータに基づいて加工中の該加工ユニットの高さを制御する加工制御部と、
を含むことを特徴とする加工装置。 - 加工装置であって、
該加工装置は、
被加工物を保持する保持面と、該保持面を囲繞する枠体と、を備えるチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該チャックテーブルと該加工ユニットとを該保持面に対して平行なX軸方向及びY軸方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
該加工ユニットに装着され、該移動ユニットを移動させて測定した該保持面の複数の座標(X,Y)における高さ(Z)を高さデータとして測定する高さ測定部と、
情報媒体の読取が可能な読取部と、
制御部と、を備え、
該チャックテーブルは、該チャックテーブルの該高さデータが記録される情報媒体を含み、
該制御部は、
該読取部が読み取った該高さデータに基づいて加工中の該加工ユニットの高さを制御する加工制御部
を含むことを特徴とする加工装置。 - 該情報媒体は、
二次元コード、または無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なRFIDのRFタグであることを特徴とする請求項1又は2に記載の加工装置。 - チャックテーブルであって、
保持面と、
該保持面を囲繞する枠体と、
該チャックテーブルを加工装置に設置した状態での該保持面の複数の座標における高さを測定した高さデータを記録した情報媒体と、
を備えることを特徴とするチャックテーブル。 - 該情報媒体は、
二次元コードまたは無線通信によって情報の書き込み及び読み取りが可能なRFIDのRFタグであることを特徴とする請求項4に記載のチャックテーブル。
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