KR20210003049A - 가공 장치 및 척 테이블 - Google Patents

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사토시 하나지마
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 척 테이블 교환에 따른 피가공물의 가공 품질 저하를 방지한다.
[해결수단] 가공 장치로서, 척 테이블과, 척 테이블에 유지되는 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 척 테이블과 가공 유닛을 유지면에 대하여 평행한 X축 방향 및 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 유닛과, 가공 유닛에 장착되며, 이동 유닛을 이동시켜 측정한 유지면의 복수의 좌표에 있어서의 높이를 높이 데이터로서 측정하는 높이 측정부와, 정보 매체의 판독이 가능한 판독부와, 제어 유닛을 포함한다. 척 테이블은, 척 테이블을 구별하는 식별 정보를 기록하는 정보 매체를 포함한다. 제어 유닛은, 높이 데이터와 식별 정보를 관련시켜 기록하는 높이 데이터 기록부와, 판독부가 판독한 식별 정보와 관련된 높이 데이터에 기초하여 가공 중의 가공 유닛의 높이를 제어하는 가공 제어부를 포함한다.

Description

가공 장치 및 척 테이블{MACHINING APPARATUS AND CHUCK TABLE}
본 발명은 가공 장치 및 척 테이블에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 스핀들에 장착한 절삭 블레이드로 절삭하여, 원하는 깊이의 홈을 형성하거나 분할하거나 하는 가공 장치가 알려져 있다. 예컨대, 피가공물에 원하는 깊이의 홈을 깊이 정밀도 좋게 형성하는 경우, 피가공물에 대한 절삭 블레이드의 절입 깊이를 제어하는 기술이 개발되어 있다.
피가공물에 대한 절삭 블레이드의 절입 깊이를 제어하는 경우, 절삭 블레이드의 날끝과 척 테이블의 유지면의 거리가 정확하게 제어될 필요가 있다. 절삭 블레이드의 선단(하단)과 척 테이블의 유지면이 접촉하는 점을 소위 원점 위치로서 등록하고(셋업), 그곳으로부터의 거리(높이)를 제어함으로써 절입 깊이를 제어하는 것이 일반적이다.
그러나, 척 테이블의 유지면에는, 수 ㎛ 단위의 높이의 편차나 경사가 존재하는 경우가 있다. 이 때문에, 1개소의 원점 위치를 유지면 전체면에 적용하면, 절입 깊이의 정밀도에 오차를 발생시킬 우려가 있다. 또한, 스핀들을 인덱싱 이송 방향(Y축 방향)으로 이동시키는 Y축 이동 유닛이나 척 테이블을 가공 이송 방향(X축 방향)으로 이동시키는 X축 이동 유닛도 그 진직성(眞直性)에 한계가 있다. 이 때문에, 매우 높은 정밀도로 절입 깊이를 제어하고자 하는 경우, 척 테이블 전체면에 있어서의 원점 위치를 등록하고, 그와 함께 X, Y, Z의 각 축의 이동을 보정할 필요가 있다.
이러한 점을 감안하여, 척 테이블의 유지면의 높이를 복수의 좌표로 측정하고, 각각의 좌표와 높이의 관계를 기억하는 기술이 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2018-27601호 공보
그런데, 칩의 양산 현장에서는, 직경이 다른 웨이퍼의 가공이나 정기 점검을 위해, 가공 장치에 구비된 척 테이블의 교환이 행해지는 경우가 있다. 전술한 가공 장치에 있어서는, 척 테이블의 교환이 있어도, 피가공물에 대한 절삭 블레이드의 절입 깊이의 정밀도를 높여, 피가공물의 가공 품질의 저하를 방지하는 것이 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은, 척 테이블의 교환에 따른 피가공물의 가공 품질의 저하를 방지할 수 있는 가공 장치 및 척 테이블을 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 측면에 따르면, 가공 장치로서, 피가공물을 유지하는 유지면과 상기 유지면을 둘러싸는 프레임체를 갖는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지되는 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 척 테이블과 상기 가공 유닛을 상기 유지면에 대하여 평행한 X축 방향 및 상기 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 유닛과, 상기 가공 유닛에 장착되며, 상기 이동 유닛을 이동시켜 측정한 상기 유지면의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정하는, 높이 측정부와, 정보 매체의 판독이 가능한 판독부와, 제어 유닛을 구비하고, 상기 척 테이블은, 상기 척 테이블을 구별하는 식별 정보가 기록되는 정보 매체를 포함하고, 상기 판독부는, 상기 가공 장치에 설치된 상기 척 테이블의 상기 정보 매체를 판독하고, 상기 제어 유닛은, 상기 높이 데이터와 상기 식별 정보를 관련시켜 기록하는 높이 데이터 기록부와, 상기 판독부가 판독한 상기 식별 정보와 관련된 상기 높이 데이터에 기초하여 가공 중의 상기 가공 유닛의 높이를 제어하는 가공 제어부를 포함하는 것인, 가공 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 가공 장치로서, 피가공물을 유지하는 유지면과 상기 유지면을 둘러싸는 프레임체를 갖는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지되는 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 척 테이블과 상기 가공 유닛을 상기 유지면에 대하여 평행한 X축 방향 및 상기 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 유닛과, 상기 가공 유닛에 장착되며, 상기 이동 유닛을 이동시켜 측정한 상기 유지면의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정하는, 높이 측정부와, 정보 매체의 판독이 가능한 판독부와, 제어 유닛을 구비하고, 상기 척 테이블은, 상기 척 테이블의 상기 높이 데이터가 기록되는 정보 매체를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 판독부가 판독한 상기 높이 데이터에 기초하여 가공 중의 상기 가공 유닛의 높이를 제어하는 가공 제어부를 포함하는 것인, 가공 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 정보 매체는, 2차원 코드 또는 무선 통신에 의해 정보의 기록 및 판독이 가능한 RFID의 RF 태그로 구성된다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 척 테이블로서, 유지면과, 상기 유지면을 둘러싸는 프레임체와, 상기 척 테이블을 가공 장치에 설치한 상태에서의 상기 유지면의 복수의 좌표에 있어서의 높이를 측정한 높이 데이터를 기록하는 정보 매체를 구비하는 것인, 척 테이블이 제공된다.
바람직하게는, 상기 정보 매체는, 2차원 코드 또는 무선 통신에 의해 정보의 기록 및 판독이 가능한 RFID의 RF 태그로 구성된다.
본 발명에 따르면, 척 테이블의 교환에 따른 피가공물의 가공 품질의 저하를 방지할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다.
도 1은 제1 실시형태에 따른 가공 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 피가공물의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 제1 실시형태에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 4는 제1 실시형태에 따른 척 테이블과 높이 측정 유닛의 위치 관계를 나타내는 측면도이다.
도 5는 제1 실시형태에 따른 측정 라인의 설정예를 나타내는 도면이다.
도 6은 제1 실시형태에 따른 측정점의 설정예를 나타내는 도면이다.
도 7은 제1 실시형태에 따른 높이 데이터의 개요를 나타내는 도면이다.
도 8은 제1 실시형태에 따른 가공 제어를 모식적으로 나타내는 평면도이다.
도 9는 제1 실시형태에 따른 가공 장치의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 10은 변형예에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 11은 제2 실시형태에 따른 가공 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 12는 제2 실시형태에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 13은 제2 실시형태에 따른 가공 장치의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것이 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시형태에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 복수의 구성 요소의 각각을 특별히 구별할 필요가 없는 경우, 동일 부호를 붙여 설명하는 경우가 있다. 또한, 동일한 부호 뒤에 다른 숫자나 문자 등을 붙여 구별하는 경우도 있다.
이하에 설명하는 실시형태에 있어서, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부의 위치 관계에 대해서 설명한다. 수평면 내의 일방향을 X축 방향, 수평면 내에 있어서 X축 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향, X축 방향 및 Y축 방향의 각각과 직교하는 방향을 Z축 방향으로 한다. X축 및 Y축을 포함하는 XY 평면은, 수평면과 평행하다. XY 평면과 직교하는 Z축 방향은, 수직 방향이다.
〔제1 실시형태〕
도 1은 제1 실시형태에 따른 가공 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는 제1 실시형태에 따른 피가공물의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 가공 장치(1)는, 피가공물(11)을 척 테이블(14)에서 유지하고, 절삭 블레이드(42)로 절삭하는 장치이다.
도 2에 나타내는 피가공물(11)은, 실리콘, 사파이어, 갈륨 등을 모재로 하는 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼 등의 원판형의 웨이퍼이다. 피가공물(11)의 표면(11a)에는, 배선이 되는 금속막이나 배선 간을 절연하는 절연막 등의 기능층이 마련된다.
또한, 피가공물(11)의 표면(11a)은, 격자형으로 배열된 분할 예정 라인(13)에 의해 복수의 영역으로 구획되고, 각 영역에는 IC나 LSI 등의 디바이스(15)가 형성된다. 또한, 피가공물(11)의 바깥 가장자리부에는, 피가공물(11)의 방향(결정 방위)을 판정할 때의 안표(眼標)가 되는 노치(11c)가 마련되지만, 노치(11c) 대신에 배향 플래트(Orientation flat)가 마련되어도 좋다. 또한, 디바이스(15)의 패턴 등에 의해 피가공물(11)의 방향을 판정하는 경우, 노치(11c)를 마련하지 않아도 좋다.
피가공물(11)의 재질, 형상, 구조 등은 특별히 한정될 필요는 없고, 세라믹, 금속, 수지 등의 재료를 포함하는 기판을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다. 디바이스(15)의 종류, 수량, 배치 등도 특별히 한정될 필요는 없다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 피가공물(11)의 이면(11b)에는, 보호 부재(21)가 첩부된다. 보호 부재(21)는, 피가공물(11)과 동등한 직경을 갖는 원형의 필름(테이프)으로 구성된다. 보호 부재(21)의 표면(21a)에는, 점착력을 갖는 풀층이 마련된다. 이러한 풀층이 마련된 보호 부재(21)의 표면(21a) 측을 피가공물(11)의 이면(11b)에 접촉함으로써, 보호 부재(21)를 피가공물(11)에 첩부한다. 또한, 보호 부재(21)는, 합성 수지의 기재층만으로 구성되고, 피가공물(11)에 열압착하여 접착하는 부재이여도 좋다. 또한 환형 프레임의 개구에 피가공물(11)을 보호 부재(21)를 통해 접착하여도 좋다.
가공 장치(1)는, 각 구조를 지지하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 전방의 코너부에 형성되는 직사각형의 개구(4a)의 내부에, 승강하는 카세트 지지대(6)가 마련된다. 카세트 지지대(6)는, 복수의 피가공물(11)을 수용할 수 있는 카세트(8)를 배치할 수 있는 배치면을 갖는다.
카세트 지지대(6)의 측방에 있어서, 가공 이송 방향(X축 방향)으로 형성되는 긴 직사각형의 개구(4b)의 내부에, 도시하지 않는 X축 이동 유닛(이동 유닛의 일례)에 의해 X축 방향으로 이동하는 X축 이동 테이블(10)과, 방진 커버(12)가 마련된다.
X축 이동 유닛은, X축 방향에 평행한 한 쌍의 도시하지 않는 X축 가이드 레일을 구비한다. X축 가이드 레일에는, X축 이동 테이블(10)이 슬라이드 가능하게 장착된다. X축 이동 테이블(10)의 하면에는, 도시하지 않는 너트부가 마련되고, 이러한 너트부에 X축 가이드 레일에 평행한 도시하지 않는 X축 볼나사가 나사 결합된다. X축 볼나사의 일단부에는, 도시하지 않는 X축 모터가 연결되고, X축 모터에 의해 X축 볼나사를 회전시킴으로써, X축 이동 테이블(10)은, X축 가이드 레일을 따라 이동한다. X축 이동 테이블(10)의 상방에, 피가공물(11)을 유지하기 위한 척 테이블(14)이 마련된다.
도 3은 제1 실시형태에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 척 테이블(14)은, 원반 형상이고, 피가공물(11)을 유지하는 포러스 세라믹 등으로 형성된 유지면(16)과, 유지면(16)을 둘러싸는 프레임체(17)를 구비한다. 또한, 프레임체(17)의 상면에는, 척 테이블(14)을 구별하는 테이블 ID(식별 정보의 일례)를 기록한 2차원 바코드(201)(정보 매체의 일례)가 마련된다. 테이블 ID는, 가공 장치(1)에 설치되는 복수의 척 테이블의 각각에 고유하게 할당된 정보이다.
또한, 척 테이블(14)은, X축 이동 유닛에 의해 가공 유닛(18)의 하방의 가공 영역과, 가공 유닛(18)의 하방으로부터 이격하여 피가공물(11)이 반입출되는 반입출 영역에 걸쳐, X축 이동 유닛에 의해 X축 방향으로 이동이 자유롭게 마련된다. 척 테이블(14)은, 도시하지 않는 모터 등의 회전 구동원에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레로 회전이 자유롭게 마련된다. 척 테이블(14)은, 도시하지 않는 진공 흡인원과 접속되고, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 유지면(16)에 배치되는 피가공물(11)을 흡인, 유지한다.
베이스(4)의 상면에, 2조의 가공 유닛(18)을 지지하는 문형의 지지 구조(20)가, 개구(4b)를 넘어가도록 배치된다. 지지 구조(20)의 전면 상부에, 각각의 가공 유닛(18)을 인덱싱 이송 방향(Y축 방향) 및 절입 이송 방향(Z축 방향)으로 이동시키는, 2조의 가공 유닛 이동 기구(22)(이동 유닛의 일례)가 마련된다.
가공 유닛 이동 기구(22)는, 각각, 지지 구조(20)의 전면에 배치되는 Y축 방향에 평행한 한 쌍의 Y축 가이드 레일(24)을 공통으로 구비한다. Y축 가이드 레일(24)에는, Y축 이동 플레이트(26)가, 각각 Y축 방향으로 슬라이드 가능하게 장착된다. 각 Y축 이동 플레이트(26)의 이면에는, 각각 도시하지 않는 너트부가 마련되고, 이러한 각 너트부에 Y축 가이드 레일(24)에 평행한 Y축 볼나사(28)가 각각 나사 결합된다. 각 Y축 볼나사(28)의 일단부에 각각 연결되는 Y축 모터(30)에 의해, Y축 볼나사(28)를 회전시킴으로써, 각 Y축 이동 플레이트(26)는, 각각 Y축 가이드 레일(24)을 따라 이동한다.
각 Y축 이동 플레이트(26)의 전면에는, Z축 방향에 평행한 한 쌍의 Z축 가이드 레일(32)이 각각 마련된다. 각 Z축 가이드 레일(32)에는, Z축 이동 플레이트(34)가 각각 Z축 방향으로 슬라이드 가능하게 장착된다. 각 Z축 이동 플레이트(34)의 이면에는, 각각 도시하지 않는 너트부가 마련되고, 이러한 각 너트부에 Z축 가이드 레일(32)에 평행한 Z축 볼나사(36)가 각각 나사 결합된다. 각 Z축 볼나사(36)의 일단부에 각각 연결되는 Z축 모터(38)에 의해, Z축 볼나사(36)를 회전시킴으로써, 각 Z축 이동 플레이트(34)는, 각각의 Z축 가이드 레일(32)을 따라 이동한다.
각 Z축 이동 플레이트(34)의 하부에, 가공 유닛(18)(가공 유닛의 일례)이 각각 마련된다. 도 1에 나타내는 가공 장치(1)는, 가공 유닛(18)을 2개 구비한, 즉, 2 스핀들의 다이서, 소위 페이싱 듀얼 타입의 장치이다.
각 가공 유닛(18)은, 척 테이블(14)에 유지되는 피가공물(11)을 가공한다. 각 가공 유닛(18)은, 피가공물(11)을 절삭하기 위한 원환형의 절삭 블레이드(42)를 구비한다. 절삭 블레이드(42)는, 스핀들(40)의 일단부에 착탈이 자유롭게 장착된다.
각 가공 유닛(18)에는, 복합 측정 유닛(44)이 장착된다. 복합 측정 유닛(44)은, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이를 측정하기 위한 높이 측정 유닛(44-1)(높이 측정부의 일례)과, 피가공물(11) 등을 촬상하기 위한 촬상 유닛(44-2)(판독부)이 일체로 된 복합 유닛으로서 구성된다.
높이 측정 유닛(44-1)은, 예컨대, 레이저 빔(L1)을 이용하여, 대상의 높이를 측정하는 레이저 변위계에 의해 실장된다. 높이 측정 유닛(44-1)은, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이를 비접촉으로 측정할 수 있다. 높이 측정 유닛(44-1)은, 가공 유닛(18)에 장착되며, X축 이동 유닛 및 각 가공 유닛 이동 기구(22)를 이동시켜 측정한 유지면(16)의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정한다.
촬상 유닛(44-2)(판독부의 일례)은, 예컨대, CCD(Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary MOS) 촬상 소자를 구비하는 카메라에 의해 실장된다. 촬상 유닛(44-2)은, 척 테이블(14)에 유지되는 피가공물(11)을 촬영하여, 피가공물(11)과 절삭 블레이드(42)의 위치 맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하기 위한 것 등의 화상을 취득하고, 취득한 화상을 제어 유닛(100)에 출력한다.
또한, 촬상 유닛(44-2)은, 척 테이블(14)에 마련되는 2차원 바코드(201)에 기록된 정보를 판독하는 기능을 갖춘다. 촬상 유닛(44-2)은, 2차원 바코드로부터 판독한 체크 테이블을 구별하는 테이블 ID를 제어 유닛(100)에 보낸다.
X축 이동 유닛 및 각 가공 유닛 이동 기구(22)는, 척 테이블(14)과 가공 유닛(18)을 유지면(16)에 대하여 평행한 X축 방향 및 Y축 방향으로 상대적으로 이동시킨다. 즉, X축 이동 유닛에 의해, 척 테이블(14)을 가공 이송 방향인 X축 방향으로 이동시킴으로써, 척 테이블(14) 및 가공 유닛(18)은 상대적으로 X축 방향을 따라 가공 이송된다. 또한, 각 가공 유닛 이동 기구(22)에 의해, Y축 이동 플레이트(26)를 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 가공 유닛(18) 및 복합 측정 유닛(44)은, Y축 방향으로 인덱싱 이송된다. 또한, 각 가공 유닛 이동 기구(22)에 의해, Z축 이동 플레이트(34)를 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 가공 유닛(18) 및 복합 측정 유닛(44)은, Z축 방향으로 절입 이송된다.
베이스(4)의 개구(4c)의 내부에 세정 유닛(46)이 마련된다. 세정 유닛(46)은, 절삭 후의 피가공물(11) 등을 세정한다.
가공 장치(1)의 각 구성 요소, 즉 도시하지 않는 X축 이동 유닛, 척 테이블(14), 가공 유닛(18), 가공 유닛 이동 기구(22), 복합 측정 유닛(44), 세정 유닛(46)은, 각각 제어 유닛(100)에 접속된다.
제어 유닛(100)(제어부의 일례)은, CPU(central processing unit) 등의 연산 처리 장치와, ROM(read only memory) 또는 RAM(random access memory) 등의 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 구비한다. 제어 유닛(100)은, 이러한 각 부에 의해, 이하에 설명하는 각종 처리를 실시하기 위해, 전술한 각 구성 요소를 제어하기 위한 컴퓨터 프로그램 등을 실행할 수 있는 컴퓨터이다.
제어 유닛(100)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 데이터 기록부(110)와, 가공 제어부(120)를 구비하고, 이러한 각 부에 의해, 제1 실시형태에 따른 가공 장치(1)의 각종 처리의 기능이나 작용을 실현 또는 실행한다. 제어 유닛(100)의 각 부는, 예컨대 기억 장치에 기억된 프로그램에 의해 제공하는 기능에 의해 실현된다. 즉, 제어 유닛(100)의 각 부는, 기억 장치에 기억된 프로그램을, 연산 처리 장치가 RAM 등을 작업 영역으로 하여 실행함으로써 실현된다. 제어 유닛(100)의 기능 구성은, 도 1에 나타낸 구성예에 특별히 한정될 필요는 없고, 후술하는 가공 장치(1)에 있어서의 각종 처리를 행할 수 있는 구성이면 다른 구성이어도 좋다.
〔처리의 개요〕
제어 유닛(100)은, 복합 측정 유닛(44)의 높이 측정 유닛(44-1)에 의해, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이를 측정하는 높이 측정 처리를 실행한다. 도 4는 제1 실시형태에 따른 척 테이블과 높이 측정 유닛의 위치 관계를 나타내는 측면도이다. 도 5는 제1 실시형태에 따른 측정 라인의 설정예를 나타내는 도면이다. 도 6은 제1 실시형태에 따른 측정점의 설정예를 나타내는 도면이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛(100)의 데이터 기록부(110)는, 복합 측정 유닛(44)의 촬상 유닛(44-2)을, 가공 장치(1)에 설치된 척 테이블(14)의 상방에 위치시킨다. 계속해서, 데이터 기록부(110)는, 촬상 유닛(44-2)에 척 테이블(14)의 프레임체(17)에 마련되는 2차원 바코드(201)의 판독을 실행시킨다. 그리고, 데이터 기록부(110)는, 촬상 유닛(44-2)에 의해 판독된 테이블 ID를 취득한다.
이에 이어서, 데이터 기록부(110)는, 척 테이블(14)과 높이 측정 유닛(44-1)을 상대적으로 이동시켜, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 상방으로 높이 측정 유닛(44-1)을 이동시킨다. 계속해서, 데이터 기록부(110)는, 높이 측정 유닛(44-1)으로부터 조사하는 측정용의 레이저 빔(L1)이, 유지면(16)에 미리 설정되는 측정 라인(16-1)(도 5)에 조사할 수 있는 위치에, 높이 측정 유닛(44-1)을 위치시킨다. 그리고, 데이터 기록부(110)는, 척 테이블(14)과 높이 측정 유닛(44-1)을 상대적으로 이동시켜, 측정용의 레이저 빔(L1)을 복수의 측정 라인(16-1)(도 5)을 따라 순서대로 조사함으로써, 높이 측정 처리를 실행한다. 이에 의해, 데이터 기록부(110)는, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 측정할 수 있다. 데이터 기록부(110)는, 측정의 결과 취득한 복수의 좌표(X, Y)와 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)의 상관 관계를 나타내는 데이터를 높이 데이터로서 기록할 수 있다. 또한, 높이 측정 유닛(44-1)은, 레이저 조사형의 센서에 한정되지 않고, 배압 센서나 접촉식 센서 등을 이용한 다른 측정 유닛이어도 실장 가능하다.
도 5에 나타내는 바와 같이, X축 방향 및 Y축 방향에 소정의 피치(간격)로, 유지면(16)에 대하여, 복수의 측정 라인(16-1)이 미리 설정된다. 이들 측정 라인(16-1)을 따라 높이의 측정을 행함으로써, 유지면(16)에 있어서의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)의 정보가 취득된다. 유지면(16)에 대하여, 예컨대 20∼50 ㎜의 피치로 복수의 측정 라인(16-1)을 설정할 수 있다. 또한, 유지면(16)에 설정하는 측정 라인(16-1)의 개수나 피치, 배치 위치에 특별히 제한은 없고, 오퍼레이터가 임의로 변경할 수 있다.
또한, 데이터 기록부(110)는, 측정 라인(16-1)을 따라 높이의 측정을 행하는 예에 특별히 한정될 필요는 없고, 도 6에 나타내는 바와 같이, 유지면(16)에 미리 복수의 측정점(16-2)을 설정해 두고, 측정점(16-2)마다 높이의 측정을 실행하여도 좋다.
데이터 기록부(110)는, 전술한 높이 측정 처리에 의해 취득된 높이 데이터와, 척 테이블(14)의 테이블 ID를 관련시켜 기록한다. 도 7은 제1 실시형태에 따른 높이 데이터의 개요를 나타내는 도면이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 데이터 기록부(110)에 기록되는 높이 데이터는, 테이블 ID, 좌표 및 높이의 각 항목을 가지고, 이들 항목은 서로 대응된다. 테이블 ID의 항목에는, 촬상 유닛(44-2)에 의해 판독된 척 테이블(14)의 테이블 ID가 기억된다. 좌표의 항목에는, 높이 측정 처리에 있어서의 유지면(16)의 좌표(X, Y)의 값이 기억된다. 높이의 항목에는, 높이 측정 처리에 있어서의 유지면(16)의 높이(Z)의 값이 기억된다.
제어 유닛(100)의 가공 제어부(120)는, 데이터 기록부(110)에 기록된 높이 데이터에 기초하여, 가공 중인 가공 유닛(18)의 높이를 제어한다. 즉, 가공 제어부(120)는, 촬상 유닛(44-2)에 의해 판독한 테이블 ID에 관련된 높이 데이터를 데이터 기록부(110)로부터 취득하고, 취득한 높이 데이터에 기초하여, 가공 중인 가공 유닛(18)의 높이를 제어한다. 도 8은 제1 실시형태에 따른 가공 제어를 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 가공 제어부(120)는, 높이 데이터에 기초하여, 절삭 블레이드(42)를 피가공물(11)에 절입시켜, 피가공물(11)의 원하는 깊이의 절삭홈을 형성한다.
〔처리 순서〕
도 9를 이용하여, 제1 실시형태에 따른 가공 장치의 처리의 순서의 일례를 설명한다. 도 9는 제1 실시형태에 따른 가공 장치의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다. 도 9에 나타내는 처리는, 제어 유닛(100)이 구비하는 각 부에 의해 실행된다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 데이터 기록부(110)는, 촬상 유닛(44-2)으로부터 척 테이블(14)의 테이블 ID를 취득한다(단계 S101).
계속해서, 데이터 기록부(110)는, 테이블 ID에 관련된 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이 데이터가 기록되어 있는지의 여부를 판정한다(단계 S102).
데이터 기록부(110)는, 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있다고 판정한 경우(단계 S102; Yes), 테이블 ID에 관련된 높이 데이터를 취득한다(단계 S103).
가공 제어부(120)는, 데이터 기록부(110)에 의해 취득된 높이 데이터에 기초하여, 가공 제어를 실행하고(단계 S104), 도 9에 나타내는 처리를 종료한다.
상기 단계 S102에 있어서, 데이터 기록부(110)는, 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있지 않다고 판정한 경우(단계 S102; No), 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이 데이터의 측정을 실행한다(단계 S105). 또는 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있지 않다고 판정하였을 때에는, 가공 제어부(120)는, 종래대로 높이 데이터를 이용하지 않고 유지면(16)으로부터 일정한 높이까지 절삭 블레이드(42)로 절입하여 피가공물(11)의 가공을 행하도록 제어하여도 좋다.
계속해서, 데이터 기록부(110)는, 단계 S101에서 취득한 테이블 ID에 관련시켜, 단계 S105의 측정으로 취득된 높이 데이터를 기록하고(단계 S106), 상기 단계 S104의 처리 순서로 옮긴다. 즉, 가공 제어부(120)는, 데이터 기록부(110)에 의해 측정된 높이 데이터에 기초하여, 가공 제어를 실행한다.
전술해 온 바와 같이, 제1 실시형태에 따른 가공 장치(1)는, 척 테이블(14)과, 가공 유닛(18)과, X축 이동 유닛(도시 생략) 및 가공 유닛 이동 기구(22)와, 높이 측정 유닛(44-1)과, 촬상 유닛(44-2)과, 제어 유닛(100)을 구비한다. 척 테이블(14)은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(16)과, 유지면(16)을 둘러싸는 프레임체(17)를 구비하고, 척 테이블(14)을 구별하는 식별 정보를 기록하는 2차원 바코드(201)(정보 매체의 일례)를 포함한다. 가공 유닛(18)(가공 유닛의 일례)은, 척 테이블(14)에 유지되는 피가공물(11)을 가공한다. X축 이동 유닛(도시 생략) 및 가공 유닛 이동 기구(22)(이동 유닛의 일례)는, 척 테이블(14)과 가공 유닛(18)을 유지면(16)에 대하여 평행한 X축 방향 및 Y축 방향으로 상대적으로 이동시킨다. 높이 측정 유닛(44-1)(높이 측정부의 일례)은, 가공 유닛(18)에 장착되며, X축 이동 유닛(도시 생략) 및 가공 유닛 이동 기구(22)를 이동시켜 측정한 유지면(16)의 복수의 좌표(X, Y)와 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정한다. 촬상 유닛(44-2)(높이 측정부의 일례)은, 2차원 바코드(201)의 판독이 가능하다. 즉, 촬상 유닛(44-2)은, 2차원 바코드(201)를 판독하여 테이블 ID를 취득할 수 있다. 제어 유닛(100)(제어부의 일례)은, 데이터 기록부(110)와 가공 제어부(120)를 구비한다. 데이터 기록부(110)(높이 데이터 기록부의 일례)는, 높이 데이터와 테이블 ID를 관련시켜 기록한다. 가공 제어부(120)는, 촬상 유닛(44-2)이 판독한 테이블 ID와 관련된 높이 데이터에 기초하여 가공 중인 가공 유닛(18)의 높이를 제어한다. 이에 의해, 제1 실시형태에 따른 가공 장치(1)는, 척 테이블(14)의 교환이 행해졌다고 해도, 척 테이블(14)에 대응하는 높이 데이터에 기초하여 가공 제어를 실행할 수 있다. 이 때문에, 제1 실시형태에 따른 가공 장치(1)는, 척 테이블(14)의 교환에 따른 피가공물(11)의 가공 품질의 저하를 방지할 수 있다.
〔변형예〕
상기 제1 실시형태에서는, 척 테이블(14)의 테이블 ID(식별 정보)를 기록하는 정보 매체로서, 2차원 바코드(201)를 이용하는 예를 설명하였지만, 이 예에는 특별히 한정될 필요가 없다. 도 10은 변형예에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 척 테이블(14)은, 유지면(16)을 둘러싸는 프레임체(17)의 상면에, 척 테이블(14)을 구별하는 테이블 ID(식별 정보의 일례)를 기록한 2차원 코드(202)(정보 매체의 일례)가 마련되어도 좋다. 이 경우, 촬상 유닛(44-2)은, 척 테이블(14)에 마련되는 2차원 코드(202)에 기록된 정보를 판독하는 기능을 갖추고, 2차원 코드(202)로부터 판독한 테이블 ID를 제어 유닛(100)에 보낸다. 2차원 코드(202)는 매트릭스형 2차원 코드라고 불리며, Quick Response Code(QR 코드: 등록 상표)가 포함된다.
〔제2 실시형태〕
상기 제1 실시형태에서는, 척 테이블(14)의 테이블 ID를 기록하는 정보 매체로서, 2차원 바코드(201)나 2차원 코드(202)를 이용하는 예를 설명하였다. 그러나, 이 예에는 특별히 한정될 필요가 없고, 척 테이블(14)의 테이블 ID를 기록하는 정보 매체로서, RFID(Radio Frequency IDentification) 대응의 RF 태그를 이용하여도 좋다. 이하에는, 도 11∼도 13을 이용하여, 제2 실시형태에 따른 가공 장치에 대해서 설명한다. 도 11은 제2 실시형태에 따른 가공 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 12는 제2 실시형태에 따른 척 테이블의 구성예를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 13은 제2 실시형태에 따른 가공 장치의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 12에 나타내는 바와 같이, 척 테이블(14)에는, 유지면(16)을 둘러싸는 프레임체(17)에, 척 테이블(14)의 테이블 ID를 기록한 RF 태그(203)(정보 매체의 일례)가 마련된다. 또한, RF 태그(203)는, 프레임체(17)의 표면에 노출되지 않고, 척 테이블(14)의 내부에 수용되어도 좋다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 실시형태에 따른 가공 장치(2)는, 리더(90)(판독부의 일례)를 구비한다. 리더(90)는, 예컨대, 무선 통신에 의해 정보의 기록 및 판독이 가능한 RFID의 장치이다. 리더(90)는, 도 12에 나타내는 척 테이블(14)에 구비되는 RF 태그(203)로부터, 척 테이블(14)의 테이블 ID를 판독한다. 리더(90)는, 무선 또는 유선에 의해 통신이 가능하고, RF 태그(203)로부터 판독한 테이블 ID를 제어 유닛(100)에 보낸다.
〔처리 순서〕
도 13을 이용하여, 제2 실시형태에 따른 가공 장치의 처리의 순서의 일례를 설명한다. 도 13에 나타내는 처리는, 제어 유닛(100)이 구비하는 각 부에 의해 실행된다. 또한, 도 13에 나타내는 처리의 순서는, 단계 S201의 순서가 도 9에 나타내는 처리의 순서와는 다르다.
도 13에 나타내는 바와 같이, 데이터 기록부(110)는, 리더(90)에 의해 판독된 척 테이블(14)의 테이블 ID를 취득한다(단계 S201).
계속해서, 데이터 기록부(110)는, 단계 S201에서 취득한 테이블 ID에 관련된 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이 데이터가 기록되어 있는지의 여부를 판정한다(단계 S202).
데이터 기록부(110)는, 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있다고 판정한 경우(단계 S202; Yes), 테이블 ID에 관련된 높이 데이터를 취득한다(단계 S203).
가공 제어부(120)는, 데이터 기록부(110)에 의해 취득된 높이 데이터에 기초하여, 가공 제어를 실행하고(단계 S204), 도 13에 나타내는 처리를 종료한다.
상기 단계 S202에 있어서, 데이터 기록부(110)는, 단계 S201에서 취득한 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있지 않다고 판정한 경우(단계 S202; No), 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이 데이터의 측정을 실행한다(단계 S205). 또는 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있지 않다고 판정하였을 때에는, 가공 제어부(120)는, 종래대로 높이 데이터를 이용하지 않고 유지면(16)으로부터 일정한 높이까지 절삭 블레이드(42)로 절입하여 피가공물(11)의 가공을 행하도록 제어하여도 좋다.
계속해서, 데이터 기록부(110)는, 단계 S201에서 취득한 테이블 ID에 관련시켜, 단계 S205의 측정으로 취득된 높이 데이터를 기록하고(단계 S206), 상기 단계 S204의 처리 순서로 옮긴다. 즉, 가공 제어부(120)는, 데이터 기록부(110)에 의해 측정된 높이 데이터에 기초하여, 가공 제어를 실행한다.
〔제3 실시형태〕
상기 실시형태에서는, 가공 장치(1)는, 2차원 바코드(201)나 2차원 코드(202), RF 태그(203) 등의 정보 매체로부터 테이블 ID를 판독하고, 판독한 테이블 ID에 관련된 높이 데이터에 기초하여, 가공 제어를 실행하는 예를 설명하였다. 그러나, 이 예에는 특별히 한정될 필요가 없고, 예컨대, 이들 정보 매체에 대하여, 테이블 ID 대신에, 척 테이블(14)의 유지면(16)의 높이 데이터를 기록하여도 좋다. 이에 의해, 가공 장치(1)는, 이들 정보 매체로부터 판독한 높이 데이터를 직접 이용하여, 가공 제어를 실행할 수 있다.
예컨대, 2차원 바코드(201)나 2차원 코드(202)를 이용하는 경우, 오퍼레이터는, 척 테이블(14)을 사용하기 전에, 가공 장치(1)에 척 테이블(14)을 설치하고, 척 테이블(14)의 높이 측정 처리를 실행한다. 그리고, 오퍼레이터는, 높이 측정 처리에 의해 얻어진 높이 데이터를 기록한 2차원 바코드(201)나 2차원 코드(202)를 생성하고, 생성한 2차원 바코드(201)나 2차원 코드(202)를 사용 전의 척 테이블(14)에 미리 설치해 둔다. 제어 유닛(100)의 가공 제어부(120)는, 복합 측정 유닛(44)의 촬상 유닛(44-2)에, 척 테이블(14)의 프레임체(17)에 마련되는 2차원 바코드(201) 또는 2차원 코드(202)의 판독을 실행시킨다. 가공 제어부(120)는, 촬상 유닛(44-2)에 의해 판독된 높이 데이터를 취득하고, 취득한 높이 데이터를 이용하여, 가공 제어를 실행한다.
또한, RF 태그(203)를 이용하는 경우, 오퍼레이터는, 척 테이블(14)을 사용하기 전에, 가공 장치(1)에 척 테이블(14)을 설치하고, 척 테이블(14)의 높이 측정 처리를 실행한다. 오퍼레이터는, 높이 측정 처리에 의해 얻어진 높이 데이터를 RFID 대응의 라이터를 이용하여 RF 태그(203)에 기록하고, 높이 데이터를 기록한 RF 태그(203)를 사용 전의 척 테이블(14)에 미리 설치해 둔다. 제어 유닛(100)의 가공 제어부(120)는, 리더(90)에 의해 RF 태그(203)로부터 판독된 높이 데이터를 리더(90)로부터 취득하고, 취득한 높이 데이터를 이용하여, 가공 제어를 실행한다.
이와 같이, 제3 실시형태에 따르면, 가공 장치(1)는, 데이터 기록부(110)에 테이블 ID에 관련시켜 높이 데이터를 기록하는 데 수고를 들이는 일없이, 척 테이블(14)의 정보 매체에 기록된 높이 데이터를 그대로 취득하여, 가공 제어를 실행할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에 있어서, 정보 매체에, 척 테이블(14)의 테이블 ID 및 높이 데이터 중 적어도 어느 한쪽을 기록해 두어도 좋다. 가공 장치(1)는, 정보 매체에 테이블 ID만이 기록되어 있는 경우, 제1 실시형태, 제2 실시형태와 마찬가지로, 테이블 ID에 관련된 높이 데이터를 데이터 기록부(110)로부터 취득하여, 가공 제어를 실행할 수 있다. 또한, 가공 장치(1)는, 정보 매체에 높이 데이터만이 기록되어 있는 경우, 제3 실시형태와 마찬가지로, 정보 매체에 기록된 높이 데이터를 취득하여, 가공 제어를 실행할 수 있다. 또한, 가공 장치(1)는, 정보 매체에 테이블 ID 및 높이 데이터가 기록되어 있는 경우, 제1 실시형태, 제2 실시형태와 마찬가지로, 테이블 ID에 관련된 높이 데이터를 데이터 기록부(110)로부터 취득하여 가공 제어를 실행하여도 좋고, 제3 실시형태와 마찬가지로, 정보 매체에 기록된 높이 데이터를 취득하여 가공 제어를 실행하여도 좋다. 또한, 가공 장치(1)는, 정보 매체에 테이블 ID 및 높이 데이터가 기록되어 있는 경우, 데이터 기록부(110)에 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있는지의 여부를 판정하여, 데이터 기록부(110)에 테이블 ID에 관련된 높이 데이터가 기록되어 있는 경우, 정보 매체에 기록되어 있는 높이 데이터와, 데이터 기록부(110)에 기록되어 있는 높이 데이터가 일치하는지의 여부를 판정하여도 좋다. 가공 장치(1)는, 높이 데이터가 일치한다고 판정한 경우, 어느 하나의 높이 데이터를 이용하여 가공 제어를 실행하고, 높이 데이터가 일치하지 않는다고 판정한 경우, 새롭게 높이 데이터의 측정을 실행하고, 측정한 높이 데이터를 이용하여 가공 제어를 실행하여도 좋다. 이에 의해, 더욱 신뢰성이 높은 높이 데이터를 이용하여 가공 제어를 실행할 수 있다.
〔그 외〕
상기 각 실시형태는, 절삭 장치 등의 가공 장치 외에, 레이저 가공 장치에 있어서도 동일하게 적용할 수 있다. 예컨대, 레이저 가공 장치에 구비되는 척 테이블의 높이 데이터를 상기 실시형태와 동일 방법으로 취득하고, 취득한 높이 데이터에 기초하여, 레이저 빔의 집광점의 형성 위치를 상하로 이동시킬 수 있다. 이에 의해, 레이저 가공 장치에 구비되는 척 테이블의 요철에 한정되지 않고 피가공물의 균일의 높이에 레이저 빔을 조사할 수 있어, 가공 품질을 향상시킬 수 있다.
상기 각 실시형태에서 설명한 가공 장치(1)의 각 구성 요소는, 기능 개념적인 것이며, 반드시 물리적으로 도시와 같이 구성되어 있는 것을 요하지 않는다. 즉, 가공 장치(1)가 구비하는 제어 유닛(100)의 분산·통합의 구체적 형태는, 도시된 것에 한정되지 않고, 그 전부 또는 일부를, 각종 부하나 사용 상황 등에 따라, 임의의 단위로 기능적 또는 물리적으로 분산 또는 통합하여 구성할 수 있다. 예컨대, 제어 유닛(100)의 데이터 기록부(110)와, 가공 제어부(120)는, 기능적 또는 물리적으로 통합된 상태로 제어 유닛(100)에 실장되어도 좋다.
1: 가공 장치 4: 베이스
6: 카세트 지지대 10: X축 이동 테이블
11: 피가공물 13: 분할 예정 라인
14: 척 테이블 15: 디바이스
16: 유지면 17: 프레임체
18: 가공 유닛 20: 지지 구조
22: 가공 유닛 이동 기구 24: Y축 가이드 레일
26: Y축 이동 플레이트 28: Y축 볼나사
32: Z축 가이드 레일 34: Z축 이동 플레이트
36: Z축 볼나사 42: 절삭 블레이드
44: 복합 측정 유닛 44-1: 높이 측정 유닛
44-2: 촬상 유닛 46: 세정 유닛
90: 리더 100: 제어 유닛
110: 데이터 기록부 120: 가공 제어부
201: 2차원 바코드 202: 2차원 코드
203: RF 태그

Claims (5)

  1. 가공 장치로서,
    피가공물을 유지하는 유지면과 상기 유지면을 둘러싸는 프레임체를 갖는 척 테이블과,
    상기 척 테이블에 유지되는 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과,
    상기 척 테이블과 상기 가공 유닛을 상기 유지면에 대하여 평행한 X축 방향 및 상기 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 유닛과,
    상기 가공 유닛에 장착되며, 상기 이동 유닛을 이동시켜 측정한 상기 유지면의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정하는, 높이 측정부와,
    정보 매체의 판독이 가능한 판독부와,
    제어 유닛을 구비하고,
    상기 척 테이블은, 상기 척 테이블을 구별하는 식별 정보가 기록되는 정보 매체를 포함하고,
    상기 판독부는, 상기 가공 장치에 설치된 상기 척 테이블의 상기 정보 매체를 판독하고,
    상기 제어 유닛은,
    상기 높이 데이터와 상기 식별 정보를 관련시켜 기록하는 높이 데이터 기록부와,
    상기 판독부가 판독한 상기 식별 정보와 관련된 상기 높이 데이터에 기초하여 가공 중의 상기 가공 유닛의 높이를 제어하는 가공 제어부를 포함하는 것인, 가공 장치.
  2. 가공 장치로서,
    피가공물을 유지하는 유지면과 상기 유지면을 둘러싸는 프레임체를 갖는 척 테이블과,
    상기 척 테이블에 유지되는 상기 피가공물을 가공하는 가공 유닛과,
    상기 척 테이블과 상기 가공 유닛을 상기 유지면에 대하여 평행한 X축 방향 및 상기 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 유닛과,
    상기 가공 유닛에 장착되며, 상기 이동 유닛을 이동시켜 측정한 상기 유지면의 복수의 좌표(X, Y)에 있어서의 높이(Z)를 높이 데이터로서 측정하는, 높이 측정부와,
    정보 매체의 판독이 가능한 판독부와,
    제어 유닛을 구비하고,
    상기 척 테이블은, 상기 척 테이블의 상기 높이 데이터가 기록되는 정보 매체를 포함하고,
    상기 제어부는,
    상기 판독부가 판독한 상기 높이 데이터에 기초하여 가공 중의 상기 가공 유닛의 높이를 제어하는 가공 제어부를 포함하는 것인, 가공 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 정보 매체는, 2차원 코드 또는 무선 통신에 의해 정보의 기록 및 판독이 가능한 RFID의 RF 태그로 구성되는 것인, 가공 장치.
  4. 척 테이블로서,
    유지면과,
    상기 유지면을 둘러싸는 프레임체와,
    상기 척 테이블을 가공 장치에 설치한 상태에서의 상기 유지면의 복수의 좌표에 있어서의 높이를 측정한 높이 데이터를 기록하는 정보 매체를 구비하는 것인, 척 테이블.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 정보 매체는, 2차원 코드 또는 무선 통신에 의해 정보의 기록 및 판독이 가능한 RFID의 RF 태그로 구성되는 것인, 척 테이블.
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