JP2008290241A - 加工装置及び加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高速回転して被加工物Wを切断もしくは被加工物Wに対して溝入れする砥石1と、上記砥石1に切削水Lを供給するノズル5と、上記ノズル5を移動可能かつ回転可能に支持する支持部材12と、上記ノズル5に固定され、上記砥石1に向けて光を照射する光源7と、上記砥石1を挟んで上記光源7の反対側に配置され、上記光源7から照射された光を検出する光センサー8と、上記光センサー8の検出結果に基づいて、上記砥石1と上記ノズル5との相対位置を検出する制御装置9とを具備する。
【選択図】 図1
Description
Claims (11)
- 高速回転して被加工物を切断もしくは被加工物に対して溝入れする砥石と、
上記砥石に切削水を供給でき、少なくとも移動可能もしくは回転可能に設けられたノズルと、
上記砥石と上記ノズルとの相対位置を検出する検出手段と、
を具備することを特徴とする加工装置。 - 上記ノズルの最適位置を記憶する記憶手段をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の加工装置。
- 上記ノズルを少なくとも移動もしくは回転させる駆動手段をさらに具備することを特徴とする請求項1あるいは2記載の加工装置。
- 上記検出手段により検出された、上記砥石と上記ノズルとの相対位置に基づいて上記駆動手段を制御し、上記ノズルを上記最適位置に設定する制御手段をさらに具備することを特徴とする請求項3記載の加工装置。
- 上記記憶手段は、上記ノズルの最適位置を座標認識することを特徴とする請求項2記載の加工装置。
- 上記記憶手段に上記ノズルの最適位置を入力する外部端末をさらに具備することを特徴とする請求項2記載の加工装置。
- 上記検出手段は、
上記ノズルに固定され、上記砥石に向けて光を照射する光源と、
上記砥石を挟んで上記光源の反対側に配置され、上記光源から照射された光の強度分布を検出する光センサーと、
により構成され、
上記光センサーが検出した光の強度分布に基づいて、上記砥石と上記ノズルとの相対位置を検出することを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 上記検出手段は、
上記砥石を挟んで上記ノズルの反対側に配置され、上記ノズルから供給された切削水の圧力分布を検出する圧力センサーであり、
上記圧力センサーが検出した切削水の圧力分布に基づいて、上記砥石と上記ノズルとの相対位置を検出することを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 上記砥石を回転させるモータをさらに具備し、
上記検出手段は、上記切削水が上記砥石に当たることにより上記モータにかかる負荷変動を検出する負荷センサーであり、
上記負荷センサーが検出したモータの負荷変動に基づいて、上記砥石と上記ノズルとの相対位置を検出することを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 上記検出手段は、
上記砥石の板面の一側に配置され、上記砥石と上記ノズルを撮像するカメラであり、
上記カメラの撮像結果に基づいて、上記砥石と上記ノズルとの相対位置を検出することを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 高速回転する砥石を被加工物に当てて、上記被加工物を切断もしくは被加工物に対して溝入れする加工方法において、
上記砥石にノズルから切削水を供給する第1の工程と、
上記第1の工程中に、上記砥石と上記ノズルの相対位置を検出する第2の工程と、
上記砥石と上記ノズルの相対位置に基づいて、上記ノズルを移動または回転させ、上記ノズルを最適位置に設定する第3の工程と、
を具備することを特徴とする加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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