JP5856433B2 - サファイア基板の研削方法 - Google Patents
サファイア基板の研削方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5856433B2 JP5856433B2 JP2011231701A JP2011231701A JP5856433B2 JP 5856433 B2 JP5856433 B2 JP 5856433B2 JP 2011231701 A JP2011231701 A JP 2011231701A JP 2011231701 A JP2011231701 A JP 2011231701A JP 5856433 B2 JP5856433 B2 JP 5856433B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- rpm
- chuck table
- sapphire substrate
- grinding wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 47
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 title claims description 44
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 6
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 4
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 25
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- -1 gallium nitride compound Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/04—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor involving a rotary work-table
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
- B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
- B24B47/18—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces for rotating the spindle at a speed adaptable to wear of the grinding wheel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
Description
該チャックテーブルの保持面にサファイア基板を保持する保持工程と、
サファイア基板を保持した該チャックテーブルを回転するとともに該研削ホイールを回転し該チャックテーブルの中心を該研削砥石が通過するように位置附けて該研削送り手段を作動して研削送りする研削工程と、を含み、
該研削工程は、該チャックテーブルの回転速度が500〜1000rpmに設定され、該研削ホイールの回転速度が500〜800rpmに設定される、
ことを特徴とするサファイア基板の研削方法が提供される。
図1には、本発明によるサファイア基板の研削方法を実施するための研削装置の斜視図が示されている。図1に示す研削装置1は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研削手段としての研削ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
図3には、本発明によるサファイア基板の研削方法によって研削される光デバイスウエーハ10が示されている。図3に示す光デバイスウエーハ10は、サファイア基板11の表面に窒化物半導体からなる光デバイス層としての発光層(エピ層)12が5μmの厚みで積層されている。そして、発光層(エピ層)12が格子状に形成された複数の分割予定ライン121によって区画された複数の領域に発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイス122が形成されている。このように構成された光デバイスウエーハ10のサファイア基板11の裏面11bを研削するには、図4に示すように発光層(エピ層)12の表面12aにデバイス122を保護するための保護テープTを貼着する(保護テープ貼着工程)。
上述した研削工程における研削効率は、チャックテーブル71の回転速度と研削ホイール5の回転速度によって変化する。そして、本発明者等の実験によると、研削手段としてのスピンドルユニット4を構成する研削ホイール5が装着された回転スピンドル42を回転駆動するためのサーボモータ43に供給する電力の電流値が小さくなる程研削ホイール5の研削砥石52による研削効率が良いことが判った。
2:装置ハウジング
3:研削ユニット
31:移動基台
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:サーボモータ
44:ホイールマウント
45:電流値検出手段
5:研削ホイール
51:砥石基台
52:研削砥石
6:研削送り手段
64:パルスモータ
7:チャックテーブル機構
71:チャックテーブル
8:制御手段
10:光デバイスウエーハ
11:サファイア基板
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持面を有し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削するダイヤモンド砥粒をボンド剤で固定した研削砥石が環状に配設されサーボモータにより回転駆動される研削ホイールを備えた研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な研削送り方向に0.4μm/秒の研削送り速度で研削送りする研削送り手段とを具備する研削装置を用いてサファイア基板を研削するサファイア基板の研削方法であって、
該チャックテーブルの保持面にサファイア基板を保持する保持工程と、
サファイア基板を保持した該チャックテーブルを回転するとともに該研削ホイールを回転し該チャックテーブルの中心を該研削砥石が通過するように位置付けて該研削送り手段を作動して研削送りする研削工程と、を含み、
該研削工程は、該チャックテーブルの回転速度が500〜1000rpmに設定され、該研削ホイールの回転速度が500〜800rpmに設定される、
ことを特徴とするサファイア基板の研削方法。 - 該チャックテーブルの回転速度は700〜800rpmに設定され、該研削ホイールの回転速度は600〜700rpmに設定される、請求項1記載のサファイア基板の研削方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011231701A JP5856433B2 (ja) | 2011-10-21 | 2011-10-21 | サファイア基板の研削方法 |
TW101133137A TWI583494B (zh) | 2011-10-21 | 2012-09-11 | Sapphire substrate grinding method |
KR1020120112938A KR101893616B1 (ko) | 2011-10-21 | 2012-10-11 | 사파이어 기판의 연삭 방법 |
CN201210394345.0A CN103056737B (zh) | 2011-10-21 | 2012-10-17 | 蓝宝石基板的磨削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011231701A JP5856433B2 (ja) | 2011-10-21 | 2011-10-21 | サファイア基板の研削方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013086246A JP2013086246A (ja) | 2013-05-13 |
JP5856433B2 true JP5856433B2 (ja) | 2016-02-09 |
Family
ID=48099779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011231701A Active JP5856433B2 (ja) | 2011-10-21 | 2011-10-21 | サファイア基板の研削方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5856433B2 (ja) |
KR (1) | KR101893616B1 (ja) |
CN (1) | CN103056737B (ja) |
TW (1) | TWI583494B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6166106B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2017-07-19 | 株式会社ディスコ | サファイア基板の加工方法 |
TWI564116B (zh) * | 2013-08-12 | 2017-01-01 | Sapphire polishing pad dresser with multiple trimmed pellets | |
JP6489973B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-03-27 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
CN107234519B (zh) * | 2016-03-28 | 2019-06-18 | 沈阳海默数控机床有限公司 | 一种垂直槽面进给的磨削方法 |
JP2019201125A (ja) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | 三菱電機株式会社 | ウエハ研削装置およびウエハ研削方法 |
CN108927713A (zh) * | 2018-07-10 | 2018-12-04 | 广东先导先进材料股份有限公司 | 光学零件的抛光方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11245148A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-14 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | ウエハの研磨盤およびそれを用いてウエハを研磨する方法 |
US20020004265A1 (en) * | 2000-03-17 | 2002-01-10 | Krishna Vepa | Grind polish cluster and methods to remove visual grind pattern |
JP4398686B2 (ja) * | 2003-09-11 | 2010-01-13 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2006024814A (ja) * | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | 半導体基板の絶縁層の研削方法 |
CN100433268C (zh) * | 2004-12-08 | 2008-11-12 | 深圳市方大国科光电技术有限公司 | 蓝宝石衬底磨削方法 |
DE102005012446B4 (de) * | 2005-03-17 | 2017-11-30 | Siltronic Ag | Verfahren zur Material abtragenden Bearbeitung einer Halbleiterscheibe |
JP4754870B2 (ja) * | 2005-05-10 | 2011-08-24 | 株式会社ディスコ | 研磨装置 |
KR101159658B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2012-06-25 | 생-고뱅 세라믹스 앤드 플라스틱스, 인코포레이티드 | 사파이어 기판 연마 방법 |
JP5048379B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2012-10-17 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2009094326A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの研削方法 |
JP2009285798A (ja) | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | サファイア基板の研削方法 |
JP2011029450A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
JP5443192B2 (ja) * | 2010-02-10 | 2014-03-19 | 株式会社ディスコ | サファイア基板の加工方法 |
-
2011
- 2011-10-21 JP JP2011231701A patent/JP5856433B2/ja active Active
-
2012
- 2012-09-11 TW TW101133137A patent/TWI583494B/zh active
- 2012-10-11 KR KR1020120112938A patent/KR101893616B1/ko active IP Right Grant
- 2012-10-17 CN CN201210394345.0A patent/CN103056737B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103056737A (zh) | 2013-04-24 |
CN103056737B (zh) | 2016-08-17 |
TW201321132A (zh) | 2013-06-01 |
TWI583494B (zh) | 2017-05-21 |
KR20130044148A (ko) | 2013-05-02 |
JP2013086246A (ja) | 2013-05-13 |
KR101893616B1 (ko) | 2018-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5856433B2 (ja) | サファイア基板の研削方法 | |
JP6166106B2 (ja) | サファイア基板の加工方法 | |
JP5443192B2 (ja) | サファイア基板の加工方法 | |
KR102163438B1 (ko) | 절삭 방법 | |
JP5735217B2 (ja) | 硬質基板の研削方法および研削装置 | |
JP4944569B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP2014027000A (ja) | 研削装置 | |
JP5656667B2 (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP2012016770A (ja) | 研削方法および研削装置 | |
JP5508120B2 (ja) | 硬質基板の加工方法 | |
JP2012169487A (ja) | 研削装置 | |
JP2011206867A (ja) | 硬質基板の研削方法および研削装置 | |
JP2010094789A (ja) | 研削ホイール | |
JP5357672B2 (ja) | 研削方法 | |
JP5955069B2 (ja) | ウエーハの研削方法 | |
JP5653234B2 (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP5693256B2 (ja) | 硬質基板の研削方法 | |
JP5934491B2 (ja) | サファイア基板の研削方法 | |
JP2008155312A (ja) | 研削ホイール | |
JP5592117B2 (ja) | サファイア基板の研磨工具 | |
JP2015220276A (ja) | 支持治具 | |
JP2012091245A (ja) | 研削装置 | |
JP2009050931A (ja) | 研削ホイール | |
JP5777383B2 (ja) | 研磨パッド及び該研磨パッドを使用した板状物の研磨方法 | |
JP2011129820A (ja) | 光デバイスウエーハの加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5856433 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |