JP5357672B2 - 研削方法 - Google Patents
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Description
4 チャックテーブル
6 研削ユニット
10 切削ブレード
11 光デバイスウエーハ
12 溝
14 目立て材
15 光デバイス
16 研削装置
18 チャックテーブル
20 研削ユニット
23 保護テープ
28 研削ホイール
32 研削砥石
Claims (3)
- 被研削物を研削する研削方法であって、
被研削物の被研削面に研削仕上げ厚みに至らない深さの複数の溝を形成する溝形成ステップと、
該溝中に目立て材を充填する充填ステップと、
砥石を含む研削手段で該被研削面を該目立て材ごと研削して、該研削仕上げ厚みまで被研削物を薄化する研削ステップと、
を具備したことを特徴とする研削方法。 - 前記溝形成ステップでは、切削ブレードによる切削、又はエッチングによって前記溝が形成される請求項1記載の研削方法。
- 前記被研削物は、サファイア、SiC、石英ガラス及び金属からなる群から選択される請求項1又は2記載の研削方法。
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JP2009205421A JP5357672B2 (ja) | 2009-09-07 | 2009-09-07 | 研削方法 |
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Family Applications (1)
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