JP2015220276A - 支持治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削ホイールを構成する研削砥石による研削部に研削水を供給して被加工物を研削する研削装置のチャックテーブルに保持され被加工物を支持する支持治具であって、
該チャックテーブルの大きさに対応した基板と、該基板の上面に立設し被加工物を支持する支持面を備えた複数の支持台とからなっている。
【選択図】図6
Description
(例えば、特許文献1参照)
該チャックテーブルの大きさに対応した基板と、該基板の上面に立設し被加工物を支持する支持面を備えた複数の支持台と、からなっている、
ことを特徴とする支持治具が提供される。
また、被加工物は、複数の支持台の支持面、または支持面に対応する領域にワックスを介して支持される。
図1には、本発明に従って構成された支持治具に支持された被加工物を研削するための研削装置の斜視図が示されている。図1に示す研削装置1は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上方に延びる直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に移動基台3が摺動可能に装着されている。移動基台3は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部31、31が設けられており、この一対の脚部31、31に上記一対の案内レール221、221と摺動可能に係合する被案内溝311、311が形成されている。このように直立壁22に設けられた一対の案内レール221、221に摺動可能に装着された移動基台3の前面には前方に突出した支持部32が設けられている。この支持部32に研削手段としてのスピンドルユニット4が取り付けられる。
図3には、本発明に従って構成された支持治具の第1の実施形態が示されている。図3に示す支持治具8は、円形状の基板81と、該基板81の上面に立設して設けられた複数(図示の実施形態においては3個)の支持台82とからなっている。円形状の基板81は、上記チャックテーブル71の吸着チャック711の大きさと対応する大きさ(例えば200mm)で厚みが例えば3mmのセラミックス円板によって形成されている。支持台82は、上記サファイア基板10の直径より僅かに大きい直径を有し厚みが5mm程度に形成されており、上面がサファイア基板10を支持する支持面821として機能する。なお、支持台82は、基板81と一体に形成してもよく、それぞれ別体で形成して適宜の接着剤によって接合してもよい。
図4の(a)および(b)に示す支持治具80は、上記図3に示す支持治具8と、該支持治具8の複数(図示の実施形態においては3個)の支持台82の支持面821に装着される基板81に対応する大きさを有する円形のプレート83とから構成される。プレート83は、複数の支持台82に対応する領域831以外の領域に研削水を流出する複数の貫通穴832が形成されている。このように形成されたプレート83の支持台82に対応する複数(図示の実施形態においては3個)の領域831の下面を支持治具8の複数(図示の実施形態においては3個)の支持台82の支持面821に適宜の接着剤によって接合することにより図4の(b)に示すように支持治具80を構成する。
先ず、図5の(a)および(b)に示すように支持治具8を構成する3個の支持台82の上面である支持面821にそれぞれサファイア基板10をワックスを介して支持する。
先ず、図7の(a)および(b)に示すように支持治具80を構成する3個の支持台82の支持面821に装着されたプレート83における支持台82に対応する領域831にそれぞれサファイア基板10をワックスを介して支持する。次に、サファイア基板10を支持した支持治具80を図1に示す研削装置1における被加工物載置域24に位置付けられているチャックテーブル71の吸着チャック711の上面である保持面上に載置し、図示しない吸引手段を作動することによりチャックテーブル71上に支持治具80を介してサファイア基板10を吸引保持する。そして、図示しないチャックテーブル移動手段を作動してチャックテーブル71を矢印23aで示す方向に移動し研削域25に位置付ける。
3:移動基台
4:スピンドルユニット
40:研削液供給手段
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
44:ホイールマウント
5:研削ホイール
51:ホイール基台
52:研削砥石
6:研削送り手段
7:チャックテーブル機構
71:チャックテーブル
8、80:支持治具
81:基板
82:支持台
83:プレート
832:貫通穴
10:サファイア基板
Claims (3)
- 研削ホイールを構成する研削砥石による研削部に研削水を供給して被加工物を研削する研削装置のチャックテーブルに保持され被加工物を支持する支持治具であって、
該チャックテーブルの大きさに対応した基板と、該基板の上面に立設し被加工物を支持する支持面を備えた複数の支持台と、からなっている、
ことを特徴とする支持治具。 - 該複数の支持台の支持面に該基板に対応する大きさのプレートが装着され、該プレートには該複数の支持台に対応する領域以外の領域に研削水を流出する複数の貫通穴が形成されている、請求項1記載の支持治具。
- 被加工物は、該複数の支持台の支持面、または支持面に対応する領域にワックスを介して支持される、請求項1又は2記載の支持治具。
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CN115635379A (zh) * | 2022-12-08 | 2023-01-24 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种氮化铝单晶衬底加工方法 |
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2014
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