JP5851271B2 - アライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法 - Google Patents

アライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、基板を所定の位置へアライメントする装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法に関し、特に太陽電池モジュール製造工程において、太陽電池モジュールを構成する積層体を所定の位置へアライメントする際に好適なものに関する。
太陽電池モジュールには、様々な種類が存在する。このなかで、例えば結晶シリコン系太陽電池モジュール(以下、モジュールと称する)は、複数の太陽電池セル(以下、セルと称する)がマトリクス状に配置された太陽電池マトリクス(以下、マトリクスと称する)が、ガラス基板、封止材、バックシートと共に積層された構造を有する。一般に、このような積層体がラミネート加工されたものがモジュールと称され、このモジュール内の1列のセルが導電部材で配線されたものが太陽電池ストリング(以下、ストリングと称する)と称される。
モジュール製造において、ラミネート加工する前にガラスの上に封止材を置き、その上にストリングを置くことでマトリクスを形成し、その上に封止材とバックシートを配設して積層体を形成する。
この後、コンベアを使用して積層体を所定の位置へ配置する工程が存在する。そのような工程では、一旦載置した積層体を所定の位置へ正確に配置するために、アライメントが行われる。
先ず、搬送されてきた積層体が、コンベア上のおおよその位置に載置される。コンベアの周囲に設けられた垂直方向並びに水平方向に移動可能なアライメント部材としてのアライメントピン(以下、ピンと称する)により、積層体の4辺を挟持することにより、積層体が所定の位置に正確に配置される。また、4辺のうち1辺において複数のピンが設けられていることで、搬送物が所定の角度、通常はコンベアの進行方向と平行な角度になるように配置される。
しかし従来は、積層体の4辺がピンで挟み込まれる工程において、可撓性を有する封止材やバックシートが、非可撓性を有するガラス基板を含む積層体とピンとの間に挟まり、封止材やバックシートが折り曲げられるという問題が発生していた。
また、封止材やバックシートが、積層体とピンとの間に挟まることにより、モジュールの美観が損なわれたり、モジュールを構成するストリングがずれたりする等の問題も生じていた。
本発明は上記事情に鑑み、太陽電池モジュールの製造工程において、封止材やバックシート等がピンと積層体との間に挟まることを防止することが可能なアライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
本発明のアライメント装置は、
非可撓性部材の基板上に少なくとも1枚の可撓性部材が載置された積層体にアライメントを行うアライメント装置であって、
前記積層体が所定箇所に載置される台と、
前記所定箇所の周囲に複数配置され、少なくとも前記所定箇所に接近するように移動が可能なアライメント部材と、
前記所定箇所に載置された前記積層体にアライメントを行う際に、前記アライメント部材を前記積層体へ接近させ挟持するように、前記アライメント部材を駆動するアライメント部材駆動機構と、
前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射する気体噴射機構と、
前記アライメント部材駆動機構及び前記気体噴射機構のそれぞれの動作を制御する制御部と、
を備え、
前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とする。
本発明の太陽電池モジュールの製造装置は、前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う装置であって、前記アライメント装置を備えることを特徴とする。
本発明のアライメント方法は、前記積層体に、前記アライメント装置を用いてアライメントを行う方法であって、
前記アライメント部材駆動機構により、前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記気体噴射機構により、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射することにより、前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とする。
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う方法であって、前記アライメント方法を備えることを特徴とする。
本発明のアライメント装置及び方法、並びに太陽電池モジュールの製造装置及び製造方法によれば、太陽電池モジュール製造工程において、コンベアを使用して積層体を所定の位置へ搬送する際に、封止材やバックシート等がピンと積層体との間に挟まることを防止することが可能である。
図1は、本発明の第1、第2の実施の形態においてアライメントの対象となるモジュールの構成を示す平面図である。 図2(a)は、同モジュールにおいてガラス基板上に封止材を積層した状態を示す正面図、図2(b)は、ガラス基板上に封止材、マトリクス、封止材、バックシートを順に積層した積層体を示す正面図である。 図3は、同第1の実施の形態において、積層体がベルトコンベアに載置された状態を示す平面図である。 図4は、図3を矢印Xで示されたベルトコンベアの長手方向から見た状態を示す正面図である。 図5は、図3を矢印Yで示されたベルトコンベアの長手方向に直交する方向から見た状態を示す正面図である。 図6(a)は、同第1の実施の形態において、アライメント前の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図6(b)は、アライメント前の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。 図7(a)は、アライメント動作開始後の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図7(b)は、アライメント動作開始後の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。 図8(a)は、ピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す平面図、図8(b)は、ピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す正面図である。 図9(a)は、アライメント完了時の積層体とピンとの位置関係を示す平面図、図9(b)は、アライメント完了時の積層体とピンとの位置関係を示す正面図である。 図10(a)は、アライメント終了後に積層体からピンが離れる動作を示す平面図、図10(b)は、アライメント終了後に積層体からピンが離れる動作を示す正面図である。 図11は、ピンの形状を示す斜視図である。 図12は、ピンから積層体へ気体が噴射された状態を示す拡大図である。 図13は、同第1、第2の実施の形態におけるアライメント装置全体のシステム構成を示すブロック図である。 図14は、同第2の実施の形態におけるピンが積層体に接触する直前又は接触した状態を示す正面図である。 図15は、同第2の実施の形態におけるピンの形状を示す斜視図である。
以下、本発明の実施の形態によるアライメント装置、及びこのアライメント装置を用いて積層体にアライメントを行う方法、並びにこのようなアライメント装置を備える太陽電池モジュールの製造装置、アライメント方法を備える製造方法について、図面を参照して説明する。
(1)第1の実施の形態
図1に、本発明の実施の形態1によるアライメント装置によりアライメントを行う際の対象となるモジュール1の平面構成を示す。モジュール1には、例えば縦6枚、横10枚から成る計60枚のセル2がマトリクス状に配置されている。横10枚のセル2により一つのストリング4が構成され、このストリング4が縦に6個配列されて全体で一つのマトリクス3が構成されている。尚、セル2は図示されていない導電部材により相互間が配線され接続されている。
モジュール1の構造について、図2を用いて説明する。先ず図2(a)に示されるように、ガラス基板5の表面上に1層目の封止材6aが載置される。本実施の形態において後述するアライメントは、この1層目の封止材6aが載置されたガラス基板5から成る積層体8に対して行われるものとする。
そしてモジュール1は、図2(b)に示されたように、ガラス基板5の表面上に、封止材6a、図1を用いて説明したマトリクス3、封止材6b、バックシート7が順に積層された構造を有する。このうち、通常は、ガラス基板5とマトリクス3は非可撓性物であり、封止材6a及び6bとバックシート7は可撓性物である。
尚、本発明においてアライメントの対象となるものは、ガラス基板5上に1枚の可撓性のあるシートが載置されたものには限定されない。例えば、図2(b)に示された構成を例にとると、ガラス基板5上に1枚の封止材6aのみが載置されている場合、ガラス基板5上に封止材6a、マトリクス3が載置されている場合、ガラス基板5上に封止材6a、マトリクス3、封止材6bが載置されている場合、ガラス基板5上に封止材6a、マトリクス3、封止材6b、バックシート7が載置されている場合も全てアライメントの対象となり得る。このように、非可撓性を有する基板上に、少なくとも1枚の可撓性を有するシートが載置されたものがアライメントの対象物であり、このようなもの全てを積層体8と称する。
図3に、図2(a)に示された封止材6aがガラス基板5の表面上に載置された積層体8が、コンベア21上のおおよその位置に一旦載置された状態を平面図として示す。尚、アライメントが行われる工程では、コンベアは停止状態にある。
図中、矢印Xで示された方向に進行するコンベア21の表面上に、進行方向に沿って複数のローラ23が設けられている。コンベア21には、積層体検知センサ32が設けられており、積層体8の存在の有無が検知される。コンベア21上に載置された積層体8の周囲には、アライメント用の複数のピン9a〜9fが設けられている。尚、矢印Xで示された進行方向に直交する方向をYとする。
この第1の実施の形態では、ガラス基板5及び封止材6aから成る積層体8における、図中上辺に沿う方向に沿って2本のピン9c及び9d、下辺に沿う方向に沿って2本のピン9e及び9f、左辺に沿う方向に沿って1本のピン9a、右辺に沿う方向に沿って9bがそれぞれ配置されている。しかし、ピンの配置はこの例に限定されず、積層体8における4辺のうち少なくともいずれか1辺に沿う方向に複数のピンが配置され、他の3辺に沿う方向にはそれぞれ少なくとも1本のピンが配置されていればアライメントを行うことができる。
図3に示された構成を、矢印Xで示された進行方向から見た正面図を図4に示す。ピン9a及び9bは、ピン台24上に設けられたピン移動台9a1、9b1上を、それぞれ矢印Yで示された方向に平行な矢印Aで示された方向に沿って積層体8に接近する方向に移動し、あるいは矢印Bで示された方向に沿って積層体8から遠ざかる方向に移動する。
図3に示された構成を、矢印Yで示された方向から見た側面図を図5に示す。ピン9c及び9d、9e及び9fは、ピン台24上に設けられたピン移動台9c1及び9d1、9e1及び9f1上を、それぞれ矢印Xで示された方向に平行な矢印Cで示された方向に沿って積層体8に接近するように移動し、あるいは矢印Dで示された方向に沿って積層体8から遠ざかるように移動する。さらにピン9c及び9d、9e及び9fは、ピン移動台9c2及び9d2、9e2及び9f2に対して相対的に、矢印Eで示された方向に沿って上昇するように移動し、あるいは矢印Fで示された方向に沿って降下するように移動する。
尚、コンベア21を支持している機構とピンを支持している台とは共用されていてもよく、別に設けられていてもよい。
アライメントを行う前の段階におけるガラス基板5及び封止材6aから成る積層体8とピン9a〜9fとの位置関係を、平面図として図6(a)に示し、正面図として図6(b)に示す。アライメントを行う前の段階では、ピン9a〜9fは、積層体8から離れた位置にある。尚、図6(b)に示されたように、封止材6aは可撓性を有するため、封止材6aの外縁部6a1が下に垂れた状態となる。
積層体8は、先ずコンベア21上のおおよその位置に載置される。この載置が行われるまでの間は、積層体8を載置する処理の障害とならないように、図示されていない機構により、ピン9e及び9fの先端部は積層体8の底より低い位置にある。積層体8がコンベア21上のおおよその位置に載置された後、ピン9e及び9fが上昇し、アライメント動作が開始される。尚、積層体8の載置が行われるまでの間、ピン9a〜9fのうち、少なくともピン9e及び9fの先端部が積層体8の底より低い位置にあればよい。他のピン9a〜9dの先端部は、積層体8の底と同程度の高さにあっても積層体8の載置の障害とはならない。
アライメント動作が開始された直後における積層体8とピン9a〜9fとの位置関係を、平面図として図7(a)に、正面図として図7(b)にそれぞれ示す。この時点では、ピン9a〜9fは積層体8から離間した位置にある。この状態から、それぞれのピン9a〜9fが積層体8に接近するように移動する。即ち、ピン9a及び9bが矢印Aで示された方向に移動し、ピン9c及び9d、9e及び9fが矢印Cで示された方向に移動する。
ピン9a〜9fが積層体8に接近するように移動し、積層体8におけるガラス基板5上の封止材6aに接触する直前又は接触した状態を、平面図として図8(a)に、正面図として図8(b)にそれぞれ示す。この状態でピン9a〜9fの移動を停止、あるいは移動速度を低下させる。そして、それぞれのピン9a〜9fの側面から、斜め上方の矢印Gで示された方向に沿って、封止材6aにおける垂れた外縁部6a1の下側から気体を噴射する。これにより、封止材6aの外縁部6a1が、ガラス基板5とピン9a〜9fにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられる。この状態から、ピン9a、9bが矢印Aで示された方向にさらに移動し、ピン9c及び9d、9e及び9fが矢印Cで示された方向に移動し、それぞれのピン9a〜9fがガラス基板5に接触した状態となる。
ピン9a〜9fがガラス基板5を挟持し、アライメントが完了した状態における積層体8とピン9a〜9fとの位置関係を、平面図として図9(a)に、正面図として図9(b)にそれぞれ示す。封止材6aの外縁部6a1を持ち上げたことにより、ピン9a〜9fとガラス基板5との間に封止材6aが挟まることが防止される。
これにより、コンベア21上のおおよその位置に載置された積層体8の4辺が、ピン9a〜9fにより挟み込まれることによってアライメントが行われて、所定の位置に正確に配置される。ここでは、4辺のうちコンベア21の進行方向Xに直交するY方向に沿って2本ずつのピン9c及び9d、9e及び9fが設けられていることで、2辺が積層体コンベア21の進行方向Xと平行に、残りの2辺が直交するように正確に配置される。
アライメント終了後は、平面図としての図10(a)、正面図としての図10(b)に示されるように、ピン9a〜9fが積層体8から離れるように移動する。即ち、ピン9a〜9bが矢印Bで示された方向、ピン9c〜9fが矢印Dで示された方向にそれぞれ移動する。その後、積層体8の搬送の障害とならないように、ピン9c及び9dが積層体8の底より低い位置まで降下する。尚、ピン9a〜9fのうち、少なくともピン9c及び9dの先端部が積層体8の底より低い位置まで降下すればよい。これにより、積層体8が図3において矢印Xで示された方向に搬送される際に障害とならない。他のピン9a及び9b、9e及び9fの先端部は、積層体8の底と同程度の高さにあっても積層体8の搬送の障害とはならない。
ここで、ピン9a〜9fが有する形状を斜視図としての図11に示し、さらにピン9a〜9fから封止材6aの外縁部6a1に向けて気体が噴射される状態を図12に拡大して示す。
ピン9a〜9fの内部には、後述する気体噴射機構に含まれる圧縮器等から与えられた気体が下方から上方へ向かって通過する経路10aが設けられている。経路10aからは、ピン9a〜9fの斜め上方の矢印Gで示された方向へ向けて設けられた少なくとも1つの経路10bが連結されている。経路10bの先端は、ピン9a〜9fの側面において噴射孔10cとなっている。
矢印Gで示された方向へ向けて噴射孔10cから気体が噴射されることで、図8を用いて説明したように、封止材6aの外縁部6a1がガラス基板5とピン9a〜9fとにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられ、ピン9a〜9fとガラス基板5との間に挟まることが防止される。
以上のような手順でアライメントを行った後、積層体8がコンベア21により搬送される。
図13に、第1の実施の形態におけるアライメント装置全体のシステム構成を示す。このアライメント装置は、制御部31、積層体検知センサ32、コンベア駆動機構33、ピン駆動機構34、気体噴射機構35を備えている。
積層体検知センサ32は、図3を用いて説明したように、ガラス基板5及び封止材6aから成る積層体8の存在の有無を検知する。
コンベア駆動機構33は、コンベア21に設けられたローラ23の回転駆動を行うことで、コンベア21に搭載された積層体8を搬送する。但し、コンベアの搬送機構はローラによる回転駆動には限定されず、ピンの配置や駆動に支障を与えない範囲でベルト等、他の駆動機構を用いてもよい。
ピン駆動機構34は、ピン9c及び9d、9e及び9fの上下方向、即ち矢印Eで示された方向又は矢印Fで示された方向への昇降動作、ピン9c〜9fの水平方向、即ち矢印Cで示された方向又は矢印Dで示された方向への移動動作、並びにピン9a〜9bの水平方向、即ち矢印Aで示された方向又は矢印Bで示された方向への移動動作に関する駆動を行う。尚、ここではピン9c及び9dと、ピン9e及び9fがいずれも水平方向に移動する機構を備えている。しかし、少なくともピン9e及び9fが水平方向に移動することができればよい。ピン9e及び9fが積層体8を矢印Aで示された方向に移動することにより、積層体8がピン9c及び9dに接近する方向に移動して接触することができる。よって、必ずしもピン9c及び9dが水平方向へ移動が可能である必要はない。
制御部31は、上述したアライメントを行うため、これらの積層体検知センサ32、コンベア駆動機構33、ピン駆動機構34、気体噴射機構35のそれぞれの動作の制御を行う。
本発明の第1の実施の形態によれば、コンベア上の所定位置に積層体8を載置する際に、封止材がピンと積層体8との間に挟まることを防止することができる。
(2)第2の実施の形態
次に、本発明の第2の実施の形態によるアライメント装置及びアライメント方法について説明する。尚、上記第1の実施の形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、重複する説明は省略する。
第2の実施の形態によるアライメント装置は、ピンの形状及び気体の噴射機構において上記第1の実施の形態によるものと相違する。
図14に、第2の実施の形態によるアライメント装置がアライメントを行う際に、6個のピン49a〜49fにおけるピン49a及び49bと、ガラス基板5及び封止材6aから成る積層体8との位置関係を示す。この状態は、上記第1の実施の形態において図8に示された封止材6aの外縁部6a1がピン9a〜9fの側面に接触する直前又は接触した状態に相当する。
ところで、気体を噴射するピンを下部から支持する支持部材については様々な形態が考えられ、制限されるものではない。よって、上記第1の実施の形態では、ピン9a〜9fを支持する支持部材については説明を省略した。
第2の実施の形態では、ピン49a〜49fを支持する支持部材50に気体を噴射する噴射孔50cが設けられており、以下に説明する。
図14に、ガラス基板5及び封止材6aから成る積層体8とピン49a〜49bとの間のコンベアの進行方向から見た位置関係を示す。第2の実施の形態においても上記第1の実施の形態のピン9a〜9fと同様に、矢印Xで示されたコンベアの進行方向に沿って両端に1本ずつピン49a、49bが配置され、進行方向と直交する矢印Yで示された方向に沿って両端に2本ずつピン49c及び49d、49e及び49fが配置されている。
上記第1の実施の形態において説明したように、図8(b)には、ピン9a、9bが積層体8に接近し封止材6aの外縁部6a1がピン9a、9bの側面に接触する直前又は接触した状態が示されている。この状態で、ピン9a〜9fの側面に設けられた噴射孔50cから気体が斜め上方の矢印Gで示された方向に噴射される。
図14は、第2の実施の形態において、ピン49a、49bが積層体8に接近し封止材6aの外縁部6a1がピン49a、49bの側面に接触する直前又は接触した状態を示す。この状態で、ピン49a〜49fをそれぞれ支持する支持部材50の上面に設けられた噴射孔50cから気体が上方の矢印Hで示された方向に噴射される。
図15の斜視図に、ピン49a〜49fを支持する支持部材50を拡大して示す。
ピン49a〜49fの下方の端部に、支持部材50がそれぞれL字型に接続されている。支持部材50の内部において、図示されていない圧縮器等から与えられた気体が、支持部材50の長手方向に沿って通過する経路50aが設けられている。経路50aからは、上方へ向かって通過する少なくとも1本の経路50bが設けられており、経路10bの先端は、支持部材50の上面において噴射孔50cとなっている。
矢印Hで示された方向へ向けて噴射孔50cから気体が噴射されることで、上記実施の形態1と同様に、封止材6aの外縁部6a1がガラス基板5とピン49a〜49fにおける最も高さが高い部分よりも高い位置まで持ち上げられ、ピン49a〜49fとガラス基板5との間に挟まることが防止される。以降のアライメント工程は、上記第1の実施の形態と同様に行われる。
尚、支持部材50から矢印Hで示された方向へ向けて気体が噴射されるように経路50a、50b、噴出孔50cが形成されている。しかし、気体を噴射する構造はこれに限定されず様々に変形することが可能である。また気体の噴出方向も矢印Hで示された真上方向には限定されず、斜め上方向等、封止材6aの外縁部6a1を上方へ持ち上げることが可能な向きであればよい。
また、第2の実施の形態におけるアライメント装置全体の構成は、図13を用いて説明した上記第1の実施の形態と同様であり、説明を省略する。
本発明の幾つかの実施の形態について説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の技術的範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の技術的範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、上記第1、第2の実施の形態では、図2(a)に示されたようなガラス基板の表面上に1枚の封止材が積層された積層体8をアライメントの対象物として説明した。しかし、アライメントの対象となるものはこの構成に限定されず、非可撓性部材の基板上に、少なくとも1つの可撓性部材が載置されたものであれば全て含まれる。例えば、ガラス基板上に1枚の封止材に加えて、マトリクスや封止材、バックシートが順に積層された積層体8も同様に含まれる。但し、マトリクスが含まれる場合には、アライメント時にマトリクスの位置がずれる可能性がある。このため、マトリクスの位置がずれない程度に気体を噴射するように、気体の噴射量や噴射方向を考慮することが望ましい。
また、上記第1の実施の形態では気体がピン9a〜9fの内部を通過して噴射孔10cから噴射され、上記第2の実施の形態ではピン49a〜49fの支持部材50の内部を通過して噴射孔50cから噴射される機構が用いられている。しかし、気体を噴射する機構はこれらには限定されず、ガラス基板上の封止材を気体で持ち上げることができるものであればよく、例えば気体チューブをピンの側面に配設して気体を封止材の外縁部へ向けて噴射する機構等、様々に変形することができる。
1 モジュール
2 セル
3 マトリクス
4 ストリング
5 ガラス基板
6a、6b 封止材
7 バックシート
8 積層体
9a〜9f、49a〜49f ピン
10a、10b、50a、50b 経路
10c、50c 噴射孔
31 制御部
32 積層体検知センサ
33 コンベア駆動機構
34 ピン駆動機構
35 気体噴射機構
50 支持部材

Claims (7)

  1. 非可撓性部材の基板上に少なくとも1枚の可撓性部材が載置された積層体にアライメントを行うアライメント装置であって、
    前記積層体が所定箇所に載置される台と、
    前記所定箇所の周囲に複数配置され、少なくとも前記所定箇所に接近するように移動が可能なアライメント部材と、
    前記所定箇所に載置された前記積層体にアライメントを行う際に、前記アライメント部材を前記積層体へ接近させ挟持するように、前記アライメント部材を駆動するアライメント部材駆動機構と、
    前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射する気体噴射機構と、
    前記アライメント部材駆動機構及び前記気体噴射機構のそれぞれの動作を制御する制御部と、
    を備え、
    前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とするアライメント装置。
  2. 前記気体噴射機構は、
    前記アライメント部材の内部に設けられ、供給された気体を通過させる経路と、前記アライメント部材の表面部分に形成され、前記経路を通過した気体を噴射する噴射孔とを有することを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。
  3. 前記アライメント部材を支持する支持部材をさらに備え、
    前記気体噴射機構は、
    前記支持部材の内部に設けられ、供給された気体を通過させる経路と、前記支持部材の表面部分に形成され、前記経路を通過した気体を噴射する噴射孔とを有することを特徴とする請求項1記載のアライメント装置。
  4. 前記基板が四角形であり、前記アライメント部材は前記基板の四辺のうち三辺には少なくとも1つずつ設けられ、少なくとも一辺には複数配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のアライメント装置。
  5. 前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う装置であって、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の前記アライメント装置を備えることを特徴とする太陽電池モジュールの製造装置。
  6. 前記積層体に、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の前記アライメント装置を用いてアライメントを行う方法であって、
    前記アライメント部材駆動機構により、前記所定箇所に載置された前記積層体に前記アライメント部材が接近する際に、前記可撓性部材の端面が前記アライメント部材の表面に接触する直前あるいは接触した時点で、前記気体噴射機構により、前記基板の周囲に垂れた前記可撓性部材の外縁部を持ち上げるように気体を噴射することにより、前記可撓性部材が前記基板と前記アライメント部材の間に挟持されることを防止することを特徴とするアライメント方法。
  7. 前記積層体を用いて太陽電池モジュールの製造を行う方法であって、請求項6に記載のアライメント方法を備えることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
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