JP2015070037A - 電子部品組立用の基板における層間紙の除去方法及び除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】段積み基板の上面から基板を吸着部材により一枚ずつ取り出すようにした基板吸着搬送手段を用いて、基板と基板との間に挿入された層間紙を、吸着部材の吸着により取り出し除去する層間紙の除去方法において、吸着部材を吸着作動させて上昇させるときに、基板吸着搬送手段の支持鈑に、所定の配置構成で装架せしめる複数の吸着部材のうちで、基板に吸着して吊り上げたときに基板に弯曲変形を生ぜしめない部位に配置されている吸着部材を、先に上昇させて、層間紙に座屈変形を生ぜしめ、その後に他の吸着部材と共に上昇させて層間紙を吊り上げるようにする。
【選択図】図10
Description
(1)層間紙を吸着するとき、層間紙Bは、通気性があることから、基板Aの上面に重ねられている層間紙Bに対し、吸着部材5の吸着パット50を当接させて吸着作動を行わせたとき、吸着パット50内の吸引圧が層間紙Bを通して下の基板Aに及び、層間紙Bと一緒に基板Aまで吸着して吊り上げる場合があり、基板Aを層間紙Bと共に廃棄してしまう不具合を発生させる問題が生じている。
また、これに併せて、変位移動を可能にした支持鈑に、複数の吸着部材を所定の配置構成により組み付け支架せしめ、それら吸着部材の真空吸着による吸着作動により基板を吸着して搬送する基板搬送手段において、支持鈑に組み付けた複数の吸着部材のうちの、前後に並ぶ中間で、かつ、左右の一側に偏る位置にある吸着部材を、支持鈑に対し昇降可能に組み付け、上下駆動する駆動機構に連結支持せしめることを特徴とする層間紙の除去装置を提起するものである。
B 層間紙
W 半導体組立装置
a 半導体チップ
b リード線
c 升目
d 印字機構
e 基板載置台
f 基板吸着搬送手段
g 層間紙回収ボックス
h 上下駆動機構
s センサ
1 機体
10 組付ブロック
20 横作動ブロック
21 作動アーム
30 縦作動ブロック
31 昇降アーム
4 支持鈑
5 5’ 吸着部材
50 50’ 吸着パット
6 昇降機構
60 ピストン
61 ブラケット
7 噴射ノズル
また、これに併せて、変位・移動を可能にした支持鈑に、下端にそれぞれ吸着パットを装備せる複数の吸着部材を所定の配置構成により組み付け支架せしめ、それら複数の吸着部材の真空吸着による吸着作動により基板を吸着して搬送する基板搬送手段を用い、基板と基板との間に挿入された層間紙を、吸着部材の吸着により取り出し除去する層間紙の除去装置において、基板搬送手段の支持鈑に組み付けた複数の吸着部材のうちの、前後に並ぶ中間で、かつ、左右の一側に偏る位置にある吸着部材を、支持鈑に対し昇降可能に組み付け、上下駆動する駆動機構に連結支持せしめることを特徴とする電子部品組立用の基板における層間紙の除去装置を提起するものである。
Claims (2)
- 変位移動を可能とした支持鈑に、下端にそれぞれ吸着パットを装備せる複数の吸着部材を、所定の配置構成に配置して装架せしめて、その吸着部材の吸着作動と上昇作動により段積み基板の上面から基板を吸着部材により一枚ずつ取り出すようにした基板吸着搬送手段を用いて、基板と基板との間に挿入された層間紙を、吸着部材の吸着により取り出し除去する層間紙の除去方法において、吸着部材を吸着作動させて上昇させるときに、基板吸着搬送手段の支持鈑に、所定の配置構成で装架せしめる複数の吸着部材のうちで、基板に吸着して吊り上げたときに基板に弯曲変形を生ぜしめない部位に配置されている吸着部材を、先に上昇させて、層間紙に座屈変形を生ぜしめ、その後に他の吸着部材と共に上昇させて層間紙を吊り上げるようにすることを特徴とする電子部品組立用の基板における層間紙の除去方法。
- 変位移動を可能にした支持鈑に、複数の吸着部材を所定の配置構成により組み付け支架せしめ、それら吸着部材の真空吸着による吸着作動により基板を吸着して搬送する基板搬送手段において、支持鈑に組み付けた複数の吸着部材のうちの、前後に並ぶ中間で、かつ、左右の一側に偏る位置にある吸着部材を、支持鈑に対し昇降可能に組み付け、上下駆動する駆動機構に連結支持せしめることを特徴とする電子部品組立用の基板における層間紙の除去装置。
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