JP6000915B2 - シート移載装置およびシート移載方法 - Google Patents

Description

この発明はシート移載装置およびシート移載方法に関し、例えば太陽電池製造工程で用いられる樹脂シートの移載装置およびシート移載方法に関するものである。

近年、地球環境保護の観点からクリーンエネルギーへの関心が高まり、特に太陽光エネルギーの利用として太陽電池が注目されて普及が進んでいる。太陽電池の製造においては、生産ラインの稼働率を高め、１枚でも多く太陽電池を出荷することが課題となっている。

通常、太陽電池の製造工程は太陽電池セルを複数組み合わせてマトリクス状の太陽電池セルを生成し、マトリクス状の太陽電池セルを封止材で覆い、表面をガラス基板で、裏面を保護フィルムで覆うようにしている。その理由は太陽電池セルを保護し、屋外の環境で安定した出力するためである。各製造工程は自動化されており、保護フィルムを太陽電池セル上へ載置する工程では、シート移載装置がシート台上に積載されたマトリクスサイズの樹脂シートを１枚ずつ吸着して分離し太陽電池セル上に移載するようになっている。

保護フィルムはバックシートと呼ばれ、長期間の屋外使用に耐える耐久性の他に、電気絶縁性や、保護フィルム及び封止材間の密着性などの性能が要求される。これらの機能を満足するために様々な層構造のフィルムが開発されて販売されており、例えば防湿性能を向上させるためにアルミフィルム層をポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどの樹脂フィルムでコーティングしたフィルムなどが用いられている。一般的には、バックシートの表裏面ともに樹脂層がコーティングされる。シート厚さは製品によって異なるが５０〜２５０μｍ程度の薄いバックシートが用いられている。このバックシートには、アルミフィルム層やこのアルミフィルム層の表裏両面のＰＥＴ層が存在するため、手でバックシートを少し曲げることはできるが変形部分は元に戻り、形状を保てないほどバックシートは柔らかいものではない。しかし折り曲げすぎるとバックシートには痕が残る。

また樹脂シートは板材に比べて軽量、軟質であり、電気絶縁体であるため静電気を帯電しやすく、樹脂シート２枚が重なった場合にこれらの樹脂シートを剥がすことが困難である。このため、従来、樹脂シートを湾曲させる機構と送風装置を備えた樹脂シート搬送システムにより、樹脂シートを１枚ずつに分離して搬送する方法が知られている（例えば特許文献１参照）。この方法は、積載された最上部の樹脂シート（第１シート）とその下の樹脂シート（第２シート）との間に送風するとともに第１シートの側端部を持ち上げて湾曲させる一方、第２シートに生じるその剛性で平坦に保とうとする力によって、２枚の樹脂シートを分離して搬送するものである。

また、従来、樹脂シートの側端部を持ち上げてエアブローする他に、分離したシートが１枚であることを確認する厚み測定器を備えたシート搬送装置が知られている（例えば特許文献２参照）。

特開２０１０−５２８３６号公報 特開２００６−２１８５６号公報

しかしながら、特許文献１に記載のシート分離方法によると、シートを湾曲させてシート間に風を当てるだけではシート間の静電気により分離できない場合があり、確実に１枚のシートを分離することはできない。このため、シート移載装置は１枚のシートの分離に失敗したことが何らかの手段によって発見された場合には、生産ラインを停止して作業員が対処するため、製造ラインの稼働率が低下する。また、シートの分離に失敗したことが見過ごされた場合には、例えば２枚重なったシートが太陽電池セル上に装着されるため、不良品を供給する危険性もあった。

また、特許文献２に記載の方法によれば、樹脂シートが２枚重なって取り出されたことは検知されるため、異常の警告を出力可能であるが、製造ラインが停止して稼動率が低下するという問題が存在する。

本発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、太陽電池用の樹脂シートが積載された樹脂シート束から１枚ずつ樹脂シートを分離してこれを太陽電池上に搬送する工程において樹脂シートを積載台から取り出す際、樹脂シートの１枚の分離に失敗したとしても製造ラインの停止を防ぎ、連続して樹脂シートを供給可能なシート移載装置およびシート移載方法を提供することを目的とする。

このような課題を解決するため、本発明の一実施形態によれば、樹脂シートを積載する第１のシート積載台と、
この第１のシート積載台上の前記樹脂シートの搬送先に設けられ、前記樹脂シートが積載される位置合わせ用シート台と、
これらの台間を移動し、前記第１のシート積載台上に積載された樹脂シートのうちの最上層の樹脂シートを吸着して前記位置合わせ用シート台へ搬送するシート搬送手段と、
このシート搬送手段により吸着された前記最上層の樹脂シートおよびその下側の樹脂シートの間に空気を送る送風手段と、
この送風手段の前記空気によって分離された前記樹脂シートの厚みを測定する測定手段と、
この測定手段により測定された前記樹脂シートの厚みが、１枚分の厚みとは異なる場合、前記シート搬送手段に前記樹脂シートを前記第１のシート積載台とは別の第２のシート積載台へ搬送させる制御手段と、
前記第１のシート積載台に設けられた前記樹脂シートの検知手段とを備え、
この検知手段によるシートエンプティの検知によって、前記制御手段は前記シート搬送手段に前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートを前記位置合わせ用シート台へ搬送させるシート移載装置が提供される。

更に、本発明の他の実施形態によれば、樹脂シートを積載する第１のシート積載台の樹脂シートを吸着し、吸着された前記樹脂シートおよびその下側の樹脂シート間に空気を送り、分離された前記樹脂シートの厚みを測定し、前記樹脂シート１枚分と異なる厚み測定結果により前記樹脂シートを前記第１のシート積載台とは別の第２のシート積載台へ搬送し、前記第１のシート積載台においてシートエンプティを検知し、検知後、前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートを、前記樹脂シートの搬送先である位置合わせ用シート台へ搬送するシート移載方法が提供される。

この発明によれば、自動で樹脂シートを１枚ずつ分離することに失敗しても、製造ラインを即時停止させることなく連続して樹脂シートを移載できるため、製造ラインの稼働率を低下させることなく、確実に樹脂シートを１枚ずつ連続して太陽電池基板に供給することができる。

本発明の実施の形態に係るシート移載装置の正面図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置の第１のシート積載台上の樹脂シートの平面図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置のシート移載時の制御例を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置の移載手段の正面拡大図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置の測定手段による測定状態を示す正面拡大図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置の移動経路を示す図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置による再搬送動作時の第１の移動経路を示す図である。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置によるシートの再搬送動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の実施の形態に係るシート移載装置による再搬送動作時の第２の移動経路を示す図である。

以下、本発明の実施の形態に係るシート移載装置およびシート移載方法について、図１乃至図９を参照しながら説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。

実施の形態１．
図１は本実施形態に係るシート移載装置の正面図である。本実施形態に係るシート移載装置は、樹脂シート１の束を積載する第１のシート積載台２と、この第１のシート積載台２上の樹脂シート１の搬送先である位置合わせ用シート台３とを備えている。シート搬送装置５は、これらの第１のシート積載台２及び位置合わせ用シート台３への移動および上下動によって、第１のシート積載台２上の樹脂シート１を吸着しその樹脂シート１を位置合わせ用シート台３へ搬送する。送風器６は、シート搬送装置５により吸着された樹脂シート１およびシート束の残部の間に空気流を送る。厚み測定器７は、送風器６の空気流によってシート束から分離された樹脂シート１の厚みを測定するもので、４個設けられている。コントローラ９は、厚み測定器７の何れか１個が、樹脂シート１枚分と異なる厚みが測定した場合、シート搬送装置５に樹脂シート１を第１のシート積載台２とは別の積載場所である第２のシート積載台４に搬送させる。

樹脂シート１は太陽電池の製造工程で用いられるバックシートである。そのシートサイズは例えば１１２０×１３２０ｍｍ、シート厚さ１８０μｍであり、予め裁断された樹脂シート１が第１のシート積載台２に平積みされている。シート層構造はアルミフィルムと、このアルミフィルムの両面にコーティングされたＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）層とを有する。表面がＰＥＴ層で覆われているためこの樹脂シート１を分離する際には静電気が発生しやすくなっており、また、樹脂シート１は裁断の際に形成される「だれた」切り口によりシート４辺が第１のシート積載台２の枠に嵌るため、１枚の樹脂シート１をシート束から分離することは難しくなっている。だれた切り口とは、樹脂シート１の切断端部が切断刃具より受けた力の方向に変形しこの切断端部が平滑に仕上がっていない状態のシート断面である。

第１のシート積載台２には２００枚の樹脂シート１が積載されている。第１のシート積載台２には樹脂シート１のシートエンプティを検知するシートセンサ１０（検知手段）が設けられている。シートエンプティとは樹脂シート１が尽きたことあるいはシート残り枚数が決められた枚数を下回って残りわずかであることを言う。また、第１のシート積載台２には積み重ねられた樹脂シート１の位置がずれないようシート束の側面側を保持する側板が設けられており、各側板は第１のシート積載台２との間に隙間を空けて設けられている。

位置合わせ用シート台３はそのテーブル上に置かれた樹脂シート１の位置合わせを行うアラインメント（整位）機能を具備する。位置合わせ用シート台３の上方にはカメラ１３が設けられている。この位置合わせ用シート台３は、移動テーブルを備え、この移動テーブルをその平面内で微小に前後左右に移動させる機構を有する。この機構は、位置合わせ用シート台３上でシート斜行θやシートコーナー部のｘ位置、ｙ位置を整位する。この機構にはカメラ１３からの出力画像を用いてシート端部の位置を画像処理により検出する位置検出ソフトウェアが実装されている。シート厚が薄いためにカメラ１３によって検出された樹脂シート１の位置を位置合わせ用シート台３は機構により規定の位置に合わせられてから樹脂シート１は太陽電池基板積載台８上に移載される。

太陽電池基板積載台８上には太陽電池基板が配置されている。樹脂シート１のこの積載台８への太陽電池基板の移載は上記シート搬送装置５あるいは図示しない他の搬送装置により行われる。

シート搬送装置５は、水平に懸架されたレール１４と、このレール１４により左右に移動し上下に昇降する搬送ヘッド１５と、それぞれこの搬送ヘッド１５に設けられた複数個の吸着パッド１６とを備えている。レール１４は第２のシート積載台４及び位置合わせ用シート台３の間およびそれらの上方位置を含む長さを有する。搬送ヘッド１５は、レール１４により移動する上側フレーム１７と、この上側フレーム１７に設けられた一対のガイド１８と、これらのガイド１８に沿って昇降する一対の上下移動機構１９と、これらの上下移動機構１９に連結された下側フレーム２０とを備えている。下側フレーム２０の下面全面には複数個の吸着パッド１６がマトリクス上に配列されている。これらの吸着パッド１６のうち、下側フレーム２０の図面に向かって左右の辺に沿った２列の吸着パッド１６にはそれぞれパッド先端を上下させるパッド上下機構２１が設けられている。パッド上下機構２１の上下動作により、樹脂シート１は、全面が一斉に持ち上げられ、あるいはシートの左右の端部だけが持ち上げられ樹脂シート１が湾曲される。

下側フレーム２０の左右に配置された送風器６は、搬送ヘッド１５に設けられ水平方向に開口したエアノズル２２と、このエアノズル２２内に空気流を送り込む送風機２３とを備える。エアノズル２２は樹脂シート１が吸着されて持ち上げられるときに空気流を送る。送風機２３には静電気の除去を容易にする除電器２５も設けられている。送風機２３の代わりに工場全体で使用される圧縮空気を利用しても良い。

図２は第１のシート積載台２上の樹脂シート１を上方から見た平面模式図である。図２において樹脂シート１の左右の対向辺のコーナー部には、４つの厚み測定器７が配置されている。厚み測定器７は、搬送ヘッド１５に吸着された樹脂シート１の周辺部を把持し、把持部に内蔵されたマイクロゲージ（図示せず。）等により厚みを計測して測定結果を出力する。この厚み測定器７は図１のスライド機構２６により右方に寄ってシート端部に当たる位置と左方に待避する位置との間を水平にスライド可能に設けられている。尚、４つの厚み測定器７は樹脂シート１の４箇所のコーナー部にそれぞれ配置されており、これらの厚み測定器７の何れか一つがシート周辺部のシート厚を測定するようにしてもよい。樹脂シート１の上下の対向辺のコーナー部には測定機能のない把持器２７が配置されており、これらの把持器２７により樹脂シート１の把持のみを行う。

図１の第２のシート積載台４は厚み測定で不良と判断された樹脂シート１の仮置き場である。ここで不良とは１枚の樹脂シート１の分離に失敗したことを言う。シート搬送装置５は第１のシート積載台２および位置合わせ用シート台３間の直線的な区間を往復移動するが、第２のシート積載台４はこの区間内の第１のシート積載台２よりも外側に設けられている。

コントローラ９は、厚み測定器７から厚み測定結果が不良を示す信号を受信すると、シート搬送装置５が１枚の樹脂シート１の分離に失敗したと判断し、シート搬送装置５に吸着された２枚又は３枚の樹脂シート１を第２のシート積載台４上へ向けて搬送させる。また、コントローラ９はシートセンサ１０により第１のシート積載台２上の樹脂シート１が無くなったことが検知された場合、シート搬送装置５に第２のシート積載台４上の樹脂シート１を位置合わせ用シート台３へ搬送させる。コントローラ９にはＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭが搭載されており、ＣＰＵがＲＯＭのプログラムを実行することにより、シート移載装置に上記の指示を実行させる。

次に上述の構成の本実施形態に係るシート移載装置の動作について説明する。図３はコントローラ９によるシート移載装置の制御例を示すフローチャートである。

まずステップＡ１において、コントローラ９は、図１に示すように、樹脂シート１が積載された第１のシート積載台２の上方に搬送ヘッド１５を移動させる。ステップＡ２において、コントローラ９は搬送ヘッド１５を下降させて、積載された一番上面にある樹脂シート１に吸着パッド１６を接触させる。このステップＡ２ではコントローラ９は更に吸着パッド１６をシート面へ押し込み、吸着パッド１６を確実にシート面に吸着できる位置まで下降させてから、吸着パッド１６により樹脂シート１を吸着させる。

次に、ステップＡ３においてコントローラ９はパッド上下機構２１によりシート１の左右の周辺部だけを１０ｍｍほど持ち上げ、左右のエアノズル２２から除電器２５を通してエアブローを発生させ、エアブローによって静電気により持ち上がった樹脂シート１の下面に付着した他のシートを引き離す。シート周辺部を湾曲させ、かつ除電器２５を通したエアブローをすることによって、１枚分離が比較的容易になる。樹脂シート１の裏面と他のシート表面との間に分布していた電荷が除電され、静電吸着力による付着力がなくなる。

ステップＡ３においては、パッド上下機構２１によってシート周辺部だけが持ち上がりシート面の大半は吸着パッド１６によって押さえ付けられており、また持ち上げ量が少ないため、最上部のシート１とともに持ち上げられた下側のシート１は途中で落下しても樹脂シート１の位置が大きくずれることはなく第１のシート積載台２に設けられた側板から外へはみ出すこともない。

次に、ステップＡ４において、コントローラ９は樹脂シート１による厚みを測定する。図４は搬送ヘッド１５の正面拡大図であり、図５は、図４の左側の厚み測定器７による測定状態を示す正面拡大図である。これら図中既述の符号はそれらと同じ要素を表す。図４に示すように、コントローラ９はスライド機構２６によって吸着された樹脂シート１の端辺部に厚み測定器７を移動させる。図５に示すようにこの厚み測定器７は上下から樹脂シート１のシート周辺部を把持する。厚み測定器７はシート端部を把持すると同時にその把持部に内蔵されたマイクロゲージ等によって樹脂シート１の厚みを測定する。

図３のステップＡ５において、コントローラ９は厚み測定結果により１枚の樹脂シートの分離についその成否を判断する。測定された厚みがシート１枚分よりも大きい場合、樹脂シート１の１枚分離に失敗したとプログラムは判断する。

ステップＡ５（図３）において厚み測定器７により厚み測定を行った結果、シート１枚の分離に成功したとコントローラ９が判定した場合、ＹＥＳルートを通り、ステップＡ６においてコントローラ９は吸着状態の樹脂シート１を移動させる。

図７は第１のシート積載台２から位置合わせ用シート台３への移動経路を示す図である。コントローラ９は搬送ヘッド１５を上昇させてから同図の移動経路（矢印参照）のように樹脂シート１を位置合わせ用シート台３上に搬送し、樹脂シート１をこの位置合わせ用シート台３上に載せてから吸着を解除して樹脂シート１を置く。樹脂シート１は位置合わせ用シート台３上でコーナー部の位置が合わせられる。

続く図３のステップＡ７においてコントローラ９はシートセンサ１０からのシート有無を示す信号を確認する。このステップＡ７において第１のシート積載台２に樹脂シート１が残っている間、ＹＥＳルートを通り、コントローラ９はステップＡ１の処理に進み、樹脂シート１の受け渡し後、搬送ヘッド１５を第１のシート積載台２の上方に戻し、ステップＡ２以降、次の樹脂シート１の搬送を行う。

以後、樹脂シート１を吸着し位置合わせ用シート台３へ搬送することが繰り返される（ステップＡ１からステップＡ７）。

この繰返し搬送の際、ある樹脂シート１に対する厚み測定の結果（ステップＡ４）、１枚分離に失敗したとコントローラ９が判定した場合、２枚以上の樹脂シート１が静電気などによって付着し合っていることが検出される。

ステップＡ５のＮＯルートを通りステップＡ８において、コントローラ９は厚み測定器７のアーム状把持部を閉じ、吸着パッド１６で吸着したまま搬送ヘッド１５を上方に移動させる。コントローラ９は、搬送ヘッド１５を第２のシート積載台４へ移動させる。このステップＡ８では分離されるはずであったが分離されなかった他のシートは、静電気又はシート端部の引っかかりにより一枚目の樹脂シート１に密着したままである。樹脂シート１の吸着搬送の途中、把持器２７により把持状態のままにされているので他のシートはこの樹脂シート１からずれない。コントローラ９は第２のシート積載台４上の樹脂シート１に対しても、図２に示すようにシート１のコーナー部４箇所に位置する厚み測定器７及び把持器２７によって把持状態のまま厚み測定を行う。

更にステップＡ８では、第２のシート積載台４上に搬送ヘッド１５が移動したタイミングでコントローラ９は厚み測定器７のアーム部及び把持器２７の把持部を開放させ、吸着パッド１６の吸着を解除する。ステップＡ８の後、図３のＡルートにより、コントローラ９は搬送ヘッド１５を上方に上昇させ、元の位置である第１のシート積載台２の上方に戻し、以降、次の樹脂シート１の搬送を行う。

このように、１枚の樹脂シート１の分離に失敗しても、その樹脂シート１を別の積載場所に一旦置くため、シート移載装置は製造ラインを停止することなく、第１のシート積載台２上の次の樹脂シートを１枚分離して位置合わせ用シート台３に移載供給することが可能になる。したがって製造ラインの稼働率を下げずに、確実に１枚ずつ連続して樹脂シートを移載し供給することができる。

更に図８は本実施形態に係るシート移載装置による第２のシート積載台４上の樹脂シート１の再搬送動作を説明するためのフローチャートである。既述の符号はそれらと同じ要素を表す。

図９は本実施形態に係るシート移載装置による再搬送動作時の移動経路を示す図である。シートセンサ１０（図１左方）が第２のシート積載台４上の樹脂シート１が無くなったことを検知した場合、コントローラ９は搬送ヘッド１５を第２のシート積載台４の上方へ移動させる（図８のステップＢ１）。コントローラ９はシート移載装置を前述した同様の制御によって動作させる。即ち搬送ヘッド１５は第２のシート積載台４に積載されたシート上に下降し吸着パッド１６はシート最上層に吸着する（ステップＢ２）。搬送ヘッド１５はシート周辺部を持ち上げ、送風器６によりエアブローを送る（ステップＢ３）。厚み測定器７は把持器２７と協働してシート厚みを測定し（ステップＢ４）、１枚分離の判定をコントローラ９は行う（ステップＢ５）。

また、ステップＢ５のＹＥＳルートでは、搬送ヘッド１５は第１のシート積載台２上で１枚分離できた樹脂シート１を位置合わせ用シート台３に移載し吸着解除後に位置決めする（ステップＢ６）。１枚分離できなかった場合、ステップＢ５のＮＯルートを通り、搬送ヘッド１５は空になっている第１のシート積載台２上に移載し吸着を解除する（ステップＢ８）。その後、コントローラ９は図８のＢルートにより、ステップＢ１以降の処理を行う。これにより、第２のシート積載台４に積載されたシート１は不良品として廃棄されることはなく、また、人手によって第１のシート積載台２上に積載することにより、シート１に折り目が付いて不良品になることも防止できる。すなわち、本実施形態に係るシート移載装置においては、分離されなかったシートを再利用できるようになる。

以上のように本実施形態に係るシート移載装置およびシート移載方法によれば、１枚分離できなかった樹脂シート１を他のシートが吸着されたまま、第２のシート積載台４に移載することで、アラームを発することなく連続して移載動作を行うことができるようになる。シート１の１枚を分離できずに一旦第２のシート積載台４へ仮置きして第１のシート積載台２に戻り更に次の１枚の樹脂シート１を分離して位置合わせ用シート台３へ移載するときの所要時間は、１枚を分離できた場合に比較して増加する。しかし、第１のシート積載台２から第２のシート積載台４への移載時間と、第２のシート積載台４から位置合わせ用シート台３への次シートの移載時間との合計時間は、不良発生によるシステム停止時間よりもはるかに短い。したがって、アラームが発生する度に作業者が対処する必要がなくなり、アラーム報知からシート補充完了までの間の生産の滞りが発生しなくなる。また、不良発生時作業員により剥がされた樹脂シートを再利用可能となり、歩留まりの低下が防止される。個々の設備要素を連続的に稼働させ続けることができ、製造ライン全体としてのスループットを高めることができる。

尚、上記の実施形態は実施形態そのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。上記の実施形態では、別の積載場所としての第２のシート積載台４は往復直動方向の下流に設けられていたが、この第２のシート積載台４は第１のシート積載台２から水平面内で往復直動方向と直交する方向に設けられてもよい。本発明の実施の形態に係るシート移載装置は位置センサ、速度センサ又は加速度センサを設け、コントローラ９がこれらのセンサ出力を用いた演算を行うことによって、各装置要素間の位置関係や、搬送ヘッド１５の左右移動及び上下移動時の移動ストローク量、移動速度、方向、あるいは吸着パッド１６の吸着、開放のタイミングなどが制御される。

図２の４箇所のコーナー部の厚み測定器７の構成は図２左下の厚み測定器７の例と同じである。樹脂シート１の手前側のシート周辺と奥行き側のシート周辺とにそれぞれ一対の厚み測定器７が対向配置されており、これらのうちの樹脂シート１が捲られた何れかの厚み測定器７が１枚であるか否かを測定するだけで足りる。

図４〜図７、図９では図１の送風機２３や除電器２５の表示を省略している。

１…樹脂シート、２…第１のシート積載台、３…位置合わせ用シート台、４…第２のシート積載台、５…シート搬送装置、６…送風器、７…厚み測定器、８…積載台、９…コントローラ、１０…シートセンサ、１３…カメラ、１４…レール、１５…搬送ヘッド、１６…吸着パッド、１７…上側フレーム、１８…ガイド、１９…上下移動機構、２０…下側フレーム、２１…パッド上下機構、２２…エアノズル、２３…送風機、２５…除電器、２６…スライド機構、２７…把持器。

Claims (6)

1. 樹脂シートを積載する第１のシート積載台と、
   この第１のシート積載台上の前記樹脂シートの搬送先に設けられ、前記樹脂シートが積載される位置合わせ用シート台と、
   これらの台間を移動し、前記第１のシート積載台上に積載された樹脂シートのうちの最上層の樹脂シートを吸着して前記位置合わせ用シート台へ搬送するシート搬送手段と、
   このシート搬送手段により吸着された前記最上層の樹脂シートおよびその下側の樹脂シートの間に空気を送る送風手段と、
   この送風手段の前記空気によって分離された前記樹脂シートの厚みを測定する測定手段と、
   この測定手段により測定された前記樹脂シートの厚みが、１枚分の厚みとは異なる場合、前記シート搬送手段に前記樹脂シートを前記第１のシート積載台とは別の第２のシート積載台へ搬送させる制御手段と、
   前記第１のシート積載台に設けられた前記樹脂シートの検知手段とを備え、
   この検知手段によるシートエンプティの検知によって、前記制御手段は前記シート搬送手段に前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートを前記位置合わせ用シート台へ搬送させるシート移載装置。
2. 前記制御手段は前記厚み測定結果が不良を示す通知によって１枚の前記樹脂シートの分離失敗と判断し、前記シート搬送手段に吸着された複数枚の樹脂シートを前記第２のシート積載台に搬送させる請求項１記載のシート移載装置。
3. 前記シート搬送手段は前記第１のシート積載台および前記位置合わせ用シート台間を往復移動し、
   前記第２のシート積載台は前記第１のシート積載台よりも外側に設けられた請求項１記載のシート移載装置。
4. 樹脂シートを積載する第１のシート積載台の樹脂シートを吸着し、吸着された前記樹脂シートおよびその下側の樹脂シート間に空気を送り、分離された前記樹脂シートの厚みを測定し、前記樹脂シート１枚分と異なる厚み測定結果により前記樹脂シートを前記第１のシート積載台とは別の第２のシート積載台へ搬送し、
   前記第１のシート積載台においてシートエンプティを検知し、検知後、前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートを、前記樹脂シートの搬送先である位置合わせ用シート台へ搬送するシート移載方法。
5. 前記樹脂シートの厚みの測定は、
   前記樹脂シート１枚が分離されたか、又は複数の樹脂シートが重なって吸着されたかを判断する請求項４記載のシート移載方法。
6. 前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートの前記位置合わせ用シート台への搬送は、
   前記第１のシート積載台および前記位置合わせ用シート台間に対して前記第１のシート積載台よりも外側に位置する前記第２のシート積載台へ移動し、
   上方からの下降により前記樹脂シートを１枚ずつ吸着して分離し、
   前記第２のシート積載台上の前記樹脂シートを前記位置合わせ用シート台へ搬送する請求項４記載のシート移載方法。

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