JP5846686B2 - 光電式エンコーダのスケールの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 89
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 65
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 65
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 27
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 53
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 16
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
Description
図1は、第1の実施の形態に係る光電式エンコーダの概略構成を示す斜視図である。光電式エンコーダ1は、メインスケール10、インデックススケール20、光源30、及び受光部40を有する。メインスケール10は、測定軸Xに沿って延びる。インデックススケール20は、メインスケール10に対して相対的に移動する。光源30は、このインデックススケール20を介してメインスケール10に光を照射する。受光部40は、メインスケール10から反射された光を、インデックススケール20を介して受光する。メインスケール10とインデックススケール20には、それぞれ目盛りを形成する所定ピッチの格子12,22が形成される。メインスケール10とインデックススケール20の相対移動に伴い両スケール10、20に形成された格子12,22の位相は変化する。この変化を受光部40は光学的に検出し、メインスケール10に対するインデックススケール20の位置が検出される。
特に、第1の製造方法によれば、使用するレジスト51にめっき、前処理薬品の耐性等による制限がなく、簡単なプロセスで成膜可能であるという効果がある。
また、第2の製造方法によれば、黒色薄膜12’のエッチングが不要であるため、更なるコストダウンが可能であり、また、サイドエッチングによる格子形状の劣化という問題も生じないという利点がある。
次に、図5を参照して、第2の実施の形態に係る光電式エンコーダについて説明する。第2の実施の形態においては、図5に示すメインスケール10aが第1の実施の形態と異なる。メインスケール10a以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、第2の実施の形態においてはその説明を省略する。
また、本実施形態のうち、粗面がガラス等の反射率の低い材料の場合、乱反射による迷光の影響が小さいという効果がある。
次に、図8を参照して、第3の実施の形態に係る光電式エンコーダについて説明する。第3の実施の形態においては、図8に示すメインスケール10bが第1の実施の形態と異なる。メインスケール10b以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、第3の実施の形態においてはその説明を省略する。また、メインスケール10bにおいて、上記実施の形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、図10を参照して、第4の実施の形態に係る光電式エンコーダについて説明する。第4の実施の形態においては、図10に示すメインスケール10cが第1の実施の形態と異なる。メインスケール10c以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、第4の実施の形態においてはその説明を省略する。また、メインスケール10cにおいて、上記実施の形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
また、本実施形態によれば、ベース材11cが透明部材である場合、メインスケール10cが反射型、透過型のいずれの振幅格子としても使用可能であるという利点がある。
次に、図13を参照して、第5の実施の形態に係る光電式エンコーダについて説明する。第5の実施の形態においては、図13に示すメインスケール10dが第1の実施の形態と異なる。メインスケール10d以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、第5の実施の形態においてはその説明を省略する。また、メインスケール10dにおいて、上記実施の形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
次に、図15を参照して、第6の実施の形態に係る光電式エンコーダについて説明する。第6の実施の形態においては、図15に示すメインスケール10eが第1の実施の形態と異なる。メインスケール10e以外の他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、第6の実施の形態においてはその説明を省略する。また、メインスケール10eにおいて、上記実施の形態と同様の構成については、同一符号を付し、その説明を省略する。
Claims (5)
- ベース材の表面に酸化処理を施して、黒化処理層を形成する工程と、
前記黒化処理層の表面に所定のピッチで配列されたレジストを形成する工程と、
めっき法によって前記レジストの間の黒化処理層の表面に金属膜を形成する工程と、
前記黒化処理層を残す様に前記レジストを除去して前記ベース材に所定のピッチで配列された光反射膜である金属格子を形成する工程と
を備えることを特徴とする光電式エンコーダのスケールの製造方法。 - ベース材の表面に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜の表面に所定のピッチで配列されたレジストを形成する工程と、
めっき法によって前記レジストの間の前記導電膜の表面に金属膜を形成する工程と、
前記導電膜を残す様に前記レジストを除去して前記ベース材に所定のピッチで配列された金属格子を形成する工程と
を備えることを特徴とする光電式エンコーダのスケールの製造方法。 - 前記導電膜は、導電性の金属反射膜であり、
前記金属格子は前記金属反射膜と同種金属の光反射膜である
ことを特徴とする請求項2記載の光電式エンコーダのスケールの製造方法。 - 前記ベース材は、光吸収性材料又は光透過性材料により形成され、
前記導電膜は、透明導電膜であり、
前記金属格子は光反射膜である
ことを特徴とする請求項2記載の光電式エンコーダのスケールの製造方法。 - 前記導電膜は、導電性の光反射膜であり、
前記金属格子は黒化処理された金属膜である
ことを特徴とする請求項2記載の光電式エンコーダのスケールの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011254868A JP5846686B2 (ja) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | 光電式エンコーダのスケールの製造方法 |
CN201210477727.XA CN103134531B (zh) | 2011-11-22 | 2012-11-21 | 光电编码器的刻度盘及其制造方法 |
US13/683,282 US9258007B2 (en) | 2011-11-22 | 2012-11-21 | Scale of photoelectric encoder including base member having roughened surface and manufacturing method of scale |
EP12193695.9A EP2597431B1 (en) | 2011-11-22 | 2012-11-21 | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011254868A JP5846686B2 (ja) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | 光電式エンコーダのスケールの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013108873A JP2013108873A (ja) | 2013-06-06 |
JP5846686B2 true JP5846686B2 (ja) | 2016-01-20 |
Family
ID=47215444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011254868A Active JP5846686B2 (ja) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | 光電式エンコーダのスケールの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9258007B2 (ja) |
EP (1) | EP2597431B1 (ja) |
JP (1) | JP5846686B2 (ja) |
CN (1) | CN103134531B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013100061A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 株式会社ニコン | エンコーダ、エンコーダ用スケールの製造方法、エンコーダの製造方法及び駆動装置 |
JP6425875B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2018-11-21 | 株式会社ミツトヨ | 光電式測定器用スケール、エンコーダ及びスケールの形成方法 |
JP6355349B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-07-11 | 株式会社ミツトヨ | リニアエンコーダ |
JP6475936B2 (ja) * | 2014-08-19 | 2019-02-27 | 株式会社ミツトヨ | エンコーダスケールおよびその製造方法 |
JP6059198B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2017-01-11 | キヤノン・コンポーネンツ株式会社 | めっき皮膜付樹脂製品及びその製造方法、並びにエンコーダ |
JP5925365B1 (ja) * | 2015-05-13 | 2016-05-25 | 株式会社メルテック | 光学式エンコーダ用格子板および光学式エンコーダ用格子板の製造方法 |
JP2017058239A (ja) * | 2015-09-16 | 2017-03-23 | ハイデンハイン株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
DE102015016713A1 (de) * | 2015-12-22 | 2017-06-22 | Giesecke & Devrient Gmbh | Optisch variables Sicherheitselement mit reflektivem Flächenbereich |
CN106248116A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-12-21 | 哈尔滨工业大学 | 一种绝对式高度角光电编码器 |
CN106197490A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-12-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种绝对式方位角光电编码器 |
US10112702B2 (en) | 2017-02-08 | 2018-10-30 | Goodrich Corporation | Hard-landing detection system |
JP7140495B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2022-09-21 | 株式会社ミツトヨ | スケールおよびその製造方法 |
JP6572400B1 (ja) * | 2019-03-28 | 2019-09-11 | 株式会社 アルファー精工 | エンコーダ用スケール、その製造方法、及びこれを用いた制御装置 |
CN110686712A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-01-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种反射式图像光电编码器 |
WO2021230161A1 (ja) * | 2020-05-09 | 2021-11-18 | 京セラ株式会社 | 位置検出用部材 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4343890A (en) * | 1978-07-24 | 1982-08-10 | Rca Corporation | Method for making planar optical waveguide comprising thin metal oxide film incorporating a relief phase grating |
JPS5875004A (ja) | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光電式変位検出装置の反射型スケ−ルの製造方法 |
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JPS60118912U (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-12 | アルプス電気株式会社 | 反射型光学式ロ−タリエンコ−ダのコ−ドホイ−ル |
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JPH06100481B2 (ja) | 1985-07-02 | 1994-12-12 | 旭化成工業株式会社 | ロータリーエンコーダー用ディスクの製造方法 |
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CN1483150A (zh) * | 2000-12-28 | 2004-03-17 | ��ʿͨ��ʽ���� | 导光板和具有该导光板的液晶显示装置 |
JP2003241392A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Mitsutoyo Corp | スケール製作方法及びその装置 |
JP2004333342A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | 投影型エンコーダ |
JP4358583B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2009-11-04 | 株式会社ミツトヨ | スケールの製造方法 |
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JP4833543B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-12-07 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ、それに用いるスケール及びその製造方法 |
JP2006178312A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Canon Inc | 表面反射型位相格子 |
JP2006337321A (ja) | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Mitsutoyo Corp | 光学スケール、及び、その製造方法 |
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JP4963233B2 (ja) | 2007-01-12 | 2012-06-27 | 三菱電機株式会社 | 光学式エンコーダ用スケール |
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JP5308059B2 (ja) | 2008-04-25 | 2013-10-09 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ用スケール |
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JP5138503B2 (ja) | 2008-06-17 | 2013-02-06 | 株式会社アイエイアイ | リニアスケール製造方法 |
JP2010153769A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-07-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板位置検出装置、基板位置検出方法、成膜装置、成膜方法、プログラム及びコンピュータ可読記憶媒体 |
JP2010271174A (ja) | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Nikon Corp | エンコーダ |
-
2011
- 2011-11-22 JP JP2011254868A patent/JP5846686B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-21 US US13/683,282 patent/US9258007B2/en active Active
- 2012-11-21 CN CN201210477727.XA patent/CN103134531B/zh active Active
- 2012-11-21 EP EP12193695.9A patent/EP2597431B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130127644A1 (en) | 2013-05-23 |
EP2597431A1 (en) | 2013-05-29 |
JP2013108873A (ja) | 2013-06-06 |
EP2597431B1 (en) | 2019-04-24 |
US9258007B2 (en) | 2016-02-09 |
CN103134531A (zh) | 2013-06-05 |
CN103134531B (zh) | 2017-10-27 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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