JP2009276306A - エンコーダスケールおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】目盛りパターン導線20を備えるエンコーダスケールにおいて、ガラス基板10と、ガラス基板10の表面に設けられ、クロム原子、モリブデン原子、またはチタン原子のうちいずれかを含んで形成され、目盛りパターンを描くガラス密着金属層12と、ガラス密着金属層12に重ねて設けられる銅薄膜14と、を備え、目盛りパターン導線20は、銅薄膜14に電気めっきによって付着した銅によって形成される。
【選択図】図2B
Description
Claims (3)
- 目盛りパターン導線を備えるエンコーダスケールにおいて、
ガラス基板と、
前記ガラス基板の表面に設けられ、クロム原子、モリブデン原子、またはチタン原子のうちいずれかを含んで形成され、目盛りパターンを描くガラス密着金属層と、
前記ガラス密着金属層に重ねて設けられる銅薄膜と、
を備え、
前記目盛りパターン導線は、
前記銅薄膜に電気めっきによって付着した銅によって形成されることを特徴とするエンコーダスケール。 - 請求項1に記載のエンコーダスケールにおいて、
前記ガラス密着金属層と同一の物質によって形成され、前記ガラス基板の表面に設けられた光電式エンコーダ用格子膜を備えることを特徴とするエンコーダスケール。 - 目盛りパターン導線を備えるエンコーダスケールの製造方法において、
クロム原子、モリブデン原子、またはチタン原子のうちいずれかを含んで形成されるガラス密着金属層を、ガラス基板の表面に形成するステップと、
前記ガラス密着金属層上に銅薄膜を形成するステップと、
電気めっきによって前記銅薄膜上に銅を付着させ、当該付着した銅によって前記目盛りパターン導線を形成するステップと、
を含むことを特徴とするエンコーダスケールの製造方法。
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