JP2017090316A - エンコーダスケール - Google Patents
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Abstract
Description
リニアエンコーダには、複数の検出方式が採用されており、例えば光学式リニアエンコーダや静電容量式リニアエンコーダが用いられているほか、電磁誘導式リニアエンコーダが用いられている(特許文献1および特許文献2参照)。
電極層を設ける基板には、ガラス基板が用いられている。電極層に用いられる銅は、ガラスに付着しにくい。このため、電極層とガラス基板との間には、接合性を改善するための接合層が配置される。銅およびガラスの両方に親和性が良好な材料として、接合層にはクロムが多用されている。
ガイド機構は、回転自在のローラを有するとともに、ガラス基板の表面には接合層で覆われずにガラスが露出している帯状のガイド面が形成されている。ローラがガイド面を転動することで、エンコーダヘッドはエンコーダスケールに対して一定の間隔を保持されつつ、エンコーダスケールの長手方向へ円滑に移動することができる。
図7において、ガラス製の基板141上には接合層142Aが形成され、接合層142A上には電極層143Aが積層されている。電極層143Aおよび接合層142Aは、基板141上に成膜したうえ、フォトリソグラフィ法等を用いて、所定の電極パターンに形成されたものである。電極パターンとされた電極層143Aおよび接合層142Aは、合成樹脂製の保護層145で覆われている。
また、接地のための帯電防止電極142Bを形成するために、接合層142Aと異なる工程が別途必要であった。このように、従来のエンコーダスケール104は、多くの製造工程を必要としていた。
このような問題に対し、本願出願人により、製造工程が簡素であり、かつ帯電を防止できるエンコーダスケールおよびその製造方法が提案されている(特願2014−166654)。
図8において、ガラス製の基板141上には接合層142が形成され、接合層142上には電極層143Aが積層されている。ここで、接合層142は一連とされ、その上の電極層143Aだけが電極パターンに形成されている。また、別個の帯電防止電極(図7の142B)は省略され、接地線146は一連の接合層142に接続されている。これらの接合層142および電極層143Aは、合成樹脂製の保護層145で覆われている。
このような図8のエンコーダスケール114によれば、帯電防止電極(図7の142B)が省略できるため、その形成のための別工程を省略しつつ、連続した接合層142による帯電防止効果を得ることができる。
エンコーダスケール114は、エンコーダヘッドに対向配置され、電極層143Aでの誘導電流の検出を行う関係上、エンコーダヘッドと電極層143Aとの間隔は小さいことが好ましい。
しかし、合成樹脂性の保護層145を用いると、膜厚が大きくなって、エンコーダヘッドとの間隔を小さくできないという問題があった。
合成樹脂製の保護層145は、流動性の樹脂材料を基板141の上面に、接合層142および電極層143Aが覆われるように塗布し、固化させることで形成される。
ここで、合成樹脂性の保護層145の膜厚は、接合層142や電極層143Aなどの金属成膜に比べて大きくなり、エンコーダヘッドとの間隔を小さくできなかった。
さらに、合成樹脂性の保護層145の膜厚は、部位による変動が大きく、最大膜厚を避ける必要から、エンコーダヘッドとの間隔縮小が難しくなる原因となっていた。
基板としては、スケールとしての剛性を有し、かつ絶縁性を有する材料が好ましく、例えばガラスが用いられる。
電極層は、エンコーダヘッドからの磁界により誘導電流を生じるものであり、導電率が高い金属、例えば銅が用いられる。電極層は、スケールの延長方向に配列された複数の電極パターンで形成される。
保護層は、電極層を周囲の基板表面とともに覆う金属被膜であって、導電性が電極層より小さい材料であることが好ましく、例えばクロムが用いられる。
さらに、保護層は、素材として用いる金属被膜の導電性が、電極層よりも小さいため、例えば基板の表面全体に及ぶような保護層で、複数の電極層を一括して覆っても、エンコーダヘッドによる電極層の検出を確実に行うことができる。
すなわち、エンコーダヘッドからの磁界により、電極層に誘導電流が生じている状態でも、保護層では誘導電流がほとんど生じない状態とすることができる。このため、エンコーダヘッドからは、保護層で覆われた電極層のパターンを確実に識別することができる。
さらに、本発明では、基板の表面に、電極層および保護層という2層構造だけを形成すればよく、従来の3層以上の構成に比べて成膜およびエッチングなどの加工を省略でき、製造時のコスト低減や時間短縮が図れるとともに、スケールとしての小型化を図ることができる。
保護層の接地は、保護層に接地線を接続することで行うことができる。
このような本発明では、保護層を帯電防止電極として利用することができる。このため、別途の帯電防止電極を形成する処理を省略することができる。
本発明においては、基板の表面に、接合層、電極層、保護層という3層構造が形成される。電極パターンで電極層がない領域では、接合層および保護層の2層構造となる。
接合層は、基板および電極層との親和性が高く、導電性が電極層より小さい材料であることが好ましく、例えばクロムが用いられる。
さらに、複数の電極層に対して一連の接合層を用いれば、複数の電極層に対して一括して対応できる。そして、複数の電極層に対して一連の接合層であっても、接合層に導電性が電極層より小さい材料を用いることで、エンコーダヘッドによる電極層の検出を確実に行うことができる。
接合層の接地は、接合層に接地線を接続することで行うことができる。
このような本発明では、接合層を帯電防止電極として利用することができる。このため、別途の帯電防止電極を形成する処理を省略することができる。
また、接合層を帯電防止電極として利用することで、保護層を帯電防止電極とすることは必要なくなり、保護層の材料選択の自由度を高めることができる。
〔第1実施形態〕
図1から図4の各図には、本発明の第1実施形態が示されている。
図1において、電磁誘導式エンコーダである電磁誘導式リニアエンコーダ1は、測定方向であるX方向に沿って延びるメインスケール2と、このメインスケール2に対してX方向に相対移動するエンコーダヘッド3とを有する。
図2にも示すように、エンコーダヘッド3は、メインスケール2に沿って移動可能な本体30を有するとともに、メインスケール2の内部に配置された検出部33を有する。本体30と検出部33とは板状の接続部32で接続されている。
エンコーダヘッド3がメインスケール2に対して移動するときには、エンコーダヘッド3の接続部32が、閉じていた両リップ22の合わせ目をかき分けながら移動する。図示しないが、接続部32は、両リップ22の合わせ目をかき分けやすいように、前後の先端が細くなった紡錘形の断面形状に形成されている。
基板41の表面には、エンコーダヘッド3の検出部33が対向配置されている。
検出部33は、基板41の表面に臨む表面にピックアップコイル31を有し、複数の電極層43Aに対する相対移動を検出可能である。
第1ローラ34は、エンコーダスケール4の基板41の表面の両側のガイド面41Aに転動可能である。第2ローラ35は、基板41の一方の側面41Bに転動可能である。
これらの第1ローラ34および第2ローラ35により、検出部33がエンコーダスケール4に沿って移動する際に、相互の間隔および位置を一定に維持することができる。
より詳しくは、基板41の表面にはクロム薄膜による接合層42が形成され、その表面に複数の電極層43Aが形成され、その表面にクロム薄膜による保護層45が形成されている。
本実施形態では、接合層42に接地線46が接続され、電気的に接地されることで帯電防止されている。
図4(A)において、先ず、蒸着あるいはスパッタリング等の真空成膜法により、基板41上に接合層42を形成する。
接合層42は、例えば50nm〜100nmの厚みを有し、材料として導電性を有するクロムが用いられている。
次に、接合層42上に銅製の電極層43を形成する。
銅はガラスに直接付着し難い性質を有するが、基板41と電極層43の間に、銅とガラスとのいずれに対しても良好な親和性を有するクロム製の接合層42を設けることで、電極層43が十分な強度で基板41に付着させることができる。
銅薄膜の厚みは例えば200nm〜500nmであり、電極層43の厚みは例えば1μm〜100μmである。なお、電極層43の形成は、溶射やプリントによって行ってもよい。
電極層43が形成できたら、電極パターン47に応じた所定のパターンで、レジスト44を電極層43上に付着させる。この工程にはリソグラフィ法等によって行われる。
ここまでの工程が完了した状態が、図4(A)に示す状態である。
これにより、一連であった電極層43(図4(A)参照)から、複数の電極層43Aが形成される(図4(C)参照)。
保護層45は、接合層42と同様に、蒸着あるいはスパッタリング等の真空成膜法によって形成され、例えば50nm〜100nmの厚みを有し、材料には導電性を有するクロムが用いられている。
すなわち、エンコーダヘッド3のピックアップコイル31からの磁界により、電極層43Aに誘導電流が生じている状態でも、保護層45では誘導電流がほとんど生じない状態とすることができる。このため、エンコーダヘッド3からは、保護層45で覆われた電極層43Aによる電極パターン47を確実に識別することができる。
このため、基板41の材料がガラスで、電極層43Aの材料が銅で、互いの接合性が低い場合でも、接合層42により基板41と電極層43Aとの接合性を改善することができる。
さらに、複数の電極層43Aに対して一連の接合層42を用いれば、複数の電極層43Aに対して一括して対応できる。そして、複数の電極層43Aに対して一連の接合層42であっても、接合層42に導電性が電極層43Aより小さい材料を用いることで、エンコーダヘッド3のピックアップコイル31による電極層43Aの検出を確実に行うことができる。
また、接合層42を帯電防止電極として利用することで、保護層45を帯電防止電極とすることは必要なくなり、保護層45の材料選択の自由度を高めることができる。
図5および図6には、本発明の第2実施形態が示されている。
本実施形態のエンコーダスケール4Aは、基本構成が前述した第1実施形態のエンコーダスケール4と同じである。従って、以下には共通部分についての重複する説明は省略し、相違部分についてのみ説明する。
すなわち、図5のように、基板41の表面に直接、電極層43Aが形成されている。
これにより、本実施形態のエンコーダスケール4では、電極パターン47となる領域では、基板41の表面に、電極層43A、保護層45という2層構造が形成され、電極パターン47でない領域では、保護層45だけの1層構造とされている。
さらに、本実施形態では、保護層45に接地線46が接続して接地がとられている。
図6(A)において、基板41上に銅製の電極層43を形成する。電極層43の形成は、第1実施形態と同様に行えばよい。
電極層43が形成できたら、電極パターン47に応じた所定のパターンで、レジスト44を電極層43上に付着させる。
これにより、一連であった電極層43(図6(A)参照)から、複数の電極層43Aが形成される(図6(C)参照)。
続いて、図6(D)に示すように、複数の電極層43Aの全体を覆う保護層45を形成する。保護層45の形成は、第1実施形態と同様に行えばよい。
保護層45が形成できたら、保護層45に接地線46を接続する。
ただし、接合層42がないため、接合層42による基板41と電極層43Aとの接合性の改善効果は得られない。
一方で、接合層42の形成に必要な処理を省略することができ、製造工程の簡略化に有効である。従って、基板41の材料と電極層43Aの材料とが、各々の接合性に特段の問題が生じない組み合わせであれば、本実施形態を採用することで、製造コストの削減および効率化を図ることができる。
例えば、前記各実施形態では、電極層43Aの形状が角環状のコイルパターンであったが、他の形状でもよく、例えば、中実の方形や円形であってもよく、左右に折れ曲がったジグザグ形状であってもよい。つまり、電気が通る島状のものであれば、形状は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、実施形態では、基板41の材料がガラスであったが、所期の剛性を有する絶縁体であればよく、例えば、セラミック、サファイアまたは石英であってもよく、合成樹脂材料であってもよい。
また、前記実施形態では、電極層43Aの材料が銅であったが、電気抵抗が小さい材料であればよく、例えば、金や銀であってもよい。
前記実施形態では、接合層42の材料がクロムであったが、電気抵抗が電極層43Aよりも大きく、電磁誘導が発生しにくい材料であればよく、例えば、ニッケルやチタンであってもよい。
Claims (4)
- 基板と、前記基板の表面に配列された複数の電極層と、複数の前記電極層および前記電極層の周囲の前記基板の表面を覆う保護層とを有し、前記保護層は、前記電極層よりも導電性が小さい金属被膜で形成されていることを特徴とするエンコーダスケール。
- 請求項1に記載のエンコーダスケールにおいて、
前記保護層は接地されていることを特徴とするエンコーダスケール。 - 請求項1または請求項2に記載のエンコーダスケールにおいて、
前記基板の表面には接合層が形成され、前記接合層の表面に複数の前記電極層が配列されていることを特徴とするエンコーダスケール。 - 請求項3に記載のエンコーダスケールにおいて、
前記接合層は接地されていることを特徴とするエンコーダスケール。
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