JP5588466B2 - タッチパネルの配線構造 - Google Patents
タッチパネルの配線構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5588466B2 JP5588466B2 JP2012005913A JP2012005913A JP5588466B2 JP 5588466 B2 JP5588466 B2 JP 5588466B2 JP 2012005913 A JP2012005913 A JP 2012005913A JP 2012005913 A JP2012005913 A JP 2012005913A JP 5588466 B2 JP5588466 B2 JP 5588466B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- pattern
- wiring pattern
- metal oxide
- sensor electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
Description
のグランドパターン6が、一度のパターンニング工程で形成される。
3 センサー電極
5 配線パターン
6 グランドパターン(導電パターン)
7 絶縁コート
21 配線パターン
51 酸化金属薄膜層
52 メタル配線パターン
211 メタル配線パターン
212 酸化金属薄膜層
TH スルーホール
Claims (4)
- 絶縁基板の平面上に配線され、前記平面上に形成されたセンサー電極と外部接続部とを電気接続する配線パターンと、
センサー電極と配線パターンとの間を横切る導電パターンと、
導電パターンと配線パターンを覆う絶縁コートと、
絶縁コートを介して導電パターンを跨ぎ、一方側がセンサー電極に接続し、他方側が配線パターン上の絶縁コートに形成されたスルーホールを介して配線パターンに電気接続する連結パターンとを備え、
前記配線パターンは、メタル配線パターンの表面に酸化金属薄膜層を有して形成され、
前記スルーホール内において、前記連結パターンは表面が露出した前記酸化金属薄膜層に接続され、
前記酸化金属薄膜層は、前記メタル配線パターン上に積層して形成され、前記酸化金属薄膜層と前記メタル配線パターンとが、フォトリソグラフィ法を用いた同一のパターンニング工程で形成されることを特徴とするタッチパネルの配線構造。 - 前記メタル配線パターンが、モリブデンとアルミニウムを含む導電材料で形成されることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネルの配線構造。
- 前記酸化金属薄膜層及び前記センサー電極は、ITO(Indium Tin Oxie)、IGO(Indium Gallium Oxide)、IZO(Indium ZinOxide)の内の一つであることを特徴とする、請求項1または2記載のタッチパネルの配線構造。
- 絶縁基板の平面上に、
金属薄膜を形成する工程と、
前記平面全体に酸化金属薄膜を形成させる工程と、
前記金属薄膜と前記酸化金属薄膜とをエッチングすることによって、前記酸化金属薄膜のみからなるセンサー電極と、前記金属薄膜と前記酸化金属薄膜とが積層してなる導電パターンと配線パターンとを一度に形成する工程と、
前記センサー電極と前記導電パターンと前記配線パターンとを覆う絶縁コートを形成する工程と、
前記絶縁コートの一部をドライエッチングして除去することによって、前記配線パターンをなす酸化金属薄膜が露出するスルーホールを形成する工程と、
前記絶縁コートを介して前記導電パターンを跨ぎ、一方側が前記センサー電極に接続し、他方側が前記スルーホールを介して前記配線パターンに電気接続する連結パターンを形成する工程と、
を含むことを特徴とするタッチパネル配線構造の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012005913A JP5588466B2 (ja) | 2012-01-16 | 2012-01-16 | タッチパネルの配線構造 |
TW101129711A TW201331800A (zh) | 2012-01-16 | 2012-08-16 | 觸控面板的配線構造及其製造方法 |
CN201210348100.4A CN103207699B (zh) | 2012-01-16 | 2012-09-18 | 触摸面板的布线结构及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012005913A JP5588466B2 (ja) | 2012-01-16 | 2012-01-16 | タッチパネルの配線構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013145486A JP2013145486A (ja) | 2013-07-25 |
JP5588466B2 true JP5588466B2 (ja) | 2014-09-10 |
Family
ID=48754947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012005913A Expired - Fee Related JP5588466B2 (ja) | 2012-01-16 | 2012-01-16 | タッチパネルの配線構造 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5588466B2 (ja) |
CN (1) | CN103207699B (ja) |
TW (1) | TW201331800A (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014222483A (ja) | 2013-05-14 | 2014-11-27 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 電子部品 |
JP5762507B2 (ja) * | 2013-06-05 | 2015-08-12 | アルプス電気株式会社 | 入力装置 |
TWI512582B (zh) * | 2013-08-30 | 2015-12-11 | Au Optronics Corp | 觸控面板與觸控顯示面板 |
JP6242710B2 (ja) * | 2014-02-19 | 2017-12-06 | アルプス電気株式会社 | 入力装置の製造方法 |
JP2016009419A (ja) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | 三菱電機株式会社 | タッチパネル構造及びその製造方法並びに表示装置及びその製造方法 |
KR102248460B1 (ko) | 2014-08-08 | 2021-05-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법 |
JP6374816B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2018-08-15 | アルプス電気株式会社 | 入力装置 |
US9715304B2 (en) * | 2015-06-30 | 2017-07-25 | Synaptics Incorporated | Regular via pattern for sensor-based input device |
CN107515503A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-26 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 滤光片、镜头模组和成像模组 |
JP6942602B2 (ja) * | 2017-10-19 | 2021-09-29 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置の製造方法 |
CN109947292B (zh) * | 2019-03-14 | 2022-07-19 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种窄边框触摸屏的制备方法、窄边框触摸屏及显示装置 |
WO2021005695A1 (ja) * | 2019-07-08 | 2021-01-14 | 株式会社Anova | タッチパネル構造及びタッチパネル構造の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004355545A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Pentel Corp | 静電容量型デジタル式タッチパネル装置 |
JP2010160670A (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Seiko Epson Corp | タッチパネルの製造方法、タッチパネル、表示装置、及び電子機器 |
JP5278759B2 (ja) * | 2009-05-28 | 2013-09-04 | 凸版印刷株式会社 | 静電容量型入力装置 |
WO2010150668A1 (ja) * | 2009-06-23 | 2010-12-29 | ジオマテック株式会社 | 静電容量型入力装置及びその製造方法 |
US8780061B2 (en) * | 2010-02-11 | 2014-07-15 | Lg Display Co., Ltd. | Electrostatic capacity type touch screen panel and method of manufacturing the same |
KR101107173B1 (ko) * | 2010-02-11 | 2012-01-25 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
JP5531707B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-06-25 | 大日本印刷株式会社 | タッチパネルセンサ一体型カラーフィルタの製造方法 |
-
2012
- 2012-01-16 JP JP2012005913A patent/JP5588466B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-08-16 TW TW101129711A patent/TW201331800A/zh unknown
- 2012-09-18 CN CN201210348100.4A patent/CN103207699B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103207699B (zh) | 2016-04-27 |
TW201331800A (zh) | 2013-08-01 |
JP2013145486A (ja) | 2013-07-25 |
CN103207699A (zh) | 2013-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5588466B2 (ja) | タッチパネルの配線構造 | |
JP5826809B2 (ja) | タッチパネル及び製造方法 | |
KR102017155B1 (ko) | 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 | |
JP5133449B1 (ja) | 透明タッチパネル | |
US9153385B2 (en) | Electrode structure of the touch panel, method thereof and touch panel | |
US20100053114A1 (en) | Touch panel apparatus and method for manufacturing the same | |
KR20150094808A (ko) | 터치 패널 및 터치 패널의 제조 방법 | |
KR101103536B1 (ko) | 강화유리 일면에 두 층의 투명도전막을 갖는 정전용량방식 터치패널 및 그 제조방법 | |
TWI567609B (zh) | 觸控面板 | |
KR20150052682A (ko) | 터치 패널 및 이의 제조 방법 | |
KR101383673B1 (ko) | 터치패널 제조용 패드, 이를 이용한 터치패널 제조방법 및 이에 의해 제조되는 터치패널 | |
KR20130099722A (ko) | 터치 검지용 패널 및 그 제조 방법 | |
KR101496250B1 (ko) | 터치 패널 및 이의 제조 방법 | |
KR101467666B1 (ko) | 터치 스크린 패널 | |
KR20120023288A (ko) | 터치 패널 및 이의 제조 방법 | |
KR102343598B1 (ko) | 터치 패널 및 이를 포함하는 화상 표시 장치 | |
JP2015069634A (ja) | タッチパネル及びその製造方法 | |
KR20140000479A (ko) | 터치 패널 및 이의 제조방법 | |
JP5762507B2 (ja) | 入力装置 | |
JP2013156725A (ja) | タッチパネルおよび表示装置 | |
JP6242710B2 (ja) | 入力装置の製造方法 | |
KR101469149B1 (ko) | 터치 패널 및 제조 방법 | |
JP2011186977A (ja) | 入力装置の製造方法 | |
KR20150120169A (ko) | 터치 패널 및 제조 방법 | |
JP2020101888A (ja) | タッチスクリーンおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140708 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5588466 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |