JP2016009419A - タッチパネル構造及びその製造方法並びに表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】引出配線領域A8において、低抵抗導電膜51の表面が露出したコンタクトホール57が形成され、低抵抗導電膜51の表面を含むコンタクトホール57の底面及び側面並びに上層層間絶縁膜64の表面の一部上に保護導電膜55が形成され、低抵抗導電膜61の表面が露出したコンタクトホール67が形成され、低抵抗導電膜61の表面を含むコンタクトホール67の底面及び側面並びに上層層間絶縁膜64の表面の一部上に保護導電膜65が形成される。そして、低抵抗導電膜51及び保護導電膜55の積層構造により下層配線15用の下層端子部17が構成され、低抵抗導電膜61及び保護導電膜65の積層構造により上層配線16用の上層端子部18が構成される。
【選択図】図3
Description
図1はこの発明における実施の形態の表示装置の全体構成を示す平面図であり、図2は、図1におけるA−A断面を示す断面図である。なお、図1においてXY直交座標系を示している。
以下、表示装置100の断面構造を参照することにより、本願発明に係る実施の形態であるCF付タッチパネル基板30(タッチパネル構造)について説明する。図3は、図1に示す表示領域A7におけるB−B断面、及びX位置検知用配線2及びY位置検知用配線3用の引出配線領域A8の各端子部を抽出し抽象化した断面構造を示している。
Claims (9)
- 一方主面及び他方主面を有する基板と、
前記基板の一方主面上に形成され、表示領域と外部接続用の外部端子部が設けられる引出配線領域とを有するタッチパネル層と、
前記基板の他方主面上に形成されるカラーフィルター層とを備え、前記カラーフィルター層は前記タッチパネル層の前記表示領域と平面視重複して形成され、
前記タッチパネル層は、
下部導電膜、低反射膜及び透明膜の順で積層される積層配線を含み、
前記積層配線を覆って形成される層間絶縁膜と、
前記引出配線領域に選択的に形成され、前記層間絶縁膜、前記透明膜及び前記低反射膜を貫通して、露出した前記下部導電膜の表面を底面とした開口部と、
前記開口部における前記下部導電膜を含む底面及び側面上に形成される保護導電膜とをさらに含み、前記下部導電膜及び前記保護導電膜は前記外部端子部として機能する、
タッチパネル構造。 - 請求項1記載のタッチパネル構造であって、
前記透明膜は前記層間絶縁膜よりも高い屈折率を有することを特徴とする、
タッチパネル構造。 - 請求項1または請求項2記載のタッチパネル構造であって、
前記透明膜は、屈折率が1.7〜2.4の材料で構成され、膜厚が30〜70nmに設定される、
タッチパネル構造。 - 請求項1から請求項3のうち、いずれか1項に記載のタッチパネル構造であって、
前記低反射膜の膜厚は、最大膜厚に対する最小膜厚の比率(最小膜厚/最大膜厚)が0.6を超えるように設定される、
タッチパネル構造。 - 請求項1から請求項4のうち、いずれか1項に記載のタッチパネル構造であって、
前記低反射膜はアルミを主成分とした窒化金属膜より構成され、
窒化度が窒素の組成比で30〜50at%である、
タッチパネル構造。 - 請求項1から請求項5のうち、いずれか1項に記載のタッチパネル構造であって、
前記積層配線は第1の方向に延びて形成される第1の積層配線と前記第1の方向と平面視交差する第2の方向に延びて、前記第1の積層配線より上方に形成される第2の積層配線を含み、
前記外部端子部は前記第1及び第2の積層配線と同一層に形成される第1及び第2の外部端子部を含み、
前記下部導電膜は第1及び第2の下部導電膜を含み、前記低反射膜は第1及び第2の低反射膜を含み、前記透明膜は第1及び第2の透明膜を含み、前記保護導電膜は第1及び第2の保護導電膜を含み、
前記第1の積層配線は、前記第1の下部導電膜、前記第1の低反射膜及び前記第1の透明膜の順で積層され、
前記第2の積層配線は、前記第2の下部導電膜、前記第2の低反射膜及び前記第2の透明膜の順で積層され、
前記第1の外部端子部は、前記第1の下部導電膜及び前記第1の保護導電膜により構成され、前記第2の外部端子部は、前記第2の下部導電膜及び前記第2の保護導電膜により構成され、
前記層間絶縁膜は、前記第1の積層配線を覆って形成される第1の層間絶縁膜と、前記第2の積層配線を覆って形成される第2の層間絶縁膜とを含み、前記第2の積層配線は前記第1の層間絶縁膜上に形成される、
タッチパネル構造。 - 請求項1から請求項6のうち、いずれか1項に記載のタッチパネル構造を有し、
前記表示領域における前記層間絶縁膜側を表示観察面としてなる、
表示装置。 - (a) 一方主面及び他方主面を有する基板を準備するステップと、
(b) 前記基板の一方主面上に、表示領域と外部接続用の外部端子部が設けられる引出配線領域とを有するタッチパネル層を形成するステップと、
(c) 前記ステップ(b) の実行後に、前記基板の他方主面上にカラーフィルター層を形成するステップとを備え、前記カラーフィルター層は前記タッチパネル層の前記表示領域と平面視重複して形成され、
前記ステップ(b) は、
(b-1) 前記基板上に、下部導電膜、低反射膜及び透明膜の順で積層される積層配線を形成するステップと、
(b-2) 前記積層配線を覆って層間絶縁膜を形成するステップと、
(b-3) 前記引出配線領域において、前記層間絶縁膜、前記透明膜及び前記低反射膜を貫通して、露出した前記下部導電膜の表面を底面とした開口部を選択的に形成するステップと、
(b-4) 前記開口部における前記下部導電膜を含む底面及び側面上に保護導電膜を形成するステップとを含み、前記引出配線領域における前記下部導電膜及び前記保護導電膜は前記外部端子部として機能する、
タッチパネル構造の製造方法。 - 請求項8記載のタッチパネル構造の製造方法を用いて前記タッチパネル構造を得るステップと、
前記表示領域における前記層間絶縁膜側が表示観察面となるように、液晶部及びその駆動部を含む前記タッチパネル構造以外の構造を形成するステップと、
を備える、
表示装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014130972A JP2016009419A (ja) | 2014-06-26 | 2014-06-26 | タッチパネル構造及びその製造方法並びに表示装置及びその製造方法 |
US14/741,543 US9727189B2 (en) | 2014-06-26 | 2015-06-17 | Touch panel structure, method for manufacturing touch panel structure and method for manufacturing display apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014130972A JP2016009419A (ja) | 2014-06-26 | 2014-06-26 | タッチパネル構造及びその製造方法並びに表示装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016009419A true JP2016009419A (ja) | 2016-01-18 |
Family
ID=54930424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014130972A Pending JP2016009419A (ja) | 2014-06-26 | 2014-06-26 | タッチパネル構造及びその製造方法並びに表示装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9727189B2 (ja) |
JP (1) | JP2016009419A (ja) |
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2014
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20150378475A1 (en) | 2015-12-31 |
US9727189B2 (en) | 2017-08-08 |
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