JP2013145486A - タッチパネルの配線構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メタル配線パターンの少なくとも一部に酸化金属薄膜層を積層して配線パターンを形成し、スルーホールの内底面には、酸化金属薄膜層を臨ませるので、メタル配線パターンがドライエッチングの工程で酸化して劣化することがない。
【選択図】図2
Description
3 センサー電極
5 配線パターン
6 グランドパターン(導電パターン)
7 絶縁コート
21 配線パターン
51 酸化金属薄膜層
52 メタル配線パターン
211 メタル配線パターン
212 酸化金属薄膜層
TH スルーホール
Claims (7)
- 絶縁基板の平面上に配線され、前記平面上に形成されたセンサー電極と外部接続部とを電気接続する配線パターンと、
センサー電極と配線パターンとの間を横切る導電パターンと、
導電パターンと配線パターンを覆う絶縁コートと、
絶縁コートを介して導電パターンを跨ぎ、一方側がセンサー電極に接続し、他方側が配線パターン上の絶縁コートに形成されたスルーホールを介して配線パターンに電気接続する連結パターンとを備え、
前記配線パターンは、メタル配線パターンの少なくとも一部に酸化金属薄膜層を有して形成され、
前記スルーホール内において、前記連結パターンは前記酸化金属薄膜層に接続されていることを特徴とするタッチパネルの配線構造。 - 前記酸化金属薄膜層と前記センサー電極は、一の皮膜からフォトリソグラフィ法を用いた同一のパターンニング工程で形成され、
前記配線パターンは、前記スルーホールの形成部位を除く前記酸化金属薄膜層上にメタル配線パターンを積層して形成されることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネルの配線構造。 - 前記酸化金属薄膜層は、前記メタル配線パターン上に積層して形成され、前記酸化金属薄膜層と前記メタル配線パターンとが、フォトリソグラフィ法を用いた同一のパターンニング工程で形成されることを特徴とする請求項1に記載のタッチパネルの配線構造。
- 前記メタル配線パターンが、モリブデンとアルミニウムを含む導電材料で形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のタッチパネルの配線構造。
- 前記酸化金属薄膜層及び前記センサー電極は、ITO(Indium Tin Oxie)、IGO(Indium Gallium Oxide)、IZO(Indium ZinOxide)の内の一つであることを特徴とする、請求項1から4記載のタッチパネルの配線構造。
- 絶縁基板の平面上に、
酸化金属薄膜を形成する工程と、
当該酸化金属薄膜をエッチングすることによって、センサー電極と導電パターンと配線パターンとを形成する工程と、
前記導電パターン、前記配線パターンの少なくとも一部にメタル配線パターンを積層させる工程と、
前記センサー電極と前記導電パターンと前記配線パターンとを覆う絶縁コートを形成する工程と、
前記絶縁コートの一部をドライエッチングで除去することによって、前記配線パターンをなす酸化金属薄膜が露出するスルーホールを形成する工程と、
前記絶縁コートを介して前記導電パターンを跨ぎ、一方側が前記センサー電極に接続し、他方側が前記スルーホールを介して前記配線パターンに電気接続する連結パターンを形成する工程と、
を含むことを特徴とするタッチパネル配線構造の製造方法。 - 絶縁基板の平面上に、
金属薄膜を形成する工程と、
前記平面全体に酸化金属薄膜を形成させる工程と、
前記金属薄膜と前記酸化金属薄膜とをエッチングすることによって、前記酸化金属薄膜のみからなるセンサー電極と、少なくとも一部が前記金属薄膜と前記酸化金属薄膜とが積層してなる導電パターンと配線パターンとを形成する工程と、
前記センサー電極と前記導電パターンと前記配線パターンとを覆う絶縁コートを形成する工程と、
前記絶縁コートの一部をドライエッチングして除去することによって、前記配線パターンをなす酸化金属薄膜が露出するスルーホールを形成する工程と、
前記絶縁コートを介して前記導電パターンを跨ぎ、一方側が前記センサー電極に接続し、他方側が前記スルーホールを介して前記配線パターンに電気接続する連結パターンを形成する工程と、
を含むことを特徴とするタッチパネル配線構造の製造方法。
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