JP2006337321A - 光学スケール、及び、その製造方法 - Google Patents
光学スケール、及び、その製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006337321A JP2006337321A JP2005165475A JP2005165475A JP2006337321A JP 2006337321 A JP2006337321 A JP 2006337321A JP 2005165475 A JP2005165475 A JP 2005165475A JP 2005165475 A JP2005165475 A JP 2005165475A JP 2006337321 A JP2006337321 A JP 2006337321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical scale
- scale
- manufacturing
- mirror
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】鏡面状のスケール素材10の一部を、例えばサンドブラストで物理的にあらして粗面12とすることにより格子を形成する。
【選択図】図1
Description
12…サンドブラスト加工面(粗面)
14…未加工面(鏡面)
16…反射膜
50…サンドブラストノズル
Claims (5)
- 鏡面と、物理的にあらされた粗面でなる格子を有することを特徴とする光学スケール。
- 前記格子に反射膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学スケール。
- 鏡面状のスケール素材表面の一部を、物理的にあらして粗面とすることにより、格子を形成することを特徴とする光学スケールの製造方法。
- 前記粗面をサンドブラストで形成することを特徴とする請求項2に記載の光学スケールの製造方法。
- 前記格子に反射膜を形成することを特徴とする請求項3又は4に記載の光学スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005165475A JP2006337321A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 光学スケール、及び、その製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005165475A JP2006337321A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 光学スケール、及び、その製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006337321A true JP2006337321A (ja) | 2006-12-14 |
Family
ID=37557994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005165475A Pending JP2006337321A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 光学スケール、及び、その製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006337321A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2597431A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-05-29 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
JP2013224910A (ja) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Hitachi Maxell Ltd | 樹脂製エンコーダスケール、樹脂製エンコーダスケール用金型、樹脂製エンコーダスケールの製造方法およびエンコーダ |
JP2015001412A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社ミツトヨ | 光電式測定器用スケール、エンコーダ及びスケールの形成方法 |
JP5925365B1 (ja) * | 2015-05-13 | 2016-05-25 | 株式会社メルテック | 光学式エンコーダ用格子板および光学式エンコーダ用格子板の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55147350A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-17 | Hitachi Koki Co Ltd | Device for detecting rotational speed of rotary body |
JPS56118606A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Metal scale and manufacture thereof |
JPH0526658A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Sony Magnescale Inc | 測尺装置 |
JPH0821746A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-01-23 | Canon Inc | 光学式エンコーダースケール用ロール状スタンパー及びそれを用いた光学式エンコーダースケールの製造方法 |
JP2002521684A (ja) * | 1998-07-24 | 2002-07-16 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 角度エンコーダー |
JP2004177287A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Nippon Signal Co Ltd:The | アクチュエータ及び変位検出方法 |
JP2005005062A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Yuka Denshi Co Ltd | 面光源装置及びそれを用いた表示装置 |
-
2005
- 2005-06-06 JP JP2005165475A patent/JP2006337321A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55147350A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-17 | Hitachi Koki Co Ltd | Device for detecting rotational speed of rotary body |
JPS56118606A (en) * | 1980-02-22 | 1981-09-17 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Metal scale and manufacture thereof |
JPH0526658A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Sony Magnescale Inc | 測尺装置 |
JPH0821746A (ja) * | 1994-07-08 | 1996-01-23 | Canon Inc | 光学式エンコーダースケール用ロール状スタンパー及びそれを用いた光学式エンコーダースケールの製造方法 |
JP2002521684A (ja) * | 1998-07-24 | 2002-07-16 | ビショップ イノヴェーション リミテッド | 角度エンコーダー |
JP2004177287A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Nippon Signal Co Ltd:The | アクチュエータ及び変位検出方法 |
JP2005005062A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Yuka Denshi Co Ltd | 面光源装置及びそれを用いた表示装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2597431A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-05-29 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
US9258007B2 (en) | 2011-11-22 | 2016-02-09 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder including base member having roughened surface and manufacturing method of scale |
EP2597431B1 (en) * | 2011-11-22 | 2019-04-24 | Mitutoyo Corporation | Scale of photoelectric encoder and manufacturing method of the same |
JP2013224910A (ja) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Hitachi Maxell Ltd | 樹脂製エンコーダスケール、樹脂製エンコーダスケール用金型、樹脂製エンコーダスケールの製造方法およびエンコーダ |
US10288453B2 (en) | 2012-04-23 | 2019-05-14 | Maxell, Ltd. | Resin encoder scale, mold for resin encoder scale, method for producing resin encoder scale, and encoder |
JP2015001412A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 株式会社ミツトヨ | 光電式測定器用スケール、エンコーダ及びスケールの形成方法 |
JP5925365B1 (ja) * | 2015-05-13 | 2016-05-25 | 株式会社メルテック | 光学式エンコーダ用格子板および光学式エンコーダ用格子板の製造方法 |
WO2016182005A1 (ja) * | 2015-05-13 | 2016-11-17 | 株式会社メルテック | 光学式エンコーダ用格子板および光学式エンコーダ用格子板の製造方法 |
CN106461424A (zh) * | 2015-05-13 | 2017-02-22 | 美路科技有限公司 | 光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法 |
TWI679402B (zh) * | 2015-05-13 | 2019-12-11 | 日商美路科技有限公司 | 光學式編碼器用格子板及光學式編碼器用格子板的製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI392958B (zh) | 微影用防護薄膜組件 | |
JP5132306B2 (ja) | 光散乱euvlマスク | |
CN102822744B (zh) | 光掩模单元及其制造方法 | |
TW200606179A (en) | Material for forming resist protection film for liquid immersion lithography and method for forming resist pattern by using the protection film | |
KR20130088565A (ko) | 그래핀을 이용한 초극자외선용 펠리클 및 그 제조방법 | |
JP2006337321A (ja) | 光学スケール、及び、その製造方法 | |
JP2008027992A (ja) | Euvlマスク用基板の製造方法及びその基板を用いたeuvlマスクの製造方法 | |
EP1459131A1 (en) | Method of extending the stability of a photoresist during direct writing of an image upon the photoresist | |
CN102193113B (zh) | 防眩膜和防眩性偏振板 | |
JP5407525B2 (ja) | ナノインプリント転写用基板およびナノインプリント転写方法 | |
TWI442173B (zh) | 微影用防塵薄膜組件 | |
JPH0689848A (ja) | X線マスク構造体の作製方法及び該作製方法により作製されたx線マスク構造体、並びに該x線マスク構造体を用い作製されたデバイス | |
CN101923181B (zh) | 防眩膜的制造方法、防眩膜及模具的制造方法 | |
JP2005109091A (ja) | 基板保持用真空チャック | |
TW201610476A (zh) | 防眩膜 | |
JP5892814B2 (ja) | 防眩フィルム作製のための金型およびその製造方法 | |
JP2002011589A (ja) | レーザ加工用マスクとその製造方法、製造装置、及びレーザアブレーション加工装置、並びに該マスクを用いて製作した画像表示装置 | |
JP2005134666A (ja) | フォトマスク及び映像デバイスの製造方法 | |
JP2017181544A (ja) | 表示装置製造用位相シフトマスクの製造方法 | |
TW200510934A (en) | Radiation-sensitive resin composition and method for forming pattern using the composition | |
JP2005294622A (ja) | 反射型拡散ミラー及びeuv用照明光学装置 | |
JP2009069592A (ja) | レジスト基板及び該レジスト基板を用いた密着露光方法 | |
JP3322284B2 (ja) | 位相シフトマスク及びその製造方法 | |
KR102646074B1 (ko) | 습식 에칭을 이용한 알루미늄 소재 가공 방법 | |
JPH03263048A (ja) | フォトマスク用レジストの剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20080526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101207 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110207 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20111031 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20130212 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |