JP5835470B2 - 半導体パッケージ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体パッケージを示す断面図である。図2は、本発明の実施の形態1に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す上面図である。図3及び図4は、本発明の実施の形態1に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す側面図である。
図13は、本発明の実施の形態2に係る半導体パッケージを示す断面図である。図14は、本発明の実施の形態2に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す上面図である。図15及び図16は、本発明の実施の形態2に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す側面図である。
図17は、本発明の実施の形態3に係る半導体パッケージを示す断面図である。図18は、本発明の実施の形態3に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す上面図である。図19及び図20は、本発明の実施の形態3に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す側面図である。
図21は、本発明の実施の形態4に係る半導体パッケージを示す断面図である。図22は、本発明の実施の形態4に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す上面図である。図23及び図24は、本発明の実施の形態4に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す側面図である。
図25は、本発明の実施の形態5に係る半導体パッケージを示す断面図である。図26及び図27は、本発明の実施の形態5に係る半導体パッケージのキャップ内部を示す側面図である。
2,3 配線(第1の配線)
7 半導体レーザ(光半導体素子、電子部品)
9 駆動回路(電子部品)
11,12 配線(第2の配線)
13 導電性接合部材
15 ガラス窓(窓)
16 金属製キャップ
17 フォトダイオード(電子部品)
18 積層セラミックブロック(ブロック)
19 金属ブロック(ブロック)
20 絶縁膜
21 配線(第3の配線)
23 コンデンサ(電子部品)
24 絶縁性の接着剤
Claims (8)
- 第1の配線を有する積層セラミック基板と、
前記積層セラミック基板上に設けられたブロックと、
前記ブロックの表面に設けられ、光半導体素子を含む複数の電子部品と、
前記ブロックの表面に設けられ、前記複数の電子部品の一部と前記第1の配線を接続する第2の配線と、
前記積層セラミック基板上に設けられ、前記ブロック及び前記複数の電子部品を覆う窓付きの金属製キャップとを備え、
前記ブロックは、前記第1の配線の一部と前記第2の配線の一部が重なるように前記積層セラミック基板上に配置され、
前記第1の配線の一部と前記第2の配線の一部は導電性接合部材により接合されていることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記光半導体素子は端面発光型又は端面受光型であり、前記ブロックの側面に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 第1の配線を有する積層セラミック基板と、
前記積層セラミック基板上に設けられたブロックと、
前記ブロックの表面に設けられ、光半導体素子を含む複数の電子部品と、
前記ブロックの表面に設けられ、前記複数の電子部品の一部と前記第1の配線を接続する第2の配線と、
前記積層セラミック基板上に設けられ、前記ブロック及び前記複数の電子部品を覆う窓付きの金属製キャップとを備え、
前記ブロックは積層セラミックブロックであることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記ブロックは金属ブロックであり、
前記積層セラミック基板は第3の配線を更に有し、
前記金属ブロックは前記第3の配線に接続され、
前記複数の電子部品の一部は前記金属ブロックに接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体パッケージ。 - 前記ブロック上に設けられた絶縁膜を更に備え、
前記第2の配線は前記絶縁膜上に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の半導体パッケージ。 - 前記第2の配線は、絶縁性の接着剤を介して前記ブロックの表面に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の半導体パッケージ。
- 前記光半導体素子は半導体レーザであり、
前記複数の電子部品は、前記半導体レーザを駆動する駆動回路と、前記半導体レーザの後端面から出射される光を受光するフォトダイオードとの少なくとも一方を有することを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1の配線はコプレナライン又はマイクロストリップラインであることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の半導体パッケージ。
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