JP5805803B2 - 自動多点プローブ操作 - Google Patents
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Description
1.多点プローブ(10)であって、互いに平行な平坦な底面(12)と平坦な頂面(11)とを備えており、前記多点プローブ(10)はさらに、斜角付きの平坦な前面(13)と、第1側面(14)と、前記多点プローブ(10)の前記第1側面(14)と対向する側にある第2側面(14)と、前記多点プローブ(10)の前記前面(13)と対向する側にある端面(15)とを備えており、
前記前面(13)と、前記第1側面(14)と、前記第2側面(14)と、前記端面(15)との各々は、前記底面(12)と前記頂面(11)とを結合させ、前記前面(13)と、前記底面(12)とはその間に鋭い内部前面角と前縁(43)とを画定しており、前記第1側面(14)と前記底面(12)とはその間に第1側縁を画定しており、前記第2側面(14)と前記底面(12)とはその間に第2側縁を画定しており、前記端面(14)と前記底面(12)とはその間に端縁を画定しており、
前記多点プローブ(10)の長手方向(46)は、前記第1側縁と第2側縁とに沿って画定され、また、前記前縁(43)に対して垂直であり、
前記底面(12)には、導電性金属層と、前記金属層を複数の接触パッド(31〜42)に分割する1組の掘削切除部(23)と、複数の電線管(47)と、前記前縁においてプローブ先端部26へと集束している複数の信号追跡部(31'〜42')とが設けられており、前記複数の電線管(47)の各々は、前記複数の接触パッド(31〜42)の対応する1つと、前記複数の信号追跡部(31'〜42')のうちの対応する1つとを相互接続させ、
前記複数の接触パッド(31〜42)は、並列し、前記長手方向(46)に沿って位置決めされた第1行目(31〜36)と第2行目(37〜42)に分割されており、前記第1行目(31〜36)と前記第1側縁とはその間に前記底面(12)の第1外部範囲(25)を画定しており、前記第2行目(37〜42)と前記第2側縁とはその間に前記底面(12)の第2外部範囲(25)を画定しており、前記第1行目(31〜36)と前記第2行目(37〜42)とはその間に内部範囲を画定しており、
前記複数の電線管(47)は外部グループと内部グループとに分割されており、前記外部グループの電線管は前記第1外部範囲または前記第2外部範囲のいずれをも横切っており、前記内部グループの電線管は前記内部範囲を横切っている、多点プローブ(10)。
前記支持柱(50)は、上部(58)と、前記上部(58)を支持する下部(59)とを構成しており、
前記支持柱(50)は、その頂部において、その第1側部には第1肩部(60)を、また、その第2側部には第2肩部(60)を画定しており、また、前記多点プローブの平坦な底面と係合するために、前記第1肩部(60)は上向きで直線構成の第1肩部係合縁を画定し、前記第2肩部(60)は上向きで直線構成の第2肩部係合縁を画定しており、前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とは共に、それぞれの前記第1肩部係合縁と前記第2肩部係合縁とによって支持面を画定しており、
前記支持柱(50)は、前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)との下、およびこれらの間に中空空間(64)を画定しており、さらに、その後部と頂部とに前記中空空間への1つの開口部を画定している、プローブホルダ(152)。
前記ブラケットネック(54)はさらに弾性のカンチレバーバネであり、前記カンチレバーは、その平衡位置において載置位置を画定し、前記支持柱(50)から逸脱した時には解放位置を画定し、前記ブラケットヘッド(52)は、前記柱本体(58)よりも上に位置決めされた1対の支持ピン(57)を備えており、前記1対の支持ピン(57)の各々は、他の前記支持ピンに向いた側において、多点プローブの斜角付きの平坦な前面または端面と係合するための直線のピン係合縁を画定しており、前記1対の支持ピン(57)は共に、そのピン係合縁によって係合面を画定している、ポイント14〜16のいずれか1つに記載のプローブホルダ(152)。
前記カバー(110)には、上向きの第1フランジ付きスライド支持部(112)を画定する平行溝(111)が設けられており、前記ラック(140)には下向きの第2フランジ付きスライド支持部(151)を画定する平行溝(150)が設けられており、前記第1フランジ付きスライド支持部(112)は、前記プローブカセットが閉鎖状態にある時に、前記第2フランジ付きスライド支持部(151)よりも上に位置決めされ、これと同方向に延びている、プローブカセット(100)。
前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')の各々は末端部を有し、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は共にその末端部によって接触面を画定している、プローブマニピュレータヘッド(160)。
前記第1プローブ支持臼歯(215)と前記第2プローブ支持臼歯(215)とは離間しており、前記第1支持面と前記第2支持面とは共面であり、前記第1プローブ支持臼歯(215)と前記第2プローブ支持臼歯(215)との間に共通の接線支持面を画定しており、
前記接触舌部(163)と前記下顎部(162)とは、互いに対して舌部係合方位を画定しており、ここで、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')が前記共通の支持面を交差する、ポイント29〜32のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)。
前記第1支持面は、係合点(217)に対する接平面と、前記第1プローブ支持臼歯(215)の前記凸型係合面(216)と共面であり、
前記第2支持面は、前記係合点(217)に対する接平面と、前記第2プローブ支持臼歯(215)の凸型係合面(216)と共面である、ポイント33〜34のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)。
前記旋回軸(169)と、前記回転アクチュエータ(165、166)と、前記機械的リンケージ(168)と、前記下顎部(162)とは、前記下顎部(162)の前部(177)と前記上顎部(161)の前部(176)との間に可変分離を画定し、前記可変分離は、前記回転アクチュエータ(165、166)を回転させることによって異なり、前記下顎部(162)の閉鎖位置を画定する最小分離を有する、ポイント33〜35のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)。
前記下顎部が閉鎖位置にある時に、前記前部係合縁と端部係合縁(15'')とは互いに平行し、また、前記第1および第2のプローブ支持臼歯(215)の間の前記共通支持面に平行であり、
前記下顎部が閉鎖位置にある時に、前記第1および第2の側部係合縁は、互いに平行し、また、前記第1および第2のプローブ支持臼歯(215)の間の前記共通支持面に平行である、ポイント36〜38のいずれかに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)。
前記第1プローブ支持切歯(13')の丸い支持先端部と、前記第2プローブ支持切歯(13')の丸い支持先端部とが、前記前部係合縁を画定している、ポイント39に記載のプローブマニピュレータヘッド(160)。
前記水平ローダは、水平第1ローディング軸を画定する第1ローダアーム(255)と、水平第2ローディング軸を画定する第2ローダアーム(256)とを備えており、前記第1ローディング軸と前記第2ローディング軸とが一緒になって交差角を画定しており、
前記水平ローダはさらに、第1直線アクチュエータ(257)と、第1ワゴン(259)と、第2直線アクチュエータ(258)と、第2ワゴン(260)とを備えており、
前記第1ローダアームは前記水平支持段(251)に堅固に接続し、前記第1ワゴン(259)にスライド支持を提供し、また、前記第1直線アクチュエータ(257)は、前記第1ローディング軸に沿った前記第1ワゴン(259)の可変位置を提供し、
前記第2ローダアーム(256)は前記第1ワゴン(259)に堅固に接続し、前記第2ワゴン(260)にスライド支持を提供し、また、前記第2直線アクチュエータ(258)は前記第2ローディング軸に沿った前記第2ワゴン(260)の可変位置を提供し、
前記プローブローダ(250)はカバー保持部(261)をさらに備え、前記カバー保持部(261)は前記水平支持段(251)に堅固に接続しており、また、プローブカセット(100)のカバー(110)の前記第1フランジ付きスライド支持部(112)と協働する下向きの第1受容フランジ付きスライド支持部を画定するフランジを設けられており、
前記第2ワゴン(260)はラック保持部(262)を備え、前記ラック保持部(262)には、前記プローブカセット(100)の前記ラック(140)の前記第2フランジ付きスライド支持部(151)と協働する上向きの第2受容フランジ付きスライド支持部(262)を画定するフランジが設けられている、プローブローダ(250)。
前記垂直ローダアームは、前記垂直支持段(252)に堅固に接続しており、前記プローブ把持装置(160)にスライド支持を提供し、また、前記垂直直線アクチュエータ(265)は前記垂直ローディング軸に沿った前記プローブ把持装置(160)の可変位置を提供する、ポイント41に記載のプローブローダ(250)。
前記第2受容フランジ付きスライド支持部(263)が前記第1受容フランジ付きスライド支持部と平行する形で下に位置決めされている前記カバー保持部(261)に前記ラック保持部(262)を配置するローディング位置を画定し、
プローブ把持装置(160)の下に前記第2受容フランジ付きスライド支持部(263)が位置決めされた状態で、前記ラック保持部(262)を前記プローブ把持装置(160)に配置する把持位置を画定する、ポイント42に記載のプローブローダ(250)。
前記接触舌部(163)の前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')によって画定された前記接触面は、前記支持柱の前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とによって画定された前記支持面と共面であり、
前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は、前記支持柱(50)によって画定された前記中空空間(64)を、前記1つの開口部を通って、前記支持柱(50)の後部から頂部へ横切っている、ポイント14〜21のいずれか1つに記載のプローブホルダ(152)と、ポイント29〜41のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)とを備える多点プローブ把持システム。
ポイント1〜13のいずれか1つに記載の多点プローブ(10)を提供するステップと、
ポイント29〜40のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)を提供するステップと、
前記接触舌部(163)の前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')のうちの少なくとも1つを、その末端によって、前記多点プローブ(10)の前記複数の接触パッド(31〜42)の1つと解放可能に接続するステップとを備える、多点プローブ(10)をプローブマニピュレータヘッド(160)に接続する方法。
前記下顎部(162)の前記第2プローブ支持臼歯(215)によって、前記多点プローブ(10)の前記第2外部範囲(25)に、前記第2外部範囲(25)と前記第2支持面との間が平行した関係で係合するステップとをさらに備える、ポイント56に記載の多点プローブ(10)をプローブマニピュレータヘッド(160)に接続する方法。
前記上顎部(161)の前記第1側部係合縁(14'')によって、前記第1側面(14)に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記上顎部(161)の前記第2側部係合縁によって、前記第2側面(14)に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記上顎部(161)の前記端部係合縁(15'')によって、前記端面(15)に、両者が平行した関係で係合するステップとをさらに備えている、ポイント57〜58のいずれか1つに記載の多点プローブ(10)をプローブマニピュレータヘッド(160)に接続する方法。
ポイント1〜13のいずれか1つに記載の多点プローブ(10)を提供するステップと、
ポイント14〜21のいずれか1つに記載のプローブホルダ(152)を提供するステップと、
前記支持柱(50)の前記第1肩部によって、前記多点プローブ(10)の第1外部範囲(25)に、前記第1外部範囲(25)と前記第1肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップと、
前記支持柱(50)の前記第2肩部(60)によって、前記多点プローブ(10)の前記第2外部範囲(25)に、前記第2外部範囲(25)と前記第2肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップとを備える、プローブホルダ(152)に多点プローブ(10)をローディングする方法。
前記ブラケット(51)の前記1対の支持ピン(57)の他方の前記ピン係合縁によって、前記多点プローブ(10)の前記端面(15)に、両者が平行した関係で係合するステップとをさらに備える、ポイント59に記載のプローブホルダ(152)に多点ポイントプローブ(10)をローディングする方法。
ポイント1〜13のいずれか1つに記載の多点プローブ(10)を提供するステップと、
ポイント22〜28のいずれか1つに記載のプローブカセット(100)を提供するステップと、
前記プローブカセット(100)の前記プローブ支持部(152)に前記多点プローブをローディングするステップとを備える、プローブカセット(152)に多点プローブ(10)をローディングする方法。
ポイント29〜40のいずれか1つに記載のプローブマニピュレータヘッド(160)を提供するステップと、
ポイント14〜21のいずれか1つに記載のプローブホルダ(152)を提供するステップと、
前記プローブホルダ(152)と前記マニピュレータヘッド(160)とを互いに対する係合位置において位置決めするステップとを備え、ここで、前記接触舌部(163)の前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')によって画定された前記接触面が、前記支持柱の前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とによって画定された前記支持面と共面であり、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は、前記支持柱(50)によって画定された前記中空空間(64)を、前記1つの開口部を通って前記支持柱(50)の後部から頂部へと横切る、プローブマニピュレータヘッド(160)によってプローブホルダ(152)に係合する方法。
11 頂面
11'' 頂部係合背筋
12 底面
13 斜角付き前面
13' プローブ支持切歯
13'' 丸い支持先端部
13''' 前部係合範囲
14 斜角付き側面
14'' 側部係合縁
14''' 側部係合範囲
15 斜角付き端面
15'' 端部係合縁
15''' 端部係合範囲
16 製造支持部
17 内向きの前部角
18 第1斜角付き前部角面
19 第2斜角付き前部角面
20 内向きの後部角
21 第1斜角付き後部角面
22 第2斜角付き後部角面
23 彫込切除部
24 パッド
25 外部範囲
26 プローブ先端部
27 金属層
28 酸化層
29 側縁
31〜42 接触パッド
31'〜42' プローブ信号追跡部
31''〜42'' プローブアーム
31'''〜42''' 接触フィンガ
43 前縁
44 接触パッドの内側
45 接触パッドの外側
46 長手方向対称軸
47 電線管
48 鋭い内角
49 前部範囲
50 支持柱
51 ブラケット
52 ブラケットヘッド
53 ブラケット基部
54 ブラケットネック
55 傾斜したヘッド面
56 ブラケット顎部
57 ブラケット支持ピン
58 柱上部
59 柱下部
60 柱肩部
61 柱舌部
62 傾斜した舌面
63 窪み
64 中空空間
65 ネック隙間
66 基部隙間
67 基部フランジ
68 柱側部
69 柱前部
70 係合角
71 力
72 基準面
73 へり
100 プローブカセット
110 カセットカバー
111 カセットハウジングの溝
112 フランジ付きスライド支持部
113 カバーキャッチボア
114 カセットハウジング
119 支持主軸
120 ダブルバネ
121 カバーキャッチピン
123 ロックシャフト通路
124 不揮発性デジタルメモリ
125 雄コネクタ
126 雌コネクタ
127 PCB(ポリ塩化ビフェニル)
128 PCBパッドコネクタ
129 ハンドル
130 ロックフック
131 ハウジング前部
132 ハウジング端部
133 ハウジング底部
134 ハウジング頂部
135 断面切断
140 カセットラック
141 ラックキャッチピン
142 プローブホルダ用凹部
143 ラック前部
144 ロックアーム
145 バネキャッチ
146 開口凹部
147 開口キャッチバー
148 ラックバー
149 ラックキャッチボア
150 ラックバーの溝
151 フランジ付きスライド支持部
152 プローブホルダ
153 ロックシャフト切り抜き部
154 ラックバー端部
160 プローブマニピュレータヘッド
161 上顎部
162 下顎部
163 接触舌部
165 電気モータ
166 駆動主軸
167 ボールベアリング
168 機械的リンケージ
169 旋回軸
170 リボンケーブル
171 絶縁変位コネクタ
172 ベアリング中心部
173 変位したシリンダ
174 旋回隙間
175 旋回隙間
176 上顎部の前部
177 下顎部の前部
178 接触先端部
179 複数の信号追跡部
180 導電ビア
181 印刷回路基板
182 支持板
183 サファイア製ボール
184 支持凹部
185 サファイア製ボール支持部
186 カンチレバーバネ
187 上方支持長さ
188 下面長さ
189 上面長さ
190 上方支持幅
191 下面幅
192 上面幅
195 クランクシャフト
196 外輪
197 接続ロッド
198 ストロークアーム
199 外輪リンク
200 下顎部リンク
201 接触舌部リンク
202 下顎部シャフト
203 上顎部シャフト
204 下方支持面
205 上方支持面
206 ベアリング中心円
207 ストロークシャフト
208 円
209 口蓋部
210 複数の接触フィンガ
211 上方板バネ
212 下方板バネ
214 ストロークアーム
215 プローブ支持臼歯
216 凸型係合面
217 係合点
218 固定アーム
219 位置決めバネ
220 プローブ固定隙間
221 舌部固定隙間
222 プローブ固定フィンガ
223 舌部固定フィンガ
224 プローブ固定フィンガ先端部
225 舌部固定フィンガ先端部
226 位置決めバネ先端部
226''' バネ係合範囲
227 上顎部背筋
228 凸型載置面
229 舌部背筋
230 固定アームヨーク
231 固定アームバネ
232 前部支持高さ
233 側部支持高さ
234 プローブ高さ
235 後部支持高さ
250 プローブローダ
251 水平支持段
252 垂直支持段
253 水平ローダ
254 垂直ローダ
255 第1ローダアーム
256 第2ローダアーム
257 第1直線アクチュエータ
258 第2直線アクチュエータ
259 第1ワゴン
260 第2ワゴン
261 カバー保持部
262 ラック保持部
263 受容スライド支持部
264 垂直ローダアーム
265 垂直直線アクチュエータ
266 柱舌顕微鏡
267 垂直顕微鏡
268 焦点円錐部
269 制御電線管
270 保護カバー
271 LEDライト
272 カセット隙間
273 アンカープレート
274 保護カバー
275 ネジ山付き主軸
275 水平ローダ前部
276 照明円錐部
351 カンチレバーひずみ計
352 基準抵抗器
353 第1突出部
354 第2突出部
361 電気絶縁支持壁
362 接触角
Claims (10)
- プローブホルダ(152)であって、支持柱(50)を備え、前記支持柱(50)はその上方端部に頂部を、その下方端部に底部を有しており、前記頂部と底部とは、前部と、前記支持柱の前記前部の反対側に位置決めされた後部と、第1側部と、前記支持柱の前記第1側部の反対側に位置決めされた第2側部とによって結合されており、
前記支持柱(50)は、上部(58)と、前記上部(58)を支持する下部(59)とを構成しており、
前記支持柱(50)は、その頂部において、その第1側部には第1肩部(60)を、また、その第2側部には第2肩部(60)を有しており、また、多点プローブの平坦な底面と係合するために、前記第1肩部(60)は上向きで直線構成の第1肩部係合縁を有し、前記第2肩部(60)は上向きで直線構成の第2肩部係合縁を有しており、前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とは共に、それぞれの前記第1肩部係合縁と前記第2肩部係合縁とによって支持面を画定しており、
前記支持柱(50)は、前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)との下、およびこれらの間に中空空間(64)を画定しており、さらに、その後部と頂部とに前記中空空間への1つの開口部を画定していることを特徴とするプローブホルダ(152)。 - 請求項1に記載のプローブホルダ(152)であって、さらにブラケット(51)を備えており、前記ブラケット(51)はブラケット基部(53)と、ブラケットネック(54)と、ブラケットヘッド(52)とを備え、前記ブラケット基部(53)は前記支持柱(50)の前記下部(59)に結合し、前記ブラケットネック(54)はその底部において前記ブラケット基部(53)と接続し、前記ブラケットヘッド(52)は前記ブラケットネック(54)の前記頂部と接続しており、
前記ブラケットネック(54)はさらに弾性のカンチレバーバネであり、前記カンチレバーバネは、その平衡位置において載置位置を画定し、前記支持柱(50)から逸脱した時には解放位置を画定し、前記ブラケットヘッド(52)は、柱本体(58)よりも上に位置決めされた1対の支持ピン(57)を備えており、前記1対の支持ピン(57)の各々は、他の前記支持ピンに向いたその側面において、多点プローブの斜角付きの平坦な前面または端面と係合するための直線のピン係合縁を画定しており、前記1対の支持ピン(57)は共に、それぞれのピン係合縁によって係合面を画定していることを特徴とするプローブホルダ(152)。 - プローブカセット(100)であって、カバー(110)と、ラック(140)と、1または複数の多点プローブ(10)を支持するために前記ラック(140)に取り付けられたプローブ支持部(152)とを備えており、前記プローブカセット(100)は、前記カバー(110)と前記ラック(140)とが接続して前記プローブ支持部(152)を閉じ込める閉鎖状態と、前記カバー(110)と前記ラック(140)とが接続していない開放状態とを画定し、
前記カバー(110)には、上向きの第1フランジ付きスライド支持部(112)を画定する平行溝(111)が設けられており、前記ラック(140)には下向きの第2フランジ付きスライド支持部(151)を画定する平行溝(150)が設けられており、前記第1フランジ付きスライド支持部(112)は、前記プローブカセットが閉鎖状態にある時に、前記第2フランジ付きスライド支持部(151)よりも上に位置決めされ、これと同方向に延びていることを特徴とするプローブカセット(100)。 - プローブマニピュレータヘッド(160)であって、先端部(178)を画定している接触舌部(163)を備えており、前記接触舌部は複数の接触フィンガ(31'''〜42''')を備えており、前記複数の接触フィンガは導電性を持ち、多点プローブの底面上の対応する複数の接触パッドと係合するためにその先端部(178)から自由に延びており、
前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')の各々は末端部を有し、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は共にその末端部によって接触面を画定し、
前部(177)を画定する下顎部(162)をさらに備え、前記下顎部(162)はその前部(177)に、多点プローブの平坦な底面に一致して係合するための、第1支持面を画定する第1プローブ支持臼歯(215)と、第2支持面を画定する第2プローブ支持臼歯(215)とを備えており、
前記第1プローブ支持臼歯(215)と前記第2プローブ支持臼歯(215)とは離間しており、前記第1支持面と前記第2支持面とは共面であり、前記第1プローブ支持臼歯(215)と前記第2プローブ支持臼歯(215)との間に共通の接線支持面を画定しており、
前記接触舌部(163)と前記下顎部(162)とは、互いに対して舌部係合方位を画定しており、ここで、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')が前記共通の支持面を交差することを特徴とするプローブマニピュレータヘッド(160)。 - 請求項4に記載のプローブマニピュレータヘッド(160)であって、前部(176)を画定する上顎部(161)をさらに備えており、前記上顎部(161)は前記下顎部(162)と接触舌部(163)とに旋回支持を提供する旋回軸(169)と、機械的リンケージ(168)を介して前記下顎部(162)と前記接触舌部(163)とに結合している回転アクチュエータ(165、166)とを備えており、
前記旋回軸(169)と、前記回転アクチュエータ(165、166)と、前記機械的リンケージ(168)と、前記下顎部(162)とは、前記下顎部(162)の前部(177)と前記上顎部(161)の前部(176)との間に可変分離を画定し、前記可変分離は、前記回転アクチュエータ(165、166)を回転させることによって異なり、前記下顎部(162)の閉鎖位置を画定する最小分離を有することを特徴とするプローブマニピュレータヘッド(160)。 - プローブローダ(250)であって、水平支持段(251)と、前記水平支持段(251)に堅固に接続した垂直支持段(252)と、前記水平支持段(251)によって支持された水平ローダ(253)と、前記垂直支持段(252)によって支持された垂直ローダ(254)とを備えており、
前記水平ローダは、水平第1ローディング軸を画定する第1ローダアーム(255)と、水平第2ローディング軸を画定する第2ローダアーム(256)とを備えており、前記第1ローディング軸と前記第2ローディング軸とが一緒になって交差角を画定しており、
前記水平ローダはさらに、第1直線アクチュエータ(257)と、第1ワゴン(259)と、第2直線アクチュエータ(258)と、第2ワゴン(260)とを備えており、
前記第1ローダアームは前記水平支持段(251)に堅固に接続し、前記第1ワゴン(259)にスライド支持を提供し、また、前記第1直線アクチュエータ(257)は、前記第1ローディング軸に沿った前記第1ワゴン(259)の可変位置を提供し、
前記第2ローダアーム(256)は前記第1ワゴン(259)に堅固に接続し、前記第2ワゴン(260)にスライド支持を提供し、また、前記第2直線アクチュエータ(258)は前記第2ローディング軸に沿った前記第2ワゴン(260)の可変位置を提供し、
前記プローブローダ(250)はカバー保持部(261)をさらに備え、前記カバー保持部(261)は前記水平支持段(251)に堅固に接続しており、また、フランジを設け、前記フランジは、プローブカセット(100)のカバー(110)の第1フランジ付きスライド支持部(112)と協働する下向きの第1受容フランジ付きスライド支持部を画定しており、
前記第2ワゴン(260)はラック保持部(262)を備え、前記ラック保持部(262)には、前記プローブカセット(100)のラック(140)の第2フランジ付きスライド支持部(151)と協働する上向きの第2受容フランジ付きスライド支持部(262)を画定するフランジが設けられていることを特徴とするプローブローダ(250)。 - 請求項1または2に記載のプローブホルダ(152)と
請求項3に記載のプローブカセット(100)とを備え、
前記多点プローブ(10)の第1外部範囲(25)は前記支持柱(50)の前記第1肩部(60)と接触しており、前記第1肩部係合縁と平行であり、また、前記多点プローブ(10)の第2外部範囲(25)は前記支持柱(50)の前記第2肩部(60)と接触しており、前記第2肩部係合縁と平行であることを特徴とするローディング済みの多点プローブカセット。 - 請求項1または2に記載のプローブホルダ(152)と、請求項4または5に記載のプローブマニピュレータヘッド(160)とを備えた多点プローブ把持システムであって、
前記プローブホルダ(152)と前記プローブマニピュレータヘッド(160)とは互いに係合位置を画定しており、
前記接触舌部(163)の前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')によって画定された前記接触面は、前記支持柱の前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とによって画定された前記支持面と共面であり、
前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は、前記支持柱(50)によって画定された前記中空空間(64)を、前記1つの開口部を通って、前記支持柱(50)の後部から頂部へ横切っていることを特徴とする多点プローブ把持システム。 - 請求項6に記載のプローブローダと、請求項3に記載のプローブカセット(100)とを備えたローディング済みのプローブローダであって、
前記カセット(100)の前記カバー(110)の前記第1フランジ付きスライド支持部(112)は、前記プローブローダの前記カバー保持部の前記第1受容フランジ付きスライド支持部と協働し、前記カセット(100)の前記ラック(140)の前記第2フランジ付きスライド支持部(112)は、前記プローブローダの前記ラック保持部の前記第2受容フランジ付きスライド支持部と協働することを特徴とするローディング済みのプローブローダ。 - プローブマニピュレータヘッド(160)によってプローブホルダ(152)に係合する方法であって、
請求項4または5に記載のプローブマニピュレータヘッド(160)を提供するステップと、
請求項1または2に記載のプローブホルダ(152)を提供するステップと、
前記プローブホルダ(152)と前記マニピュレータヘッド(160)とを互いに対する係合位置において位置決めするステップとを備え、前記接触舌部(163)の前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')によって画定された前記接触面が、前記支持柱の前記第1肩部(60)と前記第2肩部(60)とによって画定された前記支持面と共面であり、前記複数の接触フィンガ(31'''〜42''')は、前記支持柱(50)によって画定された前記中空空間(64)を、前記1つの開口部を通って前記支持柱(50)の後部から頂部へと横切ることを特徴とする方法。
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