JP6013361B2 - 単一位置ホール効果測定 - Google Patents
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Description
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
(i)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素と接触させるステップと、
(ii)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(iii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(iv)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(v)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(vi)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(vii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(viii)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(ix)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(x)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(xi)上記第1の抵抗値と上記第2の抵抗値との間の差に基づいて第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップと、
(xii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(xiii)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(xiv)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(xv)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RC)を計算するステップと、
(xvi)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(xvii)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(xviii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(xix)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RC’)を計算するステップと、
(xx)上記第3の抵抗値と上記第4の抵抗値との間の差に基づいて第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップと、
(xxi)上記第1の抵抗差、上記第2の抵抗差及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第1のパラメータ、第2のパラメータ及び第3のパラメータを含む第1の関係(f)を定義するステップと、
(xxii)上記第1の関係において上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとして上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’,ΔRCC’)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)を決定するステップとを備える方法。
上記複数の接触点は、上記複数の接触点のそれぞれに交わる第1の線を定義することを特徴とする項目1に記載の方法。
上記電気的境界は近似的線形部を有し、
上記第1の位置と上記線形部上の点との間の上記距離は、上記第1の位置と上記線形部の外側の上記電気的境界上の任意の点との間の距離よりも小さいことを特徴とする項目2に記載の方法。
(xxxiv)上記マルチポイントプローブを方向づけて上記第1の線を上記線形部と平行な関係に位置決めするステップをさらに備えること特徴とする項目3に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は近似的に等しいことを特徴とする項目1〜4のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係はΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記第1の抵抗差を表し、ΔRCC’は上記第2の抵抗差を表し、fは上記第1の位置及び上記電気的境界の間の上記距離yと上記複数の接触点の間の上記間隔sとを複数のパラメータとして含む関数であることを特徴とする項目1〜5のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記関係ΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)における上記第1の抵抗差ΔRBB’はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係ΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)における上記第2の抵抗差ΔRCC’はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目6に記載の方法。
(xxiii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(xxiv)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(xxv)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(xxvi)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA)を計算するステップと、
(xxvii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(xxviii)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(xxix)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(xxx)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’)を計算するステップと、
(xxxi)上記第5の抵抗値と上記第6の抵抗値との間の差に基づいて第3の抵抗差(ΔRAA’)を計算するステップと、
(xxxii)上記第1の関係(f)の定義において、上記第1の関係(f)は上記第3の抵抗差(ΔRAA’)を表す第4のパラメータをさらに含むステップと、
(xxxiii)上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)の決定において、上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’,ΔRCC’)が上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとしてそれぞれ用いられることに加えて、上記第3の抵抗差(ΔRAA’)は上記第1の関係における上記第4のパラメータとして用いられるステップとをさらに備えることを特徴とする項目1〜4のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔とは近似的に等しいことを特徴とする項目8に記載の方法。
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第1の接触と上記第2の接触の上記複数の接触点の間の間隔と異なることを特徴とする項目8又は9に記載の方法。
上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔よりも、範囲1.1〜3.7,1.2〜3.3,1.3〜2.9,1.4〜2.5,1.5〜2.1及び1.6〜1.7のうちの1つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び/又は、範囲1.2〜1.3,1.3〜1.4,1.4〜1.5,1.5〜1.6,1.6〜1.7,1.7〜1.8,1.8〜1.9,1.9〜2.0,2.0〜2.2,2.2〜2.4,2.4〜2.6,2.6〜2.8,2.8〜3.0,3.0〜3.3,3.3〜3.6,及び3.6〜3.9のうちの1つの倍数分だけ、及び/又は、近似的に3分の5倍だけ、若しくは、範囲1.2〜3.8,1.6〜3.4,1.8〜3.2,2.0〜3.0,2.2〜2.8,及び2.4〜2.6のうちの1つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び/又は、範囲1.2〜1.3,1.3〜1.4,1.4〜1.5,1.5〜1.6,1.6〜1.7,1.7〜1.8,1.8〜1.9,1.9〜2.0,2.0〜2.2,2.2〜2.4,2.4〜2.6,2.6〜2.8,2.8〜3.0,3.0〜3.3,3.3〜3.6,3.6〜3.9のうちの1つの倍数分だけ、及び/又は、近似的に2分の5倍だけ、大きいことを特徴とする項目10に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲1〜5μm,5〜10μm,10〜15μm,15〜20μm,20〜25μm,25〜30μm,30〜40μm,40〜50μm,及び50〜500μmのうちの1つ、及び/又は、範囲1〜50μm,5〜40μm,10〜30μm,及び15〜25μmのうちの1つ又はそれ以上の範囲にあることを特徴とする項目8〜11のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係は(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記第1の抵抗差であり、ΔRCC’は上記第2の抵抗差であり、ΔRAA’は上記第3の抵抗差であり、αは−10から10までの範囲における調整因子であり、fは、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離y、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔a、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔b、及び上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔cを含む関数であることを特徴とする項目8〜12のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記調整因子αは近似的に1又は近似的に−1であることを特徴とする項目13に記載の方法。
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第1の抵抗差ΔRBB’はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第2の抵抗差ΔRCC’はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第3の抵抗差ΔRAA’はΔRAA’=2RH/π*(arctan((a+b)/2y)−arctan(a/2y)−arctan((b+c)/2y)+arctan(c/2y))に等価であり、ここで、ΔRAA’は上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目13又は14に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲0.1〜100μm,1〜90μm,10〜80μm,20〜70μm,30〜60μm及び40〜50μmのうちの1つ又はそれ以上、及び/又は、範囲0.1〜1μm、1〜10μm,10〜20μm,20〜30μm,30〜40μm,40〜50μm,50〜60μm,60〜70μm,70〜80μm,80〜90μm,90〜100μm又は100〜500μmのうちの1つにあることを特徴とする項目1〜15のうちのいずれか一項に記載の方法。
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
(a)項目1〜16のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離(y)を決定するステップと、
(b)上記電気的特性及び上記距離(y)を表す第5のパラメータを含む第2の関係を定義するステップと、
(c)上記第5のパラメータとして上記距離(y)を用いて、上記第2の関係から上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。
上記第2の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔をさらに含み、
(b’)上記第2の関係の定義において、上記第2の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第9のパラメータをさらに含み、
(c’)上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第1の距離(y)に加えて、上記第2の関係における上記第9のパラメータとして用いられることを特徴とする項目17に記載の方法。
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第2の関係(f1,f2)は付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表す第6のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第2の抵抗値(RB’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RB’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第1の抵抗値と上記付加的な第2の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗差(ΔRBB’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目17又は18のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第2の関係はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目19に記載の方法。
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、
上記第2の関係(f2,f3)は付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を表す第6のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に付加的な第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第3の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記付加的な第3の電流を測定するステップと、
(f)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第3の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第3の電流及び上記付加的な第3の電圧に基づいて付加的な第3の抵抗値(RC)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第1の抵抗値(RC)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RC)を保持するステップと、
(h)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第4の電流を発生させるステップと、
(i)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第4の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の付加的な第4の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第4の電流及び上記付加的な第4の電圧に基づいて付加的な第4の抵抗値(RC’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第1の抵抗値(RC’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RC’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第3の抵抗値と上記付加的な第4の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗差(ΔRCC’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目35及び項目35に従属する項目17又は18に記載の方法。
上記第2の関係はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目21に記載の方法。
項目23.
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第2の関係(f1)は付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表す第6のパラメータをさらに含み、上記方法、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値と上記付加的な第6の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)として上記距離の上記決定から上記第3の抵抗差(ΔRAA’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする項目17又は18に記載の方法。
上記第2の関係はΔRAA’=2RH/π*(arctan((a+b)/2y)−arctan(a/2y)−arctan((b+c)/2y)+arctan(c/2y))に等価であり、ここで、ΔRAA’は上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする項目23に記載の方法。
上記電気的特性はシート抵抗(R0)であり、上記第2の関係(g)は擬似シート抵抗(RP)を表す第6のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値(RA)及び上記付加的な第6の抵抗値(RA’)の第1の抵抗平均値
(d’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e’’)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g’’)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’’’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i’’)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k’’)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’’’)付加的な第2の抵抗値(RB’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(R’B)を保持するステップと、
(l’’)上記付加的な第1の抵抗値(RB)及び上記付加的な第2の抵抗値(RB’)の第2の抵抗平均値
(m)上記第1の抵抗平均値
(n)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
上記第3の関係は
項目27.
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
項目1〜16のうちのいずれか一項に記載の距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
項目17〜26のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備えるマルチ付加的(multi−additional)ポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
(i.i)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素と接触させるステップと、
(i.ii)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(i.iii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(i.iv)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(i.v)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(i.vi)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(i.vii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(i.viii)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(i.ix)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(i.x)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(i.xi)上記第1の抵抗値と上記第2の抵抗値との間の差に基づいて第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップと、
(i.xii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(i.xiii)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(i.xiv)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(i.xv)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RC)を計算するステップと、
(i.xvi)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(i.xvii)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(i.xviii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(i.xix)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RC’)を計算するステップと、そして
(i.xx)上記第3の抵抗値と上記第4の抵抗値との間の差に基づいて第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップとを備え、
又は、ステップ(i.xii)〜(i.xx)を置き換える変形例において、
上記マルチ付加的(multi−additional)ポイントプローブは複数個の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、上記第4の接触要素及び1つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、
上記方法は、
(ii.xii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第1の構成を定義し、上記複数の接触要素の第1の構成は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素から構成されるステップと、
(ii.xiii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第2の構成を定義し、上記複数の接触要素の第2の構成は第5の接触要素、第6の接触要素、第7の接触要素及び第8の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第2の構成の少なくとも1つの接触要素は上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
(ii.xiv)上記試験試料を上記複数の接触要素の第1の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第2の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
(ii.xv)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(ii.xvi)上記第5の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(ii.xvii)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(ii.xviii)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RB,2)を計算するステップと、
(ii.xix)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(ii.xx)上記第6の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(ii.xxi)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(ii.xxii)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RB’,2)を計算するステップと、そして
(ii.xxiii)上記第3の抵抗値と上記第4の抵抗値との間の差に基づいて第2の抵抗差(ΔRBB’,2)を計算するステップとを備え、
ステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む変形例とステップ(ii.xii)〜(ii.xxiii)を含む変形例との両方は、
(i.xxi)上記第1の抵抗差、上記第2の抵抗差及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第1のパラメータ、第2のパラメータ及び第3のパラメータを含む第1の関係(f)を定義するステップと、そして
(i.xxii)上記第1の関係において上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとして上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’、ΔRCC’,ΔRBB’,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)を表す上記第3のパラメータを決定するステップとをさらに備える方法。
(iii.xxiv)上記第1の抵抗値(RB)及び上記第2の抵抗値(RB’)の第1の抵抗平均値
(iii.xxv)上記第3の抵抗値(RB,2)及び上記第4の抵抗値(RB’,2)の第2の抵抗平均値
(iii.xxvi)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(iii.xxvii)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(iii.xxviii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(iii.xxix)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA,1)を計算するステップと、
(iii.xxx)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxi)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(iii.xxxii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxiii)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’,1)を計算するステップと、
(iii.xxxiv)上記第5の抵抗値(RA,1)及び上記第6の抵抗値(RA’,1)の第3の抵抗平均値
(iii.xxxv)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間に第7の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第7の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxvi)上記第5の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第7の電流を測定するステップと、
(iii.xxxvii)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間の第7の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxviii)上記第7の電流及び上記第7の電圧に基づいて第7の抵抗値(RA,2)を計算するステップと、
(iii.xxxix)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間に第8の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第8の電流を発生させるステップと、
(iii.xl)上記第6の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第8の電流を測定するステップと、
(iii.xli)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間の第8の電圧を測定するステップと、
(iii.xlii)上記第8の電流及び上記第8の電圧に基づいて第8の抵抗値(RA’,2)を計算するステップと、
(iii.xliii)上記第7の抵抗値(RA,2)及び上記第8の抵抗値(RA’,2)の第4の抵抗平均値
(iii.xliv)上記第1の抵抗平均値
(iii.xlv)上記第2の関係において上記第4のパラメータ及び上記第5のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
(iii.xlvi)上記第2の抵抗平均値
(iii.xlvii)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第2の抵抗平均値
(iii.xlviii)上記第1の擬似シート抵抗(RP,1)、上記第2の擬似シート抵抗(RP,2)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第10のパラメータ、第11のパラメータ及び第12のパラメータを含む第4の関係(gD)を定義するステップと、そして、
(iii.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を表す上記第12のパラメータを決定するステップとを備え、
又は、ステップ(iii.xlix)を置き換える変形例において、
上記第2の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を表し、上記第1の関係(fD)は上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第13のパラメータをさらに含み、上記第4の関係(gD)は上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第14のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(iv.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記距離(y)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離(y2)をそれぞれ表す上記第13のパラメータ及び上記第14のパラメータを同時に決定するステップをさらに備える
付加的な項目1及びステップ(i.xii)〜(i.xx)を置き換える上記変形例を特徴とする項目2に記載の方法。
上記第4の関係は、RP,1/RP,2=gD(y)に等価であり、ここで、RP,1は上記第1の擬似シート抵抗を表し、RP,2は上記第2の擬似シート抵抗を表し、gDはパラメータとして上記距離yを含む関数を表し、上記関数gDは特定の距離でピーク値を定義し、上記関数gDは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、上記方法は、
(iii.xlx)上記距離と上記特定の距離とを比較して上記付加的な距離が上記第4の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップをさらに備える
ステップ(iii.xlix)を含む付加的な項目2及び上記変形例に記載の方法。
項目4.
複数個の接触要素を備えるマルチ付加的ポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素、第4の接触要素及び1つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、
(v.i)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第1の構成を定義し、上記複数の接触要素の第1の構成は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素から構成されるステップと、
(v.ii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第2の構成を定義し、上記複数の接触要素の第2の構成は第5の接触要素、第6の接触要素、第7の接触要素及び第8の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第2の構成の少なくとも1つの接触要素は上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
(v.iii−iv)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第1の構成及び上記複数の接触要素の第2の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
(v.v)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(v.vi)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(v.vii)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(v.viii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(v.ix)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(v.x)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(v.xi)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(v.xii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(v.xiii)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(v.xiv)上記第1の抵抗値(RB)及び上記第2の抵抗値(RB’)の第1の抵抗平均値
(v.xv)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(v.xvi)上記第5の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(v.xvii)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(v.xviii)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RB,2)を計算するステップと、
(v.xix)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(v.xx)上記第6の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(v.xxi)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(v.xxii)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RB’,2)を計算するステップと、
(v.xxv)上記第3の抵抗値(RB,2)及び上記第4の抵抗値(RB’,2)の第2の抵抗平均値
(v.xxvi)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(v.xxvii)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(v.xxviii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(v.xxix)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA,1)を計算するステップと、
(v.xxx)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(v.xxxi)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(v.xxxii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(v.xxxiii)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’,1)を計算するステップと、
(v.xxxiv)上記第5の抵抗値(RA,1)及び上記第6の抵抗値(RA’,1)の第3の抵抗平均値
(v.xxxv)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間に第7の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第7の電流を発生させるステップと、
(v.xxxvi)上記第5の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第7の電流を測定するステップと、
(v.xxxvii)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間の第7の電圧を測定するステップと、
(v.xxxviii)上記第7の電流及び上記第7の電圧に基づいて第7の抵抗値(RA,2)を計算するステップと、
(v.xxxix)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間に第8の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第8の電流を発生させるステップと、
(v.xl)上記第6の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第8の電流を測定するステップと、
(v.xli)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間の第8の電圧を測定するステップと、
(v.xlii)上記第8の電流及び上記第8の電圧に基づいて第8の抵抗値(RA’,2)を計算するステップと、
(v.xliii)上記第7の抵抗値(RA,2)及び上記第8の抵抗値(RA’,2)の第4の抵抗平均値
(v.xliv)上記第1の抵抗平均値
(v.xlv)上記第2の関係において上記第4のパラメータ及び上記第5のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
(v.xlvi)上記第2の抵抗平均値
(v.xlvii)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第2の抵抗平均値
(v.xlviii)上記第1の擬似シート抵抗(RP,1)、上記第2の擬似シート抵抗(RP,2)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第10のパラメータ、第11のパラメータ及び第12のパラメータを含む第4の関係(gD)を定義するステップと、そして、
(v.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)の値を表す上記第12のパラメータを決定するステップとを備える方法。
上記第4の関係はRP,1/RP,2=gD(y)に等価であり、ここで、RP,1は上記第1の擬似シート抵抗を表し、RP,2は上記第2の擬似シート抵抗を表し、gDはパラメータとして上記距離yを含む関数を表し、
上記関数gDは特定の距離でピーク値を定義し、
上記関数gDは上記特定の距離より小さい上記距離の関数として増加するとともに、上記特定の距離より大きい上記距離の関数として減少し、
上記方法は、
(v.xlx)付加的な項目1〜3のうちのいずれか一項に記載の方法によって距離を決定して、予備的な距離を表すステップと、そして、
(v.xlxi)上記予備的な距離と上記特定の距離とを比較して、上記距離が上記第4の関係における上記特定の距離より小さいか大きいかを決定するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目4に記載の方法。
上記複数の接触点は上記複数の接触点のそれぞれと交わる第1の線を定義することを特徴とする付加的な項目1〜5のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、上記第4の接触要素及び上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素の上記複数の接触点は、上記複数の接触点が上記試験試料に接触する前に、上記複数の接触点のそれぞれに交わる第1の線を定義することを特徴とする付加的な項目1〜6のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素の上記複数の接触点は、上記第1の線に沿う与えられた順序で位置づけられることを特徴とする付加的な項目7に記載の方法。
上記第5の接触要素、上記第6の接触要素、上記第7の接触要素及び上記第8の接触要素の上記複数の接触点は、上記第1の線に沿う与えられた順序で位置づけられることを特徴とする付加的な項目8に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔及び上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第1の間隔値(s1)に近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目8又は9に記載の方法。
上記第5の接触要素と上記第6の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、並びに上記第7の接触要素と上記第8の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、第2の間隔値(s2)に近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目8〜10のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係はΔRBB’/ΔRBB’,2=fD(y,s1,s2)に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記第1の抵抗差を表し、ΔRBB’,2は上記第2の抵抗差を表し、fDは上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離y、上記第1の間隔値s1及び上記第2の間隔値s2を含む関数であることを特徴とする付加的な項目11及びステップ(i.xii)〜(i.xx)を置き換える変形例に記載の方法。
上記第1の関係ΔRBB’/ΔRBB’,2=fD(y,s1,s2)における上記関数fD(y,s1,s2)は、(3*arctan(s1/2y)−arctan(3s1/2y))/(3*arctan(s2/2y)−arctan(3s2/2y))に等価であることを特徴とする付加的な項目12に記載の方法。
上記第2の関係は
上記第4の関係はRP,1/RP,2=gD(y,s1,s2)に等価であり、ここで、RP,1は上記第1の擬似シート抵抗を表し、RP,2は上記第2の擬似シート抵抗を表し、gDは上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離y、上記第1の間隔値s1及び上記第2の間隔値s2を含む関数を表すことを特徴とする付加的な項目2〜14及びステップ(iii.xlix)を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係はΔRBB’/ΔRBB’,2=fD(y,y2,s1,s2)に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記第1の抵抗差を表し、ΔRBB’,2は上記第2の抵抗差を表し、fDは上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離y及び上記付加的な距離y2、上記第1の間隔値s1及び上記第2の間隔値s2を含む関数であることを特徴とする付加的な項目2〜14及びステップ(iii.xlix)を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係ΔRBB’/ΔRBB’,2=fD(y,y2,s1,s2)における上記関数fD(y,y2,s1,s2)は(3*arctan(s1/2y)−arctan(3s1/2y))/(3*arctan(s2/2y2)−arctan(3s2/2y2))に等価であることを特徴とする付加的な項目12に記載の方法。
上記第4の関係はRP,1/RP,2=gD(y,y2,s1,s2)に等価であり、RP,1は上記第1の擬似シート抵抗を表し、RP,2は上記第2の擬似シート抵抗を表し、そして、gDは上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離y及び上記付加的な距離y2、上記第1の間隔値s1及び上記第2の間隔値s2を含む関数を表すことを特徴とする付加的な項目2〜14及びステップ(iii.xlix)を置き換える変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記電気的境界は近似的線形部を有し、
上記第1の位置と上記線形部上の付加的な点との間の上記距離は、上記第1の位置と上記線形部の外側の上記電気的境界上の任意の付加的な点との間の距離よりも小さいことを特徴とする付加的な項目6〜18のうちのいずれか一項に記載の方法。
(vi.i)上記マルチポイントプローブを方向づけて上記第1の線を上記線形部と平行な関係に位置決めするステップをさらに備えること特徴とする付加的な項目19に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔、及び上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目1〜20のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第1の関係はΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記第1の抵抗差を表し、ΔRCC’は上記第2の抵抗差を表し、fは上記第1の位置及び上記電気的境界の間の上記距離yと上記複数の接触点の間の上記間隔sとを複数のパラメータとして含む関数であることを特徴とする付加的な項目1〜21及びステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記関係ΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)における上記第1の抵抗差ΔRBB’はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係ΔRCC’/ΔRBB’=f(y,s)における上記第2の抵抗差ΔRCC’はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目22に記載の方法。
(i.xxiii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(i.xxiv)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(i.xxv)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(i.xxvi)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA)を計算するステップと、
(i.xxvii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(i.xxviii)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(i.xxix)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(i.xxx)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’)を計算するステップと、
(i.xxxi)上記第5の抵抗値と上記第6の抵抗値との間の差に基づいて第3の抵抗差(ΔRAA’)を計算するステップと、
(i.xxxii)上記第1の関係(f)の定義において、上記第1の関係(f)は上記第3の抵抗差(ΔRAA’)を表す第4のパラメータをさらに含むステップと、
(i.xxxiii)上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)の決定において、上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’,ΔRCC’)が上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとしてそれぞれ用いられることに加えて、上記第3の抵抗差(ΔRAA’)は上記第1の関係における上記第4のパラメータとして用いられるステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目1〜23及びステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む上記変形例のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と、上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔とは近似的に等しいことを特徴とする付加的な項目1〜24のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記複数の接触点は直列に位置決めされ、上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔と異なることを特徴とする付加的な項目1〜25のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔よりも、範囲1.1〜3.7,1.2〜3.3,1.3〜2.9,1.4〜2.5,1.5〜2.1及び1.6〜1.7のうちの1つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び/又は、範囲1.2〜1.3,1.3〜1.4,1.4〜1.5,1.5〜1.6,1.6〜1.7,1.7〜1.8,1.8〜1.9,1.9〜2.0,2.0〜2.2,2.2〜2.4,2.4〜2.6,2.6〜2.8,2.8〜3.0,3.0〜3.3,3.3〜3.6,及び3.6〜3.9のうちの1つの倍数分だけ、及び/又は、近似的に3分の5倍だけ、若しくは、範囲1.2〜3.8,1.6〜3.4,1.8〜3.2,2.0〜3.0,2.2〜2.8,及び2.4〜2.6のうちの1つ又はそれ以上の倍数分だけ、及び/又は、範囲1.2〜1.3,1.3〜1.4,1.4〜1.5,1.5〜1.6,1.6〜1.7,1.7〜1.8,1.8〜1.9,1.9〜2.0,2.0〜2.2,2.2〜2.4,2.4〜2.6,2.6〜2.8,2.8〜3.0,3.0〜3.3,3.3〜3.6,3.6〜3.9のうちの1つの倍数分だけ、及び/又は、近似的に2分の5倍だけ、大きいことを特徴とする付加的な項目26に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲1〜5μm,5〜10μm,10〜15μm,15〜20μm,20〜25μm,25〜30μm,30〜40μm,40〜50μm,及び50〜500μmのうちの1つ、及び/又は、範囲1〜50μm,5〜40μm,10〜30μm,及び15〜25μmのうちの1つ又はそれ以上の範囲にあることを特徴とする付加的な項目1〜27のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記調整因子αは近似的に1又は近似的に−1であることを特徴とする付加的な項目29に記載の方法。
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第1の抵抗差ΔRBB’はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第2の抵抗差ΔRCC’はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、
上記関係(ΔRAA’+αΔRCC’)/ΔRBB’=f(y,a,b,c)における上記第3の抵抗差ΔRAA’はΔRAA’=2RH/π*(arctan((a+b)/2y)−arctan(a/2y)−arctan((b+c)/2y)+arctan(c/2y))に等価であり、ここで、ΔRAA’は上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目29又は30に記載の方法。
上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔は、範囲0.1〜100μm,1〜90μm,10〜80μm,20〜70μm,30〜60μm及び40〜50μmのうちの1つ又はそれ以上、及び/又は、範囲0.1〜1μm、1〜10μm,10〜20μm,20〜30μm,30〜40μm,40〜50μm,50〜60μm,60〜70μm,70〜80μm,80〜90μm,90〜100μm又は100〜500μmのうちの1つにあることを特徴とする付加的な項目1〜31のうちのいずれか一項に記載の方法。
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
(a)付加的な項目1〜32のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離(y)を決定するステップと、
(b)上記電気的特性及び上記距離(y)を表す第15のパラメータを含む第5の関係を定義するステップと、
(c)上記第5の関係における上記第15のパラメータとして上記距離(y)を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備え、
又は、変形例として上記方法は、
(a)付加的な項目2〜32のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を決定するステップと、
(b)上記電気的特性及び上記付加的な距離(y2)を表す第15のパラメータを含む第5の関係を定義するステップと、
(c)上記第5の関係における上記第15のパラメータとして上記付加的な距離(y2)を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。
上記第5の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の上記間隔をさらに含み、
(b’)上記第5の関係の定義において、上記第5の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第16のパラメータをさらに含み、
(c’)上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第1の距離(y)又は上記付加的な距離(y2)に加えて、上記第5の関係における上記第16のパラメータとして用いられることを特徴とする付加的な項目33に記載の方法。
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第5の関係(f1,f2)は付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第2の抵抗値(RB’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RB’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第1の抵抗値と上記付加的な第2の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗差(ΔRBB’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目33〜34のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第5の関係はΔRBB’=2RH/π*(arctan(a/2y)+arctan(b/2y)+arctan(c/2y)−arctan((a+b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRBB’は上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表し、yは上記距離(y)又は上記付加的な距離を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目35に記載の方法。
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、
上記第5の関係(f2,f3)は付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に付加的な第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第3の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記付加的な第3の電流を測定するステップと、
(f)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第3の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第3の電流及び上記付加的な第3の電圧に基づいて付加的な第3の抵抗値(RC)を計算するステップと、又はステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む上記変形例において、
(g’)付加的な第3の抵抗値(RC)として上記距離の上記決定から上記第3の抵抗値(RC)を保持するステップと、
(h)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第4の電流を発生させるステップと、
(i)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第4の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の付加的な第4の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第4の電流及び上記付加的な第4の電圧に基づいて付加的な第4の抵抗値(RC’)を計算するステップと、又はステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む上記変形例において、
(k’)付加的な第4の抵抗値(RC’)として上記距離の上記決定から上記第4の抵抗値(RC’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第3の抵抗値と上記付加的な第4の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップと、又はステップ(i.xii)〜(i.xx)を含む上記変形例において、
(l’)上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗差(ΔRCC’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目35〜36のうちのいずれか一項に記載の方法。
上記第5の関係はΔRCC’=2RH/π*(arctan((a+b+c)/2y)+arctan(b/2y)−arctan((a+b)/2y)−arctan((b+c)/2y))に等価であり、ここで、ΔRCC’は上記付加的な第2の差(ΔRCC’)を表し、yは上記距離(y)又は上記付加的な距離を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目37に記載の方法。
上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第5の関係(f1)は付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値と上記付加的な第6の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)として上記距離の上記決定から上記第3の抵抗差(ΔRAA’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする付加的な項目33又は34に記載の方法。
上記第5の関係はΔRAA’=2RH/π*(arctan((a+b)/2y)−arctan(a/2y)−arctan((b+c)/2y)+arctan(c/2y))に等価であり、ここで、ΔRAA’は上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表し、yは上記距離(y)又は上記付加的な距離を表し、aは上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、bは上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表し、cは上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表すことを特徴とする付加的な項目39に記載の方法。
上記電気的特性はシート抵抗(R0)であり、上記第5の関係(g)は擬似シート抵抗(RP)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値(RA)及び上記付加的な第6の抵抗値(RA’)の第5の抵抗平均値
(d’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e’’)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g’’)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’’’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i’’)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k’’)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’’’)付加的な第2の抵抗値(RB’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RB’)を保持するステップと、
(l’’)上記付加的な第1の抵抗値(RB)及び上記付加的な第2の抵抗値(RB’)の第6の抵抗平均値
(m)上記第5の抵抗平均値
(n)上記第6の関係において上記第18のパラメータ及び上記第19のパラメータとして上記第5の抵抗平均値
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチ付加的ポイントプローブと、
付加的な項目1〜32のうちのいずれか一項に記載の距離又は付加的な距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチ付加的ポイントプローブと、
付加的な項目33〜42のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
14 第3の接触要素
16 第4の接触要素
18 プローブ本体
20 第1の接触要素の接触点
22 第2の接触要素の接触点
24 第3の接触要素の接触点
26 第4の接触要素の接触点
30 試験試料
32 面部
33 側面
34 電気的境界
36 マルチポイントプローブ
40 共通線
42 線形部
44 電気的に非導通な面部
50〜62 複数の接触要素
70〜82 複数の接触点
90 共通線
Claims (15)
- 第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
(i.i)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素と接触させるステップと、
(i.ii)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(i.iii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(i.iv)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(i.v)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(i.vi)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(i.vii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(i.viii)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(i.ix)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(i.x)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(i.xi)上記第1の抵抗値と上記第2の抵抗値との間の差に基づいて第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップと、
(i.xii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(i.xiii)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(i.xiv)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(i.xv)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RC)を計算するステップと、
(i.xvi)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(i.xvii)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(i.xviii)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(i.xix)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RC’)を計算するステップと、そして
(i.xx)上記第3の抵抗値と上記第4の抵抗値との間の差に基づいて第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップと、そして
(i.xxi)上記第1の抵抗差、上記第2の抵抗差及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第1のパラメータ、第2のパラメータ及び第3のパラメータを含む第1の関係(f)を定義するステップと、そして
(i.xxii)上記第1の関係において上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとして上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’,ΔRCC’,ΔRBB’,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)を表す上記第3のパラメータを決定するステップとを備える方法。 - 第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記方法は、
(i.i)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素と接触させるステップと、
(i.ii)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(i.iii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(i.iv)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(i.v)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(i.vi)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(i.vii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(i.viii)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(i.ix)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(i.x)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(i.xi)上記第1の抵抗値と上記第2の抵抗値との間の差に基づいて第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップとを備え、
上記マルチポイントプローブは複数個の接触要素を備え、上記複数個の接触要素は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、上記第4の接触要素及び1つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素のそれぞれは上記試験試料と電気的接触を確立する接触点を定義し、
上記方法は、
(ii.xii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第1の構成を定義し、上記複数の接触要素の第1の構成は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素から構成されるステップと、
(ii.xiii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第2の構成を定義し、上記複数の接触要素の第2の構成は第5の接触要素、第6の接触要素、第7の接触要素及び第8の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第2の構成の少なくとも1つの接触要素は上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
(ii.xiv)上記試験試料を上記複数の接触要素の第1の構成の上記複数の接触要素と接触させるのと同時に、上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で上記試験試料を上記複数の接触要素の第2の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
(ii.xv)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(ii.xvi)上記第5の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(ii.xvii)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(ii.xviii)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RB,2)を計算するステップと、
(ii.xix)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(ii.xx)上記第6の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(ii.xxi)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(ii.xxii)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RB’,2)を計算するステップと、そして
(ii.xxiii)上記第3の抵抗値と上記第4の抵抗値との間の差に基づいて第2の抵抗差(ΔRBB’,2)を計算するステップと、そして
(i.xxi)上記第1の抵抗差、上記第2の抵抗差及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第1のパラメータ、第2のパラメータ及び第3のパラメータを含む第1の関係(f)を定義するステップと、そして
(i.xxii)上記第1の関係において上記第1のパラメータ及び上記第2のパラメータとして上記第1の抵抗差及び上記第2の抵抗差(ΔRBB’、ΔRCC’,ΔRBB’,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)を表す上記第3のパラメータを決定するステップとを備える方法。 - (iii.xxiv)上記第1の抵抗値(RB)及び上記第2の抵抗値(RB’)の第1の抵抗平均値
(iii.xxv)上記第3の抵抗値(RB,2)及び上記第4の抵抗値(RB’,2)の第2の抵抗平均値
(iii.xxvi)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(iii.xxvii)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(iii.xxviii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(iii.xxix)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA,1)を計算するステップと、
(iii.xxx)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxi)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(iii.xxxii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxiii)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’,1)を計算するステップと、
(iii.xxxiv)上記第5の抵抗値(RA,1)及び上記第6の抵抗値(RA’,1)の第3の抵抗平均値
(iii.xxxv)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間に第7の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第7の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxvi)上記第5の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第7の電流を測定するステップと、
(iii.xxxvii)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間の第7の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxviii)上記第7の電流及び上記第7の電圧に基づいて第7の抵抗値(RA,2)を計算するステップと、
(iii.xxxix)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間に第8の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第8の電流を発生させるステップと、
(iii.xl)上記第6の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第8の電流を測定するステップと、
(iii.xli)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間の第8の電圧を測定するステップと、
(iii.xlii)上記第8の電流及び上記第8の電圧に基づいて第8の抵抗値(RA’,2)を計算するステップと、
(iii.xliii)上記第7の抵抗値(RA,2)及び上記第8の抵抗値(RA’,2)の第4の抵抗平均値
(iii.xliv)上記第1の抵抗平均値
(iii.xlv)上記第2の関係において上記第4のパラメータ及び上記第5のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
(iii.xlvi)上記第2の抵抗平均値
(iii.xlvii)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第2の抵抗平均値
(iii.xlviii)上記第1の擬似シート抵抗(RP,1)、上記第2の擬似シート抵抗(RP,2)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第10のパラメータ、第11のパラメータ及び第12のパラメータを含む第4の関係(gD)を定義するステップと、そして、
(iii.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を表す上記第12のパラメータを決定するステップとをさらに特徴とする請求項2に記載の方法。 - (iii.xxiv)上記第1の抵抗値(RB)及び上記第2の抵抗値(RB’)の第1の抵抗平均値
(iii.xxv)上記第3の抵抗値(RB,2)及び上記第4の抵抗値(RB’,2)の第2の抵抗平均値
(iii.xxvi)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(iii.xxvii)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(iii.xxviii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(iii.xxix)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA,1)を計算するステップと、
(iii.xxx)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxi)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(iii.xxxii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxiii)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’,1)を計算するステップと、
(iii.xxxiv)上記第5の抵抗値(RA,1)及び上記第6の抵抗値(RA’,1)の第3の抵抗平均値
(iii.xxxv)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間に第7の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第7の電流を発生させるステップと、
(iii.xxxvi)上記第5の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第7の電流を測定するステップと、
(iii.xxxvii)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間の第7の電圧を測定するステップと、
(iii.xxxviii)上記第7の電流及び上記第7の電圧に基づいて第7の抵抗値(RA,2)を計算するステップと、
(iii.xxxix)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間に第8の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第8の電流を発生させるステップと、
(iii.xl)上記第6の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第8の電流を測定するステップと、
(iii.xli)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間の第8の電圧を測定するステップと、
(iii.xlii)上記第8の電流及び上記第8の電圧に基づいて第8の抵抗値(RA’,2)を計算するステップと、
(iii.xliii)上記第7の抵抗値(RA,2)及び上記第8の抵抗値(RA’,2)の第4の抵抗平均値
(iii.xliv)上記第1の抵抗平均値
(iii.xlv)上記第2の関係において上記第4のパラメータ及び上記第5のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
(iii.xlvi)上記第2の抵抗平均値
(iii.xlvii)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第2の抵抗平均値
(iii.xlviii)上記第1の擬似シート抵抗(RP,1)、上記第2の擬似シート抵抗(RP,2)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第10のパラメータ、第11のパラメータ及び第12のパラメータを含む第4の関係(gD)を定義するステップとをさらに備え、
上記第2の構成の上記複数の接触要素は上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を表し、上記第1の関係(fD)は上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第13のパラメータをさらに含み、上記第4の関係(gD)は上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離を表す第14のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(iv.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記距離(y)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記付加的な距離(y2)をそれぞれ表す上記第13のパラメータ及び上記第14のパラメータを同時に決定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 複数個の接触要素を備えるマルチポイントプローブによって、試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する方法であって、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義し、上記複数個の接触要素は第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素、第4の接触要素及び1つ又はそれ以上の付加的な接触要素を備え、上記方法は、
(v.i)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第1の構成を定義し、上記複数の接触要素の第1の構成は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素及び上記第4の接触要素から構成されるステップと、
(v.ii)上記複数個の接触要素における複数の接触要素の第2の構成を定義し、上記複数の接触要素の第2の構成は第5の接触要素、第6の接触要素、第7の接触要素及び第8の接触要素から構成され、上記複数の接触要素の第2の構成の少なくとも1つの接触要素は上記1つ又はそれ以上の付加的な接触要素の接触要素であるステップと、
(v.iii−iv)上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置で、上記試験試料を、上記複数の接触要素の第1の構成及び上記複数の接触要素の第2の構成の上記複数の接触要素と接触させるステップと、
(v.v)上記第1の位置で上記電気的に導通する面部に対して直角を成す主要な場の成分を有する磁場を印加するステップと、
(v.vi)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第1の電流を発生させるステップと、
(v.vii)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第1の電流を測定するステップと、
(v.viii)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の第1の電圧を測定するステップと、
(v.ix)上記第1の電流及び上記第1の電圧に基づいて第1の抵抗値(RB)を計算するステップと、
(v.x)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第2の電流を発生させるステップと、
(v.xi)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第2の電流を測定するステップと、
(v.xii)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の第2の電圧を測定するステップと、
(v.xiii)上記第2の電流及び上記第2の電圧に基づいて第2の抵抗値(RB’)を計算するステップと、
(v.xiv)上記第1の抵抗値(RB)及び上記第2の抵抗値(RB’)の第1の抵抗平均値
(v.xv)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間に第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第3の電流を発生させるステップと、
(v.xvi)上記第5の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第3の電流を測定するステップと、
(v.xvii)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間の第3の電圧を測定するステップと、
(v.xviii)上記第3の電流及び上記第3の電圧に基づいて第3の抵抗値(RB,2)を計算するステップと、
(v.xix)上記第6の接触要素と上記第8の接触要素の間に第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第4の電流を発生させるステップと、
(v.xx)上記第6の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第4の電流を測定するステップと、
(v.xxi)上記第5の接触要素と上記第7の接触要素の間の第4の電圧を測定するステップと、
(v.xxii)上記第4の電流及び上記第4の電圧に基づいて第4の抵抗値(RB’,2)を計算するステップと、
(v.xxv)上記第3の抵抗値(RB,2)及び上記第4の抵抗値(RB’,2)の第2の抵抗平均値
(v.xxvi)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第5の電流を発生させるステップと、
(v.xxvii)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記第5の電流を測定するステップと、
(v.xxviii)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の第5の電圧を測定するステップと、
(v.xxix)上記第5の電流及び上記第5の電圧に基づいて第5の抵抗値(RA,1)を計算するステップと、
(v.xxx)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第6の電流を発生させるステップと、
(v.xxxi)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記第6の電流を測定するステップと、
(v.xxxii)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の第6の電圧を測定するステップと、
(v.xxxiii)上記第6の電流及び上記第6の電圧に基づいて第6の抵抗値(RA’,1)を計算するステップと、
(v.xxxiv)上記第5の抵抗値(RA,1)及び上記第6の抵抗値(RA’,1)の第3の抵抗平均値
(v.xxxv)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間に第7の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第7の電流を発生させるステップと、
(v.xxxvi)上記第5の接触要素又は上記第8の接触要素を流れる上記第7の電流を測定するステップと、
(v.xxxvii)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間の第7の電圧を測定するステップと、
(v.xxxviii)上記第7の電流及び上記第7の電圧に基づいて第7の抵抗値(RA,2)を計算するステップと、
(v.xxxix)上記第6の接触要素と上記第7の接触要素の間に第8の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において第8の電流を発生させるステップと、
(v.xl)上記第6の接触要素又は上記第7の接触要素を流れる上記第8の電流を測定するステップと、
(v.xli)上記第5の接触要素と上記第8の接触要素の間の第8の電圧を測定するステップと、
(v.xlii)上記第8の電流及び上記第8の電圧に基づいて第8の抵抗値(RA’,2)を計算するステップと、
(v.xliii)上記第7の抵抗値(RA,2)及び上記第8の抵抗値(RA’,2)の第4の抵抗平均値
(v.xliv)上記第1の抵抗平均値
(v.xlv)上記第2の関係において上記第4のパラメータ及び上記第5のパラメータとして上記第1の抵抗平均値
(v.xlvi)上記第2の抵抗平均値
(v.xlvii)上記第3の関係において上記第7のパラメータ及び上記第8のパラメータとして上記第2の抵抗平均値
(v.xlviii)上記第1の擬似シート抵抗(RP,1)、上記第2の擬似シート抵抗(RP,2)及び上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離をそれぞれ表す第10のパラメータ、第11のパラメータ及び第12のパラメータを含む第4の関係(gD)を定義するステップと、そして、
(v.xlix)上記第4の関係(gD)において上記第10のパラメータ及び上記第11のパラメータとして上記第1の擬似シート抵抗及び上記第2の擬似シート抵抗(RP,1,RP,2)をそれぞれ用いて、上記第1の位置と上記電気的境界との間の上記距離(y)の値を表す上記第12のパラメータを決定するステップとを備える方法。 - 試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
(a)請求項1に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の距離(y)を決定するステップと、
(b)上記電気的特性及び上記距離(y)を表す第15のパラメータを含む第5の関係を定義するステップと、
(c)上記第5の関係における上記第15のパラメータとして上記距離(y)を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。 - 試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法であって、上記電気的に導通する面部は電気的境界を有し、上記方法は、
(a)請求項2〜5のうちのいずれか一項に記載の、上記試験試料の上記電気的に導通する面部上の上記第1の位置と上記電気的に導通する面部の上記電気的境界との間の付加的な距離(y2)を決定するステップと、
(b)上記電気的特性及び上記付加的な距離(y2)を表す第15のパラメータを含む第5の関係を定義するステップと、
(c)上記第5の関係における上記第15のパラメータとして上記付加的な距離(y2)を用いて上記電気的特性を決定するステップとを備える方法。 - 上記第5の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔をさらに含み、
(b’)上記第5の関係の定義において、上記第5の関係は上記第1の接触要素、上記第2の接触要素、上記第3の接触要素、及び/又は、上記第4の接触要素の上記複数の接触点の間の間隔を表す第16のパラメータをさらに含み、
(c’)上記電気的特性の決定において、上記間隔は、上記第1の距離(y)又は付加的な距離(y2)に加えて、上記第5の関係における上記第16のパラメータとして用いられることを特徴とする請求項6又は7に記載の方法。 - 上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第5の関係(f1,f2)は付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第2の抵抗値(RB’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RB’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第1の抵抗値と上記付加的な第2の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第1の抵抗差(ΔRBB’)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗差(ΔRBB’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項6〜8のうちのいずれか一項に記載の方法。 - 上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、
上記第5の関係(f2,f3)は付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に付加的な第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第3の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記付加的な第3の電流を測定するステップと、
(f)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第3の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第3の電流及び上記付加的な第3の電圧に基づいて付加的な第3の抵抗値(RC)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第3の抵抗値(RC)として上記距離の上記決定から上記第3の抵抗値(RC)を保持するステップと、
(h)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第4の電流を発生させるステップと、
(i)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第4の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の付加的な第4の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第4の電流及び上記付加的な第4の電圧に基づいて付加的な第4の抵抗値(RC’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第4の抵抗値(RC’)として上記距離の上記決定から上記第4の抵抗値(RC’)を保持するステップと、そして、
(l)上記付加的な第3の抵抗値と上記付加的な第4の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗差(ΔRCC’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項6又は8に記載の方法。 - 上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、
上記第5の関係(f2,f3)は付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間に付加的な第3の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第3の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第2の接触要素を流れる上記付加的な第3の電流を測定するステップと、
(f)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第3の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第3の電流及び上記付加的な第3の電圧に基づいて付加的な第3の抵抗値(RC)を計算するステップと、
(h)上記第3の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第4の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第4の電流を発生させるステップと、
(i)上記第3の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第4の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第2の接触要素の間の付加的な第4の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第4の電流及び上記付加的な第4の電圧に基づいて付加的な第4の抵抗値(RC’)を計算するステップと、
(l)上記付加的な第3の抵抗値と上記付加的な第4の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第2の抵抗差(ΔRCC’)を計算するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項8又は9に記載の方法。 - 上記電気的特性はホールシート抵抗(RH)であり、上記第5の関係(f1)は付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)上記付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値と上記付加的な第6の抵抗値との間の差に基づいて上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)を計算するステップ、又は
(l’)上記付加的な第3の抵抗差(ΔRAA’)として上記距離の上記決定から上記第3の抵抗差(ΔRAA’)を保持するステップとをさらに備えることを特徴とする請求項6又は7に記載の方法。 - 上記電気的特性はシート抵抗(R0)であり、上記第5の関係(g)は擬似シート抵抗(RP)を表す第17のパラメータをさらに含み、上記方法は、
(d)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第5の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第5の電流を発生させるステップと、
(e)上記第1の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第5の電流を測定するステップと、
(f)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第5の電圧を測定するステップと、
(g)上記付加的な第5の電流及び上記付加的な第5の電圧に基づいて付加的な第5の抵抗値(RA)を計算するステップ、又は
(g’)付加的な第5の抵抗値(RA)として上記距離の上記決定から上記第5の抵抗値(RA)を保持するステップと、
(h)上記第2の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第6の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第6の電流を発生させるステップと、
(i)上記第2の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第6の電流を測定するステップと、
(j)上記第1の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第6の電圧を測定するステップと、
(k)付加的な第6の電流及び上記付加的な第6の電圧に基づいて付加的な第6の抵抗値(RA’)を計算するステップ、又は
(k’)付加的な第5の抵抗値(RA’)として上記距離の上記決定から上記第6の抵抗値(RA’)を保持するステップと、
(l)上記付加的な第5の抵抗値(RA)及び上記付加的な第6の抵抗値(RA’)の第5の抵抗平均値
(d’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間に付加的な第1の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第1の電流を発生させるステップと、
(e’’)上記第1の接触要素又は上記第3の接触要素を流れる上記付加的な第1の電流を測定するステップと、
(f’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間の付加的な第1の電圧を測定するステップと、
(g’’)上記付加的な第1の電流及び上記付加的な第1の電圧に基づいて付加的な第1の抵抗値(RB)を計算するステップ、又は
(g’’’)付加的な第1の抵抗値(RB)として上記距離の上記決定から上記第1の抵抗値(RB)を保持するステップと、
(h’’)上記第2の接触要素と上記第4の接触要素の間に付加的な第2の電位を印加して上記第1の位置で上記面部において付加的な第2の電流を発生させるステップと、
(i’’)上記第2の接触要素又は上記第4の接触要素を流れる上記付加的な第2の電流を測定するステップと、
(j’’)上記第1の接触要素と上記第3の接触要素の間の付加的な第2の電圧を測定するステップと、
(k’’)上記付加的な第2の電流及び上記付加的な第2の電圧に基づいて付加的な第2の抵抗値(RB’)を計算するステップ、又は
(k’’’)付加的な第2の抵抗値(R’B)として上記距離の上記決定から上記第2の抵抗値(RB’)を保持するステップと、
(l’’)上記付加的な第1の抵抗値(RB)及び上記付加的な第2の抵抗値(RB’)の第6の抵抗平均値
(m)上記第5の抵抗平均値
(n)上記第6の関係において上記第18のパラメータ及び上記第19のパラメータとして上記第5の抵抗平均値
- 試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置と上記電気的に導通する面部の電気的境界との間の距離を決定する装置であって、上記装置は、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項1〜5のうちのいずれか一項に記載の距離又は付加的な距離を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。 - 試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する装置であって、
第1の接触要素、第2の接触要素、第3の接触要素及び第4の接触要素を備え、各接触要素は上記試験試料との電気的接触を確立する接触点を定義するマルチポイントプローブと、
請求項6〜13のうちのいずれか一項に記載の試験試料の電気的に導通する面部上の第1の位置で電気的特性を決定する方法を実行するように適応された制御ユニットとを備える装置。
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