JP5499383B2 - 半導体ウェーハ抵抗率測定装置 - Google Patents
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Description
上記4探針抵抗率測定器では、半導体ウェーハの端部付近を測定すると、実際よりも抵抗率が高く測定されてしまう現象がある。これは一様な抵抗分布を有するウェーハにおいても同様である。この現象は、半導体ウェーハの中央部分を測定する場合は探針から印加される電流がウェーハ表面の全方向にほぼ均等に流れるのに対し、ウェーハ端部付近ではウェーハ中心方向へは十分に電流が流れるが、端部方向には電流の経路が狭められて電流が十分に流れないことによるものである。
また、本発明に関連する公知技術として、4探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハの抵抗率を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、半導体ウェーハの端部の抵抗率を測定する際、予めウェーハ端部から半径方向の直線上における複数の位置の測定値に対し、各測定位置からウェーハ端部までの距離と半導体ウェーハ上に生成される薄膜の端部までの距離との差による誤差を考慮し、それぞれ異なる誤差の補正係数を乗じて各誤差に対応した補正値を求めると共に該補正値の標準偏差を求め、前記標準偏差が最小となる誤差を実際の誤差として決定するようにした技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
図1は本発明の実施例1に係る4探針抵抗率測定器を用いた半導体ウェーハ抵抗率測定装置の全体の構成を示すブロック図である。
この実施例1に係る半導体ウェーハ抵抗率測定装置は、被測定半導体ウェーハ12を載置する円盤状の測定ステージ11と、該測定ステージ11を回転させる回転駆動部18と、上記測定ステージ11上に載置された半導体ウェーハ12の上面に接触して該半導体ウェーハ12の抵抗率を測定するための複数個の4探針プローブ14a、14bと、上記複数個の4探針プローブ14a、14bを互いに独立に上下方向に移動させる複数個のプローブ上下駆動部16a、16bと、該複数個のプローブ上下駆動部16a、16bと複数個の4探針プローブ14a、14bとを上記測定ステージ11の半径方向に移動するプローブ水平駆動部17と、測定点の位置と複数個の4探針プローブ14a、14bのうちの選択すべき一つのプローブを指定する制御情報を入力する操作部13と、上記測定点の位置と選択すべき一つのプローブと、測定した抵抗率(補正した抵抗率)を表示する表示部21と、制御情報に従って上記回転駆動部18とプローブ水平駆動部17とプローブ上下駆動部16a、16bを駆動し、半導体ウェーハ12の上面の指定された位置に上記プローブを接触させる制御部20と、抵抗率を測定する計測部15とを備え、上記半導体ウェーハ12の種類に対応して選択される複数個のプローブ上下駆動部16a、16bのうちの1つを動作させ、適切な4探針プローブ14a、14bを選択し、その選択されたプローブにより、上記半導体ウェーハ12の抵抗率を測定するように構成されている。また、制御部20は、上記した全体的な制御動作を行うと共に計測部15で測定した抵抗率を補正する機能を備えている。なお、上記制御部20には、電源部19から所定の動作電源が供給される。
直列配列の4探針プローブ14による測定方式として、デュアルコンフィグレーション方式がある。これは「ASTM F 1529−02」(ASTM:American Society for Testing and Materials)の規格で定義されているが、以下に要約する。
図2に示す半導体ウェーハ12の金属薄膜に定電流源31により4探針プローブ14(14a、14b)の探針1−4間に電流Iを流して探針2−3間の電圧Vaを電圧計32にて測定する。
このステップ1での抵抗値Raは次式(1)で計算する。
図3はデュアルコンフィグレーション方式のステップ2を示している。
図3に示す半導体ウェーハ12に定電流源31により4探針プローブ14(14a、14b)の探針1−3間に電流Iを流して探針2−4間の電圧Vbを電圧計32にて測定する。
Rb=Vb/I ・・・(2)
次に探針間隔補正係数Kaは、次式(3)により計算する。
Ka=−14.696+25.173(Ra/Rb)−7.872(Ra/Rb)2 ・・・(3)
そして、シート抵抗ρsは、次式(4)により計算する。
図2に示す4探針プローブ14の探針間隔S1、S2、S3は等しくなるように調整されているが、実際には軸受けの精度などにより微細な変動が発生する。デュアルコンフィグレーション方式による測定の目的は、探針間隔S1、S2、S3の変動を測定電圧VaとVbにより補正係数Kaを求めて補正することにより、探針間隔S1、S2、S3に変動があってもその変動による測定値の誤差を補正することである。
ρs=π/loge2 * Ra
ρs=4.532 * Ra ・・・(5)
なお、探針間隔S1、S2、S3が全て等しい場合、Ra/Rb比及び補正係数Kaの値は次式(6)、(7)で示される。
Ka=4.532 ・・・(7)
図4は上記Ra/Rb比と補正係数Kaとの関係を示すグラフであり、横軸にRa/Rb比をとり、縦軸に補正係数Kaをとって示した。
次に、半導体ウェーハ12の端部まで金属薄膜が形成されていない場合を考慮し、4探針プローブ14による測定位置から金属薄膜(シート抵抗層)端面までの距離を次のようにして算出する。
上記[表2]と従来使用していた[表1]に示した補正係数により、以下の[表3]に示す各測定点から薄膜端部までの距離に対するRa/Rb比及び補正係数を得ることができる。
Ra/Rb=1.262
となる。
実際に、ある4探針プローブで半導体ウェーハ12の中心部分を、100回測定した結果、Ra/Rbの平均値(これをR0と定義する)及び標準偏差として、
平均値R0=1.267
標準偏差=0.0006
が得られた。
そして、式(8)で求めた(Ra/Rb)から、[表3]を検索することによって薄膜端部までの距離を求め、式(4)で求めたシート抵抗値に[表3]に示した端部補正係数を乗じることによって、より精度の高いシート抵抗測定値を求めることができる。
なお、上記実施例1では、直線配列の4探針プローブ14で探針間隔が1mm、ウェーハサイズ200mmの場合を例として説明したが、本発明は探針間隔が1mm以外、例えば0.635mmの場合にも、また、直線配列の4探針プローブでなく正方形配列の4探針プローブの場合にも、あるいはウェーハサイズも200mmのみでなく、例えば300mmなど全てのサイズに適用することができる。ただ、各々の場合における[表1]〜[表3]の定数が変わるのみである。
Claims (6)
- 複数個の探針プローブを有する4探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハのシート抵抗値を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、
前記4探針に供給する電流の探針と測定する電圧の探針を変更して前記半導体ウェーハの端部から半径方向の直線上における複数の位置の抵抗値を前記探針プローブのそれぞれで測定し、該抵抗値に基づいて、前記複数の位置から前記半導体ウェーハの端部までの距離に対する前記抵抗値の比をそれぞれ算出する手段と、
前記半導体ウェーハの端部付近の抵抗値を測定した際、前記抵抗値の比に対して、前記半導体ウェーハの中心部分を所定回数測定して、予め求めておいた抵抗値の比の平均値に基づく一次補正を行った後、前記一次補正で補正した抵抗値の比で検索して、前記複数の位置から前記ウェーハ端部までの距離に応じた端部補正係数を取得し、前記抵抗値に前記探針プローブの探針間隔の変動による測定誤差を補正する補正係数と前記端部補正係数とを乗じて補正したシート抵抗値を得る抵抗値測定手段と
を具備することを特徴とする半導体ウェーハ抵抗率測定装置。 - 前記探針プローブを用いた測定方式は、
第1探針−第4探針間に電流を印加したときに、第2探針−第3探針間で測定される電圧に基づいて、第1抵抗値を求める第1ステップと、
第1探針−第3探針間に電流を印加したときに、第2探針−第4探針間で測定される電圧に基づいて、第2抵抗値を求める第2ステップと
を少なくとも有するデュアルコンフィグレーション方式であることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハ抵抗率測定装置。 - 前記第1ステップ及び前記第2ステップにおいて、電流を印加する端子間の距離、且つ、電圧を測定する端子の位置及び端子間の距離が異なるため、前記第1抵抗値と前記第2抵抗値は異なる値であることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウェーハ抵抗率測定装置。
- 前記第1抵抗値と前記第2抵抗値との比は、前記探針プローブで測定した位置から前記ウェーハ端部までの距離に応じて変動することを特徴とする請求項2に記載の半導体ウェーハ抵抗率測定装置。
- 前記シート抵抗値をρs、前記補正係数をKa、及び前記第1抵抗値をRaとしたとき、
前記シート抵抗値ρsは、ρs=Ka*Raで与えられることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウェーハ抵抗率測定装置。 - 前記第1抵抗値をRa、前記第2抵抗値をRb、前記抵抗値の比をRa/Rb、前記ウェーハ端部付近の抵抗値の比を(Ra/Rb) n 、前記抵抗値の比(Ra/Rb)の平均値をR 0 としたとき、
前記一次補正で補正した抵抗値の比は、(Ra/Rb)=(Ra/Rb) n × 1.262/R 0 で与えられることを特徴とする請求項2に記載の半導体ウェーハ抵抗率測定装置。
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