KR101826997B1 - 자동화 다중-지점 프로브 조작 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 자동화 취급에 특히 적절한 다중-지점 프로브가 개시되어 있다. 다중-지점 프로브 및 프로브 조작기 헤드를 포함하는 자동화 다중-지점 측정 시스템이 또한 개시되어 있다. 추가로, 프로브 홀더 및 프로브 조작기 헤드를 포함하는 자동화 다중-지점 프로브 파지 시스템이 개시되어 있다. 나아가, 다중-지점 프로브를 취급하기 위한 프로브 로더 및 프로브 카세트를 포함하는 로딩식 프로브 로더가 또한 개시되어 있고, 프로브 카세트에는 다중-지점 프로브를 고정하는 프로브 홀더가 제공된다.

Description

자동화 다중-지점 프로브 조작{AUTOMATED MULTI-POINT PROBE MANIPULATION}
본 발명은 일반적으로 다중-지점 프로브에 의한 취급 및 측정에 그리고 특히 자동화 취급에서의 안전성 및 정확성의 개선에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 발명은 안전성 및 정확성을 개선시키는 데 기여하는 다중-지점 프로브, 프로브 홀더(probe holder), 프로브 카세트(probe cassette), 프로브 조작기 헤드(probe manipulator head) 및 프로브 로더(probe loader)에 관한 것이다.
다중-지점 프로브의 취급은 예컨대 측정 시스템 또는 조작기 내로 다중-지점 프로브를 로딩할 때에 상당량의 수동 개입을 수반한다. 이것은 예컨대 단순히 손가락으로 다중-지점 프로브를 만짐으로써 다중-지점 프로브의 팁(tip) 또는 암(arm)이 쉽게 손상된다는 점에서 상당한 위험성을 제기한다. 이것은 대부분의 경우에 1개 이상의 프로브 암의 특히 마이크로미터 스케일의 프로브 암의 파손 즉 일종의 복구 불가능한 손상을 초래할 것이다.
시험 기판 상의 측정에서 다중-지점 프로브를 채용할 때에, 각각의 결합은 특히 마이크로미터 스케일의 암에 대해 프로브 암 상에서 약간의 마모를 유발할 것이다. 주로, 마모는 시험 기판과 직접 물리적으로 접촉되는 금속 층 상에서 유발될 것이다. 이들 종류의 다중-지점 프로브는 프로브 암에 새로운 전기 전도성 금속 층을 추가함으로써 성공적으로 수리될 수 있다. 그러나, 이것은 다중-지점 프로브를 사용하는 사람 그리고 프로브를 수리하는 사람의 양쪽 모두에 의한 수동 취급을 요구한다. 그러면, 다중-지점 프로브가 수동으로 반복적으로 취급된다는 단순한 사실에 의해 손상 위험성이 상당히 증가된다.
마이크로미터 스케일 이하의 프로브 암을 갖는 다중-지점 프로브는 특히 프로브 암이 접촉되기 전에 다중-지점 프로브의 다른 부분이 접촉되고 이것이 시험 기판 또는 프로브 자체에 심각한 피해를 유발할 수 있는 현상을 피하기 위해 측정 시스템 내에서의 위치 설정 또는 프로브 조작기의 파지 면에서 높은 정확성을 요구한다.
마이크로미터 스케일의 프로브 암을 갖는 다중-지점 프로브 그리고 관련 기술이 이전에 설명 및 논의되었다. 그러므로, 모두가 참조로 여기에 합체되어 있는 미국 특허 제7,323,890호, 제7,302,486호, 제7,135,876호 및 제7,307,436호를 참조하기로 한다. 나아가, 유럽 특허 제EP 1 095 282호 및 제EP 1 085 327호; 유럽 특허 출원 제EP 0 974 845호, 제EP 1 698 905호, 제EP 1 466 182호, 제EP 1 610 131호, 제EP 1 640 730호, 제EP 1 686 387호, 제EP 1 782 078호, 제EP 1 775 594호, 제EP 1 949 115호, 제EP 1 780 550호, 제EP 2 016 433호 및 제EP 1 970 714호; 그리고 PCT 출원 제WO 2008/110174호를 또한 참조하기로 한다.
본 발명에 따른 목적은 다중-지점 프로브의 자동화 취급 또는 다중-지점 프로브와의 적은 수동 접촉을 수반하는 취급을 제공하는 것이다. 이것은 인적 인자로 인한 실수 위험성이 감소될 수 있다는 점에서 장점을 갖는다. 또 다른 장점에 따르면, 다중-지점 프로브가 더 작아질 수 있거나 다중-지점 프로브에 수동 취급을 가능케 하도록 회로 기판이 제공될 필요가 없고, 이것은 측정 시스템의 특히 다중-지점 프로브를 보유하는 조작기의 스케일이 더 작아질 수 있다는 것을 의미한다. 이것은 결국 다중-지점 프로브가 일부의 적용 분야에서 접근 불가능한 하부 영역 또는 리세스(recess)에 도달할 수 있다는 것을 의미한다.
본 발명의 다른 목적은 시험 기판에 대한 다중-지점 프로브의 정확한 위치 설정 및 정렬을 제공하는 것, 다중-지점 프로브의 보관 및 채용을 위한 청정 환경을 제공하는 것 그리고 다중 지점-프로브의 자동화 취급을 제공하는 것이다. 정확한 정렬은 높은 공간 해상도에서의 더 정확한 측정을 가능케 한다. 청정 환경은 먼지 입자가 프로브 암 및 시험 샘플과 접촉되고 이것이 프로브 암 및 시험 샘플을 손상시키거나 측정을 혼란시킬 수 있는 위험성을 감소시킬 것이다. 자동화 취급은 동일한 종류의 상이한 다중-지점 프로브를 사용하여 여러 회의 연속 측정의 반복성을 증가시킬 것이다. 이것은 또한 다중-지점 프로브를 교환하는 데 요구되는 시간을 감소시킬 것이고, 그에 의해 일반적인 효율을 증가시킨다.
본 발명의 구체적인 특징 실시예는 다중-지점 프로브, 프로브 홀더, 프로브 카세트, 프로브 조작기 헤드 및 프로브 취급기이다. 이들 특징 실시예는 측정에서 다중-지점 프로브, 프로브 홀더, 프로브 카세트, 프로브 조작기 헤드 및 프로브 취급기를 채용할 때에 다중-지점 프로브의 더 안전한 취급 그리고 또한 더 정확한 위치 설정을 제공할 것이다.
위의 목적, 위의 장점 및 위의 특징에 추가하여, 많은 다른 목적, 장점 및 특징이 본 발명에 따른 양호한 실시예의 아래에서 제공되는 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. 이들 목적, 장점 및 특징은 서로와 평행한 평면형 저부 표면 및 평면형 상부 표면을 포함하는 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브에 의해 성취된다. 다중-지점 프로브는 경사진 평면형 전방 표면, 제1 측면 표면, 제1 측면 표면으로부터 다중-지점 프로브의 대향측 상의 제2 측면 표면 그리고 전방 표면으로부터 다중-지점 프로브의 대향측 상의 단부 표면을 추가로 포함한다. 전방 표면, 제1 측면 표면, 제2 측면 표면 및 단부 표면의 각각은 저부 표면 및 상부 표면과 접합된다. 전방 표면 및 저부 표면은 그 사이에 내부 전방 예각부(acute internal front angle) 및 전방 모서리를 형성한다. 제1 측면 표면 및 저부 표면은 그 사이에 제1 측면 모서리를 형성하고, 제2 측면 표면 및 저부 표면은 그 사이에 제2 측면 모서리를 형성하고, 단부 표면 및 저부 표면은 그 사이에 단부 모서리를 형성한다. 다중-지점 프로브의 길이 방향이 제1 및 제2 측면 모서리를 따라 그리고 전방 모서리에 직각으로 형성된다. 저부 표면에는 전기 전도성 금속 층 및 한 세트의 조각 절단부(engraved cut)가 제공되고, 한 세트의 조각 절단부는 금속 층을 복수개의 접촉 패드, 복수개의 전기 도선 그리고 전방 모서리에서 프로브 팁으로 수렴하는 복수개의 신호 트레이스로 분할한다. 복수개의 전기 도선의 각각의 전기 도선은 복수개의 접촉 패드의 각각의 접촉 패드 그리고 복수개의 신호 트레이스의 신호 트레이스를 상호 연결한다. 복수개의 접촉 패드는 서로의 옆에 그리고 길이 방향을 따라 위치되는 제1 열 및 제2 열로 분할된다. 제1 열 및 제1 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면의 제1 외부 영역을 형성하고, 제2 열 및 제2 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면의 제2 외부 영역을 형성하고, 한편 제1 열 및 제2 열은 그 사이에 내부 영역을 형성한다. 복수개의 전기 도선은 외부 그룹 및 내부 그룹으로 분할되고, 외부 그룹의 전기 도선이 제1 또는 제2 외부 영역 중 어느 한쪽을 횡단하고, 내부 그룹의 전기 도선이 내부 영역을 횡단한다.
여기에서, 이전에 설명된 것과 같은 제1 열 및 제2 열로의 복수개의 접촉 패드의 배열 그리고 동시에 3개의 그룹으로의 복수개의 접촉 패드의 배열은 다중-지점 프로브의 저부 표면의 제한된 면적의 효율적인 사용을 가능케 한다. 특히, 전기 도선의 길이는 접촉 패드 및 외부 영역의 면적의 관점에서 최소화될 수 있다. 이것은 큰 접촉 패드가 연결할 때에 덜 정확한 위치 설정을 요구한다는 점에서 그리고 큰 외부 영역이 여러 개의 지지부가 그 저부 표면으로부터 다중-지점 프로브와 동시에 결합되게 한다는 점에서 장점이다. 후자의 예로서, 다중-지점 프로브는 제1 지지부 상에 위치되게 하고 동시에 제2 지지부에 의해 결합되게 할 정도로 충분히 큰 외부 영역을 가질 수 있고, 이것은 안전한 자동화 취급을 가능케 한다.
추가예에서, 제1 열의 접촉 패드 중 2개의 이웃 접촉 패드가 한 세트의 조각 절단부의 단일 조각 절단부에 의해 분리될 수 있고, 제2 열의 접촉 패드 중 2개의 이웃 접촉 패드가 복수개의 조각 절단부의 단일 조각 절단부에 의해 분리될 수 있다. 이들 특징의 장점에 따르면, 일정한 내부 및 외부 영역에 대해, 이들 특징은 접촉 패드의 면적을 증가시키는 데 기여한다. 이웃하는 제1 열의 접촉 패드와 제2 열의 접촉 패드 사이의 최단 분리 거리는 복수개의 조각 절단부의 단일 조각 절단부에 의해 형성될 수 있다. 이러한 특징의 장점에 따르면, 이러한 특징은 내부 영역이 최소화될 수 있게 하고, 이것은 접촉 패드 및/또는 외부 영역의 면적이 더 커질 수 있다는 것을 의미한다. 나아가, 제1 열과 제2 열 사이의 내부 영역은 복수개의 전기 도선의 내부 그룹에 의해 그리고 복수개의 전기 도선을 형성하는 한 세트의 조각 절단부의 각각의 조각 절단부에 의해 완전히 덮일 수 있다. 이것은 내부 영역이 전기 도선의 폭 및 기하 형상의 관점에서 최소화된다는 점에서 장점을 갖는다. 이것은 접촉 패드 및 외부 영역의 합성 면적이 최대화되게 한다. 복수개의 전기 도선은 길이 방향에 평행하게 복수개의 접촉 패드에 연결될 수 있다. 이러한 기하 형상은 전기 도선의 폭 그리고 접촉 패드의 면적의 관점에서 내부 영역의 최소화 그리고 외부 영역의 최대화를 가능케 한다.
프로브 팁은 저부 표면에 평행하게 전방 모서리로부터 자유롭게 연장되는 다수개의 프로브 암을 포함할 수 있다. 다수개의 프로브 암의 각각의 프로브 암에는 복수개의 신호 트레이스의 단일 신호 트레이스와 연결되는 전기 전도성 금속 층이 제공된다. 이러한 특징은 자유 연장 프로브 암이 개별적으로 가요성이고 그에 의해 측정할 때에 다중-지점 프로브의 작은 오정렬을 가능케 한다는 점에서 자동 로딩에 특히 유리하다. 다수개의 프로브 암의 프로브 암이 0.1 ㎜ 미만인 그 말단 단부와 전방 모서리 사이의 길이를 형성할 수 있다. 나아가, 다수개의 프로브 암 중 2개의 이웃 프로브 암 사이의 간격은 0.02 ㎜ 미만일 수 있다.
복수개의 신호 트레이스 중 2개 이상의 신호 트레이스가 전자 회로를 형성하도록 상호 연결될 수 있다. 프로브 팁은 시험 표면과 접촉되도록 다중-지점 프로브의 전방 모서리로부터 자유롭게 연장되는 캔틸레버(cantilever)를 갖는 접촉 검출기를 포함할 수 있다. 이것은 시험 표면이 프로브 암의 파손을 방지하도록 검출될 수 있다는 점에서 장점을 갖는다. 접촉 검출기는 다중-지점 프로브의 전방 모서리와 시험 표면 사이의 거리를 결정하는 데 또한 사용될 수 있다. 접촉 검출기는 복수개의 신호 트레이스의 각각의 신호 트레이스를 거쳐 복수개의 접촉 패드 중 적어도 1개의 접촉 패드에 연결될 수 있다. 나아가, 접촉 검출기는 캔틸레버 변형량 게이지(cantilever strain gauge)일 수 있고, 캔틸레버는 저부 표면에 평행할 수 있고, 캔틸레버에는 다중-지점 프로브의 전방 모서리에서 제1 림(limb) 및 제2 림을 형성하는 전기 전도성 금속 층이 제공될 수 있다. 제1 림 및 제2 림은 자유 연장 캔틸레버를 거쳐 복수개의 신호 트레이스 중 한 쌍의 신호 트레이스를 상호 연결하도록 전방 모서리를 횡단한다. 한 쌍의 신호 트레이스가 캔틸레버 변형량 게이지와 대략 동일한 형태 및 치수를 갖는 기준 저항기(reference resistor)에 의해 상호 연결될 수 있다. 이것은 부분 외부 휘트스톤 브리지(Wheatstone bridge) 내에 접촉 검출기를 결합시킴으로써 정확한 접촉 검출을 가능케 한다.
추가예 또는 대체예에서, 제1 측면 표면은 그 자체와 저부 표면 사이에 내부 제1 측면 예각부를 형성하도록 경사지고, 제2 측면 표면은 그 자체와 저부 표면 사이에 내부 제2 측면 예각부를 형성하도록 경사지고, 단부 표면은 그 자체와 저부 표면 사이에 내부 단부 예각부를 형성하도록 경사진다. 상부 및 저부 표면과 접합되는 경사형 표면은 다중-지점 프로브의 정확한 위치 설정을 가능케 하고, 이것은 아래에서 추가로 논의될 것이다.
이들 목적, 장점 및 특징은 그 상부 단부에서의 상부 그리고 그 하부 단부에서의 저부를 형성하는 지지 컬럼을 포함하는 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더에 의해 성취된다. 상부 및 저부는 전방부, 전방부로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 후방부, 제1 측면 그리고 제1 측면으로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 제2 측면에 의해 접합된다. 지지 컬럼은 상부 부분 그리고 상부 부분을 지지하는 저부 부분으로 구성된다. 지지 컬럼은 그 상부에서 그 제1 측면에서의 제1 견부 그리고 제2 측면에서의 제2 견부를 형성한다. 제1 및 제2 견부는 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면에 결합되도록 상향 직선형 제1 및 제2 견부 결합 모서리를 각각 형성한다. 제1 및 제2 견부는 그 각각의 제1 및 제2 견부 결합 모서리에 의해 지지 평면을 함께 형성한다. 지지 컬럼은 제1 및 제2 견부 아래의 그리고 제1 및 제2 견부 사이의 중공 공간, 그리고 추가로 중공 공간으로의 그 후방부 내의 그리고 그 상부 내의 단일 개구를 형성한다.
여기에서, 중공 공간 및 단일 개구는 지지 컬럼의 견부 상에 위치되는 다중-지점 프로브가 그 상부 및 저부 표면의 양쪽 모두와 결합됨으로써 안전하게 파지되게 하고, 이것은 안전한 자동화 로딩을 가능케 한다.
지지 컬럼은 그 전방부에서의 상향 및 외향 연장 설부(upwardly and outwardly extending tongue)를 추가로 포함할 수 있다. 설부에는 자동화 광학 포커싱을 가능케 하는 기준부(fiducial)가 제공될 수 있다. 나아가, 설부는 오목부(indentation)가 제공되는 평면형 기준 표면을 포함할 수 있다. 오목부는 평면형 기준 표면과 공면(coplanar)인 림(rim)을 갖고, 기준부는 림에 의해 형성될 수 있다. 설부의 치수 그리고 오목부의 위치는 알려져 있으므로, 기준부 상에서의 자동화 포커싱이 그 견부 상에 다중-지점 프로브를 파지할 때에 지지 컬럼에 대한 정확한 위치 설정을 가능케 하고, 이것은 아래의 상세한 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.
본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더는 브래킷(bracket)을 추가로 포함할 수 있다. 브래킷은 결국 브래킷 기부(bracket base), 브래킷 네크(bracket neck) 및 브래킷 헤드(bracket head)를 포함하고, 브래킷 기부는 지지 컬럼의 저부 부분에 접합되고, 브래킷 네크는 그 저부에서 브래킷 기부에 연결되고, 브래킷 헤드는 브래킷 네크의 상부에 연결된다. 나아가, 브래킷 네크는 그 평형 위치에서의 정지 위치 그리고 지지 컬럼으로부터 멀리 떨어지게 편향될 때의 해제 위치를 형성하는 탄성 캔틸레버 스프링이다. 브래킷 헤드는 컬럼 본체 위에 위치되는 한 쌍의 지지 핀을 포함하고, 한 쌍의 지지 핀의 각각의 지지 핀은 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면 또는 단부 표면과 결합되도록 다른 지지 핀과 대면하는 그 측면에서 직선형 핀 결합 모서리를 형성한다. 한 쌍의 지지 핀은 그 각각의 핀 결합 모서리에 의해 결합 평면을 함께 형성한다. 이러한 브래킷은 지지 컬럼의 견부에 다중-지점 프로브를 고정한다는 점에서 장점을 갖는다. 지지 팁에 의한 이동이 방지되면, 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 및 단부 표면과 결합되는 그 직선형 핀 결합 모서리가 지지 컬럼의 견부 상에서의 정확한 위치 설정을 가능케 한다.
한 쌍의 지지 핀에 의해 형성된 결합 평면은 브래킷 네크가 그 정지 위치에 있을 때에 제1 및 제2 지지 견부에 의해 형성된 지지 평면에 평행할 수 있다. 이러한 방식으로, 직선형 핀 결합 모서리에 의해 경사진 평면형 전방 및 단부 표면을 결합시킬 때에, 브래킷 네크로부터 다중-지점 프로부터 전달되는 힘이 작거나 존재하지 않을 것이다. 이것은 큰 힘이 지지 핀들 사이에 다중-지점 프로브를 고정할 수 있거나 결합 해제될 때에 다중-지점 프로브가 그 위치를 이동시킬 수 있다는 점에서 장점이다.
추가예 또는 대체예에서, 브래킷 헤드는 지지 컬럼과 대면하는 그 측면 상의 경사형 헤드 표면을 추가로 포함한다. 경사형 헤드 표면은 브래킷 네크가 그 정지 위치에 있을 때에 수평 평면에 대해 0이 아닌 각도를 형성하는 법선(normal)을 갖는 평면을 형성한다. 이러한 특징의 장점에 따르면, 브래킷 헤드는 단순하게 경사형 헤드 표면 상에서 수직으로 하향으로 물체를 이동시키고 이것이 다중-지점 프로브로부터 멀리 떨어지게 브래킷 헤드를 편향시킴으로써 지지 컬럼 상의 다중-지점 프로브로부터 결합 해제될 수 있다. 브래킷 네크의 가요성은 브래킷 기부로부터 브래킷 헤드로의 방향으로 증가될 수 있고, 그에 의해 브래킷 헤드는 브래킷 헤드를 편향시킴으로서 멀리 떨어지게 편향될 때에 위로 지지 핀의 양쪽 모두를 회전시킴으로써 다중-지점 프로브로부터 결합 해제될 것이다. 브래킷 네크에는 브래킷 기부로부터 브래킷 헤드로의 방향으로 증가되는 폭을 갖는 구멍이 제공될 수 있다. 이전의 특징의 이러한 기술적 구현은 브래킷 네크의 비틀림(torsion) 및 측방 굽힘(sideways flexing)의 양쪽 모두에 대해 안정된다는 점에서 장점을 갖는다.
이들 목적, 장점 및 특징은 커버, 래크(rack) 그리고 1개 이상의 다중-지점 프로브를 지지하도록 래크에 부착되는 프로브 지지부를 포함하는 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 카세트에 의해 성취된다. 프로브 카세트는 커버 및 래크가 프로브 지지부를 포위하도록 연결되는 폐쇄 상태 그리고 커버 및 래크가 연결 해제되는 개방 상태를 형성한다. 커버에는 상향 제1 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 평행 홈이 제공되고, 래크에는 하향 제2 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 평행 홈이 제공된다. 제1 플랜지형 활주 지지부는 프로브 카세트가 그 폐쇄 상태에 있을 때에 제2 플랜지형 활주 지지부와 동일한 방향으로 연장되도록 제2 플랜지형 활주 지지부 위에 위치된다. 이것에 의해, 카세트는 다중-지점 프로브를 로딩, 언로딩 및 운반할 때에 다중-지점 프로브의 용이하고 안전한 취급을 가능케 한다. 다중-지점 프로브는 단지 제한된 횟수만큼 사용될 수 있고, 그에 따라 안전한 운반이 필수적이다. 추가예 또는 대체예에서, 프로브 지지부는 복수개의 다중-지점 프로브를 수용할 수 있고, 이것은 여러 개의 다중-지점 프로브가 1개의 안전한 용기 또는 카세트 내에 보내질 수 있다는 점에서 장점을 갖는다. 추가예에서, 커버는 핸들을 추가로 포함하고, 래크에는 제2 플랜지형 활주 지지부 내의 리세스가 추가로 제공될 수 있고, 리세스에는 제2 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 홈에 대해 직각을 형성하는 포획 바(catch bar)가 제공된다. 핸들은 카세트의 용이하고 안전한 취급을 가능케 하고, 한편 홈은 카세트의 용이한 개방을 가능케 한다. 카세트는 카세트의 폐쇄 상태에서 래크로의 커버의 해제 가능한 로킹을 제공하는 로크(lock)를 추가로 포함할 수 있다. 이것은 카세트가 의도되지 않게 개방되는 것을 방지할 것이고, 이것은 그렇지 않으면 운반 중의 위험 요소일 것이다. 로크는 또한 다중-지점 프로브와 관련된 용이한 부당 변경(tampering)을 방지할 것이다.
커버는 그 폐쇄 상태에서 카세트의 외부측으로부터 접근 가능한 패드 커넥터, 그 폐쇄 상태에서 카세트의 내부측으로부터 접근 가능한 암형 커넥터 그리고 패드 커넥터와 암형 커넥터 사이의 전기 연결부를 추가로 포함할 수 있다. 나아가, 프로브 카세트는 보호 하우징이 제공되는 비휘발성 디지털 메모리 그리고 암형 커넥터와 결합 가능한 수형 커넥터를 추가로 포함할 수 있다. 암형 및 수형 커넥터는 연결될 때에 비휘발성 디지털 메모리의 해제 가능한 지지부를 제공한다. 이것은 물리적으로 운반되거나 보관될 때에 다중-지점 프로브에 대한 정보가 동일한 카세트 내에 저장되게 한다. 나아가, 해제 가능한 지지부는 비휘발성 디지털 메모리가 커버의 패드 커넥터를 거쳐 컴퓨터에 연결될 필요가 없고 그 대신에 컴퓨터의 암형 커넥터에 직접 연결될 수 있다는 점에서 장점을 갖는다. 비휘발성 디지털 메모리는 다중-지점 프로브와 시험 샘플 사이에서의 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 수용할 수 있다. 이러한 정보는 다중-지점 프로브 상에서의 접촉 암의 마모와 관련될 수 있고, 접촉 암을 교체할 시기를 결정하는 데 사용될 수 있다. 비휘발성 디지털 메모리는 측정에서 다중-지점 프로브를 채용할 때의 동작 파라미터에 대응하는 정보를 수용할 수 있다. 이들 동작 파라미터는 예컨대 위에서-언급된 결합 수행 횟수일 수 있다. 다중-지점 프로브의 프로브 암의 마모에서 중요할 수 있는 동작 파라미터의 다른 예는 프로브 암을 통해 흐르는 전류, 시험 표면에 가해지는 압력 그리고 시험 표면의 구조 및 재료이다. 다른 정보는 식별 번호 및/또는 기술 사양일 수 있다. 기술 사양은 프로브 암의 개수, 프로브 암의 기하학적 구성 그리고 다중-지점 프로브가 제조된 재료일 수 있다.
추가예에서, 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 카세트의 프로브 홀더는 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더일 수 있다. 이것은 위의 설명으로부터 명확해진 것과 같이 카세트가 자동화 취급에서 용이하게 로딩 및 언로딩될 수 있게 한다.
이들 목적, 장점 및 특징은 팁을 형성하는 접촉 설부(contact tongue)를 포함하는 본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드에 의해 성취된다. 나아가, 접촉 설부는 전기 전도성인 복수개의 접촉 핑거(contact finger)를 포함하고, 복수개의 접촉 핑거는 다중-지점 프로브의 저부 표면 상의 대응하는 복수개의 접촉 패드와 결합되도록 그 팁으로부터 자유롭게 연장된다. 복수개의 접촉 핑거의 각각의 접촉 핑거는 말단 단부를 갖고, 복수개의 접촉 핑거는 그 말단 단부에 의해 접촉 평면을 함께 형성한다. 접촉 평면은 모든 접촉 핑거와 평면형 접촉 표면 예컨대 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브의 저부 표면 사이의 안전한 동시 연결을 가능케 한다. 접촉 평면이 저부 표면과 공면일 때에, 모든 접촉 핑거가 결합된다. 접촉 설부는 다수개의 다중-지점 프로브에 해제 가능하게 연결되는 조작기의 반복된 결합을 가능케 한다.
복수개의 접촉 핑거의 접촉 핑거는 평행하게 공통 방향으로 연장될 수 있다. 바람직하게는, 접촉 핑거는 가요성이고, 그에 의해 접촉 핑거가 평행하다는 사실은 접촉 핑거가 대략 동일한 방식으로 굽혀진다는 것을 의미하고, 이것은 접촉 표면에 평행한 이동에 대해 그 저부 표면이 접촉 표면과 공면인 상태에서 접촉 핑거가 다중-지점 프로브와의 물리적 접촉을 파괴시키지 않는다는 것을 의미한다. 접촉 핑거는 마름모꼴 단면을 가질 수 있다. 나아가, 이러한 특징은 접촉 핑거가 접촉 패드에 대해 더 높은 결합력을 형성할 수 있게 하고, 이것은 그 사이의 전기 전도도를 개선시킬 것이다. 나아가, 접촉 평면은 복수개의 접촉 핑거의 공통 방향에 대한 결합 각도를 형성할 수 있다. 접촉 핑거가 수평 평면에 평행한 것으로 가정하면, 이러한 특징은 접촉 설부에 의해 그 저부 표면에서 결합되는 다중-지점 프로브의 팁이 모든 접촉 핑거 아래에 그리고 모든 접촉 핑거의 전방에 위치되게 한다. 즉, 이러한 특징은 다중-지점 프로브의 바람직한 배향을 가능케 한다.
추가예 또는 대체예에서, 복수개의 접촉 핑거는 제1 컬럼 및 제2 컬럼으로 분할될 수 있다. 제1 컬럼의 접촉 핑거는 제1 평면 내에 위치되고, 제2 컬럼의 접촉 핑거는 제2 평면 내에 위치되고, 제1 평면 및 제2 평면은 평행하다. 이것은 관련된 다중-지점 프로브의 저부 표면의 중심에서의 단지 좁은 부분이 접촉 패드에 의해 점유되어야 하고 그에 의해 파지를 위한 다중-지점 프로브의 측면에서의 상당한 면적을 남긴다는 것을 의미한다. 2개의 컬럼으로 된 접촉 핑거가 2개의 열로 된 접촉 패드에 연결되는 데 특히 적절한 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브를 추가로 참조하기로 한다.
본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드는 전방부를 형성하는 하악부(mandible)를 추가로 포함할 수 있다. 하악부는 결국 그 전방부에서 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면과 일체로 결합되도록 제1 지지 평면을 형성하는 제1 프로브-지지 구치부(first probe-support molar) 그리고 제2 지지 평면을 형성하는 제2 프로브-지지 구치부를 포함한다. 제1 프로브-지지 구치부 및 제2 프로브-지지 구치부는 분리되고, 제1 지지 평면 및 제2 지지 평면은 제1 프로브-지지 구치부와 제2 프로브-지지 구치부 사이에 공통 접선 방향 지지 평면을 형성하도록 공면이다. 접촉 설부 및 하악부는 복수개의 접촉 핑거가 공통 지지 평면을 횡단하는 서로에 대한 설부 결합 배향을 형성한다. 이것은 다중-지점 프로브의 저부 표면으로의 특히 본 발명의 제1 태양에 따른 프로브로의 접촉 핑거 및 프로브 지지 구치부의 동시 연결을 가능케 한다.
접촉 설부 및 하악부는 복수개의 접촉 핑거가 모두 공통 지지 평면의 하나의 측면 상에 있는 서로에 대한 설부 결합 해제 배향을 형성할 수 있다. 이것은 하악부가 접촉 설부에 앞서 다중-지점 프로브와 먼저 결합되게 한다. 그렇지 않으면, 다중-지점 프로브를 파지할 때에, 접촉 설부가 하악부에 의해 결합되기 전에 다중-지점 프로브의 위치를 이동시킬 수 있고, 그에 의해 오정렬을 유발한다.
나아가, 제1 프로브-지지 구치부 및 제2 프로브-지지 구치부의 각각은 다중-지점 프로브의 저부 표면과 결합되는 결합 지점을 갖는 볼록 결합 표면을 포함할 수 있다. 제1 지지 평면은 결합 지점 그리고 제1 프로브-지지 구치부의 볼록 결합 표면에 대한 접선 방향 평면과 공면일 수 있다. 마찬가지로, 제2 지지 평면은 결합 지점 그리고 제2 프로브-지지 구치부의 볼록 결합 표면에 대한 접선 방향 평면과 공면일 수 있다. 이것은 예리한 모서리가 다중-지점 프로브의 저부 표면과 결합되지 않는다는 점에서 장점을 갖고, 이것은 그렇지 않으면 저부 표면으로부터 재료를 박리시킴으로써 입자를 방출할 수 있다. 나아가, 2개의 결합 영역은 하악부에 의해 결합될 때에 다중-지점 프로브의 위치의 조정 면에서 더 큰 자유도를 제공할 것이다.
본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드는 전방부를 형성하는 상악부(maxilla)를 추가로 포함할 수 있다. 상악부는 하악부 및 접촉 설부를 위한 피벗 지지부를 제공하는 피벗 축 그리고 기계 링키지를 거쳐 하악부 및 접촉 설부에 결합되는 회전 작동기를 포함한다. 피벗 축, 회전 작동기, 기계 링키지 및 하악부는 하악부의 전방부와 상악부의 전방부 사이의 가변 분리 거리를 형성한다. 가변 분리 거리는 하악부를 위한 폐쇄 위치를 형성하는 최소 분리 거리를 갖도록 회전 작동기를 회전시킴으로써 변동된다. 이것은 조작기 헤드에 의한 다중-지점 프로브의 안전한 파지를 가능케 한다. 나아가, 가변 분리 거리는 회전 작동기의 1회 완전 회전 후에 동일한 분리 거리로 주기적으로 복귀될 수 있다. 이러한 방식으로, 작동기의 회전 방향을 변화시킬 때에 유도되는 간극이 피해질 수 있고, 그에 의해 양호하게 형성되는 최소 분리 거리 그리고 더 정확한 파지를 제공한다. 회전 작동기의 일정한 회전으로, 가변 분리 거리의 변화 속도는 폐쇄 위치에서 최소에 도달할 수 있고, 이것은 양호한 결정되는 최소 분리 거리를 가능케 한다는 점에서 파지의 정확성을 더욱 증가시킬 것이다.
상악부의 전방부는 다중-지점 프로브를 수용하는 구개부(palate)를 형성할 수 있고, 구개부는 전방 결합 모서리, 전방 결합 모서리로부터 구개부의 대향측 상에 위치되는 단부 결합 모서리, 그리고 구개부의 양쪽 측면 상에 그리고 전방 및 단부 결합 모서리들 사이에 위치되는 제1 및 제2 측면 결합 모서리를 갖는다. 전방 및 단부 결합 모서리는 하악부가 그 폐쇄 위치에 있을 때에 서로에 그리고 제1 및 제2 프로브-지지 구치부들 사이의 공통 지지 평면에 평행하다. 제1 및 제2 측면 결합 모서리는 하악부가 그 폐쇄 위치에 있을 때에 서로에 그리고 제1 및 제2 프로브-지지 구치부 사이의 공통 지지 평면에 평행하다. 이것은 프로브 조작기의 파지에서 경사진 전방부, 단부 및 측면 표면을 갖는 다중-지점 프로브의 정확한 위치 설정을 가능케 한다. 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브가 제안된 상악부에 의해 결합되는 데 특히 적절하다.
상악부는 제1 프로브-지지 절치부(first probe-support incisor) 및 제2 프로브-지지 절치부를 추가로 포함할 수 있고, 각각은 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면과 결합되는 그 말단 단부에서의 둥근 지지 팁을 갖는다. 제1 프로브-지지 절치부의 둥근 지지 팁 그리고 제2 프로브-지지 절치부의 둥근 지지 팁은 전방 결합 모서리를 형성한다. 이것은 프로브 조작기 헤드에 의해 결합되는 다중-지점 프로브의 프로브 팁이 위로부터 관찰될 수 있게 할 것이다. 이것은 결국 시험 샘플과 결합될 때에 프로브 팁의 시각적 검사 그리고 프로브 팁의 감시를 가능케 한다. 상악부는 다중-지점 프로브의 상부 표면과 결합되도록 구개부로부터 제1 및 제2 프로브-지지 구치부 사이의 공통 지지 평면을 향해 연장되는 캔틸레버 스프링을 또한 포함할 수 있다. 스프링은 상악부에 의해 결합될 때에 소정 위치에서 다중-지점 프로브를 보유할 것이고, 그에 의해 프로브 조작기 헤드의 파지에서 더 정확한 위치 설정을 가능케 한다. 이러한 특징은 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더의 지지 컬럼의 견부 상에 위치되는 다중-지점 프로브와 결합될 때에 특히 바람직하다.
이들 목적, 장점 및 특징은 수평 지지 스테이지, 수평 지지 스테이지에 견고하게 연결되는 수직 지지 스테이지, 수평 지지 스테이지에 의해 지지되는 수평 로더 그리고 수직 지지 스테이지에 의해 지지되는 수직 로더를 포함하는 본 발명의 제5 태양에 따른 프로브 로더에 의해 성취된다. 수평 로더는 수평 제1 로딩 축을 형성하는 제1 로더 암 그리고 수평 제2 로딩 축을 형성하는 제2 로더 암을 포함한다. 제1 로딩 축 및 제2 로딩 축은 교차 각도를 공동으로 형성한다. 수평 로더는 제1 선형 작동기, 제1 왜건(wagon), 제2 선형 작동기 및 제2 왜건을 추가로 포함한다. 제1 로더 암은 제1 왜건을 위한 활주 지지부를 제공하도록 수평 지지 스테이지에 견고하게 연결되고, 제1 선형 작동기는 제1 로딩 축을 따른 제1 왜건의 가변 위치를 제공한다. 제2 로더 암은 제2 왜건을 위한 활주 지지부를 제공하도록 제1 왜건에 견고하게 연결되고, 제2 선형 작동기는 제2 로딩 축을 따른 제2 왜건의 가변 위치를 제공한다. 프로브 로더는 프로브 카세트의 커버의 제1 플랜지형 활주 지지부와 협력하는 하향 제1 수용 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 플랜지가 제공되도록 수평 지지 스테이지에 견고하게 연결되는 커버 홀더를 추가로 포함한다. 제2 왜건은 프로브 카세트의 래크의 제2 플랜지형 활주 지지부와 협력하는 상향 제2 수용 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 플랜지가 제공되는 래크 홀더를 포함한다. 제안된 프로브 로더는 카세트가 그 개방 상태에 있게 하고 브래킷이 그 수평 위치를 변화시키게 하고, 이것은 작업자에 의한 직접 수동 개입이 없는 프로브 카세트의 자동화 및 안전한 취급을 가능케 한다. 나아가, 수평 지지 스테이지는 수직 로더가 수평 방향으로 이동될 필요가 없이 프로브 카세트의 래크에 의해 보유되는 다중-지점 프로브가 수직 로더에 의해 결합을 위한 위치로 이동되게 한다. 이러한 방식으로, 수직 로더의 수평 위치의 결국 또한 수직 로더에 의해 결합되는 다중-지점 프로브의 위치의 높은 정확성이 도달될 수 있다.
수직 로더는 수직 로딩 축을 형성하는 수직 로더 암, 수직 선형 작동기 그리고 래크 홀더에 의해 지지되는 래크에 부착되는 프로브 지지부에 의해 지지되는 다중-지점 프로브와 결합되는 프로브 파지기를 포함할 수 있다. 수직 로더 암은 프로브 파지기를 위한 활주 지지부를 제공하도록 수직 지지 스테이지에 견고하게 연결될 수 있고, 수직 선형 작동기는 수직 로딩 축을 따른 프로브 파지기의 가변 위치를 제공할 수 있다. 이러한 방식으로, 다중-지점 프로브의 수직 위치는 수직 로더의 프로브 파지기에 의해 결합된 후에 변동될 수 있고, 이것은 시험 기판이 그 아래에 위치되더라도 수직 로드로의 다중-지점 프로브의 로딩을 가능케 한다.
프로브 로더는 래크 홀더가 커버 홀더에 위치되고 이 때에 제2 수용 플랜지형 활주 지지부가 제1 수용 플랜지형 활주 지지부 아래에 그리고 제1 수용 플랜지형 활주 지지부에 평행하게 위치되는 로딩 위치, 그리고 래크 홀더가 프로브 파지기에 위치되고 이 때에 제2 수용 플랜지형 활주 지지부가 프로브 파지기 아래에 위치되는 파지 위치를 형성할 수 있다. 이것은 본 발명의 제3 태양에 따른 그 폐쇄 상태에서의 카세트의 로딩을 가능케 하고, 그 후에 카세트는 플랜지형 수용 활주 지지부에 평행한 방향으로 래크 홀더를 이동시킴으로써 그 개방 상태로 변화될 수 있다. 나아가, 이것은 또한 카세트의 래크에 의해 보유되는 다중-지점 프로브가 프로브 파지기에 의해 결합되게 한다. 프로브 파지기는 본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드를 포함할 수 있고, 이것은 수평 및 수직 지지 스테이지와 관련되는 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브의 정확하고 안전한 자동화 위치 설정을 가능케 할 것이고, 이것은 수평 지지 스테이지에 의해 지지되는 시험 기판 상에서의 측정에서 높은 공간적 정확성을 성취하는 데 중요하다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브 그리고 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 조작기 헤드를 포함하는 다중-지점 측정 시스템에 있어서, 접촉 설부의 복수개의 접촉 핑거 중 적어도 하나가 그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브의 복수개의 접촉 패드의 접촉 패드에 연결되는 본 발명의 제6 태양에 따른 다중-지점 측정 시스템에 의해 성취된다. 접촉 패드는 프로브 암에 연결되므로, 접촉 핑거를 통해, 입력 신호가 보내질 수 있고, 출력 신호가 수용될 수 있다. 접촉 핑거는 입력 신호를 제공하고 출력 신호를 분석하는 측정 시스템에 연결될 수 있다. 나아가, 다중-지점 프로브의 제1 외부 영역은 제1 지지 평면에 평행하게 하악부의 제1 프로브-지지 구치부에 의해 결합될 수 있고, 한편 다중-지점 프로브의 제2 외부 영역은 제2 지지 평면에 평행하게 하악부의 제2 프로브-지지 구치부에 의해 결합된다. 이것은 조작기 헤드에 의한 안전하고 반복 가능한 파지를 제공할 것이고, 이것은 반복적으로 교체되는 동일한 다중-지점 프로브의 측정 성능 면에서 높은 안정성을 성취하는 데 필수적이다. 추가예 또는 대체예에서, 경사진 평면형 전방 표면은 상악부의 전방 결합 모서리에 평행하게 상악부의 전방 결합 모서리에 의해 결합되고, 제1 측면 표면은 상악부의 제1 측면 결합 모서리에 평행하게 상악부의 제1 측면 결합 모서리에 의해 결합되고, 제2 측면 표면은 상악부의 제2 측면 결합 모서리에 평행하게 상악부의 제2 측면 결합 모서리에 의해 결합되고, 단부 표면은 상악부의 단부 결합 모서리에 평행하게 상악부의 단부 결합 모서리에 의해 결합된다. 위에서 논의된 것과 같이, 이것은 조작기 헤드와 관련되는 다중-지점 프로브의 정확한 위치 설정을 제공할 것이다.
이들 목적, 장점 및 특징은 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브 그리고 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더를 포함하는 본 발명의 제7 태양에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 홀더에 의해 성취된다. 다중-지점 프로브의 제1 외부 영역은 제1 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼의 제1 견부와 접촉되고, 다중-지점 프로브의 제2 외부 영역은 제2 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼의 제2 견부와 접촉된다. 이것은 다중-지점 프로브가 후방부, 아래 및 상부로부터 접근 가능하고 그에 의해 동시에 다중-지점 프로브가 그 상부 및 하부 표면과 결합되는 안전한 파지 상태에서 프로브 홀더로부터 제거되게 한다는 점에서 장점을 갖는다. 추가예에서, 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면은 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 하나의 핀 결합 모서리에 평행하게 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 하나의 핀 결합 모서리에 의해 결합될 수 있고, 다중-지점 프로브의 단부 표면은 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 평행하게 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 의해 결합될 수 있다. 이러한 방식으로, 프로브 홀더는 동시에 지지 컬럼에 대해 정확하게 형성되는 위치에 있는 다중-지점 프로브 상에서의 안전한 보유를 제공할 것이다. 이것은 결국 프로브 조작기 헤드의 파지에서 다중-지점 프로브의 정확한 위치 설정을 가능케 한다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 카세트를 포함하는 로딩식 다중-지점 프로브 카세트에 있어서, 프로브 카세트의 프로브 지지부는 본 발명의 제7 태양에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 홀더인 본 발명의 제8 태양에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 카세트에 의해 성취된다. 명확하게, 이것은 2개의 태양의 장점 특히 2개의 태양 양쪽 모두에 의해 제공되는 안전성을 결합시킬 것이다. 비휘발성 디지털 메모리는 로딩식 다중-지점 프로브 보관 시스템의 다중-지점 프로브에 의한 측정 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 수용할 수 있다. 마모로 인해, 다중-지점 프로브는 단지 제한된 횟수만큼 결합될 수 있다. 다중-지점 프로브는 수리 후에 재사용될 수 있고, 그에 의해 그 물리적 위치에 보관된 다중-지점 프로브에 대한 정보를 갖는 것이 물류 관점에서 장점이다. 식별 번호 및 기술 사양 등의 결합 횟수 이외의 다른 정보가 비휘발성 디지털 메모리 내에 수용될 수 있다. 기술 사양은 프로브 암의 개수 그리고 프로브 암이 제조된 재료 그리고 또한 이전의 수리 중에 수행된 변경 사항 또는 추가 사항일 수 있다.
이들 목적, 장점 및 특징은 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더 그리고 본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드를 포함하는 본 발명의 제9 태양에 따른 다중-지점 프로브 파지 시스템에 의해 성취된다. 프로브 홀더 및 프로브 조작기 헤드는 접촉 설부의 복수개의 접촉 핑거에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서 복수개의 접촉 핑거가 단일 개구를 통해 지지 컬럼의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼에 의해 형성된 중공 공간을 횡단하는 서로에 대한 결합 위치를 형성한다. 이것은 지지 컬럼의 견부 상에 지지되는 다중-지점 프로브가 접촉 설부에 의해 결합되게 한다. 나아가, 결합 위치에서, 브래킷의 브래킷 네크는 상악부의 전방부에 의해 브래킷의 브래킷 헤드를 결합시킴으로써 해제 위치에서 보유될 수 있다. 이것은 브래킷 네크를 결합시키는 추가의 기구가 필요하지 않다는 더 단순한 기술적 구현의 관점에서 장점을 갖는다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 본 발명의 제5 태양에 따른 프로브 로더 그리고 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 카세트를 포함하는 로딩식 프로브 로더에 있어서, 카세트의 커버의 제1 플랜지형 활주 지지부는 프로브 로더의 커버 홀더의 제1 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하고, 카세트의 래크의 제2 플랜지형 활주 지지부는 프로브 로더의 래크 홀더의 제2 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하는, 본 발명의 제10 태양에 따른 로딩식 프로브 로더에 의해 성취된다. 이것은 카세트가 프로브 로더 내로 로딩되기 전에 개방되지 않는다는 점에서 그 폐쇄 상태로부터 그 개방 상태로의 프로브 카세트의 안전하고 보호된 이행을 가능케 한다. 추가예에서, 프로브 로더의 로딩 위치에서 프로브 카세트는 그 폐쇄 상태에 있을 수 있고, 프로브 로더의 파지 위치에서 프로브 카세트는 그 개방 상태에 있을 수 있다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 프로브 조작기 헤드에 다중-지점 프로브를 연결하는 방법에 있어서, 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브를 제공하는 단계와; 본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드를 제공하는 단계와; 그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브의 복수개의 접촉 패드의 접촉 패드에 접촉 설부의 복수개의 접촉 핑거 중 적어도 하나를 연결하는 단계를 포함하는 본 발명의 제11 태양에 따른 방법에 의해 성취된다. 이것은 조작기 헤드 내에서의 다중-지점 프로브의 자동화 로딩을 가능케 한다. 프로브 조작기 헤드에 다중-지점 프로브를 연결하는 방법은, 제1 외부 영역과 제1 지지 평면 사이에서 평행 관계로 하악부의 제1 프로브-지지 구치부에 의해 다중-지점 프로브의 제1 외부 영역을 결합시키는 단계와; 제2 외부 영역과 제2 지지 평면 사이에서 평행 관계로 하악부의 제2 프로브-지지 구치부에 의해 다중-지점 프로브의 제2 외부 영역을 결합시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 이것은 조작기 헤드에 의한 다중-지점 헤드의 안전하고 정확한 결합을 가능케 한다. 나아가, 프로브 조작기 헤드에 다중-지점 프로브를 연결하는 방법은, 그 사이에서 평행 관계로 상악부의 전방 결합 모서리에 의해 경사진 평면형 전방 표면을 결합시키는 단계와; 그 사이에서 평행 관계로 상악부의 제1 측면 결합 모서리에 의해 제1 측면 표면을 결합시키는 단계와; 그 사이에서 평행 관계로 상악부의 제2 측면 결합 모서리에 의해 제2 측면 표면을 결합시키는 단계와; 그 사이에서 평행 관계로 상악부의 단부 결합 모서리에 의해 단부 표면을 결합시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 이것은 다중-지점 프로브가 조작기 헤드의 파지에서 위치되는 정확성을 더욱 개선시킨다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 프로브 홀더에 다중-지점 프로브를 로딩하는 방법에 있어서, 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브를 제공하는 단계와; 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더를 제공하는 단계와; 제1 외부 영역과 제1 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼의 제1 견부에 의해 다중-지점 프로브의 제1 외부 영역을 결합시키는 단계와; 제2 외부 영역과 제2 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼의 제2 견부에 의해 다중-지점 프로브의 제2 외부 영역을 결합시키는 단계를 포함하는 본 발명의 제12 태양에 따른 방법에 의해 성취된다. 이것은 다중-지점 프로브가 위 및 아래의 양쪽 모두로부터 다중-지점 프로브를 결합시키는 안전한 파지 상태에서 뒤로부터 결합될 수 있게 한다. 프로브 홀더에 다중-지점 프로브를 로딩하는 방법은, 그 사이에서 평행 관계로 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 하나의 핀 결합 모서리에 의해 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면을 결합시키는 단계와; 그 사이에서 평행 관계로 브래킷의 한 쌍의 지지 핀 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 의해 다중-지점 프로브의 단부 표면을 결합시키는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 이것은 프로브 팁이 소정 위치에서 보유되게 하고 지지 컬럼 상에 정확하게 위치되게 한다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 프로브 카세트에 다중-지점 프로브를 로딩하는 방법에 있어서, 본 발명의 제1 태양에 따른 다중-지점 프로브를 제공하는 단계와; 본 발명의 제3 태양에 따른 프로브 카세트를 제공하는 단계와; 프로브 카세트의 프로브 지지부에 다중-지점 프로브를 로딩하는 단계를 포함하는 본 발명의 제13 태양에 따른 방법에 의해 성취된다. 이것은 다중-지점 프로브의 안전한 취급 및 운반을 가능케 한다. 프로브 카세트에 다중-지점 프로브를 로딩하는 방법은 비휘발성 디지털 메모리 내에 다중-지점 프로브에 의한 측정 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 저장하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 위로부터 명확해진 것과 같이, 이것은 다중-지점 프로브의 교체를 위한 시기를 결정하는 데 유리하다.
이들 목적, 장점 및 특징은, 프로브 조작기 헤드에 의해 프로브 홀더를 결합시키는 방법에 있어서, 본 발명의 제4 태양에 따른 프로브 조작기 헤드를 제공하는 단계와; 본 발명의 제2 태양에 따른 프로브 홀더를 제공하는 단계와; 접촉 설부의 복수개의 접촉 핑거에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서 복수개의 접촉 핑거가 단일 개구를 통해 지지 컬럼의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼에 의해 형성된 중공 공간을 횡단하는 서로에 대한 결합 위치에서 프로브 홀더 및 프로브 조작기 헤드를 위치시키는 단계를 포함하는 본 발명의 제14 태양에 따른 방법에 의해 성취된다. 이것은 측정에서 채용되기 전의 프로브 조작기 헤드 내로의 다중-지점 프로브의 자동화 로딩을 가능케 한다. 프로브 조작기 헤드에 의해 프로브 홀더를 결합시키는 방법은 상악부의 전방부에 의해 브래킷 헤드를 결합시킴으로써 해제 위치에서 브래킷의 브래킷 네크를 보유하는 단계를 추가로 포함할 수 있다. 이것은 다중-지점 프로브가 조작기 헤드에 의해 프로브 홀더로부터 안전하게 제거될 수 있게 한다.
본 발명의 상이한 태양의 다수개의 실시예가 아래에서 설명된다.
도1은 다중-지점 프로브의 저면도이다.
도2는 다중-지점 프로브의 평면도이다.
도3은 다중-지점 프로브의 배면도이다.
도4a는 다중-지점 프로브의 저부 표면의 추가의 특징부를 도시하고 있다.
도4b는 대체의 프로브 팁을 갖는 다중-지점 프로브를 도시하고 있다.
도5는 다중-지점 프로브의 단면도이다.
도6a는 아래로부터 관찰될 때의 다중-지점 프로브의 프로브 팁의 확대도이다.
도6b는 아래로부터 관찰될 때의 도4b의 대체의 프로브 팁의 확대도이다.
도7은 그 저부 표면을 주로 보여주는 다중-지점 프로브의 사시도이다.
도8은 다중-지점 프로브를 보유하는 프로브 홀더의 정면도이다.
도9는 도8의 분해도이다.
도10은 다중-지점 프로브를 보유하는 프로브 홀더의 배면도이다.
도11은 도10의 분해도이다.
도12-도13은 프로브 홀더의 브래킷의 사시도이다.
도14-도15는 프로브 홀더의 지지 컬럼의 사시도이다.
도16은 다중-지점 프로브가 그 지지 컬럼 견부 상에 위치된 상태에서의 지지 컬럼의 사시도이다.
도17은 도16의 지지 컬럼 및 다중-지점 프로브의 단면도이다.
도18은 그 조립 과정을 보여주는 프로브 홀더의 분해 사시도이다.
도19는 브래킷의 굽힘을 보여주는 프로브 홀더의 사시도이다.
도20은 폐쇄된 다중-지점 프로브 카세트의 측면도이다.
도21은 도20에서와 동일한 다중-지점 프로브 카세트이지만, 부분적으로 개방되어 있다.
도22는 도20-도21에서와 동일한 다중-지점 프로브 카세트이지만, 완전히 개방되어 있다.
도23은 카세트 래크의 평면도이다.
도24는 도23에 도시된 카세트 래크의 배면도이다.
도25는 도23-도24에 도시된 카세트 래크의 저면도이다.
도26은 도23-도25에 도시된 카세트 래크의 측면도이지만, 이 때에 2개의 프로브 홀더가 그 각각의 리세스 내에 있는 상태이다.
도27은 도26에 도시된 카세트 래크의 사시도이다.
도28은 도23-도27에 도시된 카세트 래크의 사시도이지만, 이 때에 프로브 홀더가 모든 그 리세스 내에 있는 상태이다.
도29는 카세트 커버의 측면도이다.
도30은 도29에 도시된 카세트 커버의 평단면도이다.
도31은 도29-도30에 도시된 카세트 커버의 분해도이다.
도32는 프로브 조작기 헤드의 부분 분해 사시도이다.
도33a는 프로브 조작기 헤드가 지지 컬럼 상의 다중-지점 프로브와 결합되는 방식의 사시도이다.
도33b는 고정 암이 그 결합 해제 위치에 있는 상태에서의 상악부 전방부의 측단면도이다.
도33c는 고정 암이 그 결합 위치에 있는 상태에서의 상악부 전방부의 측단면도이다.
도33d는 고정 암이 접촉 설부와 결합되는 방식의 측면도이다.
도33e는 도33b-도33c와 비교될 때의 대향측으로부터의 상악부 전방부의 측면도이다.
도34는 접촉 설부의 사시도이다.
도35a는 도34에 도시된 접촉 설부의 접촉 팁의 사시도이다.
도35b는 도34에 도시된 접촉 설부의 접촉 팁의 정면도이다.
도36은 그 도식적인 기계 링키지가 개략적으로 도시된 상태에서의 프로브 조작기 헤드의 측면도이다.
도37은 도36에서와 동일한 도식적인 기계 링키지를 도시하고 있다.
도38은 도36에서와 동일한 도식적인 기계 링키지를 도시하고 있지만, 이 때에 구동축이 150˚만큼 시계 방향으로 회전된 상태이다.
도39a는 프로브 홀더에 의해 지지되는 다중-지점 프로브와 결합되는 프로브 조작기 헤드의 상악부 전방부 및 하악부 전방부의 측면도이다.
도39b-도39e는 상악부 전방부 및 하악부 전방부가 지지 컬럼 상의 다중-지점 프로브와 결합되는 방식의 측면도이고, 상악부 전방부는 프로브 고정 핑거의 작용을 보여주도록 단면도로 도시되어 있다.
도39f는 구개부의 세부를 보여주는 상악부 전방부의 사시도이다.
도39g는 상악부 전방부와의 접촉 지점을 보여주는 도1-도7에서의 다중-지점 프로브의 평면도이다.
도40은 다중-지점 프로브와 결합되는 상악부 전방부의 부분 측단면도이다.
도41은 도40의 분해도이다.
도42는 다중-지점 프로브와 결합되는 상악부 전방부의 부분 정단면도이다.
도43은 도42의 분해도이다.
도44는 수직 로더의 정면도이다.
도45는 도44의 수직 로더의 측면도이다.
도46은 도44 및 도45의 수직 로더의 사시도이다.
도47은 수평 로더의 사시도이다.
도48은 프로브 로더의 사시도이다.
도1은 아래로부터 관찰될 때의 다중-지점 프로브(10)를 도시하고 있다. 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면(12)은 그 전방에서의 프로브 팁(26) 그리고 그 후방에서의 제조 지지부(manufacturing support)(16)를 갖는다. 제조 지지부(16)는 다중-지점 프로브(10)의 제조로부터의 부산물(artefact)이고, 필수 기능 요소는 아니다. 이것은 모든 설명된 실시예에서 그리고 모든 도면에서 무시될 수 있다는 것을 의미한다. 전기 전도성 금속 층이 다중-지점 프로브의 저부 표면(12) 상으로 피착되었다.
저부 표면(12)의 기본 형상은 폭보다 큰 프로브 팁(26)과 제조 지지부(16) 사이의 길이를 갖는 직사각형이다. 코너가 절결되고 그에 의해 상반된 외관을 제공하는 필수적이지 않은 특징부가 본 실시예 내에 포함되었다. 당연히, 모든 제시된 실시예에서, 이러한 특징부가 무시될 수 있다. 상반된 전방 코너(17)는 상반된 후방 코너(20)보다 큰 절결부를 갖는다. 나아가, 상반된 전방 코너의 형상은 동일하고, 이것은 또한 상반된 후방 코너의 경우에 적용된다.
다중-지점 프로브(10)는 길이 방향 대칭 축(46)에 대해 반사 대칭을 갖는다. 접촉 패드(24) 그리고 패드(24)와 프로브 팁(26) 사이의 도선(47)이 저부 표면(12)의 금속 표면 내의 조각 절단부(23)에 의해 형성된다. 조각 절단부(23)는 바람직하게는 식각을 통해 얻어진다. 각각의 접촉 패드(24)는 내부 측면(44) 및 외부 측면(45)을 갖고, 내부 측면(44)은 2개의 측면 중에서 길이 방향 대칭 축(46)에 더 근접한 측면이다. 각각의 접촉 패드(24)는 프로브 팁(26)으로 안내되는 단일 도선(47)을 갖는다. 일부의 접촉 패드(24)는 그 내부 측면(44)에서 연결되는 그 관련 도선(47)을 갖고, 한편 다른 접촉 패드(24)는 그 외부 측면(45)에서 연결되는 그 관련 도선(47)을 갖는다. 접촉 패드(24)는 길이 방향 대칭 축(46)의 양쪽 측면 상에 위치되는 2개의 열로 분할된다. 나아가, 접촉 패드(24)는 길이 방향 대칭 축(46)에 최대한 근접하게 위치되고, 이것은 2개의 열의 패드 사이의 분리 거리 또는 내부 영역이 단지 조각 절단부(23)의 폭 그리고 내부 측면(44)에서 연결된 도선(47)의 폭에 의해 형성된다는 것을 의미한다. 접촉 패드(24)와 다중-지점 프로브(10)의 각각의 그 모서리 사이에, 다중-지점 프로브(10)를 취급할 때에 결합되는 데 적절한 외부 영역(25)이 있다.
도2는 위로부터 관찰될 때의 도1의 다중-지점 프로브(10)를 도시하고 있다. 상부 표면(11)의 기본 형상은 또한 직사각형이고, 상부 표면(11)은 저부 표면(12)과 평행하다. 전방 표면(13), 측면 표면(14) 및 단부 표면(15)은 상부 표면(11)의 면적을 감소시키는 데 개별적으로 기여하고 그에 따라 저부 표면(12)의 면적보다 작도록 모두 평면형 및 경사형이다. 전방 표면(13)이 설명된 것과 같이 경사형이라는 것은 프로브 팁(26)이 다중-지점 프로브(10)의 전방부로의 가장 먼 연장부를 형성한다는 것을 의미한다. 제조 지지부(16)는 또한 전방, 측면 및 단부 표면이 경사 처리되는 것과 동일한 공정에 의해 경사 처리되었다.
각각의 상반된 전방 코너(17)는 2개의 경사형 표면 즉 제1 경사형 표면(18) 및 제2 경사형 표면(19)을 형성한다. 이것은 또한 상반된 후방 코너(20)의 경우에 적용된다. 즉, 상반된 후방 코너(20)는 제1 및 제2 경사형 표면(21, 22)을 각각 형성한다. 모든 경사형 표면은 평면형 저부 표면(12)과 연계하여 다중-지점 프로브의 정확한 배향을 형성하는 데 적절하고, 이것은 아래의 후속 예 및 실시예로부터 명확해질 것이다.
도3은 후방으로부터 관찰될 때의 도1 및 도2의 다중-지점 프로브(10)를 도시하고 있다. 이것은 상부 표면(11) 및 저부 표면(12)이 평행하다는 것 그리고 저부 표면(12)의 면적이 상부 표면(11)의 면적보다 작다는 것을 명확하게 보여준다. 제조 지지부(16)는 그 사시도로부터 그 측면이 또한 경사형이라는 사실로 인해 삼각형 형상을 갖는다.
도4a는 재차 아래로부터 관찰될 때의 도1 내지 도3에서와 동일한 다중-지점 프로브(10)를 도시하고 있다. 저부 표면(12)은 산화물 층의 상부 상의 하부 폴리-실리콘 층을 표시하는 해칭 영역(hatched area)을 갖는다. 산화물 층의 형상은 도4a에 개략적으로 도시된 것과 동일할 필요는 없고, 단지 표시된 대체적인 범위가 양호하다. 그러나, 더 거친 산화물 층(28)의 표면 성질이 다중-지점 프로브를 취급할 때에 고려된다는 것이 중요하다.
도5는 상부 표면(11), 저부 표면(12) 및 경사형 측면 표면(14)을 도시하는 다중-지점 프로브(10)의 단면도이고, 2개의 경사형 측면 표면(14)은 그 사이에 측면 모서리(29) 및 내부 측면 예각부(21)를 형성한다.
도6a는 도1 내지 도4의 다중-지점 프로브(10)의 양호한 프로브 팁(26)의 확대도이다. 이러한 예에서, 프로브 암(31"-42")은 서로에 대해 반사 대칭을 나타내는 2개의 그룹으로 분할된다. 여기에서 제시된 프로브 암(31"-42")의 위치 및 개수는 단지 예이고, 또 다른 실시예에서 상이할 수 있다. 각각의 프로브 암(31"-42")은 단일 접촉 패드(31-42)로부터의 도선(47)의 연속부인 신호 트레이스(31'-42')의 연장부이다. 여기에서, 연결되는 프로브 암(31"-42"), 신호 트레이스(31'-42') 및 접촉 패드(31-42)에는 상이한 개수의 기호를 갖는 동일한 도면 부호가 부여되었다. 저부 표면(12) 상으로 피착된 금속은 또한 신호 트레이스(31'-42') 및 프로브 암(31"-42") 상으로 피착되었고, 신호 트레이스(31'-42')는 도선(47) 및 접촉 패드(31-42)와 동일한 조각 절단부(23)에 의해 분리된다. 프로브 암(31"-42")은 다중-지점 프로브의 전방 모서리(43)로부터 자유롭게 연장되고, 그 말단 단부는 예컨대 박막 및 반도체 산업에서의 다중-지점 측정에서 시험 기판에 접촉되도록 의도된다.
도7은 도1 내지 도4에 또한 도시된 다중-지점 프로브(10)의 사시도이고, 이전의 도면에서와 동일한 도면 부호가 사용되었다.
도6b는 다중-지점 프로브(10)의 대체의 팁(26)의 확대도이다. 다중-지점 프로브(10)의 대응 저부 표면(12)이 도4a에 도시되어 있고, 도선(47)이 상이한 경로를 추종한다는 점에서 이전의 도1 내지 도4의 저부 표면(12)과 상이하다. 각각의 신호 트레이스(31'-42')는 단일 접촉 패드(31-42)로부터의 도선(47)의 연속부이다. 이전과 같이, 연결되는 신호 트레이스(31'-42') 및 접촉 패드(31-42)에는 상이한 개수의 기호를 갖는 동일한 도면 부호가 부여되었다. 다중-지점 프로브(10)는 각각의 신호 트레이스(35'-38')에 연결되도록 저부 표면(12)에 평행하게 전방 모서리(43)로부터 자유롭게 연장되는 4개의 프로브 암(35"-38")을 갖는다. 나아가, 다중-지점 프로브(10)는 프로브 암(35"-38")의 양쪽 측면 상에 저부 표면(12)에 평행하게 전방 모서리(43)로부터 자유롭게 연장되는 캔틸레버 변형량 게이지(351)를 갖는다.
저부 표면(12) 상으로 피착된 금속은 또한 신호 트레이스(31'-42'), 캔틸레버 변형량 게이지(351) 및 프로브 암(31"-42") 상으로 피착되었다. 신호 트레이스(31'-42')는 도선(47) 및 접촉 패드(31-42)와 동일한 조각 절단부(23)에 의해 분리된다. 피착된 금속 층의 두께는 기본적으로 일정하고, 이것은 신호 트레이스(31'-42'), 캔틸레버 변형량 게이지(351) 및 프로브 암(31"-42")의 저항이 그 관련된 폭 및 길이에 의해 형성된다는 것을 의미한다.
각각의 캔틸레버 변형량 게이지(351)는 캔틸레버의 근접 단부에서 제1 림(353) 및 제2 림(354)을 갖는다. 각각의 캔틸레버 변형량 게이지의 제1 림(353) 및 제2 림(354)은 각각 2개의 신호 트레이스 즉 신호 트레이스(31' 및 34' 그리고 39' 및 42')를 상호 연결하도록 전방 모서리(43)를 횡단한다. 캔틸레버 변형량 게이지(351)가 결합 시에 굽혀질 때에, 제1 림(353) 및 제2 림(354) 상에 피착된 금속이 특히 전방 모서리(43)에서 인장될 것이고, 이것은 전기 도선의 변형을 유발한다. 즉, 캔틸레버 변형량 게이지(351)를 통한 전류에 대한 저항이 증가된다.
기준 저항기(352)가 각각 신호 트레이스(31' 및 32' 그리고 41' 및 42')를 상호 연결하는 각각의 캔틸레버 변형량 게이지(351)에 제공되었다. 기준 저항기(352)는 대응 캔틸레버 변형량 게이지(351)와 동일한 형태 및 치수를 갖고, 그에 의해 기준 저항기는 캔틸레버 변형량 게이지(351)가 결합 해제될 때에 기본적으로 동일한 저항을 갖는다. 나아가, 신호 트레이스(32' 및 33', 33' 및 34', 39' 및 40', 40' 및 41')가 또한 상호 연결된다. 명확하게, 신호 트레이스(31' 내지 34' 그리고 39' 내지 42')는 다중-지점 프로브의 저부 표면(12) 상에 회로를 형성한다.
이러한 특정 실시예에서, 캔틸레버 변형량 게이지(351) 및 기준 저항기(352)는 접촉 패드(31-34 및 39-42)를 거쳐 휘트스톤 브리지 내의 2개의 다른 기준 저항기와 결합된다. 캔틸레버 변형량 게이지(351)의 기능은 PCT 출원 제WO 2008/110174호에 추가로 기재되어 있다.
도8은 다중-지점 프로브(10)를 지지하는 프로브 홀더(152)의 정면도이다. 다중-지점 프로브(10)는 지지 컬럼(50)에 의해 아래로부터 지지되고, 위로부터 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 2개의 브래킷(51)에 의해 소정 위치에서 보유된다. 도9는 프로브 홀더(152)의 추가의 세부 부분을 도시하는 도8의 분해도이다. 지지 컬럼(50)은 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면(12)의 지지 표면이 위치되는 2개의 견부(60)를 갖는다. 견부(60)는 도시된 배향에서 수평인 지지 평면을 함께 형성한다. 견부(60)는 컬럼(50)의 양쪽 측면 상에 위치된다. 나아가, 설부(61)가 컬럼(50)의 전방부로부터 외향으로 연장된다. 추가로, 컬럼(50)은 상부 부분(58) 그리고 상부 부분(58)을 지지하는 저부 부분(59)으로 구성된다.
2개의 브래킷(51)은 동일한 형상을 갖고, 지지 컬럼(50)의 양쪽 측면 상에 위치된다. 브래킷(51)은 그 기부(53)의 상부 단부에 부착되는 네크(54)를 갖는다. 나아가, 네크(54)는 그 상부 단부에서 브래킷 헤드(52)를 갖는다. 네크(54)는 지지 컬럼(50)을 향해 또는 외향으로 지지 컬럼(50)으로부터 멀어지는 방향으로 굽혀질 수 있는 구성으로 되어 있다. 구체적으로 언급되지 않으면, 프로브 홀더(152)를 설명할 때에, 각각의 브래킷(51)의 네크(54)는 그 정지 또는 평형 위치에 또는 그에 근접하게 있다.
브래킷 헤드(52)는 지지 컬럼(50)을 향해 지향되는 경사형 헤드 표면(55)을 갖는다. 경사형 헤드 표면(55)은 네크(54)가 그 정지 위치에 있을 때에 수직 축에 대해 예각을 갖는 평면을 형성한다. 이러한 방식으로, 네크(54)는 단순하게 그 상에서 바로 하향으로 물체를 이동시킴으로써 지지 컬럼(50)으로부터 외향으로 굽혀질 것이다.
경사형 헤드 표면(55) 아래에, 2개의 브래킷 닙(bracket nip)(57)이 지지 컬럼(50)의 방향으로 브래킷 헤드(52)로부터 수평으로 연장된다. 브래킷 닙(57)은 브래킷 헤드(52)의 양쪽 측면에 그러나 브래킷 기부(53)에 대해 동일한 수직 위치 상에 위치된다. 그러므로, 도8 및 도9의 정면도에서, 브래킷 닙(57) 중 단지 1개가 관찰 가능하다. 각각의 브래킷 닙(57)은 네크(54)가 그 정지 위치에 있을 때에 기본적으로 수평인 결합 모서리를 형성한다. 브래킷 닙(57)의 결합 모서리는 동일한 헤드 상의 다른 브래킷 닙(57)과 대면하는 측면의 하부 단부에 위치된다. 도8 및 도9의 도시된 배향에서, 각각의 브래킷 닙(57)의 결합 모서리는 지면의 평면에 평행한 수평선을 형성한다. 이러한 방식으로, 각각의 브래킷 헤드(52) 상의 브래킷 닙(57)의 결합 모서리는 지면의 평면에 직각인 수평 평면을 형성한다. 지지 컬럼(50) 그리고 2개의 브래킷(51)이 도8에서와 같이 프로브 지지부(152)를 형성하도록 조립될 때에, 2개의 브래킷(51)의 브래킷 닙(57)에 의해 형성된 수평 평면은 공면이고, 컬럼 견부(60)에 의해 형성된 수평 평면에 평행하다. 브래킷 닙(57) 및 컬럼 견부(60)의 수직 위치는 다중-지점 프로브(10)가 견부 상에 위치될 때에 브래킷 닙(57)이 그 경사형 전방 표면(13) 및 단부 표면이 형성하는 결합 모서리를 통해 이들과 결합되고 그에 의해 안전한 위치에서 다중-지점 프로브(10)를 로킹하도록 되어 있다. 나아가, 이러한 결합부는 또한 그 자체를 배향시키도록 다중-지점 프로브(10)를 가압할 것이고, 그에 의해 그 경사형 전방 표면(13) 및 단부 표면이 브래킷 닙(57)의 결합 모서리에 평행해진다. 도8에서, 브래킷(57)이 다중-지점 프로브(10)의 경사형 전방 표면(13)과 결합되는 방식이 도시되어 있다.
도10 및 도11은 그 대신에 후방으로부터 관찰될 때의 도8 및 도9에서와 동일한 프로브 홀더(152)를 도시하고 있다. 이전에 설명된 특징부들 중 대부분에는 동일한 도면 부호가 부여되었다. 다수개의 추가의 특징부가 이러한 관점으로부터 인식 가능하다. 도10에서, 브래킷 닙(57)이 다중-지점 프로브(10)의 경사형 단부 표면(15)과 결합되는 방식이 도시되어 있다. 컬럼 설부(61)는 그 상부 평면형 측면 상에 기준부 또는 표시부를 형성하는 오목부(63)를 갖는다. 이러한 특징부에 의해, 기준부가 광학 현미경의 초점 내에 있을 때까지 그 위치를 이동시킴으로써 프로브 홀더(152)에 대한 현미경의 수직 위치를 결정하는 것이 가능하다. 기준부에는 자동 초점 조정에 이용될 수 있는 돌출부(bump) 또는 절단부(cut)의 특징부가 제공될 수 있다.
컬럼 본체(58)는 컬럼 본체(58)의 후방부 및 상부에서 개방되는 중공 공간(64)을 형성한다. 이것은 컬럼 견부(60) 상에 위치되는 다중-지점 프로브(10)가 예컨대 한 쌍의 바늘코 플라이어(needle-nosed plier)에 의해 뒤로부터 파지되어 지지 컬럼(50)으로부터 제거되게 한다.
도12 및 도13은 도8 내지 도11에서와 동일한 브래킷(51)의 2개의 상이한 사시도이다. 이전에 설명된 특징부들 중 일부에는 동일한 도면 부호가 부여되었다. 추가로, 새로운 특징부의 도면 부호가 또한 부여되었다.
우선, 그 수평 폭이 브래킷 헤드(52)를 향해 진행될 때에 증가되는 형상을 갖는 구멍(65)이 네크(54) 내에 형성된다. 이러한 방식으로, 브래킷 네크(54)의 가요성이 또한 브래킷 헤드(52)를 행해 진행될 때에 증가될 것이다. 경사형 헤드 표면(55)을 향해 지향되는 수평력 성분은 닙(57)이 상향으로 이동되도록 브래킷 헤드(52)가 후향으로 이동되게 하고 동시에 브래킷 헤드(52)를 경사시킬 것이다. 여기에서 설명된 구멍(65)의 특정 형상으로써, 브래킷 헤드(52)의 경사는 후향 이동에 비해 증가될 것이다.
다음에, 2개의 구멍(66)이 브래킷(51)의 기부(53) 내에 형성된다. 각각의 구멍(66)은 긴 형상을 갖고, 수평으로 배향되는 길이 방향을 형성한다. 명확하게, 브래킷(51)은 수직 축을 따라 반사 대칭을 갖고, 이것은 도12 및 도13에서 특히 도13에서 용이하게 관찰된다.
도14 내지 도16은 도8 내지 도11에서와 동일한 지지 컬럼(50)의 3개의 상이한 사시도이다. 추가로, 도14에서, 다중-지점 프로브(10)가 지지 컬럼(50)의 견부(60) 상에 위치된다. 이전에 설명된 특징부들 중 일부에는 동일한 도면 부호가 부여되었다. 추가로, 새로운 특징부의 도면 부호가 또한 부여되었다.
우선, 중공 공간(64)이 컬럼 본체(58)의 측면(68) 및 전방부(69)에 의해 형성되는 방식이 용이하게 관찰된다. 다음에, 지지 컬럼(50)은 그 기부(59)의 양쪽 측면 상에 2개의 플랜지(67)를 갖는다. 이들 플랜지(67)는 브래킷 기부(53)의 구멍(66) 내로 확실하게 끼워지도록 성형 및 위치된다. 이러한 방식으로, 브래킷(51)이 지지 컬럼(50)의 양쪽 측면에 고정될 수 있고, 그에 의해 도8 및 도10에서 설명된 것과 같은 단일 유닛 또는 프로브 홀더(152)를 형성한다.
도17은 이전의 도면 부호가 부여된 상태의 도8 내지 도11 그리고 도14 내지 도16의 지지 컬럼(50)의 단면도이다. 다중-지점 프로브(10)는 그 의도된 지지 배향으로 위치되는 지지 컬럼(50)에 의해 지지되고, 그에 의해 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면(12)에 의해 형성된 평면은 수평 평면에 대한 결합 각도(70)를 형성한다. 바람직하게는, 이러한 각도는 25-35˚의 범위 내에 있다.
도18은 한 쌍의 브래킷(51)이 완성된 프로브 홀더를 형성하도록 지지 컬럼(50)에 대해 조립되고 그 다음에 리세스(142) 내에 수용되어 리세스(142)에 의해 고정되는 방식을 도시하고 있다. 도19는 이전의 도18의 고정된 프로브 홀더(152) 그리고 경사형 헤드 표면(55) 상에 작용하는 힘(71)이 도12 및 도13과 관련하여 이전에 설명된 것과 같이 닙(57)이 상향으로 이동되도록 브래킷 헤드(52)가 외향으로 이동되게 하고 동시에 브래킷 헤드(52)를 경사시키는 방식을 도시하고 있다.
도20은 그 폐쇄 상태에서의 프로브 카세트(100)의 측면도이다. 도21은 래크(140)의 길이를 따라 견인된 커버(110)를 도시하는 부분 개방 상태에서의 도20에서와 동일한 프로브 카세트(100)를 도시하고 있다. 도21은 커버(110)가 래크로부터 완전히 분리된 개방 상태에서의 이전의 2개의 도면에서와 동일한 프로브 카세트를 도시하고 있다.
도23은 위로부터 관찰될 때의 도21 및 도22의 카세트 래크(140)를 도시하고 있다. 래크(140)는 전방부(143) 및 단부(154)를 갖는 래크 바(rack bar)(148)에 의해 형성되는 직사각형 형상을 갖는다. 카세트 커버의 포획 보어(catch bore) 내에 수용되는 포획 핀(catch pin)(141)이 래크 바(148)의 전방부(143)에 위치되고, 래크 바(148)의 단부(154)를 향해 후향으로 지향된다. 프로브 홀더를 수용하는 복수개의 리세스(142)가 래크 바(148)의 길이를 따라 일렬로 위치된다. 상향 연장 스프링 포획부(145)를 갖는 로크 암(lock arm)(144)이 래크 바(148)의 단부로부터 연장된다. 로크 암(144)은 로크 샤프트의 통과를 가능케 하는 절결부를 갖고, 그 기능은 나중에 논의될 것이다.
도24는 후방으로부터 관찰될 때의 도23의 카세트 래크(140)를 도시하고 있다. 도23에서와 동일한 도면 부호가 이전에 논의된 특징부를 지시하는 데 사용되었다. 추가로, 도24는 하향 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 래크 바의 양쪽 측면 상의 홈(150)을 도시하고 있다. 홈(150)은 래크 바의 측면을 추종하고, 그에 의해 래크 바의 프로파일은 하향 플랜지형 활주 지지부(151)를 형성한다. 나아가, 도24는 카세트 커버(110)의 포획 핀을 수용하는 래크 바의 단부에서의 후향 포획 보어(149)를 도시하고 있다.
도25는 아래로부터 관찰될 때의 도23 및 도24의 카세트 래크(140)를 도시하고 있고, 래크 바(148)의 홈(150)에 직각으로 포획 바(147)가 제공된 플랜지형 지지부(151) 내의 리세스를 추가로 도시하고 있다. 포획 바(147)는 카세트 커버(110)에 대해 동일한 카세트 래크(140)를 활주시키는 견고한 파지부 또는 보유부를 제공한다. 도26은 2개의 프로브 홀더(152)가 도23에 도시된 각각의 수용 리세스(142) 내로 끼워진 상태에서 측면으로부터 관찰될 때의 도23 내지 도25에서와 동일한 카세트 래크(140)를 도시하고 있다. 홈(150)은 래크 바(148)의 전체 길이를 추종하고, 그에 의해 카세트 래크(140)의 길이의 대부분에 대해 결합될 수 있는 플랜지형 활주 지지부를 제공한다.
도27은 도26의 카세트 래크(140)의 사시도이다. 도23 내지 도27에서와 동일한 도면 부호가 이전에 논의된 특징부를 지시하는 데 사용되었다. 도28은 프로브 홀더(152)가 모든 그 리세스(142) 내로 끼워진 상태에서 도27에서와 동일한 카세트 래크를 도시하고 있다.
도29는 측면으로부터 관찰될 때의 도21 및 도22의 카세트 커버(110)를 도시하고 있다. 카세트 커버(110)는 그 전방부(131)에서 그리고 그 저부(133)에서 개방되지만 그 단부(132)에서 그리고 그 상부(134)에서 폐쇄되는 하우징(114)을 갖는다. 이것은 그 폐쇄 상태에서의 카세트(100)가 전방부(131)를 향한 그리고 래크(140)의 이전에 설명된 플랜지형 활주 지지부(151)에 평행한 방향으로 개방되면서 활주되게 한다. 하우징(114)의 폐쇄 단부(132)는 핸들에 의해 밀봉되고, 그에 의해 카세트 커버(110) 또는 그와 관련하여 그 폐쇄 상태에서의 전체 카세트는 카세트 커버(110)의 길이 방향으로 압박 또는 견인될 수 있다. 카세트 커버에는 핸들(129)의 기부에서 그리고 하우징(114)의 상부(134)에서 커버(110)의 전방부(131)와 대면하는 패드 커넥터(128)를 갖는 인쇄 회로 기판(127)이 제공된다. 인쇄 회로 기판(127)의 기능은 도31과 연계하여 나중에 설명된다. 나아가, 카세트 커버에는 하우징(114)의 전방부(131)를 향해 전방으로 지향되는 하우징(114)의 저부(133)에 위치되는 카세트 래크의 포획 보어 내에 수용되는 포획 핀(121)이 또한 제공된다.
도30은 도29의 카세트 커버(110)의 절단부(135)를 따른 평단면도이다. 도29에서와 동일한 도면 부호가 이전에 논의된 특징부를 지시하는 데 사용되었다. 도30은 하우징(114)의 전방부와 단부 사이에 형성된 길이 방향에 대해 직각으로 배향되는 축(119)에 대해 형성되는 피벗 지지부에 의해 소정 위치에서 보유되는 스프링-로딩 로킹 후크(spring-loaded locking hook)(130)를 추가로 도시하고 있다. 로킹 후크(130)는 도23 내지 도24 그리고 도26 내지 도28과 연계하여 설명되는 래크(140)의 스프링 포획부(154)와 결합될 수 있다. 통로(123)는 스프링 포획부(154)로부터 로킹 후크(130)를 결합 해제하여 상승시키도록 로크 샤프트가 하우징(114) 내로 진입되게 한다.
도31은 단일 나사산에 의해 형성되는 이중 스프링(120) 내의 지지 축(119) 상에 중심을 갖는 2개의 코일 스프링과 접합되는 로킹 후크(130)의 작용에 대한 세부를 도시하는 도29에서의 카세트 커버(110)의 분해도이다. 나사산의 단부 지점은 각각의 리세스에 의해 소정 위치에서 보유되고, 그에 의해 커버(100)의 잔여부에 대한 로킹 후크(130)의 평형 위치를 형성한다.
도31은 인쇄 회로 기판(127)에 견고하게 부착되는 암형 커넥터(126)에 수형 커넥터(125)에 의해 결합되는 여기에서 USB-스틱의 형태로 된 비휘발성 디지털 메모리(124)를 추가로 도시하고 있다. 인쇄 회로 기판(127)은 결국 카세트 하우징(114)에 견고하게 부착된다. 인쇄 회로 기판(127)에는 하우징(114)의 전방부(131)와 대면하는 패드 커넥터(128)가 제공된다. 패드 커넥터(128)는 암형 커넥터(126)에 결합된다. 이러한 방식으로, 수형 커넥터(125) 및 암형 커넥터(126)를 함께 결합시킴으로써, 비휘발성 디지털 메모리(124)는 패드 커넥터(128)를 통해 접근될 수 있다. 비휘발성 디지털 메모리는 예컨대 카세트 내에 보관된 각각의 프로브가 시험 표면에 사용된 횟수에 대한 정보를 수용할 수 있다.
추가로, 도31은 하우징(114)의 상부에서의 그리고 양쪽 측면 상의 홈(111)을 도시하고 있다. 홈(111)은 하우징(114)을 측면을 추종하고, 그에 의해 하우징(114)의 상부에서의 프로파일은 상향 플랜지형 활주 지지부(112)를 형성한다.
완성된 프로브 조작기 헤드(160)의 사시도 그리고 또한 완성된 프로브 조작기 헤드(160)의 부분 분해 사시도가 도32에 도시되어 있다. 조작기 헤드(160)는 상악부(161), 하악부(162) 및 접촉 설부(163)를 포함한다. 상악부(161)에는 피벗 축(169) 그리고 구동 축(166)을 갖는 전기 모터 또는 회전 작동기(165)가 제공된다. 상악부(161)에는 볼 베어링(167) 내에 중심을 갖는 실린더(173)가 추가로 제공되고, 여기에서 실린더(173)는 베어링 중심(172)에 대해 오프셋되는 지점에서 구동 축(166)에 견고하게 연결된다. 이러한 방식으로, 구동 축(166)을 회전시킬 때에, 볼 베어링(167)이 상하로 이동될 것이다. 하악부(162)는 2개의 별개의 연결부에 의해 즉 그 볼 베어링(167) 및 기계 링키지(168)를 거쳐 그리고 하악부(162)의 피벗 구멍(174)을 통과하는 피벗 축(169)을 거쳐 상악부(161)에 연결된다. 이것에 의해, 하악부(162)의 전방부(177)는 구동 축이 하나의 방향으로 회전될 때에 상악부(161)의 전방부(176)에 대해 전후로 반복적으로 이동될 것이다.
접촉 설부(163)는 하악부(162)의 피벗 구멍(174) 사이에 위치되고, 접촉 설부(163)에는 피벗 축(169)이 또한 진행되는 그 자체의 피벗 구멍(175)이 제공된다. 접촉 설부(163)는 기계 링키지(168) 및 피벗 축(169)을 거쳐 상악부(161)에 연결된다. 이러한 방식으로, 접촉 설부(163)의 전방부(178)는 구동 축(166)을 회전시킬 때에 상악부(161)의 전방부(176)에 대해 전후로 반복적으로 이동될 것이다. 기계 링키지(168)의 작용이 아래에서 추가로 논의될 것이다. 접촉 설부(163)에는 접촉 설부(163)로의 시험 신호가 보내질 수 있는 리본 케이블(170)에 연결되는 절연 변위 커넥터(insulation displacement connector)(171)가 또한 제공된다.
프로브 조작기 헤드(160)에는 그 기능이 아래에서 추가로 논의될 고정 암(218)이 또한 제공된다. 고정 암(218)은 고정 암 요크(securing arm yoke)(230)에 견고하게 고정되고, 고정 암 요크(230)는 결국 피벗 축(169)에 피벗식으로 연결된다. 이러한 방식으로, 고정 암(218)은 피벗 축(169)을 중심으로 하는 양호하게 형성되는 회전 운동을 수행할 수 있다. 고정 암(218)은 그 자체 중량에 의해 그리고 고정 암 요크(230)의 중량에 의해 하향 고정력을 형성한다. 상악부(161)와 고정 암 요크(230) 사이의 하중을 형성하는 고정 암 스프링(231)이 하향 고정력을 증가시키는 데 기여한다. 나아가, 상악부 전방부(176)에서의 캔틸레버 판 스프링의 형태로 된 위치 설정 스프링(219)이 또한 도32에 도시되어 있다. 위치 설정 스프링(219)의 기능은 아래에서 설명될 것이다.
다중-지점 프로브(10)와 결합될 때의 서로에 대한 그 위치를 도시하는 상악부 전방부(176), 하악부 전방부(177) 및 접촉 설부 전방부(178)의 사시도가 도33a에 도시되어 있다. 전방부들은 명료화를 위해 멀리 떨어져 이동되었지만, 조립될 때에 전방부들이 다중-지점 프로브(10)를 파지한다. 상악부 전방부(176)는 다중-지점 프로브의 경사형 전방 표면(13)과 결합되는 한 쌍의 프로브-지지 절치부(13')를 갖고, 한편 하악부 전방부(177)는 한 쌍의 프로브-지지 구치부(215)를 갖고, 접촉 설부(163)의 접촉 팁(178)은 다중-지점 프로브의 저부 표면과 결합되는 복수개의 접촉 핑거(210)를 갖는다. 나아가, 다중-지점 프로브(10)는 도8 내지 도11 그리고 도14 내지 도19와 연계하여 설명되는 지지 컬럼(50)의 상부 상의 정지 위치에서 도시되어 있다. 다중-지점 프로브(10)를 보유하는 도8 및 도10에서와 같은 완성 프로브 홀더가 도시되지 않았고, 그렇지 않으면 브래킷(51)에 의해 은폐되었을 것이다. 상악부 전방부(176)에는 하악부 전방부(176)가 다중-지점 프로브(10) 상으로 하강되고 그에 의해 도12, 도13 및 도19와 연계하여 설명된 것과 같이 멀리 멀어지게 브래킷 헤드(52)를 가압할 때에 브래킷 헤드(52)의 경사형 헤드 표면(55)과 결합되는 바람직하게는 사파이어로 된 복수개의 볼(183)이 제공된다. 사파이어 볼의 구형 경질 표면은 경사형 헤드 표면(55)에 스크래치를 남기지 않는다는 점에서 장점을 갖고, 이것은 그렇지 않으면 자유 입자 또는 먼지의 발생원이 될 것이다.
상악부 전방부(176)는 상악부 리지(227)를 관통하는 프로브 고정 구멍(220) 및 설부 고정 구멍(221)을 갖는다. 나아가, 상악부(176)의 위치 설정 스프링(219) 그리고 접촉 설부(178)의 설부 리지(229)가 또한 도32에서 관찰 가능하다. 모든 이들 특징부의 기능은 나중에 논의될 것이다.
각각의 프로브-지지 구치부(215)는 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면에 연결되는 결합 지점(217)을 갖는 볼록 결합 표면(216)을 포함한다. 각각의 프로브-지지 구치부(215)는 결합 지점(217) 및 볼록 결합 표면(216)에 대한 접선 방향 평면에 의해 지지 평면을 형성한다. 2개의 지지 평면은 서로와 그리고 그 사이의 공통 지지 평면과 공면이다. 접촉 설부(163)는 접촉 설부(163)의 접촉 팁(178)의 복수개의 접촉 핑거(210)가 이러한 공통 지지 평면을 횡단하고 그에 의해 프로브 -지지 구치부(215)가 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면과 접촉된 후에 접촉 핑거(210)가 이것을 수행할 수 있도록 피벗 축(169)에 대해 회전될 수 있다.
도33b는 고정 암(218)이 결합 해제 위치에 있는 상태에서의 상악부 전방부(176)의 측단면도이다. 이러한 위치에서, 고정 암(218)은 그 하향 볼록 정지 표면에 의해 상악부 리지(227) 상에 위치된다. 고정 암(218)은 프로브 고정 구멍(220)을 통과하고 둥근 프로브 고정 핑거 팁(224)에서 종료되는 프로브 고정 핑거(222)를 갖는다. 고정 암(218)은 설부 고정 구멍(221)을 통과하고 둥근 설부 고정 핑거 팁(225)에서 종료되는 설부 고정 핑거(223)를 또한 갖는다. 도33c는 고정 암(218)이 도32에서 피벗 축(169)을 중심으로 하는 회전을 수행한 그 결합 위치에 있는 상태에서의 상악부 전방부(176)의 측단면도이다. 이러한 회전은 도32와 관련하여 설명된 고정 암(218)의 중량, 고정 암 요크(230)의 중량 그리고 고정 암 스프링(231)의 중량의 합성 하중보다 큰 프로브 고정 핑거 팁(224) 상에 작용하는 힘에 의해 유도될 수 있다. 결합 위치에서, 볼록 정지 표면(228)은 상악 리지(227) 상에 더 이상 위치되지 않고, 한편 프로브 고정 핑거(222) 및 설부 고정 핑거(223)는 각각 프로브 고정 구멍(220) 및 설부 고정 구멍(221) 내로 후퇴되었다. 프로브 고정 핑거(222)가 후퇴된 상태에서, 위치 설정 스프링(219)의 팁(226)이 관찰 가능하다. 프로브 고정 핑거(222)의 둥근 팁(224) 그리고 설부 고정 핑거(225)의 둥근 팁(225)으로써, 예리한 모서리가 이들이 결합될 때에 재료를 박리시키지 않을 것이다.
도33d는 도33a 내지 도33c의 고정 암(218)이 그 설부 고정 핑거(223)의 둥근 팁(225)에 의해 접촉 팁(178)의 설부 리지(225)와 결합되고 그에 의해 복수개의 접촉 핑거(210)가 프로브 고정 핑거(222)의 둥근 팁(224)과 접촉되는 것을 방지하는 방식을 도시하고 있다. 복수개의 접촉 핑거(210)가 프로브 고정 핑거(222)의 팁(224)과 접촉되면, 이것은 이들이 굽혀지게 하여 배향을 변화시킬 수 있고, 이것은 결국 다중-지점 프로브와 접촉될 때에 기능 면에서의 감소를 유발할 수 있다.
도33e는 위치 설정 핀(219)의 하부 부분 및 팁(226)을 명확하게 도시하는 도33b 및 도33c의 방향에 대향 방향으로부터의 상악부 전방부(176)의 측면도이다. 위치 설정 핀(219)은 그 팁(226)에 의해 다중-지점 프로브를 정확하게 위치시키는 캔틸레버 판 스프링이고, 이것은 도39f 및 도39g와 연계하여 추가로 논의될 것이다.
도34는 접촉 설부(163)의 확대 사시도이다. 동일한 도면 부호가 이전의 도32 및 도33a에서와 동일한 특징부에 사용되었다. 복수개의 접촉 핑거(210)의 각각의 접촉 핑거는 인쇄 회로 기판(181) 내의 복수개의 신호 트레이스(179)의 단일 신호 트레이스를 거쳐 절연 변위 커넥터(171)에 연결된다. 복수개의 신호 트레이스(179)의 절반이 절연 변위 커넥터(171)와 동일한 인쇄 회로 기판(181)의 측면 상에 있고, 한편 다른 절반은 이들이 전도성 비아(180)를 통해 도달하는 인쇄 회로 기판(181)의 다른 측면 상에 있다. 인쇄 회로 기판의 양쪽 측면에는 접촉 설부(163)에 개선된 구조적 강성을 부여하는 지지 보드(support board)가 제공되었다.
도35a는 2개의 지지 보드(182) 사이에 개재된 인쇄 회로 기판(181)을 도시하는 접촉 팁(178)의 사시도이다. 복수개의 접촉 핑거(210)는 여기에서 서로에 평행하게 접촉 팁(178)으로부터 자유롭게 연장되는 개별 전기 전도성 접촉 핑거(31'''-42''')로서 분해된다. 도1 내지 도7의 다중-지점 프로브(10)는 모든 접촉 패드(31-42)가 접촉 핑거(31'''-42''')에 의해 연결된다는 점에서 접촉 설부와 결합 가능하다. 접촉 핑거(31'''-42''')에는 핑거가 연결되는 다중-지점 프로브(10)의 접촉 패드(31-42)와 동일한 도면 부호가 부여되었다(도4a 및 관련 텍스트). 다중-지점 프로브의 접촉 패드(31-42)는 2개의 열로 배열되므로, 접촉 핑거는 각각의 컬럼의 접촉 핑거가 공통 평면 내에 위치되도록 그에 대응하여 2개의 컬럼으로 배열된다.
도35b는 2개의 지지 보드(182) 사이에 개재된 인쇄 회로 기판(181)을 도시하는 접촉 팁(178)의 정면도이다. 복수개의 접촉 핑거(210)는 여기에서 마름모꼴 단면을 갖는 개별 전기 전도성 접촉 핑거(31'''-42''')로서 분해된다. 접촉 핑거(31'''-42''')는 상부 및 최외곽 모서리가 최고이도록 그 길이 방향에 대해 배향된다. 이것은 마름모꼴 단면이 다중-지점 프로브의 접촉 패드와 결합되는 접촉 핑거 접촉 코너(362)의 팁에서 형성된다는 것을 의미한다. 이러한 구성에 의해, 접촉 핑거는 접촉 코너(362)가 외향으로 이동되도록 그 길이 방향에 대해 비틀린다. 동시에, 접촉 핑거는 내향으로 굽혀질 것이다. 이러한 굽힘은 접촉 핑거의 제1 및 제2 컬럼(31'''-36''' 및 37'''-42''') 사이의 전기 절연성 지지 벽(361)에 의해 어느 정도까지 제한될 것이다. 전기 절연성 지지 벽(361)은 복수개의 접촉 핑거(31'''-36''')의 전체 길이를 따라 연장되지 않고, 전기 절연성 지지 벽(361)으로부터 대략 동일한 거리만큼 자유롭게 연장되도록 종료된다.
도36은 조작기 헤드를 채용할 때의 상악부, 하악부 및 접촉 설부의 상대 위치를 나타내는 도식적인 기계 링키지가 개략적으로 도시된 상태에서의 도32의 완성된 조작기 헤드의 측면도이다. 구동 축(166)을 회전시킬 때에, 베어링 중심(172)은 그 주위의 원을 추종하고, 이것은 수직 방향으로 볼 베어링(167)의 외부 레이스(outer race)(196)를 이동시킬 것이다. 외부 레이스(196)는 외부 레이스(196)가 스트로크 암(stroke arm)(198)에 대해 제한된 활주 운동을 수행하게 하는 외부 레이스 링크(199)를 거쳐 스트로크 암(198)에 연결된다. 로딩된 상부 판 스프링(211)이 스트로크 암(198)으로 외부 레이스(196)의 운동을 전달하도록 작용한다. 나아가, 상부 판 스프링은 또한 굽혀질 때에 외부 레이스(196)가 스트로크 암(198)에 대해 이동되게 한다. 스트로크 암(198)은 스트로크 암(198)이 하악부(162)에 대해 제한된 활주 운동을 수행하게 하는 하악부 링크(200)를 거쳐 하악부에 연결된다. 로딩된 하부 판 스프링(212)이 하악부(162)로 스트로크 암의 운동을 전달하도록 작용한다. 나아가, 하부 판 스프링은 또한 굽혀질 때에 스트로크 암(198)이 하악부(162)에 대해 이동되게 한다. 스트로크 암은 접촉 설부 링크(201)를 거쳐 접촉 설부에 또한 연결되고, 이것은 기본적으로 강성 연결을 나타낸다.
이전에 언급된 것과 같이, 하악부(162)는 피벗 축(169)에 대해 피벗되고, 그에 의해 상악부 전방부(176)와 하악부 전방부(177) 사이의 분리 거리는 구동 축(166)을 회전시킴으로써 변동될 수 있다. 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)는 분리 거리가 그 최소에 있을 때의 폐쇄 또는 완전 고정 위치 그리고 분리 거리가 그 최소보다 클 때의 개방 위치를 형성한다. 폐쇄 위치는 도36에 도시되어 있다. 개방 위치로부터 폐쇄 위치로 도달할 때에, 하부 판 스프링(211)은 스트로크 암(198)이 하향 운동을 계속하게 하고, 이것은 접촉 설부 링크(201)를 거쳐 피벗 축(169)에 대해 접촉 설부를 계속하여 회전시킬 것이다. 이러한 방식으로, 접촉 설부(163)의 접촉 핑거(31'''-42''')가 다중-지점 프로브(10)의 하부 표면 상의 접촉 패드(31-42)와 결합되기 전에, 다중-지점 프로브가 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)에 의해 먼저 결합될 것이다.
도37은 도36에 개략적으로 도시된 도식적인 기계 링키지를 도시하고 있다. 구동 축(166)을 회전시킬 때에, 베어링 중심(172)은 베어링 중심(172)으로부터의 구동 축(166)의 변위가 크랭크 샤프트(195)를 형성하는 원(206)을 추종한다. 커넥팅 로드(197)가 베어링 중심(172)과 외부 레이스 링크(199)의 상대 위치에 의해 형성되고, 그에 의해 기계 링키지 내의 볼 베어링(167) 및 외부 레이스(196)를 효과적으로 나타낸다. 스트로크 샤프트(207)가 외부 레이스 링크(199) 및 하악부 링크(200)의 상대 위치에 의해 형성되고, 그에 의해 스트로크 암(198)을 효과적으로 나타낸다. 하악부 샤프트(202)가 하악부 링크(200) 및 피벗 축(169)의 상대 위치에 의해 형성되고, 그에 의해 하악부(162)를 효과적으로 나타낸다. 하악부 링크(200)는 피벗 축(169) 상에 중심을 갖는 원(208)을 추종한다. 하악부 샤프트(202)는 하악부 전방부(177)를 나타내는 하부 지지 평면(204) 내에서 연장된다. 상악부 샤프트(203)가 피벗 축(169) 및 구동 축(166)의 상대 위치에 의해 형성되고, 그에 의해 상악부(161)를 효과적으로 나타낸다. 상악부 샤프트(203)는 상악부 전방부(176)를 나타내는 상부 지지 평면(205) 내에서 연장된다. 나아가, 스트로크 샤프트(207)는 스트로크 암(214)에 견고하게 연결되고, 스트로크 암(214)은 결국 피벗 축(169)에 연결된다. 접촉 설부 링크(201)는 스트로크 암(214)을 따른 지점 상에 위치되고, 그에 의해 스트로크 암(198) 및 접촉 설부(163)의 연결 및 작용을 효과적으로 나타낸다.
도37의 도식적인 기계 링키지는 그 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)가 폐쇄 위치에 있는 상태 즉 최소 분리 거리가 그 사이에 있는 상태에서의 조작기 헤드(160)를 나타낸다. 도38은 도37에서와 동일한 도식적인 기계 링키지이지만, 그 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)가 이러한 예에서 구동 축(166)의 150˚ 시계 방향 회전을 통해 성취된 개방 위치에 있는 상태에서의 조작기 헤드(160)를 나타낸다. 도37에서, 스트로크 암(214)과 하악부 샤프트(202) 사이의 각도는 도38에서의 대응 각도보다 작고, 그에 의해 폐쇄 위치에 접근할 때에 접촉 설부의 접촉 팁이 피벗 축(169)에 대해 하악부 전방부보다 더욱 회전하게 하는 폐쇄 위치에서의 하부 판 스프링의 굽힘을 나타낸다. 스트로크 샤프트(207)의 길이 즉 외부 레이스 링크(199)와 하악부 링크(200) 사이의 거리는 도38에서보다 도37에서 짧고, 그에 의해 폐쇄 위치에서의 하부 판 스프링(212) 및 상부 판 스프링(211)의 합성 굽힘을 나타낸다. 이것은 하부 지지 평면(204)과 상부 지지 평면(205) 사이의 위치에서 보유되는 다중-지점 프로브 상의 하중이 판 스프링 상의 하중에 의해 형성된다는 것을 의미한다. 나아가, 이것은 또한 폐쇄 위치가 판 스프링의 최대 하중의 지점 주위에서 유지된다는 것 그리고 다중-지점 프로브 상의 하중이 각각 결합 및 결합 해제될 때에 매끄럽게 증가 및 감소할 것이고 이것이 프로브 조작기 헤드(160)에 의한 파지의 정확성 및 반복성을 크게 개선시킬 것이라는 것을 의미한다.
나아가, 완전한 1회전만큼 구동 축(166)을 회전시킴으로써, 하부 지지 평면(204) 및 상부 지지 평면(205)은 그 최초 상대 위치로 주기적으로 복귀할 것이다. 전기 모터의 중심 축의 연장부인 구동 축(166)으로써, 이러한 회전 작동기는 또한 그 회전 사이클에서 동일한 위치로 복귀할 것이다. 단계들로 분할되는 회전 사이클로써, 특정 단계가 판 스프링 상의 최대 하중에 대해 또는 다중-지점 프로브를 파지하는 조작기 헤드가 고려될 때에 형성될 수 있고, 이것은 또한 프로브 조작기 헤드(160)에 의한 파지의 정확성 및 반복성을 개선시킬 것이다.
도39a는 도8 내지 도19와 연계하여 이전에 설명된 지지 컬럼(50)에 의해 지지되고 브래킷 헤드(52)에 의해 결합되는 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 도32의 프로브 조작기 헤드(160)의 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)의 측면도이다. 상악부 전방부(176)는 다중-지점 프로브(10)를 파지하도록 아래로 이동할 때에 브래킷 헤드(52)의 경사형 헤드 표면(55)과 결합되는 그 양쪽 측면 상에 바람직하게는 사파이어로 된 볼(183)을 갖는다. 이것은 도12, 도13 및 도19와 연계하여 설명된 것과 같이 지지 컬럼(50)으로부터 멀리 떨어지게 브래킷 헤드(52)를 굽힐 것이다.
다중-지점 프로브(10)의 상부를 수용하기 위해, 하악부 전방부(176)는 다중-지점 프로브(10)의 운동에 대한 후방 경계부를 형성하는 단부 결합 모서리(15")를 갖는 구개부(209)를 형성한다. 하악부 전방부(177)에는 구개부(209)의 전방부에 위치되는 2개의 프로브-지지 절치부(13')가 추가로 제공된다. 그러나, 프로브-지지 절치부(13') 중 단지 하나가 도39의 사시도로부터 관찰 가능하다. 각각의 프로브-지지 절치부(13')는 프로브-지지 절치부(13')가 경사형 전방 표면(13)과 결합되고 다중-지점 프로브(10)의 운동의 자유를 제한하는 전방 결합 모서리를 함께 형성하게 하는 둥근 지지 팁을 갖는다.
도39a에서, 문제의 결합 모서리가 다중-지점 프로브(10)의 경사형 전방 표면(13)과 결합되도록 브래킷 헤드(52)의 지지 핀(57) 중 하나가 다른 지지 핀과 대면하는 측면의 하부 단부에서 결합 모서리를 갖는 방식이 명확하게 도시되어 있다.
도39b 내지 도39e는 상악부 전방부(176)가 프로브 고정 핑거(222)의 작용을 도시하도록 단면도로 도시되어 있는 지지 컬럼(50) 상에서 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)의 측면도이다. 도39b 내지 도39e의 순서는 상이한 결합 단계가 수행되는 순서에 대응한다. 도39b에서, 프로브 고정 핑거(222)의 둥근 팁(224)은 다중-지점 프로브(10)의 상부 표면(11)과 접촉되고, 그에 의해 브래킷 헤드가 도12, 도13, 도19 및 도39와 연계하여 설명된 것과 같이 지지 컬럼(50)으로부터 멀리 떨어지게 굽혀지고 다중-지점 프로브(10)를 해제하는 동안에 컬럼(50)에 대해 고정한다. 도39c에서, 상악부 전방부(176)는 그 구개부(209)와 지지 컬럼(50)의 견부(60) 사이에 다중-지점 프로브(10)를 구속하도록 다중-지점 프로브(10)의 상부 상으로 하강된다. 다중-지점 프로브(10)는 프로브 고정 핑거(222)의 팁(224)에 의해 컬럼(50)에 대해 소정 위치에서 여전히 보유된다. 구개부(209)는 다중-지점 프로브와 직접 접촉되지 않았고, 이것은 관련된 조작기 헤드의 비교적 큰 중량으로 인해 다중-지점 프로브를 손상시킬 수 있다.
도39d에서, 하악부 전방부(177)는 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면(12)과 결합되도록 상악부 전방부(176)를 향해 상승되었고, 그에 의해 지지 컬럼(50)의 견부(60)로부터 다중-지점 프로브(10)를 상승시키고 구개부(209)에 대해 다중-지점 프로브(10)를 가압한다. 이제, 다중-지점 프로브는 상악부 전방부(176) 및 하악부 전방부(177)에 의해 형성된 파지부에 의해 완전히 지지된다. 도39e에서, 다중-지점 프로브(10)는 관련된 조작기 헤드를 단순하게 이동시킴으로써 지지 컬럼(50)으로부터 제거되었다. 하악부에는 그 구동 샤프트 상에서 불균형 질량을 갖는 전기 모터 또는 압전 작동기 등의 진동기가 끼워질 수 있다. 작동될 때에, 작은 진동은 하악부가 짧은 시간 동안 개방되게 할 것이고, 이것은 다중-지점 프로브(10)가 스스로를 재위치시키게 한다.
도39f는 구개부(209)의 세부를 도시하는 상악부 전방부(176)의 사시도이고, 한편 도39g는 구개부(209)와 접촉되는 그 영역을 도시하는 도1 내지 도7과 연계하여 설명된 다중-지점 프로브(10)의 평면도이다. 4개의 대응하여 위치 및 성형된 상부 결합 영역(11''')에서 다중-지점 프로브(10)의 상부 표면(11)과 결합되는 구개부(209) 상의 4개의 하향 직사각형 상부 결합 리지(11")가 있다. 구개부(209)의 전방부에서의 2개의 프로브-지지 절치부(13')는 2개의 대응하여 위치 및 성형된 전방 결합 영역(13''')에서 다중-지점 프로브(10)의 전방 표면(13)과 결합되는 둥근 지지 팁(13")을 갖는다. 전방 결합 영역(13''')은 프로브-지지 절치부(13')가 프로브 팁(26)과 접촉되지 않도록 분리된다.
구개부(209)는 대응하여 위치 및 성형된 단부 결합 영역(15''')에서 다중-지점 프로브(10)의 단부 표면(15)과 결합되는 그 후방부에서의 단부 결합 모서리(15")를 형성한다. 마찬가지로, 구개부(209)는 4개의 대응하여 위치 및 성형된 측면 결합 영역(14''')에서 다중-지점 프로브(10)의 측면 표면(14)과 결합되는 그 양쪽 측면 상의 2개의 공선 측면 결합 모서리(14")를 형성한다. 모든 결합 모서리는 먼지의 방출을 감소시키도록 둥글다. 나아가, 모든 결합 영역은 임의의 모서리 상에 있지 않고 다중-지점 프로브(10)의 표면 상에 있고, 임의의 모서리 상에 있으면 예리하고 쉽게 부서질 수 있고, 이것은 또한 먼지 입자의 발생원일 수 있다.
나아가, 도39f는 대응하여 위치 및 성형된 스프링 결합 영역(226''')에서 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 위치 설정 스프링(219) 및 그 둥근 팁(226)을 도시하고 있다. 이러한 방식으로, 위치 설정 스프링(219)은 개구부(209)의 대향측 상에서 측면 결합 지점(14''')에 대해 다중-지점 프로브를 가압하고, 상당히 정확하고 반복 가능한 위치 설정이 성취될 수 있다. 통상 결합 중에, 단지 위치 설정 스프링(219)으로부터 가장 멀리 떨어진 둥근 지지 팁(13")이 다중-지점 프로부와 결합된다. 도39f는 또한 도33b 내지 도33e와 연계하여 논의된 프로브 고정 구멍(220)을 도시하고 있다.
도40은 다중-지점 프로브(10)와 결합되고 다중-지점 프로브(10)를 구속하는 도32의 상악부 전방부(176)의 부분 측단면도이다. 도41은 도40의 분해도이고, 동일한 도면 부호가 동일한 특징부에 사용되었다. 다중-지점 프로브(10)의 전방 표면(13)은 프로브 지지 절치부(13')의 둥근 지지 팁(13")에 의해 형성된 전방 결합 모서리에 의해 결합될 수 있고, 한편 단부 표면(15)은 구개부(209)에 의해 형성된 단부 결합 모서리(15")에 의해 결합될 수 있다. 여기에서, 전방 결합 모서리 및 단부 결합 모서리(15")는 서로에 평행하다.
도42는 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 도32의 상악부 전방부(176)의 부분 정단면도이다. 도39f 및 도39g와 연계하여 논의된 위치 설정 스프링은 측면 결합 모서리(14") 중 하나에 대해 다중-지점 프로브(10)를 압박하였다. 상악부 전방부(176)의 양쪽 측면 상에는 도33a 및 도39와 연계하여 논의된 바람직하게는 사파이어로 된 볼을 수용하는 지지 리세스가 있다. 도43은 도42의 분해도이고, 동일한 도면 부호가 동일한 특징부에 사용되었다. 구개부(209)의 양쪽 측면 상에서, 다중-지점 프로브(10)의 측면 표면(14)과 결합되는 측면 결합 모서리(14")가 명확하게 관찰 가능하다. 측면 결합 모서리(14")는 서로에 평행하고, 전방 결합 모서리 및 단부 결합 모서리(15")에 직각이다.
도41에서, 상부 지지 길이(187)는 전방 결합 모서리와 단부 결합 모서리(15") 사이의 거리로서 형성된다. 다중-지점 프로브는 상부 지지 길이(187)보다 짧은 상부 표면 길이(189)를 형성한다. 마찬가지로, 도43에서, 상부 지지 폭(190)이 측면 결합 모서리(14") 사이의 거리로서 형성된다. 다중-지점 프로브는 상부 지지 폭(190)보다 좁은 상부 표면 폭(192)을 형성한다. 이러한 방식으로, 다중-지점 프로브(10)는 구개부(209) 내에 수용되어 상부 결합 리지(11")에 대해 보유될 수 있다.
나아가, 다중-지점 프로브(10)는 둥근 지지 팁(13")과 상부 결합 리지(11") 사이에 형성되고 구개부(209)에 직각인 전방 지지 높이(232)보다 큰 프로브 높이(234)를 형성한다. 프로브 높이(234)는 또한 단부 결합 모서리(15")와 상부 결합 리지(11") 사이에 형성되고 구개부(209)에 직각인 후방 지지 높이(235)보다 크다. 마찬가지로, 프로브 높이(234)는 측면 결합 모서리(14'") 중 하나와 상부 결합 리지(11") 사이에 형성되고 구개구(209)에 직각인 측면 지지 높이(233)보다 크다. 이러한 방식으로, 다중-지점 프로브(10)의 경사형 표면으로부터의 예리하고 부서지기 쉬운 모서리가 하악부 전방부와 접촉되지 않을 수 있다.
도44, 도45 및 도46은 수직 로더(254)의 일부의 정면도, 측면도 및 사시도이다. 도32 내지 도43과 연계하여 설명된 것과 같은 조작기 헤드(160)가 수직 로더의 하부 단부에 위치된다. 수직 로더에는 앵커 판(anchor plate)(273)에 대해 조작기 헤드(160)의 수직 위치를 이동시킬 수 있는 고정밀 선형 작동기가 제공된다. 도44 내지 도46에서, 고정밀 선형 작동기는 보호 커버(274) 뒤에 은폐되어 있다.
수직 광학 현미경(267)이 시험 기판의 평면형 표면이 직각 관찰을 위해 수직 로더(254)에 부착된다. 수직 광학 현미경(267)은 가변 수직 위치를 갖고, 그에 의해 수직 광학 현미경(267)은 다중-지점 프로브를 로딩할 때에 조작기 헤드(160)로의 접근을 가능케 하도록 후퇴될 수 있다. 시험 기판의 표면 상에 수직 광학 현미경(267)을 포커싱함으로써, 조작기 헤드(160)와 시험 기판 사이의 정확한 수직 거리가 얻어질 수 있고, 이것은 시험 기판 또는 프로브 팁을 손상시킬 위험성이 없이 미세한 다중-지점 프로브를 채용하는 데 중요하다.
도10 그리고 도13 내지 도17과 연계하여 설명된 것과 같이 지지 컬럼(50)의 외향 연장 설부(61) 상의 오목부(63)에 의해 형성된 기준부를 관찰하는 컬럼-설부 광학 현미경(266)이 또한 수직 로더(254)에 부착된다. 기준부 상에 컬럼-설부 현미경(266)을 포커싱함으로써, 조작기 헤드(160)와 지지 컬럼(50) 사이의 상대 위치가 높은 정확도까지 용이하게 결정될 수 있고, 이것은 조작기 헤드(160)에 의한 다중-지점 프로브의 정확한 파지를 가능케 한다. 컬럼-설부 광학 현미경(266)은 조작기 헤드(160)에 의해 파지된 다중-지점 프로브의 프로브 팁 상에 또한 포커싱될 수 있고, 그에 의해 프로브 팁이 시험 기판에 결합 해제 및 결합될 때의 양쪽 모두에서 프로브 팁의 시각적 연구 또는 검사를 가능케 한다. 도44 내지 도46에서, 원뿔부(268)의 팁은 원뿔부(268)가 부착되는 광학 현미경의 초점을 나타낸다.
도47은 수평 제1 로딩 축을 형성하는 제1 로더 암(255) 그리고 수평 제2 로딩 축을 형성하는 제2 로더 암(256)을 갖는 수평 로더(253)의 사시도이고, 제1 및 제2 로딩 축은 그 사이에 직각을 형성한다. 제1 로더 암(255)은 제1 왜건(259)을 위한 활주 지지부를 제공한다. 제1 왜건(259)의 나사산 보어 내에 수용되는 나사산 축에 결합되는 전기 회전 모터의 형태로 된 제1 선형 작동기(257)는 제1 왜건(259)이 수평 제1 로딩 축을 따라 위치를 이동시킬 수 있게 한다.
제2 로더 암(256)은 제1 왜건(259)에 견고하게 부착되고, 제2 왜건(260)을 위한 활주 지지부를 제공한다. 제2 왜건(260)의 나사산 보어 내에 수용되는 나사산 축(275)에 결합되는 전기 회전 모터의 형태로 된 제2 선형 작동기(258)는 제2 왜건(260)이 수평 제2 로딩 축을 따라 위치를 이동시킬 수 있게 한다. 수평 로더(253)는 제1 로더 암(255)을 따른 제1 왜건(259)의 모든 위치에서의 제2 선형 작동기의 제어를 가능케 하는 가요성 제어 도선(269)을 추가로 포함한다.
제2 왜건(260)에는 래크 홀더(262)가 제공되고, 래크 홀더(262)에는 결국 도25 내지 도27과 연계하여 설명된 것과 같은 래크(140)의 제2 플랜지형 활주 지지부(151)와 협력하는 상향 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(263)를 형성하는 플랜지가 제공된다. 수용 플랜지형 활주 지지부(263)는 제2 로더 암(256)에 평행하게 연장된다. 래크(140)가 래크 홀더(262)에 고정된 상태에서, 수평 로더는 그 제1 선형 작동기(257) 및 제2 선형 작동기(258)에 의해 제1 로더 암(255) 및 제2 로더 암(256)의 길이에 의해 형성되는 영역 위의 평면 내에서 래크(140)를 이동시킬 수 있다.
도48은 수평 지지 스테이지(251) 그리고 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되는 수직 지지 스테이지(252)를 포함하는 프로브 로더(250)의 사시도이다. 도44 내지 도46과 연계하여 부분적으로 설명된 수직 로더(254)는 수직 로딩 축을 형성하는 수직 로더 암(264) 그리고 공압 구동 피스톤의 형태로 된 수직 선형 작동기(265)를 추가로 포함한다. 수직 로더 암(264)은 수직 지지 스테이지(252)에 견고하게 연결되고, 앵커 판(273)을 위한 그리고 결국 또한 프로브 파지기(160)를 위한 활주 지지부를 제공한다. 이러한 방식으로, 수직 선형 작동기(265)는 수직 로딩 축을 따른 프로브 파지기(160)의 가변 위치를 제공한다.
수평 로더(253)의 제1 로더 암(255)은 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되고, 제1 로더 암(255)에는 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되고 도31과 연계하여 논의된 것과 같은 커버(110)의 제1 플랜지형 활주 지지부(112)와 협력하도록 제2 로더 암(256)에 의해 형성된 제2 로딩 축에 평행하게 연장되는 하향 제1 수용 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 플랜지가 제공되는 커버 홀더(261)가 추가로 제공된다.
프로브 로더(250)는 래크 홀더(262)가 커버 홀더(261)에 위치되고 이 때에 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(263)가 제1 수용 플랜지형 활주 지지부 아래에 그리고 제1 수용 플랜지형 활주 지지부에 평행하게 위치되는 그 로딩 위치에 있다. 도48에서의 래크(140)의 위치는 프로브 로더(250)의 파지 위치 즉 래크(140)에 의해 보유되는 다중-지점 프로브가 수직 로더(254)의 조작기 헤드(160)에 의해 파지될 수 있는 위치에 대응한다. 당연히, 래크(140)는 자발적으로 도시된 위치에서 유지될 수 없고, 수평 로더(253)의 래크 홀더(262)에 의해 지지될 것이 필요하다.
프로브 로더(250)는 수직 지지 스테이지(252)에 부착되는 보호 커버(270)를 추가로 포함한다. 보호 커버(270)는 수직 로더(254) 주위에 위치되고, 프로브 조작기 헤드(160)를 위한 개방 저부를 갖는다. 나아가, 프로브 로더(250)는 도20의 폐쇄된 다중-지점 프로브 카세트(100)가 래크 홀더(262) 및 커버 홀더(261)에 의해 삽입 및 수용될 수 있는 카세트 구멍(272)을 갖는 수평 로더 전방부(276)를 갖는다. 수평 로더 전방부(276)에는 로딩될 때에 카세트(100) 및 카세트 구멍(272)을 조사하는 일렬의 램프(271)가 제공된다. 조명은 도48에서 원뿔부(277)에 의해 도시되어 있다.
예
위에서 설명된 양호한 실시예의 프로토타입 실시예(prototype implementation)가 구축될 때에, 프로브(10)는 실리콘, 실리콘-이산화물 및 폴리-실리콘으로 제조되고, 경사형 전방 표면(13), 측면 표면(14) 및 단부 표면(15)은 KOH 시각을 통해 성취된다. 조각 절단부(23)는 완충 불산(BHF: buffered Hydrofluric acid)으로의 등방성 및 이방성 식각 그리고 고급 실리콘 식각(ASE: Advanced Silicon Etching)의 조합을 통해 제공된다. 금속 층은 e-빔 증발을 통해 티타늄 및 니켈로 제조되고, 한편 산화물 층은 열 성장 공정을 통해 실리콘-이산화물로 제조된다.
프로브 홀더에 대해, 지지 컬럼(50) 및 브래킷(51)은 브래킷 네크(54)에 충분한 가요성을 부여하고 동시에 지지 컬럼(50)에 충분한 강성을 부여하는 사출 성형 ABS에 의해 제조된다. 프로브 카세트(100)의 커버(110)는 밀링된 산업용 알루미늄의 카세트 하우징(114) 그리고 주조 및 밀링된 산업용 알루미늄의 핸들(129)을 갖는다. 카세트 래크(140)에 대해, 래크 전방부(143), 로크 암(144) 및 래크 바(148)는 밀링된 산업용 알루미늄으로 되어 있다. 알루미늄은 경량이고, 카세트의 용이하고 안전한 수동 취급을 가능케 하는 충분한 구조적 강도를 갖는다.
로킹 기구에 대해, 이중 스프링(130)은 6.4 ㎜의 직경을 갖는 상업적으로 이용 가능한 레스죄포르스(Lesjoefors)이다. 지지 축(119)은 POM으로 되어 있고, 스프링 포획부(145)는 로킹 및 로킹 해제할 때에 마모를 최소화하는 강철로 되어 있다. 동일한 이유로, 커버 포획 핀(121), 래크 포획 핀(141) 및 개구 포획 바(147)가 또한 강철로 되어 있다.
비휘발성 디지털 메모리(124)는 구입 가능한 플래시 메모리, USB 스틱 타입의 트랜센드(Transcend) USB 2.0 1GB이고, 그에 의해 수형 커넥터(125) 및 암형 커넥터(126)는 USB 표준으로 되어 있다. 인쇄 회로 기판(127)은 FR4의 표준 PCB 타입으로 되어 있고, 연결 패드(128)는 전기 도금을 통해 구리로 제조된다.
프로브 조작기 헤드(160)의 상악부(161)는 주로 와이어 스파크 침식 공구강으로 되어 있다. 프로브 조작기 헤드(160)의 하악부(162)는 주로 와이어 스파크 침식 공구 알루미늄으로 되어 있다.
접촉 설부(163)는 주로 FR4의 표준 PCB 타입의 인쇄 회로 기판(181)이다. 인쇄 회로 기판(181)의 양쪽 측면 상의 복수개의 신호 트레이스(179) 그리고 전도성 비아(180)는 전기 도금을 통해 구리로 제조된다. 리본 케이블(170)은 내부 전기 와이어를 갖는 플렉스콘(Flexconn) AWN-2896-VW-1이고, 한편 호환 가능한 FFC 커넥터(171)는 파넬(Farnell) 132-4572이다. 접촉 핑거(31'''-42''')는 와이어 스파크 침식을 통해 CuBe2로 제조된다. 지지 보드(182)는 인쇄 회로 기판(181)을 위한 강성 지지부를 제공하도록 CuBe2로 되어 있다.
하악부(162)의 알루미늄 프로브-지지 구치부(25')는 와이어 및 전극 스파크 침식을 통해 성형되고, 그에 의해 정확하게 그 지지 평면을 형성한다.
상악부(161)에 대해, 전기 모터(165)는 맥슨 A-맥스(Maxon A-max)이고, 구동 축(166)은 맥슨 GS12A이고, 볼 베어링(167)은 SKF 61801이다. 베어링 중심(172) 및 외부 레이스(196)는 밀링된 알루미늄으로 되어 있고, 한편 피벗 축(169)은 안정된 피벗 지지부를 보증하도록 밀링된 알루미늄으로 되어 있다. 프로브-지지 절치부(13') 및 구개부(209)는 와이어 스파크 침식을 통해 공구강으로 제조되고, 한편 캔틸레버 스프링(186)은 충분한 탄성을 위해 스테인리스 스프링강으로 제조된다. 볼(183)은 치수 1/32"로 카르보테크(Carbotech)에 의해 제조된 SiN3로 되어 있고, 볼 지지부(185)는 와이어 스파크 침식을 통해 제조된다.
외부 레이스(196) 및 스트로크 암(198)은 밀링을 통해 알루미늄으로 제조된다. 외부 레이스 링크(199), 하악부 링크(200) 및 접촉 설부 링크(201)는 POM의 로드이고, 한편 상부 비틀림 스프링(211) 및 하부 비틀림 스프링(212)은 충분한 탄성을 제공하도록 스프링 스테인리스강으로 되어 있다.
프로브 로더(250)에 대해, 수평 지지 스테이지(251) 및 수직 지지 스테이지(252)는 화강암으로 되어 있다. 제1 로더 암(255)은 상업적으로 이용 가능한 다나허(Danaher) URS-46이고, 제2 로더 암(256)은 또한 상업적으로 이용 가능한 다나허 URS-46이고, 한편 수직 로더 암(264)은 다나허로부터 상업적으로 이용 가능하다. 제1 선형 작동기(257)는 상업적으로 이용 가능한 나사산 축 상에 중심을 갖고, 한편 제2 선형 작동기(258)는 상업적으로 이용 가능한 나사산 축(275) 상에 중심을 갖는다. 수직 선형 작동기(165)는 공압 구동 실린더이다. 가요성 제어 도선(269)은 레온(Leon) PTFE이다.
제1 왜건(259) 및 제2 왜건(260)은 주문 제작되고, 한편 앵커 판(273)은 알루미늄으로 주목 제작된다. 커버 홀더(261) 및 래크 홀더(262)는 주로 밀링을 통해 알루미늄으로 제조된다. 수직 로더 상의 보호 커버(274)는 알루미늄으로 되어 있다. 보호 커버(270) 및 수평 로더 전방부(275)는 알루미늄으로 되어 있다. 조명용 LED-광원(271)은 파넬 FEL-F115Y1512V12로 형성된다.
항목 리스트
10: 프로브
11: 상부 표면
11": 상부 결합 리지
12: 저부 표면
13: 경사형 전방 표면
13': 프로브-지지 절치부
13": 둥근 지지 팁
13''': 전방 결합 영역
14: 경사형 측면 표면
14": 측면 결합 모서리
14''': 측면 결합 영역
15: 경사형 단부 표면
15": 단부 결합 모서리
15''': 단부 결합 영역
16: 제조 지지부
17: 상반된 전방 코너
18: 제1 경사형 전방 코너 표면
19: 제2 경사형 전방 코너 표면
20: 상반된 후방 코너
21: 제1 경사형 후방 코너 표면
22: 제2 경사형 후방 코너 표면
23: 조각 절단부
24: 패드
25: 외부 영역
26: 프로브 팁
27: 금속 층
28: 산화물 층
29: 측면 모서리
31-42: 접촉 패드
31'-42': 프로브 신호 트레이스
31"-42": 프로브 암
31'''-42''': 접촉 핑거
43: 전방 모서리
44: 접촉 패드의 내부 측면
45: 접촉 패드의 외부 측면
46: 길이 방향 대칭 축
47: 도선
48: 내부 예각부
49: 전방 영역
50: 지지 컬럼
51: 브래킷
52: 브래킷 헤드
53: 브래킷 기부
54: 브래킷 네크
55: 경사형 헤드 표면
56: 브래킷 죠
57: 브래킷 지지 핀
58: 컬럼 상부 부분
59: 컬럼 저부 부분
60: 컬럼 견부
61: 컬럼 설부
62: 경사형 설부 표면
63: 오목부
64: 중공 공간
65: 네크 구멍
66: 기부 구멍
67: 기부 플랜지
68: 컬럼 측면
69: 컬럼 전방부
70: 결합 각도
71: 힘
72: 기준 표면
73: 림
100: 프로브 카세트
110: 카세트 커버
111: 카세트 하우징 내의 홈
112: 플랜지형 활주 지지부
113: 커버 포획 보어
114: 카세트 하우징
119: 지지 축
120: 이중 스프링
121: 커버 포획 핀
123: 로크 샤프트 통로
124: 비휘발성 디지털 메모리
125: 수형 커넥터
126: 암형 커넥터
127: PCB
128: PCB 패드 커넥터
129: 핸들
130: 로킹 후크
131: 하우징 전방부
132: 하우징 단부
133: 하우징 저부
134: 하우징 상부
135: 단면 절단부
140: 카세트 래크
141: 래크 포획 핀
142: 프로브 홀더를 위한 리세스
143: 래크 전방부
144: 로크 암
145: 스프링 포획부
146: 개구 리세스
147: 개구 포획 바
148: 래크 바
149: 래크 포획 보어
150: 래크 바 내의 홈
151: 플랜지형 활주 지지부
152: 프로브 홀더
153: 로크 샤프트 절결부
154: 래크 바 단부
160: 프로브 조작기 헤드
161: 상악부
162: 하악부
163: 접촉 설부
165: 전기 모터
166: 구동 축
167: 볼 베어링
168: 기계 링키지
169: 피벗 축
170: 리본 케이블
171: 절연 변위 커넥터
172: 베어링 중심
173: 변위된 실린더
174: 피벗 구멍
175: 피벗 구멍
176: 상악부 전방부
177: 하악부 전방부
178: 접촉 팁
179: 복수개의 신호 트레이스
180: 전도성 비아
181: 인쇄 회로 기판
182: 지지 보드
183: 사파이어 볼
184: 지지 리세스
185: 사파이어 볼 지지부
186: 캔틸레버 스프링
187: 상부 지지 길이
188: 하부 표면 길이
189: 상부 표면 길이
190: 상부 지지 폭
191: 하부 표면 폭
192: 상부 표면 폭
195: 크랭크 샤프트
196: 외부 레이스
197: 커넥팅 로드
198: 스트로크 암
199: 외부 레이스 링크
200: 하악부 링크
201: 접촉 설부 링크
202: 하악부 샤프트
203: 상악부 샤프트
204: 하부 지지 평면
205: 상부 지지 평면
206: 베어링 중심 원
207: 스트로크 샤프트
208: 원
209: 구개부
210: 복수개의 접촉 핑거
211: 상부 판 스프링
212: 하부 판 스프링
214: 스트로크 암
215: 프로브 지지 구치부
216: 볼록 결합 표면
217: 결합 지점
218: 고정 암
219: 위치 설정 스프링
220: 프로브 고정 구멍
221: 설부 고정 구멍
222: 프로브 고정 핑거
223: 설부 고정 핑거
224: 프로브 고정 핑거 팁
225: 설부 고정 핑거 팁
226: 위치 설정 스프링 팁
226''': 스프링 결합 영역
227: 상악부 리지
228: 볼록 정지 표면
229: 설부 리지
230: 고정 암 요크
231: 고정 암 스프링
232: 전방 지지 높이
233: 측면 지지 높이
234: 프로브 높이
235: 후방 지지 높이
250: 프로브 로더
251: 수평 지지 스테이지
252: 수직 지지 스테이지
253: 수평 로더
254: 수직 로더
255: 제1 로더 암
256: 제2 로더 암
257: 제1 선형 작동기
258: 제2 선형 작동기
259: 제1 왜건
260: 제2 왜건
261: 커버 홀더
262: 래크 홀더
263: 수용 활주 지지부
264: 수직 로더 암
265: 수직 선형 작동기
266: 컬럼 설부 현미경
267: 수직 현미경
268: 초점 원뿔부
269: 제어 도선
270: 보호 커버
271: LED-광원
272: 카세트 구멍
273: 앵커 판
274: 보호 커버
275: 나사산 축
275: 수평 로더 전방부
276: 조명 원뿔부
351: 캔틸레버 변형량 게이지
352: 기준 저항기
353: 제1 림
354: 제2 림
361: 전기 절연성 지지 벽
362: 접촉 코너
본 발명의 특징을 나타내는 포인트
1. 다중-지점 프로브(10)에 있어서,
다중-지점 프로브(10)는 서로와 평행한 평면형 저부 표면(12) 및 평면형 상부 표면(11)을 포함하고, 다중-지점 프로브(10)는 경사진 평면형 전방 표면(13), 제1 측면 표면(14), 제1 측면 표면(14)으로부터 다중-지점 프로브(10)의 대향측 상의 제2 측면 표면(14) 그리고 전방 표면(13)으로부터 다중-지점 프로브(10)의 대향측 상의 단부 표면(15)을 추가로 포함하고;
전방 표면(13), 제1 측면 표면(14), 제2 측면 표면(14) 및 단부 표면(15)의 각각은 저부 표면(12) 및 상부 표면(11)과 접합되고, 전방 표면(13) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 내부 전방 예각부 및 전방 모서리(43)를 형성하고, 제1 측면 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 제1 측면 모서리를 형성하고, 제2 측면 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 제2 측면 모서리를 형성하고, 단부 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 단부 모서리를 형성하고;
다중-지점 프로브(10)의 길이 방향(46)이 제1 및 제2 측면 모서리를 따라 그리고 전방 모서리(43)에 직각으로 형성되고;
저부 표면(12)에는 전기 전도성 금속 층 및 한 세트의 조각 절단부(23)가 제공되고, 한 세트의 조각 절단부(23)는 금속 층을 복수개의 접촉 패드(31-42), 복수개의 전기 도선(47) 그리고 전방 모서리(43)에서 프로브 팁(26)으로 수렴하는 복수개의 신호 트레이스(31'-42')로 분할하고, 복수개의 전기 도선(47)의 각각의 전기 도선은 복수개의 접촉 패드(31-42)의 각각의 접촉 패드 그리고 복수개의 신호 트레이스(31'-42')의 신호 트레이스를 상호 연결하고;
복수개의 접촉 패드(31-42)는 서로의 옆에 그리고 길이 방향(46)을 따라 위치되는 제1 열(31-36) 및 제2 열(37-42)로 분할되고, 제1 열(31-36) 및 제1 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면(12)의 제1 외부 영역(25)을 형성하고, 제2 열(37-42) 및 제2 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면(12)의 제2 외부 영역(25)을 형성하고, 제1 열(31-36) 및 제2 열(37-42)은 그 사이에 내부 영역을 형성하고;
복수개의 전기 도선(47)은 외부 그룹 및 내부 그룹으로 분할되고, 외부 그룹의 전기 도선이 제1 또는 제2 외부 영역 중 어느 한쪽을 횡단하고, 내부 그룹의 전기 도선이 내부 영역을 횡단하는,
다중-지점 프로브(10).
2. 포인트 1에 있어서, 제1 열의 접촉 패드 중 2개의 이웃 접촉 패드가 한 세트의 조각 절단부(23)의 단일 조각 절단부에 의해 분리되고, 제2 열의 접촉 패드 중 2개의 이웃 접촉 패드가 한 세트의 조각 절단부(23)의 단일 조각 절단부에 의해 분리되는, 다중-지점 프로브.
3. 포인트 1 내지 포인트 2 중 어느 한 포인트에 있어서, 이웃하는 제1 열(31-36)의 접촉 패드와 제2 열(37-42)의 접촉 패드 사이의 최단 분리 거리는 한 세트의 조각 절단부(23)의 단일 조각 절단부에 의해 형성되는 다중-지점 프로브.
4. 포인트 1 내지 포인트 3 중 어느 한 포인트에 있어서, 제1 열(31-36)과 제2 열(37-42) 사이의 내부 영역은 복수개의 전기 도선(47)의 내부 그룹에 의해 그리고 복수개의 전기 도선(47)을 형성하는 한 세트의 조각 절단부(23)의 각각의 조각 절단부에 의해 완전히 덮이는 다중-지점 프로브.
5. 포인트 1 내지 포인트 4 중 어느 한 포인트에 있어서, 복수개의 전기 도선(47)은 길이 방향에 평행한 방향으로 복수개의 접촉 패드(31-42)에 연결되는 다중-지점 프로브.
6. 포인트 1 내지 포인트 5 중 어느 한 포인트에 있어서, 프로브 팁(26)은 저부 표면(12)에 평행하게 전방 모서리(43)로부터 자유롭게 연장되는 다수개의 프로브 암(31"-42")을 포함하고, 다수개의 프로브 암(31-42)의 각각의 프로브 암에는 복수개의 신호 트레이스(31'-42')의 단일 신호 트레이스와 연결되는 전기 전도성 금속 층이 제공되는, 다중-지점 프로브(10).
7. 포인트 1 내지 포인트 6 중 어느 한 포인트에 있어서, 복수개의 신호 트레이스(31'-42') 중 2개 이상의 신호 트레이스가 전자 회로를 형성하도록 상호 연결되는 다중-지점 프로브(10).
8. 포인트 1 내지 포인트 7 중 어느 한 포인트에 있어서, 프로브 팁(26)은 접촉 검출기를 포함하고, 접촉 검출기는 시험 표면과 접촉되도록 다중-지점 프로브(10)의 전방 모서리(43)로부터 자유롭게 연장되는 캔틸레버(351)를 포함하고, 접촉 검출기는 복수개의 신호 트레이스(31'-42')의 각각의 신호 트레이스를 거쳐 복수개의 접촉 패드(31-42) 중 적어도 1개의 접촉 패드에 연결되는, 다중-지점 프로브(10).
9. 포인트 8에 있어서, 접촉 검출기는 캔틸레버 변형량 게이지이고, 캔틸레버(351)는 저부 표면(12)에 평행하고, 캔틸레버(351)에는 다중-지점 프로브(10)의 전방 모서리(43)에서 제1 림(353) 및 제2 림(354)을 형성하는 전기 전도성 금속 층이 제공되고, 제1 림(353) 및 제2 림(354)은 자유 연장 캔틸레버(351)를 거쳐 복수개의 신호 트레이스(31'-42') 중 한 쌍의 신호 트레이스를 상호 연결하도록 전방 모서리(43)를 횡단하는, 다중-지점 프로브(10).
10. 포인트 8 내지 포인트 9 중 어느 한 포인트에 있어서, 한 쌍의 신호 트레이스가 캔틸레버 변형량 게이지(351)와 대략 동일한 형태 및 치수를 갖는 기준 저항기(352)에 의해 상호 연결되는 다중-지점 프로브(10).
11. 포인트 1 내지 포인트 6 중 어느 한 포인트에 있어서, 다수개의 프로브 암(31"-42")의 프로브 암이 대략 0.1 ㎜ 미만인 그 말단 단부와 전방 모서리(34) 사이의 길이를 형성하는 다중-지점 프로브.
12. 포인트 1 내지 포인트 7 중 어느 한 포인트에 있어서, 다수개의 프로브 암(31"-42") 중 2개의 이웃 프로브 암 사이의 간격은 대략 0.05 ㎜ 미만 예컨대 대략 0.02 ㎜인 다중-지점 프로브.
13. 포인트 1 내지 포인트 12 중 어느 한 포인트에 있어서, 제1 측면 표면(14)은 그 자체와 저부 표면(12) 사이에 내부 제1 측면 예각부를 형성하도록 경사지고, 제2 측면 표면(14)은 그 자체와 저부 표면(12) 사이에 내부 제2 측면 예각부를 형성하도록 경사지고, 단부 표면(14)은 그 자체와 저부 표면(12) 사이에 내부 단부 예각부를 형성하도록 경사지는, 다중-지점 프로브(10).
14. 프로브 홀더(152)에 있어서,
프로브 홀더(152)는 그 상부 단부에서의 상부 그리고 그 하부 단부에서의 저부를 형성하는 지지 컬럼(50)을 포함하고, 상부 및 저부는 전방부, 전방부로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 후방부, 제1 측면 그리고 제1 측면으로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 제2 측면에 의해 접합되고;
지지 컬럼(50)은 상부 부분(58) 그리고 상부 부분(58)을 지지하는 저부 부분(59)으로 구성되고;
지지 컬럼(50)은 그 상부에서 그 제1 측면에서의 제1 견부(60) 그리고 제2 측면에서의 제2 견부(60)를 형성하고, 제1 및 제2 견부(60)는 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면에 결합되도록 상향 직선형 제1 및 제2 견부 결합 모서리를 각각 형성하고, 제1 및 제2 견부(60)는 그 각각의 제1 및 제2 견부 결합 모서리에 의해 지지 평면을 함께 형성하고;
지지 컬럼(50)은 제1 및 제2 견부(60) 아래의 그리고 제1 및 제2 견부(60) 사이의 중공 공간(64), 그리고 추가로 중공 공간으로의 그 후방부 내의 그리고 그 상부 내의 단일 개구를 형성하는,
프로브 홀더(152).
15. 포인트 14에 있어서, 지지 컬럼(50)은 그 전방부에서의 상향 및 외향 연장 설부(61)를 추가로 포함하고, 설부(61)에는 자동화 광학 포커싱을 가능케 하는 기준부(73)가 제공되는, 프로브 홀더(152).
16. 포인트 15에 있어서, 설부(61)는 오목부(63)가 제공되는 평면형 기준 표면(72)을 포함하고, 오목부(63)는 평면형 기준 표면(72)과 공면인 림(73)을 갖고, 기준부(73)는 림(73)에 의해 형성되는, 프로브 홀더(152).
17. 포인트 14 내지 포인트 16 중 어느 한 포인트에 있어서, 브래킷(51)을 추가로 포함하고, 브래킷(51)은 브래킷 기부(53), 브래킷 네크(54) 및 브래킷 헤드(52)를 포함하고, 브래킷 기부(53)는 지지 컬럼(50)의 저부 부분(59)에 접합되고, 브래킷 네크(54)는 그 저부에서 브래킷 기부(53)에 연결되고, 브래킷 헤드(52)는 브래킷 네크(54)의 상부에 연결되고;
브래킷 네크(54)는 추가로 그 평형 위치에서의 정지 위치 그리고 지지 컬럼(50)으로부터 멀리 떨어지게 편향될 때의 해제 위치를 형성하는 탄성 캔틸레버 스프링이고, 브래킷 헤드(52)는 컬럼 본체(58) 위에 위치되는 한 쌍의 지지 핀(57)을 포함하고, 한 쌍의 지지 핀(57)의 각각의 지지 핀은 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면 또는 단부 표면과 결합되도록 다른 지지 핀과 대면하는 그 측면에서 직선형 핀 결합 모서리를 형성하고, 한 쌍의 지지 핀(57)은 그 각각의 핀 결합 모서리에 의해 결합 평면을 함께 형성하는,
프로브 홀더(152).
18. 포인트 17에 있어서, 한 쌍의 지지 핀(57)에 의해 형성된 결합 평면은 브래킷 네크(54)가 그 정지 위치에 있을 때에 제1 및 제2 지지 견부(60)에 의해 형성된 지지 평면에 평행한 프로브 홀더(152).
19. 포인트 17 내지 포인트 18 중 어느 한 포인트에 있어서, 브래킷 헤드(52)는 지지 컬럼(50)과 대면하는 그 측면 상의 경사형 헤드 표면(55)을 추가로 포함하고, 경사형 헤드 표면(55)은 브래킷 네크(54)가 그 정지 위치에 있을 때에 수평 평면에 대해 0이 아닌 각도를 형성하는 법선을 갖는 평면을 형성하는, 프로브 홀더(152).
20. 포인트 17 내지 포인트 19 중 어느 한 포인트에 있어서, 브래킷 네크(54)의 가요성은 브래킷 기부(53)로부터 브래킷 헤드(52)로의 방향으로 증가되는 프로브 홀더(152).
21. 포인트 17 내지 포인트 20 중 어느 한 포인트에 있어서, 브래킷 네크에는 브래킷 기부(53)로부터 브래킷 헤드(52)로의 방향으로 증가되는 폭을 갖는 구멍(65)이 제공되는 프로브 홀더(152).
22. 프로브 카세트(100)에 있어서,
프로브 카세트(100)는 커버(110), 래크(140) 그리고 1개 이상의 다중-지점 프로브(10)를 지지하도록 래크(140)에 부착되는 프로브 지지부(152)를 포함하고, 프로브 카세트(100)는 커버(110) 및 래크(140)가 프로브 지지부(152)를 포위하도록 연결되는 폐쇄 상태 그리고 커버(110) 및 래크(140)가 연결 해제되는 개방 상태를 형성하고;
커버(110)에는 상향 제1 플랜지형 활주 지지부(112)를 형성하는 평행 홈(111)이 제공되고, 래크(140)에는 하향 제2 플랜지형 활주 지지부(151)를 형성하는 평행 홈(150)이 제공되고, 제1 플랜지형 활주 지지부(112)는 프로브 카세트가 그 폐쇄 상태에 있을 때에 제2 플랜지형 활주 지지부(151)와 동일한 방향으로 연장되도록 제2 플랜지형 활주 지지부(115) 위에 위치되는,
프로브 카세트(100).
23. 포인트 22에 있어서, 커버(110)는 핸들을 추가로 포함하고, 래크(140)에는 제2 플랜지형 활주 지지부(151) 내의 리세스(146)가 추가로 제공되고, 리세스에는 제2 플랜지형 활주 지지부(151)를 형성하는 홈(150)에 대해 직각을 형성하는 포획 바(147)가 제공되는, 프로브 카세트(100).
24. 포인트 22 내지 포인트 23 중 어느 한 포인트에 있어서, 카세트(100)의 폐쇄 상태에서 래크(140)에 대한 커버(110)의 해제 가능한 로킹을 제공하는 로크(130, 145)를 추가로 포함하는 프로브 카세트(100).
25. 포인트 22 내지 포인트 24 중 어느 한 포인트에 있어서, 커버(110)는 그 폐쇄 상태에서 카세트(100)의 외부측으로부터 접근 가능한 패드 커넥터(128), 그 폐쇄 상태에서 카세트(100)의 내부측으로부터 접근 가능한 암형 커넥터(126) 그리고 패드 커넥터(128)와 암형 커넥터(126) 사이의 전기 연결부(126-127)를 추가로 포함하는 프로브 카세트(100).
26. 포인트 25에 있어서, 보호 하우징이 제공되는 비휘발성 디지털 메모리(124) 그리고 암형 커넥터(126)와 결합 가능한 수형 커넥터(125)를 추가로 포함하고, 암형 커넥터(126) 및 수형 커넥터(125)는 연결될 때에 비휘발성 디지털 메모리(124)의 해제 가능한 지지부를 제공하는, 프로브 카세트(100).
27. 포인트 26에 있어서, 비휘발성 디지털 메모리는 다중-지점 프로브와 시험 샘플 사이에서의 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 수용하는 프로브 카세트(100).
28. 포인트 22 내지 포인트 27 중 어느 한 포인트에 있어서, 프로브 지지부(152)는 포인트 10 내지 포인트 17 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 홀더(152)인 프로브 카세트(100).
29. 프로브 조작기 헤드(160)에 있어서,
프로브 조작기 헤드(160)는 팁(178)을 형성하는 접촉 설부(163)를 포함하고, 접촉 설부는 전기 전도성인 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')를 포함하고, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')는 다중-지점 프로브의 저부 표면 상의 대응하는 복수개의 접촉 패드와 결합되도록 그 팁(178)으로부터 자유롭게 연장되고;
복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')의 각각의 접촉 핑거는 말단 단부를 갖고, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')는 그 말단 단부에 의해 접촉 평면을 함께 형성하는,
프로브 조작기 헤드(160).
30. 포인트 29에 있어서, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')의 접촉 핑거는 평행하게 공통 방향으로 연장되는 프로브 조작기 헤드(160).
31. 포인트 30에 있어서, 접촉 평면의 법선은 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')의 공통 방향에 대한 결합 각도를 형성하는 프로브 조작기 헤드(160).
32. 포인트 29 내지 포인트 31 중 어느 한 포인트에 있어서, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')는 제1 컬럼(31'''-36''') 및 제2 컬럼(37'''-42''')으로 분할되고, 제1 컬럼(31'''-36''')의 접촉 핑거는 제1 평면 내에 위치되고, 제2 컬럼(37'''-42''')의 접촉 핑거는 제2 평면 내에 위치되고, 제1 평면 및 제2 평면은 평행한, 프로브 조작기 헤드(160).
33. 포인트 29 내지 포인트 32 중 어느 한 포인트에 있어서, 전방부(177)를 형성하는 하악부(162)를 추가로 포함하고, 하악부(162)는 그 전방부(177)에서 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면과 일체로 결합되도록 제1 지지 평면을 형성하는 제1 프로브-지지 구치부(215) 그리고 제2 지지 평면을 형성하는 제2 프로브-지지 구치부(215)를 포함하고;
제1 프로브-지지 구치부(215) 및 제2 프로브-지지 구치부(215)는 분리되고, 제1 지지 평면 및 제2 지지 평면은 제1 프로브-지지 구치부(215)와 제2 프로브-지지 구치부(215) 사이에 공통 접선 방향 지지 평면을 형성하도록 공면이고;
접촉 설부(163) 및 하악부(162)는 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 공통 지지 평면을 횡단하는 서로에 대한 설부 결합 배향을 형성하는,
프로브 조작기 헤드(160).
34. 포인트 33에 있어서, 접촉 설부(163) 및 하악부(162)는 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 모두 공통 지지 평면의 하나의 측면 상에 있는 서로에 대한 설부 결합 해제 배향을 형성하는 프로브 조작기 헤드(160).
35. 포인트 33 내지 포인트 34 중 어느 한 포인트에 있어서, 제1 프로브-지지 구치부(215) 및 제2 프로브-지지 구치부(215)의 각각은 다중-지점 프로브(10)의 저부 표면(12)과 결합되는 결합 지점(217)을 갖는 볼록 결합 표면(216)을 포함하고;
제1 지지 평면은 결합 지점(217) 그리고 제1 프로브-지지 구치부(215)의 볼록 결합 표면(216)에 대한 접선 방향 평면과 공면이고;
제2 지지 평면은 결합 지점(217) 그리고 제2 프로브-지지 구치부(215)의 볼록 결합 표면(216)에 대한 접선 방향 평면과 공면인,
프로브 조작기 헤드(160).
36. 포인트 33 내지 포인트 35 중 어느 한 포인트에 있어서, 전방부(176)를 형성하는 상악부(161)를 추가로 포함하고, 상악부(161)는 하악부(162) 및 접촉 설부(163)를 위한 피벗 지지부를 제공하는 피벗 축(169) 그리고 기계 링키지(168)를 거쳐 하악부(162) 및 접촉 설부(163)에 결합되는 회전 작동기(165) 및 구동 축(166)를 포함하고;
피벗 축(169), 회전 작동기(165), 구동축(166), 기계 링키지(168) 및 하악부(162)는 하악부(162)의 전방부(177)와 상악부(161)의 전방부(176) 사이의 가변 분리 거리를 형성하고, 가변 분리 거리는 하악부(162)를 위한 폐쇄 위치를 형성하는 최소 분리 거리를 갖도록 회전 작동기(165) 및 구동 축(166)을 회전시킴으로써 변동되는,
프로브 조작기 헤드(160).
37. 포인트 36에 있어서, 가변 분리 거리는 회전 작동기(165) 및 구동축(166)의 1회 완전 회전 후에 동일한 분리 거리로 주기적으로 복귀되는 프로브 조작기 헤드(160).
38. 포인트 36 내지 포인트 37 중 어느 한 포인트에 있어서, 회전 작동기(165) 및 구동축(166)의 일정한 회전으로, 가변 분리 거리의 변화 속도는 폐쇄 위치에서 최소에 도달하는 프로브 조작기 헤드(160).
39. 포인트 36 내지 포인트 38 중 어느 한 포인트에 있어서, 상악부(161)의 전방부(176)는 다중-지점 프로브(10)를 수용하는 구개부(209)를 형성하고, 구개부(209)는 전방 결합 모서리, 전방 결합 모서리로부터 구개부(209)의 대향측 상에 위치되는 단부 결합 모서리(15"), 그리고 구개부(209)의 양쪽 측면 상에 그리고 전방 결합 모서리 및 단부 결합 모서리(15") 사이에 위치되는 제1 및 제2 측면 결합 모서리(14")를 갖고;
전방 결합 모서리 및 단부 결합 모서리(15")는 하악부가 그 폐쇄 위치에 있을 때에 서로에 그리고 제1 및 제2 프로브-지지 구치부(215) 사이의 공통 지지 평면에 평행하고;
제1 및 제2 측면 결합 모서리는 하악부가 그 폐쇄 위치에 있을 때에 서로에 그리고 제1 및 제2 프로브-지지 구치부(215) 사이의 공통 지지 평면에 평행한,
프로브 조작기 헤드(160).
40. 포인트 39에 있어서, 상악부(161)의 전방부(176)는 제1 프로브-지지 절치부(13') 및 제2 프로브-지지 절치부(13')를 포함하고, 각각은 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면과 결합되는 그 말단 단부에서의 둥근 지지 팁을 갖고;
제1 프로브-지지 절치부(13')의 둥근 지지 팁 그리고 제2 프로브-지지 절치부(13')의 둥근 지지 팁은 전방 결합 모서리를 형성하는,
프로브 조작기 헤드(160).
41. 프로브 로더(250)에 있어서,
프로브 로더(250)는 수평 지지 스테이지(251), 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되는 수직 지지 스테이지(252), 수평 지지 스테이지(251)에 의해 지지되는 수평 로더(253) 그리고 수직 지지 스테이지(252)에 의해 지지되는 수직 로더(254)를 포함하고;
수평 로더는 수평 제1 로딩 축을 형성하는 제1 로더 암(255) 그리고 수평 제2 로딩 축을 형성하는 제2 로더 암(256)을 포함하고, 제1 로딩 축 및 제2 로딩 축은 교차 각도를 공동으로 형성하고;
수평 로더는 제1 선형 작동기(257), 제1 왜건(259), 제2 선형 작동기(258) 및 제2 왜건(260)을 추가로 포함하고;
제1 로더 암은 제1 왜건(259)을 위한 활주 지지부를 제공하도록 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되고, 제1 선형 작동기(257)는 제1 로딩 축을 따른 제1 왜건(259)의 가변 위치를 제공하고;
제2 로더 암(256)은 제2 왜건(260)을 위한 활주 지지부를 제공하도록 제1 왜건(259)에 견고하게 연결되고, 제2 선형 작동기(258)는 제2 로딩 축을 따른 제2 왜건(260)의 가변 위치를 제공하고;
프로브 로더(250)는 프로브 카세트(100)의 커버(110)의 제1 플랜지형 활주 지지부(112)와 협력하는 하향 제1 수용 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 플랜지가 제공되도록 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되는 커버 홀더(261)를 추가로 포함하고;
제2 왜건(260)은 프로브 카세트(100)의 래크(140)의 제2 플랜지형 활주 지지부(151)와 협력하는 상향 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(262)를 형성하는 플랜지가 제공되는 래크 홀더(262)를 포함하는,
프로브 로더(250).
42. 포인트 41에 있어서, 수직 로더(254)는 수직 로딩 축을 형성하는 수직 로더 암, 수직 선형 작동기(265) 그리고 래크 홀더(262)에 의해 지지되는 래크(140)에 부착되는 프로브 지지부(152)에 의해 지지되는 다중-지점 프로브(10)와 결합되는 프로브 파지기(160)를 포함하고;
수직 로더 암은 프로브 파지기(160)를 위한 활주 지지부를 제공하도록 수직 지지 스테이지(252)에 견고하게 연결되고, 수직 선형 작동기(265)는 수직 로딩 축을 따른 프로브 파지기(160)의 가변 위치를 제공하는,
프로브 로더(250).
43. 포인트 42에 있어서, 프로브 로더(250)는,
래크 홀더(262)가 커버 홀더(261)에 위치되고 이 때에 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(263)가 제1 수용 플랜지형 활주 지지부 아래에 그리고 제1 수용 플랜지형 활주 지지부에 평행하게 위치되는 로딩 위치; 그리고
래크 홀더(262)가 프로브 파지기(160)에 위치되고 이 때에 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(263)가 프로브 파지기(160) 아래에 위치되는 파지 위치
를 형성하는,
프로브 로더(250).
44. 포인트 41에 있어서, 프로브 파지기(160)는 포인트 29 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 포함하는 프로브 로더(250).
45. 포인트 1 내지 포인트 13 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브(10) 그리고 포인트 29 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 포함하는 다중-지점 측정 시스템에 있어서, 접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''') 중 적어도 하나가 그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브(10)의 복수개의 접촉 패드(31-42)의 접촉 패드에 연결되는 다중-지점 측정 시스템.
46. 포인트 45 그리고 포인트 33 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 측정 시스템에 있어서, 다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)은 제1 지지 평면에 평행하게 하악부(162)의 제1 프로브-지지 구치부(215)에 의해 결합되 고, 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)은 제2 지지 평면에 평행하게 하악부(162)의 제2 프로브-지지 구치부(215)에 의해 결합되는, 다중-지점 측정 시스템.
47. 포인트 45 내지 포인트 46 중 어느 한 포인트 그리고 포인트 39 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 측정 시스템에 있어서, 경사진 평면형 전방 표면(13)은 상악부(161)의 전방 결합 모서리에 평행하게 상악부(161)의 전방 결합 모서리에 의해 결합되고, 제1 측면 표면(14)은 상악부(161)의 제1 측면 결합 모서리(14")에 평행하게 상악부(161)의 제1 측면 결합 모서리(14")에 의해 결합되고, 제2 측면 표면(14)은 상악부(161)의 제2 측면 결합 모서리(14")에 평행하게 상악부(161)의 제2 측면 결합 모서리(14")에 의해 결합되고, 단부 표면(15)은 상악부(161)의 단부 결합 모서리에 평행하게 상악부(161)의 단부 결합 모서리에 의해 결합되는, 다중-지점 측정 시스템.
48. 포인트 1 내지 포인트 13 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브(10) 그리고 포인트 14 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 홀더(152)를 포함하는 로딩식 다중-지점 프로브 홀더에 있어서, 다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)은 제1 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제1 견부(60)와 접촉되고, 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)은 제2 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제2 견부(60)와 접촉되는, 로딩식 다중-지점 프로브 홀더.
49. 포인트 43 그리고 포인트 17 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 홀더에 있어서, 다중-지점 프로브(10)의 경사진 평면형 전방 표면(13)은 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 하나의 핀 결합 모서리에 평행하게 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 하나의 핀 결합 모서리에 의해 결합되고, 다중-지점 프로브(10)의 단부 표면(15)은 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 평행하게 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 의해 결합되는, 로딩식 다중-지점 프로브 홀더.
50. 포인트 22 내지 포인트 28 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 카세트(100)를 포함하는 로딩식 다중-지점 프로브 카세트에 있어서, 프로브 카세트(100)의 프로브 지지부(152)는 포인트 48 내지 포인트 49 중 어느 한 포인트에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 홀더인 로딩식 다중-지점 프로브 카세트
51. 포인트 50에 그리고 포인트 18 내지 포인트 19 중 어느 한 포인트에 따른 로딩식 다중-지점 프로브 카세트에 있어서, 비휘발성 디지털 메모리는 로딩식 다중-지점 프로브 보관 시스템의 다중-지점 프로브에 의한 측정 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 수용하는 로딩식 다중-지점 프로브 카세트.
52. 포인트 14 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 홀더(152) 그리고 포인트 29 내지 포인트 41 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 포함하는 다중-지점 프로브 파지 시스템에 있어서,
프로브 홀더(152) 및 프로브 조작기 헤드(160)는,
접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부(60)에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서;
복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 단일 개구를 통해 지지 컬럼(50)의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼(50)에 의해 형성된 중공 공간(64)을 횡단하는,
서로에 대한 결합 위치를 형성하는,
다중-지점 프로브 파지 시스템.
53. 포인트 52 그리고 포인트 17 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브 파지 시스템에 있어서, 결합 위치에서, 브래킷(51)의 브래킷 네크(54)는 상악부(161)의 전방부(176)에 의해 브래킷(51)의 브래킷 헤드(52)를 결합시킴으로써 해제 위치에서 보유되는, 다중-지점 프로브 파지 시스템.
54. 포인트 41 내지 포인트 44 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 로더 그리고 포인트 22 내지 포인트 28 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 카세트(100)를 포함하는 로딩식 프로브 로더에 있어서, 카세트(100)의 커버(110)의 제1 플랜지형 활주 지지부(112)는 프로브 로더의 커버 홀더의 제1 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하고, 카세트(100)의 래크(140)의 제2 플랜지형 활주 지지부(112)는 프로브 로더의 래크 홀더의 제2 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하는, 로딩식 프로브 로더.
55. 포인트 54에 그리고 포인트 43에 따른 로딩식 프로브 로더에 있어서, 프로브 로더의 로딩 위치에서 프로브 카세트(100)는 그 폐쇄 상태에 있고, 프로브 로더의 파지 위치에서 프로브 카세트(100)는 그 개방 상태에 있는, 로딩식 프로브 로더.
56. 프로브 조작기 헤드(160)에 다중-지점 프로브(10)를 연결하는 방법에 있어서,
포인트 1 내지 포인트 13 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
포인트 29 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 제공하는 단계와;
그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브(10)의 복수개의 접촉 패드(31-42)의 접촉 패드에 접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''') 중 적어도 하나를 연결하는 단계
를 포함하는 방법.
57. 포인트 56에 있어서, 제1 외부 영역(25)과 제1 지지 평면 사이에서 평행 관계로 하악부(162)의 제1 프로브-지지 구치부(215)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)을 결합시키는 단계와;
제2 외부 영역(25)과 제2 지지 평면 사이에서 평행 관계로 하악부(162)의 제2 프로브-지지 구치부(215)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)을 결합시키는 단계
를 추가로 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 다중-지점 프로브(10)를 연결하는 방법.
58. 포인트 57 내지 포인트 58 중 어느 한 포인트에 있어서, 그 사이에서 평행 관계로 상악부(161)의 전방 결합 모서리에 의해 경사진 평면형 전방 표면(13)을 결합시키는 단계와;
그 사이에서 평행 관계로 상악부(161)의 제1 측면 결합 모서리(14")에 의해 제1 측면 표면(14)을 결합시키는 단계와;
그 사이에서 평행 관계로 상악부(161)의 제2 측면 결합 모서리(14")에 의해 제2 측면 표면(14)을 결합시키는 단계와;
그 사이에서 평행 관계로 상악부(161)의 단부 결합 모서리(15")에 의해 단부 표면(15)을 결합시키는 단계
를 추가로 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 다중-지점 프로브(10)를 연결하는 방법.
59. 프로브 홀더(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법에 있어서,
포인트 1 내지 포인트 13 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
포인트 14 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 홀더(152)를 제공하는 단계와;
제1 외부 영역(25)과 제1 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼(50)의 제1 견부(60)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)을 결합시키는 단계와;
제2 외부 영역(25)과 제2 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼(50)의 제2 견부(60)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)을 결합시키는 단계
를 포함하는 프로브 홀더(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
60. 포인트 59에 있어서, 그 사이에서 평행 관계로 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 하나의 핀 결합 모서리에 의해 다중-지점 프로브(10)의 경사진 평면형 전방 표면(13)을 결합시키는 단계와;
그 사이에서 평행 관계로 브래킷(51)의 한 쌍의 지지 핀(57) 중 다른 하나의 핀 결합 모서리에 의해 다중-지점 프로브(10)의 단부 표면(15)을 결합시키는 단계
를 추가로 포함하는 프로브 홀더(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
61. 프로브 카세트(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법에 있어서,
포인트 1 내지 포인트 13 중 어느 한 포인트에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
포인트 22 내지 포인트 28 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 카세트(100)를 제공하는 단계와;
프로브 카세트(100)의 프로브 지지부(152)에 다중-지점 프로브를 로딩하는 단계
를 포함하는 프로브 카세트(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
62. 포인트 61에 있어서, 비휘발성 디지털 메모리 내에 다중-지점 프로브(10)에 의한 측정 결합 수행 횟수에 대응하는 정보를 저장하는 단계
를 추가로 포함하는 프로브 카세트(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
63. 프로브 조작기 헤드(160)에 의해 프로브 홀더(152)를 결합시키는 방법에 있어서,
포인트 29 내지 포인트 40 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 제공하는 단계와;
포인트 14 내지 포인트 21 중 어느 한 포인트에 따른 프로브 홀더(152)를 제공하는 단계와;
접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부(60)에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 단일 개구를 통해 지지 컬럼(50)의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼(50)에 의해 형성된 중공 공간(64)을 횡단하는 서로에 대한 결합 위치에서 프로브 홀더(152) 및 프로브 조작기 헤드(160)를 위치시키는 단계
를 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 의해 프로브 홀더(152)를 결합시키는 방법.
64. 포인트 60에 있어서, 상악부(161)의 전방부(176)에 의해 브래킷 헤드(52)를 결합시킴으로써 해제 위치에서 브래킷(51)의 브래킷 네크(54)를 보유하는 단계
를 추가로 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 의해 프로브 홀더(152)를 결합시키는 방법.

Claims (17)

  1. 다중-지점 프로브(10)이며,
    다중-지점 프로브(10)는 서로와 평행한 평면형 저부 표면(12) 및 평면형 상부 표면(11)을 포함하고, 다중-지점 프로브(10)는 경사진 평면형 전방 표면(13), 제1 측면 표면(14), 제1 측면 표면(14)으로부터 다중-지점 프로브(10)의 대향측 상의 제2 측면 표면(14) 그리고 전방 표면(13)으로부터 다중-지점 프로브(10)의 대향측 상의 단부 표면(15)을 추가로 포함하고;
    전방 표면(13), 제1 측면 표면(14), 제2 측면 표면(14) 및 단부 표면(15)의 각각은 저부 표면(12) 및 상부 표면(11)과 접합되고, 전방 표면(13) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 내부 전방 예각부 및 전방 모서리(43)를 형성하고, 제1 측면 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 제1 측면 모서리를 형성하고, 제2 측면 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 제2 측면 모서리를 형성하고, 단부 표면(14) 및 저부 표면(12)은 그 사이에 단부 모서리를 형성하고;
    다중-지점 프로브(10)의 길이 방향(46)이 제1 및 제2 측면 모서리를 따라 그리고 전방 모서리(43)에 직각으로 형성되고;
    저부 표면(12)에는 전기 전도성 금속 층 및 한 세트의 조각 절단부(23)가 제공되고, 한 세트의 조각 절단부(23)는 상기 금속 층을 복수개의 접촉 패드(31-42), 복수개의 전기 도선(47) 그리고 전방 모서리(43)에서 프로브 팁(26)으로 수렴하는 복수개의 신호 트레이스(31'-42')로 분할하고, 복수개의 전기 도선(47)의 각각의 전기 도선은 복수개의 접촉 패드(31-42)의 각각의 접촉 패드 그리고 복수개의 신호 트레이스(31'-42')의 신호 트레이스를 상호 연결하고;
    복수개의 접촉 패드(31-42)는 서로의 옆에 그리고 길이 방향(46)을 따라 위치되는 제1 열(31-36) 및 제2 열(37-42)로 분할되고, 제1 열(31-36) 및 제1 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면(12)의 제1 외부 영역(25)을 형성하고, 제2 열(37-42) 및 제2 측면 모서리는 그 사이에 저부 표면(12)의 제2 외부 영역(25)을 형성하고, 제1 열(31-36) 및 제2 열(37-42)은 그 사이에 내부 영역을 형성하고;
    복수개의 전기 도선(47)은 외부 그룹 및 내부 그룹으로 분할되고, 외부 그룹의 전기 도선이 제1 또는 제2 외부 영역 중 어느 한쪽을 횡단하고, 내부 그룹의 전기 도선이 내부 영역을 횡단하는,
    다중-지점 프로브(10).
  2. 프로브 홀더(152)이며,
    프로브 홀더(152)는 그 상부 단부에서의 상부 그리고 그 하부 단부에서의 저부를 형성하는 지지 컬럼(50)을 포함하고, 상부 및 저부는 전방부, 전방부로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 후방부, 제1 측면 그리고 제1 측면으로부터 지지 컬럼의 대향측 상에 위치되는 제2 측면에 의해 접합되고;
    지지 컬럼(50)은 상부 부분(58) 그리고 상부 부분(58)을 지지하는 저부 부분(59)으로 구성되고;
    지지 컬럼(50)은 그 상부에서 그 제1 측면에서의 제1 견부(60) 그리고 제2 측면에서의 제2 견부(60)를 형성하고, 제1 및 제2 견부(60)는 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면에 결합되도록 상향 직선형 제1 및 제2 견부 결합 모서리를 각각 형성하고, 제1 및 제2 견부(60)는 그 각각의 제1 및 제2 견부 결합 모서리에 의해 지지 평면을 함께 형성하고;
    지지 컬럼(50)은 제1 및 제2 견부(60) 아래의 그리고 제1 및 제2 견부(60) 사이의 중공 공간(64), 그리고 추가로 중공 공간으로의 그 후방부 내의 그리고 그 상부 내의 단일 개구를 형성하는,
    프로브 홀더(152).
  3. 제2항에 있어서, 브래킷(51)을 추가로 포함하고, 브래킷(51)은 브래킷 기부(53), 브래킷 네크(54) 및 브래킷 헤드(52)를 포함하고, 브래킷 기부(53)는 지지 컬럼(50)의 저부 부분(59)에 접합되고, 브래킷 네크(54)는 그 저부에서 브래킷 기부(53)에 연결되고, 브래킷 헤드(52)는 브래킷 네크(54)의 상부에 연결되고;
    브래킷 네크(54)는 추가로 그 평형 위치에서의 정지 위치 그리고 지지 컬럼(50)으로부터 멀리 떨어지게 편향될 때의 해제 위치를 형성하는 탄성 캔틸레버 스프링이고, 브래킷 헤드(52)는 컬럼 본체(58) 위에 위치되는 한 쌍의 지지 핀(57)을 포함하고, 한 쌍의 지지 핀(57)의 각각의 지지 핀은 다중-지점 프로브의 경사진 평면형 전방 표면 또는 단부 표면과 결합되도록 다른 지지 핀과 대면하는 그 측면에서 직선형 핀 결합 모서리를 형성하고, 한 쌍의 지지 핀(57)은 그 각각의 핀 결합 모서리에 의해 결합 평면을 함께 형성하는,
    프로브 홀더(152).
  4. 프로브 카세트(100)이며,
    프로브 카세트(100)는 커버(110), 래크(140) 그리고 1개 이상의 다중-지점 프로브(10)를 지지하도록 래크(140)에 부착되는 프로브 지지부(152)를 포함하고, 프로브 카세트(100)는 커버(110) 및 래크(140)가 프로브 지지부(152)를 포위하도록 연결되는 폐쇄 상태 그리고 커버(110) 및 래크(140)가 연결 해제되는 개방 상태를 형성하고;
    커버(110)에는 상향 제1 플랜지형 활주 지지부(112)를 형성하는 평행 홈(111)이 제공되고, 래크(140)에는 하향 제2 플랜지형 활주 지지부(151)를 형성하는 평행 홈(150)이 제공되고, 제1 플랜지형 활주 지지부(112)는 상기 프로브 카세트가 그 폐쇄 상태에 있을 때에 제2 플랜지형 활주 지지부(151)와 동일한 방향으로 연장되도록 제2 플랜지형 활주 지지부(151) 위에 위치되는,
    프로브 카세트(100).
  5. 프로브 조작기 헤드(160)이며,
    프로브 조작기 헤드(160)는 팁(178)을 형성하는 접촉 설부(163)를 포함하고, 접촉 설부는 전기 전도성인 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')를 포함하고, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')는 다중-지점 프로브의 저부 표면 상의 대응하는 복수개의 접촉 패드와 결합되도록 그 팁(178)으로부터 자유롭게 연장되고;
    복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')의 각각의 접촉 핑거는 말단 단부를 갖고, 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')는 그 말단 단부에 의해 접촉 평면을 함께 형성하는,
    프로브 조작기 헤드(160).
  6. 제5항에 있어서, 전방부(177)를 형성하는 하악부(162)를 추가로 포함하고, 하악부(162)는 그 전방부(177)에서 다중-지점 프로브의 평면형 저부 표면과 일체로 결합되도록 제1 지지 평면을 형성하는 제1 프로브-지지 구치부(215) 그리고 제2 지지 평면을 형성하는 제2 프로브-지지 구치부(215)를 포함하고;
    제1 프로브-지지 구치부(215) 및 제2 프로브-지지 구치부(215)는 분리되고, 제1 지지 평면 및 제2 지지 평면은 제1 프로브-지지 구치부(215)와 제2 프로브-지지 구치부(215) 사이에 공통 접선 방향 지지 평면을 형성하도록 공면이고;
    접촉 설부(163) 및 하악부(162)는 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 공통 지지 평면을 횡단하는 서로에 대한 설부 결합 배향을 형성하는,
    프로브 조작기 헤드(160).
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 전방부(176)를 형성하는 상악부(161)를 추가로 포함하고, 상악부(161)는 하악부(162) 및 접촉 설부(163)를 위한 피벗 지지부를 제공하는 피벗 축(169) 그리고 기계 링키지(168)를 거쳐 하악부(162) 및 접촉 설부(163)에 결합되는 회전 작동기(165) 및 구동 축(166)을 포함하고;
    피벗 축(169), 회전 작동기(165), 구동 축(166), 기계 링키지(168) 및 하악부(162)는 하악부(162)의 전방부(177)와 상악부(161)의 전방부(176) 사이의 가변 분리 거리를 형성하고, 가변 분리 거리는 하악부(162)를 위한 폐쇄 위치를 형성하는 최소 분리 거리를 갖도록 회전 작동기(165) 및 구동 축(166)을 회전시킴으로써 변동되는,
    프로브 조작기 헤드(160).
  8. 프로브 로더(250)이며,
    프로브 로더(250)는 수평 지지 스테이지(251), 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되는 수직 지지 스테이지(252), 수평 지지 스테이지(251)에 의해 지지되는 수평 로더(253) 그리고 수직 지지 스테이지(252)에 의해 지지되는 수직 로더(254)를 포함하고;
    수평 로더는 수평 제1 로딩 축을 형성하는 제1 로더 암(255) 그리고 수평 제2 로딩 축을 형성하는 제2 로더 암(256)을 포함하고, 제1 로딩 축 및 제2 로딩 축은 교차 각도를 공동으로 형성하고;
    수평 로더는 제1 선형 작동기(257), 제1 왜건(259), 제2 선형 작동기(258) 및 제2 왜건(260)을 추가로 포함하고;
    제1 로더 암은 제1 왜건(259)을 위한 활주 지지부를 제공하도록 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되고, 제1 선형 작동기(257)는 제1 로딩 축을 따른 제1 왜건(259)의 가변 위치를 제공하고;
    제2 로더 암(256)은 제2 왜건(260)을 위한 활주 지지부를 제공하도록 제1 왜건(259)에 견고하게 연결되고, 제2 선형 작동기(258)는 제2 로딩 축을 따른 제2 왜건(260)의 가변 위치를 제공하고;
    프로브 로더(250)는 프로브 카세트(100)의 커버(110)의 제1 플랜지형 활주 지지부(112)와 협력하는 하향 제1 수용 플랜지형 활주 지지부를 형성하는 플랜지가 제공되도록 수평 지지 스테이지(251)에 견고하게 연결되는 커버 홀더(261)를 추가로 포함하고;
    제2 왜건(260)은 프로브 카세트(100)의 래크(140)의 제2 플랜지형 활주 지지부(151)와 협력하는 상향 제2 수용 플랜지형 활주 지지부(262)를 형성하는 플랜지가 제공되는 래크 홀더(262)를 포함하는,
    프로브 로더(250).
  9. 제1항에 따른 다중-지점 프로브(10) 그리고 제5항 또는 제6항에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 포함하는 다중-지점 측정 시스템에 있어서, 접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''') 중 적어도 하나가 그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브(10)의 복수개의 접촉 패드(31-42) 중 하나의 접촉 패드에 연결되는 다중-지점 측정 시스템.
  10. 제1항에 따른 다중-지점 프로브(10) 그리고 제2항 또는 제3항에 따른 프로브 홀더(152)를 포함하는 로딩식 다중-지점 프로브 홀더에 있어서,
    다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)은 제1 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제1 견부(60)와 접촉되고, 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)은 제2 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제2 견부(60)와 접촉되는, 로딩식 다중-지점 프로브 홀더.
  11. 제4항에 따른 프로브 카세트(100)를 포함하는 로딩식 다중-지점 프로브 카세트에 있어서,
    프로브 카세트(100)의 프로브 지지부(152)는 로딩식 다중-지점 프로브 홀더이고,
    상기 로딩식 다중-지점 프로브 홀더는, 제1항에 따른 다중-지점 프로브(10)와 제2항 또는 제3항에 따른 프로브 홀더(152)를 포함하고,
    다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)은 제1 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제1 견부(60)와 접촉되고, 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)은 제2 견부 결합 모서리에 평행하게 지지 컬럼(50)의 제2 견부(60)와 접촉되는,
    로딩식 다중-지점 프로브 카세트.
  12. 제2항 또는 제3항에 따른 프로브 홀더(152) 그리고 제5항 또는 제6항에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 포함하는 다중-지점 프로브 파지 시스템이며,
    프로브 홀더(152) 및 프로브 조작기 헤드(160)는,
    접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부(60)에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서;
    복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 단일 개구를 통해 지지 컬럼(50)의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼(50)에 의해 형성된 중공 공간(64)을 횡단하는,
    서로에 대한 결합 위치를 형성하는,
    다중-지점 프로브 파지 시스템.
  13. 제8항에 따른 프로브 로더 그리고 제4항에 따른 프로브 카세트(100)를 포함하는 로딩식 프로브 로더에 있어서,
    카세트(100)의 커버(110)의 제1 플랜지형 활주 지지부(112)는 프로브 로더의 커버 홀더의 제1 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하고, 카세트(100)의 래크(140)의 제2 플랜지형 활주 지지부(112)는 프로브 로더의 래크 홀더의 제2 수용 플랜지형 활주 지지부와 협력하는, 로딩식 프로브 로더.
  14. 프로브 조작기 헤드(160)에 다중-지점 프로브(10)를 연결하는 방법에 있어서,
    제1항에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
    제5항 또는 제6항에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 제공하는 단계와;
    그 말단 단부에 의해 해제 가능한 연결로 다중-지점 프로브(10)의 복수개의 접촉 패드(31-42) 중 하나의 접촉 패드에 접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''') 중 적어도 하나를 연결하는 단계
    를 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 다중-지점 프로브(10)를 연결하는 방법.
  15. 프로브 홀더(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법이며,
    제1항에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
    제2항 또는 제3항에 따른 프로브 홀더(152)를 제공하는 단계와;
    제1 외부 영역(25)과 제1 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼(50)의 제1 견부(60)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제1 외부 영역(25)을 결합시키는 단계와;
    제2 외부 영역(25)과 제2 견부 결합 모서리 사이에서 평행 관계로 지지 컬럼(50)의 제2 견부(60)에 의해 다중-지점 프로브(10)의 제2 외부 영역(25)을 결합시키는 단계
    를 포함하는 프로브 홀더(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
  16. 프로브 카세트(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법에 있어서,
    제1항에 따른 다중-지점 프로브(10)를 제공하는 단계와;
    제4항에 따른 프로브 카세트(100)를 제공하는 단계와;
    프로브 카세트(100)의 프로브 지지부(152)에 다중-지점 프로브를 로딩하는 단계
    를 포함하는 프로브 카세트(152)에 다중-지점 프로브(10)를 로딩하는 방법.
  17. 프로브 조작기 헤드(160)에 의해 프로브 홀더(152)를 결합시키는 방법에 있어서,
    제5항 또는 제6항에 따른 프로브 조작기 헤드(160)를 제공하는 단계와;
    제2항 또는 제3항에 따른 프로브 홀더(152)를 제공하는 단계와;
    접촉 설부(163)의 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')에 의해 형성된 접촉 평면이 지지 컬럼의 제1 및 제2 견부(60)에 의해 형성된 지지 평면과 공면이면서 복수개의 접촉 핑거(31'''-42''')가 단일 개구를 통해 지지 컬럼(50)의 후방부로부터 상부로 지지 컬럼(50)에 의해 형성된 중공 공간(64)을 횡단하는 서로에 대한 결합 위치에서 프로브 홀더(152) 및 프로브 조작기 헤드(160)를 위치시키는 단계
    를 포함하는 프로브 조작기 헤드(160)에 의해 프로브 홀더(152)를 결합시키는 방법.
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2469271A1 (en) 2010-12-21 2012-06-27 Capres A/S Single-position Hall effect measurements
WO2012083955A1 (en) 2010-12-21 2012-06-28 Capres A/S Single-position hall effect measurements
CN202508616U (zh) * 2012-06-04 2012-10-31 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 传感器及采用该传感器的搬运装置
EP2677324A1 (en) 2012-06-20 2013-12-25 Capres A/S Deep-etched multipoint probe
US9118331B2 (en) * 2013-01-18 2015-08-25 National University Corporation Shizuoka University Contact state detection apparatus
US9902027B2 (en) * 2013-08-01 2018-02-27 Hysitron, Inc. Instrument changing assembly and methods
TWI603087B (zh) * 2014-06-25 2017-10-21 Ｄｃｇ系統公司 電子裝置的奈米探測方法
JP6556612B2 (ja) * 2015-12-04 2019-08-07 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
JP6855185B2 (ja) * 2016-07-27 2021-04-07 株式会社日本マイクロニクス 電気的接続装置
TWI631352B (zh) * 2016-08-02 2018-08-01 旺矽科技股份有限公司 Measuring system
CN106710176B (zh) * 2017-01-20 2023-08-01 芜湖华衍水务有限公司 电子围栏测试仪及其调节单元的控制方法
KR102509765B1 (ko) * 2017-03-07 2023-03-13 카프레스 에이/에스 테스트 샘플의 전기적 속성을 테스트하기 위한 프로브
TWI623751B (zh) * 2017-09-29 2018-05-11 中華精測科技股份有限公司 探針裝置及其矩形探針
EP3704495B1 (en) * 2017-11-01 2022-10-05 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO Probe, method of manufacturing a probe and scanning probe microscopy system
CN111141938B (zh) * 2018-11-02 2021-10-29 旺矽科技股份有限公司 适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块
CN112578164B (zh) * 2020-12-23 2023-04-14 广东华特电力工程有限公司 一种电路施工用电力安全检测装置
CN114527307B (zh) * 2022-02-11 2024-03-22 木王芯(苏州)半导体科技有限公司 一种带有断簧保护特性的三头测试探针
KR102532503B1 (ko) * 2022-09-01 2023-05-17 주식회사 프로이천 프로브니들

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5416429A (en) 1994-05-23 1995-05-16 Wentworth Laboratories, Inc. Probe assembly for testing integrated circuits
WO2005124371A1 (en) 2004-06-21 2005-12-29 Capres A/S A method for providing alignment of a probe
US20080204058A1 (en) 2007-02-28 2008-08-28 Hitachi High-Technologies Corporation Probe Storage Container, Prober Apparatus, Probe Arranging Method and Manufacturing Method of Probe Storage Container

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3963315A (en) * 1975-04-07 1976-06-15 Lockhead Missiles & Space Company, Inc. Semiconductor chip carrier and testing fixture
JPS63287028A (ja) * 1987-05-20 1988-11-24 Hitachi Ltd 触針検査装置
US5084672A (en) * 1989-02-21 1992-01-28 Giga Probe, Inc. Multi-point probe assembly for testing electronic device
US5253515A (en) * 1990-03-01 1993-10-19 Olympus Optical Co., Ltd. Atomic probe microscope and cantilever unit for use in the microscope
JPH0756041B2 (ja) * 1990-07-20 1995-06-14 奥村機械製作株式会社 カセット式プローブ供給装置
AU3794893A (en) * 1992-03-13 1993-10-05 Park Scientific Instruments Corp. Scanning probe microscope
US5254939A (en) * 1992-03-20 1993-10-19 Xandex, Inc. Probe card system
JPH06151531A (ja) * 1992-11-13 1994-05-31 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
US5453702A (en) * 1993-12-22 1995-09-26 Methode Electronics, Inc. Automatic probe fixture loading apparatus with gimballing compensation
US5705814A (en) * 1995-08-30 1998-01-06 Digital Instruments, Inc. Scanning probe microscope having automatic probe exchange and alignment
JPH10319040A (ja) * 1997-05-20 1998-12-04 Mitsubishi Materials Corp コンタクトプローブおよびその製造方法
US6127832A (en) * 1998-01-06 2000-10-03 International Business Machines Corporation Electrical test tool having easily replaceable electrical probe
US7304486B2 (en) * 1998-07-08 2007-12-04 Capres A/S Nano-drive for high resolution positioning and for positioning of a multi-point probe
CA2336531A1 (en) 1998-07-08 2000-01-20 Capres Aps Multi-point probe
EP0974845A1 (en) 1998-07-08 2000-01-26 Christian Leth Petersen Apparatus for testing electric properties using a multi-point probe
US6259260B1 (en) * 1998-07-30 2001-07-10 Intest Ip Corporation Apparatus for coupling a test head and probe card in a wafer testing system
US6343369B1 (en) * 1998-09-15 2002-01-29 Microconnect, Inc. Methods for making contact device for making connection to an electronic circuit device and methods of using the same
ATE329272T1 (de) * 1999-09-15 2006-06-15 Capres As Mehrpunktesonde
US6496261B1 (en) * 1999-09-24 2002-12-17 Schlumberger Technologies, Inc. Double-pulsed optical interferometer for waveform probing of integrated circuits
AU2727401A (en) * 1999-12-15 2001-06-25 Introbotics Corporation Automated domain reflectometry testing system
DE10143173A1 (de) * 2000-12-04 2002-06-06 Cascade Microtech Inc Wafersonde
NO20010962D0 (no) 2001-02-26 2001-02-26 Norwegian Silicon Refinery As FremgangsmÕte for fremstilling av silisium med høy renhet ved elektrolyse
US20070152654A1 (en) * 2001-05-14 2007-07-05 Herbert Tsai Integrated circuit (IC) transporting device for IC probe apparatus
US6998857B2 (en) * 2001-09-20 2006-02-14 Yamaha Corporation Probe unit and its manufacture
US6960923B2 (en) * 2001-12-19 2005-11-01 Formfactor, Inc. Probe card covering system and method
CN1628251B (zh) 2002-01-07 2010-08-18 卡普雷斯股份有限公司 用于多点探针的电反馈探测系统
US20030175170A1 (en) * 2002-02-26 2003-09-18 Ciphergen Biosystems, Inc. System for preparing and handling multiple laser desorption ionization probes
US6756798B2 (en) * 2002-03-14 2004-06-29 Ceramic Component Technologies, Inc. Contactor assembly for testing ceramic surface mount devices and other electronic components
JP4134289B2 (ja) * 2002-05-29 2008-08-20 東京エレクトロン株式会社 プローブカード搬送装置及びアダプタ
US7302486B1 (en) 2002-06-17 2007-11-27 Cisco Tech Inc Efficient retrieval of desired information from agents
US6940298B2 (en) * 2002-09-30 2005-09-06 Teradyne, Inc. High fidelity electrical probe
JP2004212068A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd 両端接触型多ピンループプローブ及び両端接触型多ピンループプローブを含む測定器具
JP2004309441A (ja) * 2003-02-18 2004-11-04 Yamaha Corp プローブヘッド及びその組立方法並びにプローブカード
US6975124B2 (en) * 2003-09-22 2005-12-13 International Business Machines Corp. Multipoint nanoprobe
EP1610131A1 (en) 2004-06-21 2005-12-28 Capres A/S Flexible probe
EP1686387A1 (en) 2005-01-27 2006-08-02 Capres A/S A method and an apparatus for testing electrical properties
EP1640730A1 (en) 2004-09-28 2006-03-29 Capres A/S A method for providing alignment of a probe
CN2840046Y (zh) * 2005-08-05 2006-11-22 佳陞科技有限公司 显示面板的检测探针
US7355422B2 (en) * 2005-09-17 2008-04-08 Touchdown Technologies, Inc. Optically enhanced probe alignment
EP1775594A1 (en) 2005-10-17 2007-04-18 Capres A/S Eliminating in-line positional errors for four-point resistance measurement
EP1780550A1 (en) 2005-10-31 2007-05-02 Capres A/S A probe for testing electrical properties of test samples
CN101467057B (zh) 2006-04-24 2013-07-17 卡普雷斯股份有限公司 用于测量浅层半导体注入物的片电阻和漏电流密度的方法
US20080006083A1 (en) * 2006-06-26 2008-01-10 Feinstein Adam J Apparatus and method of transporting and loading probe devices of a metrology instrument
KR100796172B1 (ko) * 2006-07-20 2008-01-21 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브 구조
US20080106292A1 (en) * 2006-11-02 2008-05-08 Corad Technology, Inc. Probe card having cantilever probes
EP1970714A1 (en) 2007-03-12 2008-09-17 Capres Aps Device including a contact detector
CN201096810Y (zh) * 2007-08-24 2008-08-06 比亚迪股份有限公司 用于连接燃料电池与其监测装置的连接器
US20110285416A1 (en) * 2008-06-30 2011-11-24 Petersen Dirch H Multi-point probe for testing electrical properties and a method of producing a multi-point probe

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5416429A (en) 1994-05-23 1995-05-16 Wentworth Laboratories, Inc. Probe assembly for testing integrated circuits
WO2005124371A1 (en) 2004-06-21 2005-12-29 Capres A/S A method for providing alignment of a probe
US20080204058A1 (en) 2007-02-28 2008-08-28 Hitachi High-Technologies Corporation Probe Storage Container, Prober Apparatus, Probe Arranging Method and Manufacturing Method of Probe Storage Container

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JP2014095725A (ja) 2014-05-22
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CN103869110B (zh) 2017-09-08
EP2813855A2 (en) 2014-12-17

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