JP2014095725A - 自動多点プローブ操作 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、人的ミスのリスクを低減できるプローブホルダ等を提供する。
【解決手段】本願は、特に自動操作に適した多点プローブを開示し、多点プローブとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点測定システムも開示する。加えて、本願は、プローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点プローブ把持システム、さらに、多点プローブを操作するためのプローブローダとプローブカセットとを備えるローディング済みのプローブローダも開示し、これにおいて、プローブカセットは、多点プローブを固定するためのプローブホルダを設けている。
【選択図】図１

Description

本発明は、一般に多点プローブの操作とこれによる測定とに関し、とりわけ自動操作の確実性および正確性の向上に関する。より詳細には、本発明は、こうした確実性と正確性の向上に貢献する、多点プローブ、プローブホルダ、プローブカセット、プローブマニピュレータヘッド、およびプローブローダに関する。

多点プローブの操作には、例えば多点プローブを測定システムまたはマニピュレータに搭載する時に、多くの手作業の介入が関与する。多点プローブの先端またはアームは損傷し易く、例えば指で触れただけでも損傷してしまうため、この手作業は大きなリスクをもたらす。多くの場合、これによって１本または複数本のプローブアーム、特にミクロンサイズのプローブアームが破損してしまうが、これは修復不可能なタイプの損傷である。

試験基板の測定に多点プローブを採用する場合、それぞれの係合によってプローブアーム、特にマイクロメータスケールのアームがいくらか摩耗する。摩耗は主に、試験基板と物理的に直接接触する金属層上に生じる。これらのタイプの多点プローブは、プローブアームに新たな導電性金属層を追加することによって見事に修復することができる。しかし、これには、多点プローブを使用する者および多点プローブを修復する者の両者による手作業操作が必要となる。この損傷のリスクは、多点プローブが繰り返し手作業操作されるという単純な事実により著しく増加する。

ミクロンまたはサブミクロンサイズのプローブアームを有する多点プローブでは、特に、試験基板にプローブアームが接触する前に多点プローブのその他の部分が接触して、試験基板またはプローブ自体に重大な損傷を招いてしまうことを回避するために、測定システムにおける位置決めやプローブマニピュレータの把持に高度の正確性を要する。

ミクロンサイズのプローブアームを有する多点プローブと、その関連技術は、先に説明され、開示されている。そこで、米国特許第７，３２３，８９０号、米国特許第７，３０２，４８６号、米国特許第７，１３５，８７６号、米国特許第７，３０７，４３６号を参照するが、これらは全て参考として本明細書に統合される。さらに、欧州特許第１０９５２８２号、欧州特許第１０８５３２７号、欧州特許出願公開第０９７４８４５号、欧州特許出願公開第１６９８９０５号、欧州特許出願公開第１４６６１８２号、欧州特許出願公開第１６１０１３１号、欧州特許出願公開第１６４０７３０号、欧州特許出願公開第１６８６３８７号、欧州特許出願公開第１７８２０７８号、欧州特許出願公開第１７７５５９４号、欧州特許出願公開第１９４９１１５号、欧州特許出願公開第１７８０５５０号、欧州特許出願公開第２０１６４３３号、欧州特許出願公開第１９７０７１４号、さらに国際特許出願公開第２００８／１１０１７４号も参照している。

米国特許第７，３２３，８９０号明細書 米国特許第７，３０２，４８６号明細書 米国特許第７，１３５，８７６号明細書 米国特許第７，３０７，４３６号明細書 欧州特許第１０９５２８２号明細書 欧州特許第１０８５３２７号明細書 欧州特許出願公開第０９７４８４５号明細書 欧州特許出願公開第１６９８９０５号明細書 欧州特許出願公開第１４６６１８２号明細書 欧州特許出願公開第１６１０１３１号明細書 欧州特許出願公開第１６４０７３０号明細書 欧州特許出願公開第１６８６３８７号明細書 欧州特許出願公開第１７８２０７８号明細書 欧州特許出願公開第１７７５５９４号明細書 欧州特許出願公開第１９４９１１５号明細書 欧州特許出願公開第１７８０５５０号明細書 欧州特許出願公開第２０１６４３３号明細書 欧州特許出願公開第１９７０７１４号明細書 国際特許出願公開第２００８／１１０１７４号パンフレット

本発明の目的は、多点プローブの自動操作、または、手作業での多点プローブとの接触を少なくした操作を提供することである。これには、人的ミスのリスクを低減できるという利点がある。他にも、手作業での操作を可能にするために、多点プローブをより小型化することができたり、回路基板を装備する必要がないという利点があるが、これはつまり、測定システム上、また特に多点プローブを保持しているマニピュレータ上のスケールをさらに小型化できることを意味する。したがってこれは、いくつかの用途においては、多点が、通常は到達できないより低い領域または凹部に到達できるようになることを意味する。

本発明の別の目的は、多点プローブを試験基板に対して正確に位置決めし、整列させることと、多点プローブを格納および採用するための清潔な環境を提供することと、さらに、多点プローブの自動操作を提供することである。正確な整列により、高い空間点的解像度でのより高い正確性の測定が可能となる。清潔な環境によって、プローブアームと試験サンプルとに塵埃粒子が接触して、損傷したり測定が妨害されるリスクが減少する。自動操作によって、同製品で複数の多点プローブを使用したいくつかの連続測定の繰り返し可能性が増す。さらに、これによって、多点プローブを切り替える時間を短縮できるので、総合効率が向上する。

本発明の特定の特徴は、多点プローブ、プローブホルダ、プローブカセット、プローブマニピュレータヘッド、そしてプローブハンドラである。これらの特徴によって、多点プローブを測定に採用した場合に、より確実な操作とより正確な位置決めが得られる。

上述の目的と、上述の利点と、上述の特徴とに加えて、多数のその他の目的と、利点と、特徴とが、以下で述べる本発明の好ましい実施形態の詳細な説明から明白となるだろう。本発明の第１態様によるこれらの目的と、利点と、特徴とは、互いに平行する平坦底面と平坦頂面とを備える多点プローブによって得られる。この多点プローブはさらに、斜角付きの平坦な前面と、第１側面と、多点プローブの第１側面と対向する側にある第２側面と、多点プローブの前面と対向する側にある端面とを備えている。前面と、第１側面と、第２側面と、端面との各々は、底面と頂面とを結合させている。前面と底面とは、その間に鋭い内部前面角と前縁とを画定している。第１側面と底面とはその間に第１側縁を画定し、第２側面と底面とはその間に第２側縁を画定し、さらに、端面と底面とはその間に端縁を画定している。多点プローブの長手方向は、第１側縁と第２側縁とに沿って画定され、また、前縁に対して垂直である。底面には、導電性金属層と、金属層を複数の接触パッドに分割する１組の彫込切除部と、複数の電線管と、前縁においてプローブ先端部へ集束している複数の信号追跡部とが設けられている。複数の電線管の各々は、複数の接触パッドと、複数の信号追跡部とのうちのそれぞれ対応する１つに相互接続している。複数の接触パッドは、並列し、長手方向に沿って位置決めされた第１行目と第２行目とに分割されている。第１行目と第１側縁とはその間に底面の第１外部範囲を画定し、第２行目と第２側縁とはその間に底面の第２外部範囲を画定しており、一方、第１行目と第２行目はその間に内部範囲を画定している。複数の電線管は外側グループと内側グループとに分割されており、ここで、外側グループの電線管は第１または第２外部範囲を横断し、内側グループの電線管は内部範囲を横断する。

ここでは、複数の接触パッドを第１行目と第２行目とに順序付けすることと、これと同時に、複数の接触パッドを既述のとおり３つのグループに順序付けすることとによって、多点プローブの底面の限られた範囲を効率的に使用できるようになる。特に、電線管の長さを、接触パッドと外部範囲との範囲に対応して最小化することができる。これは、広範囲にわたる接触パッドを接続する場合にはその位置決めの正確性は通常よりも低くてよく、また、広い外部範囲によっていくつかの支持部が多点プローブに底面から同時に係合できるので利点である。この後者の一例として、多点プローブは、第１支持部上に載置されると同時に第２支持部によって係合されるための十分に広い外部範囲を設けることができ、これによって確実な自動操作が可能となる。

さらに、第１行目の接触パッドのうち２つの隣接した接触パッドを、１組の彫込切除部のうちの１つによって分離させることと、第２行目の接触パッドのうち２つの隣接した接触パッドを、複数の彫込切除部の１つによって分離することができる。これらの特徴には、内部範囲と外部範囲が一定の場合に、接触パッドの範囲を広げられるという利点がある。隣接した第１行目の接触パッドのうちの１つと第２行目の接触パッドのうちの１つとの間の最短の分離距離は、複数の彫込切除部のうちの１つによって画定されていてよい。この特徴は、内部範囲を最小化できる、つまり接触パッドの範囲および／または外部範囲を広くすることができるため、有利である。さらに、第１行目と第２行目との間の内部範囲は、内側グループの複数の電線管によって、また、これを画定している１組の彫込切除部のうちのそれぞれ対応する彫込切除部とによって完全に被覆されていてよい。これには、電線管の幅と形状とに関連して内部範囲が最小化されるという利点がある。これにより、接触パッドの範囲と外部範囲との組み合わせを最小化できる。複数の電線管は、複数の接触パッドに長手方向に平行して接続していてよい。この形状により、電線導管の幅と、接触パッドの範囲とに関連して、内部範囲が最小化され、外部範囲が最大化される。

プローブ先端部は多数のプローブアームを備えており、このプローブアームは底面と平行し、前縁から自由に延びている。多数のプローブアームの各々には、複数の信号追跡部のうちの１つと接続した導電性金属層が設けられている。この特徴は自動ローディングにとって特に好適であるが、それは、自由に延びたプローブアームのそれぞれが可撓性を持ち、そのため測定時における多点プローブの誤整列をほとんどなくすことが可能なためである。多数のプローブアームのうちの１本は、その末端と前縁との間に、０．１ｍｍ未満の長さを画定できる。さらに、多数のプローブアームのうちの２本の隣接したプローブアーム間の空間は０．０２ｍｍ未満であってよい。

複数の信号追跡部のうちの２つ以上は電子回路を画定するために相互接続することができる。プローブ先端部は、多点プローブの前縁から自由に延びた、試験面に接触するためのカンチレバーを備えた接触検出器を備えていてよい。これは、試験面を検出してプローブアームの破損を防ぐという利点を持つ。接触検出器はまた、多点プローブの前縁と試験面との間の距離を決定するためにも使用できる。接触検出器は、複数の接触パッドのうちの少なくとも１つに、複数の信号追跡部のうちそれぞれ対応する１つを介して接続することができる。さらに、接触検出器はカンチレバーひずみ計であってよく、また、カンチレバーは底面と平行していてよく、多点プローブの前縁に第１突出部と第２突出部とを画定する導電性金属層を設けていてよい。第１突出部と第２突出部とは前縁を横切り、自由に延びたカンチレバーを介して、複数の信号追跡部のうちの１対と相互接続する。１対の信号追跡部は、カンチレバーひずみ計とほぼ同じ形状と寸法を持った基準抵抗器によって相互接続させてもよい。これにより、接触検出器を一部外付け式のホイートストンブリッジにおいて結合することで、正確な接触検出を行えるようになる。

これに加えて、あるいは代替的に、第１側面は斜角が付けられており、底面との間に鋭い内部第１側部角を画定し、また、第２側面は斜角が付けられており、底面との間に鋭い内部第２側部角を画定し、端面は斜角が付けられており、底面との間に鋭い内部端部角を画定している。これらの斜角付き面が頂面と底面を結合させていることで、多点プローブを正確に位置決めできるようになるが、これについては以下でさらに説明する。

本発明の第２態様による目的と、利点と、特徴とは、上端に頂部を、下端に底部を画定している支持柱を備えるプローブホルダによって得られる。頂部と底部とは、前部と、支持柱のこの前部の反対側にある後部と、また、第１側部と、支持柱のこの第１側部の反対側にある第２側部とによって結合されている。支持柱は、上部と、上部を支持する下部とを構成している。支持柱は、その頂部において、第１側部には第１肩部を、第２側部には第２肩部を画定している。多点プローブの平坦な底面と係合するために、第１肩部は上向きで直線構成の第１肩部係合縁を画定し、第２肩部は上向きで直線構成の第２肩部係合縁を画定している。第１肩部と第２肩部とは共に、それぞれの第１肩部係合縁と第２肩部係合縁とによって支持面を画定している。支持柱は、第１肩部と第２肩部との下、およびこれらの間に中空空間を画定し、さらに、その後部と頂部とに中空空間への１つの開口部を画定している。

ここでは、中空空間と１つの開口部とによって、多点プローブが支持柱の肩部上に載置され、多点プローブの頂面と底面との両方に係合することによってこれを後部からしっかりと把持することができ、自動ローディングが可能となる。

支持柱は、その前部に上方と外方とへ延びる舌部をさらに備えていてよい。舌部には、自動光学焦点を可能にする基点が設けられていてよい。さらに、舌部は、窪みを設けた平坦な基準面を備えていてよい。この窪みは、平坦な基準面と共面であるへりを有し、また、基点はこのヘリによって画定されていてよい。舌部の寸法と窪みの位置とがわかっているので、基点上での自動焦点によって、支持柱の肩部上にある多点プローブを把持する際に、これを支持柱に対して正確に位置決めできるようになり、これについては以降の詳細な説明から明白となる。

本発明の第２態様によるプローブホルダは、さらにブラケットを備えていてよい。続いて、このブラケットはブラケット基部と、ブラケットネックと、ブラケットヘッドとを備えており、ここで、ブラケット基部は支持柱の下部に結合し、ブラケットネックはその底部においてブラケット基部に接続し、ブラケットヘッドはブラケットネックの頂部に接続している。さらに、ブラケットネックは弾性のカンチレバーバネであり、その平衡位置において載置位置を画定し、また、支持柱から逸脱した時には解放位置を画定する。ブラケットヘッドは、柱本体よりも上に位置決めされた１対の支持ピンを備え、この１対の支持ピンの各々は、他の支持ピンに向いた側において、多点プローブの斜角付きの平坦な前面または端面と係合するための直線のピン係合縁を画定している。１対の支持ピンは共に、それぞれのピン係合縁によって係合面を画定する。このブラケットは、多点プローブを支持柱の肩部に固定するという利点を持つ。支持先端部によって動作を阻止された場合、その直線のピン係合縁が、多点プローブの斜角付きの平坦な前部と端面との組み合わせにおいて、支持柱の肩部上での正確な位置決めを可能にする。

ブラケットネックがその載置位置にある時には、１対の支持ピンによって画定された係合面は、第１肩部と第２肩部とによって画定された支持面と平行であってよい。こうすることで、直線のピン係合縁によって、斜角付きの平坦な前部と端面とに係合する時に、ブラケットネックから多点プローブへ伝達される力が小さくなるか、または存在しなくなる。これは利点である。なぜなら、この力が大きいと、支持ピンの間の多点プローブが分割されたり、係合解除状態にある多点プローブの位置を動かしてしまう可能性があるためである。

これに追加して、あるいは代替的に、ブラケットヘッドは、支持柱に向いたその側において、傾斜したヘッド面をさらに備えている。ブラケットネックが載置位置にある時に、この傾斜したヘッド面が水平面に対してゼロでない角度を画定する垂線を有する平面を画定している。この特徴には、傾斜したヘッド面上に物体を垂直に降下させるだけで、ブラケットヘッドが多点プローブから逸脱して離れるので、ブラケットヘッドを支持柱上の多点プローブから係合解除できるという利点がある。ブラケットネックの可撓性は、ブラケット基部からブラケットヘッドの方向に増加しているため、ブラケットヘッドを逸脱させてこれが多点プローブから離れた時に、支持ピンを多点プローブから上方へ回転させることで、ブラケットヘッドが係合解除される。ブラケットネックは、ブラケット基部からブラケットヘッドへの方向に増加する幅を持った隙間を設けることができる。この先述の特徴の技術的実現は、ブラケットネックのひずみと側方への屈曲との両方について安定しているため有利である。

本発明の第３態様による目的と、利点と、特徴とは、カバーと、ラックと、１または複数の多点プローブを支持するためにラックに取り付けられたプローブ支持部とを備えるプローブカセットによって得られる。プローブカセットは、カバーとラックとが接続してプローブ支持部を閉じ込める閉鎖状態と、カバーとラックとが接続していない開放状態とを画定する。カバーは、上向きの第１フランジ付きスライド支持部を画定する平行溝を設けており、また、ラックは、下向きの第２フランジ付きスライド支持部を画定する平行溝を設けている。プローブカセットが閉鎖状態にある時に、第１フランジ付きスライド支持部は第２フランジ付きスライド支持部よりも上に位置決めされ、これと同方向に延びている。そのため、多点プローブのローディング時と、アンローディング時と、搬送時とに、カセットによって、多点プローブの操作を簡単かつ確実に行えるようになる。多点プローブを適用できる回数は制限されているので、安全な搬送は非常に重要である。これに加えて、あるいは代替として、プローブ支持部は複数の多点プローブを受容することができるが、これには、数個の多点プローブを１つの安全な容器またはカセットに入れての移動ができるという利点がある。これに加えて、カバーはさらにハンドルを備えており、また、ラックは第２フランジ付きスライド支持部に凹部を設けていてよい。この場合、凹部には、第２フランジ付きスライド支持部を画定している溝に対して直角を成すキャッチバーが設けられている。ハンドルによってカセットの簡単で確実な操作が可能になると同時に、溝によりカセットの開放が容易になる。カセットはさらに、カセットが閉鎖状態にある時に、カバーをラックに対して解除可能にロックするためのロックを備えている。これにより、そうでなければ搬送中に発生すると危険な、誤ってカセットが開放してしまうという事態を防止できる。さらに、このロックによって、多点プローブに簡単に不正変更を加えることができなくなる。

カバーはさらに、閉鎖状態にあるカセットの外部から到達可能なパッドコネクタと、閉鎖状態にあるカセットの内部から到達可能な雌コネクタと、パッドコネクタと雌コネクタとの間の電気接続部とを備えることができる。さらに、プローブカセットは、保護ハウジングを設けた不揮発性デジタルメモリと、雌コネクタとの互換性を持つ雄コネクタとをさらに備えることができる。雌コネクタと雄コネクタは、その接続時に不揮発性デジタルメモリの解除可能な支持を提供する。これにより、多点プローブがカセットへ物理的に搬送されたり、カセット内に格納される時に、多点プローブに関する情報をその同じカセットに記憶することができる。さらに、この解除可能な支持部には、カバーのパッドコネクタを介して不揮発性デジタルメモリをコンピュータに接続するのではなく、コンピュータの雌コネクタに直接接続できるという利点がある。不揮発性デジタルメモリは、多点プローブと試験サンプルとの間で実行された係合の回数に関する情報を含むことができる。この情報は、多点プローブ上の接触アームの摩耗にも関連するので、接触アームを交換する時を決定するために使用できる。測定に多点プローブを採用する際に、不揮発性デジタルメモリは、操作パレメータに関する情報を含むことができる。これらの操作パラメータは、例えば上述の係合実行回数であってよい。多点プローブのプローブアームの摩耗にとって重要であるこれ以外の操作パラメータの例には、プローブアームに流れる電流、プローブアームを試験面に付着させるためにプローブアームに印加される圧力、そして、試験面の構造と材料が挙げられる。その他の情報は、識別番号および／または技術仕様であってよい。技術仕様はプローブアームの本数、その幾何学的配置、多点プローブの製造材料であってよい。

これに加えて、本発明の第３態様によるプローブカセットのプローブホルダは、本発明の第２態様によるプローブホルダであってよい。これにより、上述の説明から明白であるように、簡単に自動操作でカセットのローディング、アンローディングを行えるようになる。

本発明の第４態様による目的と、利点と、特徴とは、先端部を画定している接触舌部を備えるプローブマニピュレータヘッドによって得られる。さらに、接触舌部は複数の接触フィンガを備えており、この接触フィンガが導電性であり、また、多点プローブの底面上の対応する複数の接触パッドと係合するために、接触舌部の先端部から自由に延びている。複数の接触フィンガの各々は末端部を設けており、複数の接触フィンガは共にその末端部によって接触面を画定している。この接触面によって、全ての接触フィンガと平坦な接触面との間の安全な同時接続が可能になる。ここで、平坦な接触面とは、例えば、本発明の第１態様による多点プローブの底面である。接触面が底面と共面である場合には、全ての接触フィンガが係合される。接触舌部によって、多点プローブの下顎部に解除可能に接続する、マニピュレータの繰り返しの係合が可能になる。

複数の接触フィンガのうちの数本は平行し、共通の方向に延びていてよい。接触フィンガは可撓性を持つことが好適であるので、数本の接触フィンガが平行であるという事実は、これらの接触フィンガが大体同じように屈曲する、すなわち、接触フィンガが、接触面と平行して移動するために、底面が接触面と共面である多点プローブとの物理的接触を解除しないことを意味する。接触フィンガの断面は菱形であってよい。さらに、この特徴によって、接触フィンガは接触パッドに対し強い係合力を確立することができ、これによって両者間の導電性が向上する。またさらに、接触面は、複数の接触フィンガの共通方向に対して或る係合角を画定できる。接触フィンガが水平面と平行であると仮定すれば、この特徴により、接触舌部が底面に接触している多点プローブの先端部を、全ての接触フィンガの下および前に配置できるようになり、すなわち、好適な多点プローブの方向付けが可能になる。

これに加えて、あるいは代替として、複数の接触フィンガは第１列目と第２列目に分割されていてよい。第１列目の接触フィンガは第１面に配置され、第２列目の接触フィンガは第２面に配置されており、ここで、第１面と第２面は平行である。これは、関連する多点プローブの底面中心の狭い部分のみを接触パッドで占有し、多点プローブの両側部の広い範囲は把持される部分として残すべきであることを意味する。２列に分割した接触フィンガは、２つの行に分割された接触パッドとの接続に特に適しているので、本発明の第１態様による多点プローブをさらに参照されたい。

本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドは、前部を画定する下顎部をさらに備えていてよい。次に、下顎部の前部には、多点プローブの平坦な底面に一致して係合するための、第１支持面を画定する第１プローブ支持臼歯と、第２支持面を画定する第２プローブ支持臼歯とが備えられている。第１プローブ支持臼歯と第２プローブ支持臼歯とは離間しており、また、第１支持面と第２支持面とは共面であって、第１プローブ支持臼歯と第２プローブ支持臼歯との間に共通の接線支持面を画定している。接触舌部と下顎部とは、互いに対して舌部係合方位を画定しており、この配置では、複数の接触フィンガが共通の支持面を交差している。これにより、接触フィンガとプローブ支持臼歯とが多点プローブの底面（特に本発明の第１態様によるプローブ）に同時に接続できるようになる。

接触舌部と下顎部とは、互いに対して舌係合解除方位を画定でき、この場合、複数の接触フィンガが全て共通支持面の片側に位置している。これにより、下顎部が、最初に接触舌部ではなく多点プローブに係合できるようになる。そうしないと、多点プローブを把持する時に、接触舌部が、下顎部によって係合される前に多点プローブの位置を移動してしまい、誤整列の原因となる。

さらに、第１プローブ支持臼歯と第２プローブ支持臼歯との各々は、多点プローブの底面に係合するための係合点を持った凸型係合面を備えていてよい。第１支持面は、係合点までの接線面と、第１プローブ支持臼歯の凸型係合面と共面であってよい。同様に、第２支持面は、係合点までの接線面と、第２プローブ支持臼歯の凸型係合面と共面であってよい。これには、多点プローブの底面に鋭い縁が係合しないので、底面の材料が削り取られて粒子が発生するということが起こらない利点がある。さらに、２つの係合範囲によって、下顎部が多点プローブに係合する時に、多点プローブの位置をより自由に調整できるようになる。

本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドは、前部を画定する上顎部をさらに備えていてよい。この上顎部は、下顎部と接触舌部に旋回支持を提供する旋回軸と、機械的リンケージを介して下顎部と接触舌部とに結合した回転アクチュエータとを備えている。旋回軸と、回転アクチュエータと、機械的リンケージと、下顎部とは、下顎部の前部と上顎部の前部との間に可変分離を画定する。この可変分離は、回転アクチュエータを回転させることで変化し、下顎部の閉鎖位置を画定する最小分離を有する。これによって、マニピュレータヘッドが多点プローブを堅固に把持できるようになる。さらに、可変分離は、回転アクチュエータが完全に１回転し終わると、周期的に同じ分離へと戻ることができる。これによって、アクチュエータの回転方向を変更した際に遊びが誘発されることを回避できるので、より好適に画定された最小分離と、より正確な把持とが得られる。回転アクチュエータを一定の速度で回転させることにより、可変分離の変化速度は閉鎖位置において最小に達し、これによって最小分離をより好適に決定できるようになるため、把持の正確性がさらに増す。

上顎部の前部は多点プローブを受容するための口蓋部を画定することができ、この口蓋部は前部係合縁と、口蓋部の前部係合縁の反対側に位置した端部係合縁と、第１側部係合縁と第２側部係合縁とを設けており、この第１側部係合縁と第２側部係合縁とは、口蓋部の対向する両側と、前部係合縁と端部係合縁との間とに位置決めされている。下顎部が閉鎖位置にある時、前部係合縁と端部係合縁とは互いに平行し、さらに、第１プローブ支持臼歯と第２プローブ支持臼歯との間の共通の支持面と平行する。下顎部が閉鎖位置にある時、第１側部係合縁と第２側部係合縁とは互いに平行し、さらに、第１プローブ支持臼歯と第２プローブ支持臼歯との間の共通の支持面と平行する。これにより、斜角付き前面と、斜角付き端面と、斜角付き側面とを設けている多点プローブを、プローブマニピュレータの把持部内に正確に位置決めできるようになる。本発明の第１態様による多点プローブは、提案された上顎部によって係合されるのに特に適している。

上顎部はさらに、第１プローブ支持切歯と第２プローブ支持切歯とを備えてよく、切歯の各々はその末端に、多点プローブの斜角付きの平坦な前面と係合するための丸い支持先端部を設けている。第１プローブ支持切歯の丸い支持先端部と、第２プローブ支持切歯の丸い支持先端部とは前部係合縁を画定している。これにより、プローブマニピュレータヘッドによって係合された多点プローブのプローブ先端部を上から見られるようになる。すると、これによって、プローブ先端部が試験サンプルに係合する時に、プローブ先端部の視覚的精査と管理とを行えるようになる。上顎部はさらに、多点プローブの頂面に係合するべく、口蓋部から第１と第２のプローブ支持臼歯間の共通支持面へと延びているカンチレバーバネを備えていてよい。このバネは、多点プローブが上顎部によって係合されると、多点プローブを適所に保持するので、プローブマニピュレータヘッドの把持部内に多点プローブをより正確に位置決めできるようになる。この特徴は、本発明の第２態様によるプローブホルダの支持柱の肩部上に載置された多点プローブとの組み合わせに特に好適である。

本発明の第５態様による目的と、利点と、特徴とは、水平支持段と、この水平支持段に堅固に固定された垂直支持段と、水平支持段によって支持された水平ローダと、垂直支持段によって支持された垂直ローダとを備えるプローブローダによって得られる。水平ローダは、水平第１ローディング軸を画定する第１ローダアームと、水平第２ローディング軸を画定する第２ローダアームとを備えている。第１ローディング軸と第２ローディング軸とが一緒になって交差角を画定する。水平ローダはさらに、第１直線アクチュエータと、第１ワゴンと、第２直線アクチュエータと、第２ワゴンとを備えている。第１ローダアームは、水平支持段に堅固に接続しており、第１ワゴンにスライド支持を提供し、また、第１直線アクチュエータは、第１ローディング軸に沿った第１ワゴンの可変位置を提供する。第２ローダアームは、第１ワゴンに堅固に接続しており、第２ワゴンにスライド支持を提供し、また、第２直線アクチュエータは、第２ローディング軸に沿った第２ワゴンの可変位置を提供する。プローブローダはカバー保持部をさらに備えている。このカバー保持部は、水平支持段に堅固に接続しており、また、プローブカセットのカバーの第１フランジ付きスライド支持部と協働する下向きの第１受容フランジ付きスライド支持部を画定するフランジを設けている。第２ワゴンはラック保持部を備えており、このラック保持部は、プローブカセットのラックの第２フランジ付きスライド支持部と協働できるように、上向きの第２受容フランジ付きスライド支持部を画定するフランジを設けている。提案されたプローブローダは、カセットを開放状態にし、ブラケットに自体の水平位置を変更させることができ、これによって、操作者が直接手作業介入することのない、プローブカセットの自動式で確実な操作が可能になる。さらに、水平支持段によって、垂直ローダが水平方向に移動させなくても、プローブカセットのラックに搭載された多点プローブを、垂直ローダによって係合される位置へと移動できるようになる。こうすることで、垂直ローダの正確性の高い水平位置を達成でき、その結果、多点プローブが垂直ローダによって係合される位置も高い正確性で得られる。

垂直ローダは、垂直ローディング軸を画定する垂直ローダアームと、垂直直線アクチュエータと、ラック保持部により支持されたラックに取り付けたプローブ支持部によって支持されている多点プローブを係合するためのプローブ把持装置とを備えていてよい。垂直ローダアームは垂直支持段に堅固に接続されており、プローブ把持装置にスライド支持を提供し、また、垂直直線アクチュエータは、垂直ローディング軸に沿ったプローブ把持装置の可変位置を提供することができる。こうすることで、多点プローブが垂直ローダのプローブ把持装置によって係合された後に、多点プローブの垂直位置を変更できるようになり、これにより、試験基板が下に配置されている状態でも、多点プローブを垂直ローダにローディングすることが可能になる。

プローブローダは、第２の受容フランジ付きスライド支持部が第１の受容フランジ付きスライド支持部と平行する形で下に位置決めされているカバー保持部にラック保持部を配置するローディング位置と、プローブ把持装置の下に第２の受容フランジ付きスライド支持部が位置決めされた状態で、ラック保持部をプローブ把持装置に配置する把持位置とを画定できる。これにより、本発明の第３態様による閉鎖状態にあるカセットをローディングし、その後、ラック保持部をフランジ付き受容スライド支持部と平行する方向へ移動させることにより、カセットを開放状態に変更できるようになる。さらに、これによって、カセットのラックに搭載された多点プローブに、プローブ把持装置が係合できるようになる。プローブ把持装置は、本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドを備えていてよく、これにより、本発明の第１態様による多点プローブの、水平支持段と垂直支持段に関連した、正確で確実な自動位置決めが可能になるが、これは、水平支持段によって支持された試験基板の測定において高い空間的正確性を達成するために主要なものである。

本発明の第６態様による目的と、利点と、特徴とは、本発明の第１態様による多点プローブと、本発明の第３態様によるプローブマニピュレータヘッドとを備える多点測定システムによって得られ、ここで、接触舌部の複数の接触フィンガのうちの少なくとも１つが、その末端部によって、多点プローブの複数の接触パッドのうちの１つに解除可能に接続する。接触パッドがプローブアームと接続しているので、接触フィンガを介して入力信号の送信と出力信号の受信とを行える。接触フィンガは、入力信号の提供と、出力信号の分析とを行う測定システムに接続することができる。さらに、多点プローブの第１外部範囲は第１支持面と平行し、下顎部の第１プローブ支持臼歯によって係合されることが可能であり、多点プローブの第２外部範囲は第２支持面と平行し、下顎部の第２プローブ支持臼歯によって係合されることが可能である。これにより、繰り返し交換される同型の多点プローブの測定性能における高い安定性を達成する上できわめて重要な、安全で繰り返し可能なマニピュレータヘッドの把持が得られる。これに加えて、あるいは代替的に、斜角付きの平坦な前面は上顎部の前部係合縁と平行し、これにより係合され、第１側面は、上顎部の第１側部係合縁と平行し、これにより係合され、第２側面は上顎部の第２側部係合縁と平行し、これにより係合され、さらに、端面は上顎部の端部係合縁と平行し、これにより係合される。上述したように、これにより、多点プローブをプローブヘッドに関連して正確に位置決めすることが可能になる。

本発明の第７態様による目的と、利点と、特徴とは、本発明の第１態様による多点プローブと、本発明の第２態様によるプローブホルダとを備える、ローディング済みの多点プローブホルダによって得られる。多点プローブの第１外部範囲は支持柱の第１肩部と接触しており、第１肩部係合縁と平行であり、また、多点プローブの第２外部範囲は支持柱の第２肩部と接触しており、第２肩部係合縁と平行である。これには、多点プローブに背後、下、頂部から到達できるので、多点プローブの上面、下面にしっかりと把持係合しているプローブホルダから多点プローブを同時に取り外すことが可能になるという利点がある。さらに、多点プローブの斜角付きの平坦な前面はブラケットの１対の支持ピンの一方のピン係合縁と平行し、これによって係合されていてよく、また、多点プローブの端面はブラケットの１対の支持ピンの他方のピン係合縁と平行し、これによって係合されていてよい。こうすることで、プローブホルダが多点プローブを堅固に、また同時に、支持柱に対して正確に画定された位置において保持する。すると、プローブマニピュレータヘッドの把持において、多点プローブの正確な位置決めが可能となる。

本発明の第８態様の目的と、利点と、特徴とは、本発明の第３態様によるプローブカセットを備えるローディング済みの多点プローブカセットによって得られ、ここで、プローブカセットのプローブ支持部は、本発明の第７態様によるローディング済みの多点プローブホルダである。これによって、２つの態様の利点、特にこれら両方により提供される堅固性が組み合わされることが明らかである。不揮発性デジタルメモリは、ローディング済みの多点プローブ格納システムの多点プローブによって実行された測定係合の回数に関する情報を含むことができる。摩耗のために、多点プローブは限られた回数しか係合することができない。多点プローブは修復の後に再利用できるので、多点プローブに関する情報をその物理的位置にて記憶することはロジスティックな利点である。係合回数以外にも、例えば識別番号や技術仕様のような情報も不揮発性デジタルメモリに記憶させることができる。技術仕様は、プローブアームの本数、プローブアームの製造材料、さらに、先行の修復で実行された変更や追加であってよい。

本発明の第９態様による目的と、利点と、特徴とは、本発明の第２態様によるプローブホルダと、本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドとを備える、多点プローブ把持システムによって得られる。このプローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとは、互いに係合位置を画定し、ここで、接触舌部の複数の接触フィンガによって画定された接触面は、支持柱の第１肩部と第２肩部とにより画定された支持面と共面であり、また、複数の接触フィンガが、支持柱によって画定された中空空間を、１つの開口部を通って支持柱の後部から頂部へ横切っている。これにより、支持柱の肩部上に支持された多点プローブに接触舌部が係合できるようになる。さらに、この係合位置にて、上顎部の前部がブラケットのブラケットヘッドに係合することで、ブラケットのブラケットネックが解放位置に維持できる。これには、より単純な技術実現の利点、つまり、ブラケットネックへの係合には追加の機構が不要であるという利点がある。

本発明の第１０態様による目的と、利点と、特徴とは、本発明の第５態様によるプローブローダと、本発明の第３態様によるプローブカセットとを備える、ローディング済みのプローブローダによって得られ、ここで、カセットのカバーの第１フランジ付きスライド支持部は、プローブローダのカバー保持部の第１受容フランジ付きスライド支持部と協働し、カセットのラックの第２フランジ付きスライド支持部は、プローブローダのラック保持部の第２受容フランジ付きスライド支持部と協働する。カセットはプローブローダ内にローディングされる前には開放していないので、これにより、プローブカセットの閉鎖状態から開放状態への安全で保護された移行が可能になる。さらに、プローブカセットは、プローブローダのローディング位置において閉鎖状態にあってよく、プローブローダの把持位置において開放状態にあってよい。

本発明の第１１態様による目的と、利点と、特徴とは、多点プローブをプローブマニピュレータヘッドに接続する方法によって得られ、この方法は、本発明の第１態様による多点プローブを提供するステップと、本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドを提供するステップと、接触舌部の複数の接触フィンガのうちの少なくとも１つを、その末端部により、多点プローブの複数の接触パッドの１つに解放可能に接続するステップと、を備えている。これにより、多点プローブをマニピュレータヘッド内に自動ローディングできるようになる。多点プローブをプローブマニピュレータに接続する方法は、下顎部の第１プローブ支持臼歯によって多点プローブの第１外部範囲に、第１外部範囲と第１支持面とが平行した関係で係合するステップと、下顎部の第２プローブ支持臼歯によって多点プローブの第２外部範囲に、第２外部範囲と第２支持面とが平行した関係で係合するステップと、をさらに備えていてよい。これにより、多点プローブにマニピュレータヘッドを確実かつ正確に係合することができる。さらに、多点プローブをプローブマニピュレータヘッドに接続する方法は、上顎部の前部係合縁によって、斜角付きの平坦な前面に両者が平行した関係で係合するステップと、上顎部の第１側部係合縁によって、第１側面に両者が平行した関係で係合するステップと、上顎部の第２側部係合縁によって、第２側面に両者が平行した関係で係合するステップと、上顎部の端部係合縁によって、端面に両者が平行した関係で係合するステップとをさらに備えていてよい。これによって正確性がさらに向上し、多点プローブがマニピュレータヘッドの把持部内に位置決めされる。

本発明の第１２態様による目的と、利点と、特徴とは、プローブホルダに多点プローブをローディングする方法によって得られ、この方法は、本発明の第１態様による多点プローブを提供するステップと、本発明の第２態様によるプローブホルダを提供するステップと、支持柱の第１肩部によって、多点プローブの第１外部範囲に、第１外部範囲と第１肩部係合縁とが平行した関係で係合しているステップと、支持柱の第２肩部によって多点プローブの第２外部範囲に、第２外部範囲と第２肩部係合縁とが平行した関係で係合しているステップと、を備えている。これにより、多点プローブに上と下の両方から係合することで、多点プローブに背後から堅固な把持にて係合できるようになる。プローブホルダに多点プローブをローディングする方法は、ブラケットの１対の支持ピンのうちの一方のピン係合縁によって、多点プローブの斜角付きの平坦な前面に、両者が平行した関係で係合するステップと、ブラケットの１対の支持ピンのうちの他方のピン係合縁によって、多点プローブの端面に、両者が平行した関係で係合するステップと、をさらに備えていてよい。これによって、プローブ先端部を適所に保持し、支持柱上に正確に位置決めできるようになる。

本発明の第１３態様による目的と、利点と、特徴とは、プローブカセットに多点プローブをローディングする方法によって得られ、この方法は、本発明の第１態様による多点プローブを提供するステップと、本発明の第３態様によるプローブカセットを提供するステップと、プローブカセットのプローブ支持部に多点プローブをローディングするステップと、を備えている。これにより、多点プローブの確実な操作と搬送とが可能になる。プローブカセットに多点プローブをローディングする方法は、多点プローブが実行した測定係合の回数に関する情報を不揮発性デジタルメモリに記憶するステップをさらに備えていてよい。上述から明らかなように、これは、多点プローブを交換する時を決定するために有利である。

本発明の第１４態様による目的と、利点と、特徴とは、プローブマニピュレータヘッドによってプローブホルダに係合する方法によって得られ、この方法は、本発明の第４態様によるプローブマニピュレータヘッドを提供するステップと、本発明の第２態様によるプローブホルダを提供するステップと、さらに、プローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとを互いに対する係合位置において位置決めするステップとを備えており、ここで、接触舌部の複数の接触フィンガによって画定された接触面は、支持柱の第１肩部と第２肩部とによって画定された支持面と共面であり、また、複数の接触フィンガは、支持柱によって画定された中空空間を、支持柱の後部から頂部へと１つの開口部を通って横切っている。これにより、多点プローブを測定に採用する前に、多点プローブをプローブマニピュレータ内に自動ローディングできるようになる。プローブマニピュレータヘッドによってプローブホルダに係合する方法はさらに、上顎部の前部によってブラケットヘッドに係合することで、ブラケットのブラケットネックを解除位置に保持するステップを備えていてよい。これにより、マニピュレータヘッドによって、多点プローブをプローブホルダから安全に取り外すことが可能になる。

本発明の態様の異なる多数の実施形態を以下の図面に示す。
多点プローブの底面図である。 多点プローブの平面図である。 多点プローブの背面図である。 多点プローブ底面の追加の特徴を示す。 別のプローブ先端部を有する多点プローブを示す。 多点プローブの断面図である。 下から見た、多点プローブのプローブ先端部の拡大図である。 下から見た、図４ｂの別のプローブ先端部の拡大図である。 多点プローブの斜視図であり、主にその底面を示している。 多点プローブを搭載しているプローブホルダの正面図である。 図８の展開図である。 多点プローブを搭載しているプローブホルダの背面図である。 図１０の展開図である。 プローブホルダのブラケットの斜視図である。 プローブホルダのブラケットの斜視図である。 プローブホルダの支持柱の斜視図である。 プローブホルダの支持柱の斜視図である。 支持柱肩部上に多点プローブが配置されている状態の支持柱の斜視図である。 図１６の支持柱と多点プローブとの断面図である。 組み立てを示すプローブホルダの斜視図と展開図である。 プローブホルダの斜視図であり、ブラケットの屈曲を示している。 閉鎖状態にある多点プローブカセットの側面図である。 図２０と同じ多点プローブカセットであるが、ここでは部分的に開放している。 図２０〜図２１と同じ多点プローブカセットであるが、完全に開放している。 カセットラックの上面図である。 図２３に示したカセットラックの背面図である。 図２３〜図２４に示したカセットラックの底面図である。 図２３〜図２５に示したカセットラックの側面図であるが、２つのプローブホルダがそれぞれ対応する凹部の中に入った状態にある。 図２６に示したカセットラックの斜視図である。 図２３〜図２７に示したカセットラックの斜視図であるが、全てのプローブホルダが対応する凹部の中に入った状態にある。 カセットカバーの側面図である。 図２９に示したカセットカバーの上断面図である。 図２９〜図３０に示したカセットカバーの展開図である。 プローブマニピュレータヘッドの斜視図と、その部分展開図である。 プローブマニピュレータヘッドが支持柱上の多点プローブに係合する様子を、斜視図により示す。 固定アームが非係合位置にある状態の、上顎部の前部の側断面図を示す。 固定アームが係合位置にある状態の、上顎部の前部の側断面図を示す。 固定アームが接触舌部に係合する様子を側面図により示す。 図３３ｂ〜図３３ｃの反対側から見た上顎部の前部の側面図を示す。 接触舌部の斜視図である。 図３４に示した接触舌部の接触先端部の斜視図である。 図３４に示した接触舌部の接触先端部の正面図である。 プローブマニピュレータヘッドの側面図であり、概念的な機械的リンケージをアウトラインで囲んでいる。 図３６と同じ概念的な機械的リンケージを示す。 図３６と同じ概念的な機械的リンケージを示すが、ここでは、駆動主軸が右回りに１５０度回転した状態にある。 プローブホルダによって支持されている多点プローブに係合するプローブマニピュレータヘッドの上顎部の前部と下顎部の前部との側面図である。 上顎部の前部と下顎部の前部とが支持柱上の多点プローブに係合する様子を側面図により示し、ここで、プローブ固定フィンガの内部機構を示すために、上顎部の前部を断面図で図示している。 上顎部の前部と下顎部の前部とが支持柱上の多点プローブに係合する様子を側面図により示し、ここで、プローブ固定フィンガの内部機構を示すために、上顎部の前部を断面図で図示している。 上顎部の前部と下顎部の前部とが支持柱上の多点プローブに係合する様子を側面図により示し、ここで、プローブ固定フィンガの内部機構を示すために、上顎部の前部を断面図で図示している。 上顎部の前部と下顎部の前部とが支持柱上の多点プローブに係合する様子を側面図により示し、ここで、プローブ固定フィンガの内部機構を示すために、上顎部の前部を断面図で図示している。 上顎部の前部の斜視図であり、口蓋部の詳細を示している。 図１〜図７の多点プローブの平面図であり、上顎部の前部との接触点を示している。 多点プローブに係合している上顎部の前部の部分側断面図である。 図４０の展開図である。 多点プローブに係合している上顎部の前部の部分断面正面図である。 図４２の展開図である。 垂直ローダの正面図である。 図４４の垂直ローダの側面図である。 図４４と図４５との垂直ローダの斜視図である。 水平ローダの斜視図である。 プローブローダの斜視図である。

図１は、下から見た多点プローブ１０を示す。多点プローブ１０の底面１２は、その前部にプローブ先端２６を、後部に製造支持部１６を設けている。製造支持部１６は、多点プローブ１０の製造から出来た人工物であり、本質的な機能的要素ではないため、説明する全ての実施形態と、全ての図面とにおいて無視することができる。多点プローブの底面１２上には導電性金属層が付着されている。

底面１２の基本的な形状は、プローブ先端２６と製造支持部１６の間の長さが幅よりも長い長方形である。この実施形態には、角部を裁断して内向きの形状にした非本質的な特徴が含まれている。当然、提示された全ての実施形態において、この特徴を無視することができる。内向きの前部角１７は内向きの後部角２０よりも大きく裁断されている。さらに、全ての内向きの前部角の形状は同一であり、これは内向きの後部角についても同様である。

多点プローブ１０は、長手方向対称軸４６の周囲において反射対称である。接触パッド２４と、このパッド２４とプローブ先端部２６との間の電線管４７とは、底面１２の金属表面に設けた彫込切除部（彫り込み切除部分，engraved cut）２３によって形成されている。彫込切除部２３はエッチングによって得られることが好ましい。各接触パッド２４は内側４４と外側４５とを設け、この２つのうち内側４４の方が長手方向対称軸４６により接近している。各接触パッド２４は、プローブ先端２６へ続く１本の電線管４７を設けている。いくつかの接触パッド２４は、その内側４４に接続している関連の電線管４７を設けており、その他の接触パッド２４は、その外側４５に接続している関連の電線管４７を設けている。接触パッド２４は、長手方向対称軸４６の対向する両側に配置された２つの行に分割されている。さらに、接触パッド２４は長手方向対称軸４６に可能な限り接近して配置されており、これはつまり、２行のパッド間の分離または内部範囲は、彫込切除部２３の幅と、内側側部４４にて接続している電線管４７の幅とによってのみ画定されるということである。接触パッド２４と多点プローブ１０の各縁との間には、多点プローブ１０の操作時に係合されるのに適した外部範囲２５が設けられている。

図２は、図１の多点プローブ１０を下から見た状態を示す。頂面１１の基本的な形状もやはり長方形であり、また、頂面１１は底面１２と平行している。前面１３、側面１４、端面１５は全て平坦であり、斜角付け（bevel）されているため、これらの面全てが頂面１１の面積の削減に貢献し、これにより頂面１１の面積が底面１２の面積よりも小さくなる。既述の「前面１３は斜角付けされている」とは、プローブ先端２６が多点プローブ１０の前部にさらなる延長部分を有するという意味である。製造支持部１６も、前面、側面、端面に斜角付けしたのと同一の工程によって斜角付けされている。

内向きの前部角１７の各々は、２つの斜角付き面、つまり第１斜角付き面１８と第２斜角付き面１９とを形成している。これは、内向きの後部角２０についても同様であり、つまり、各後部角２０は第１斜角付き面２１と第２斜角付き面２２とを形成している。全ての斜角付き面は、平坦な底面１２と共に、多点プローブの正確な方向きを画定するのに適しているが、これは後述する以降の例と実施形態から明白となる。

図３は、図１、図２の多点プローブ１０を背後から見た状態を示す。同図では、頂面１１と底面１２とが平行しており、頂面１１の面積が底面１２の面積よりも小さいことを示している。この観点から考えると、側部も斜角付けされているという事実から、製造支持部１６は三角形ということになる。

図４ａは、図１〜図３と同じ多点プローブ１０を、やはり下から見た状態を示す。底面１２は陰影を付けた範囲であり、酸化層の上に設けた下方ポリシリコン層を示す。酸化層の形状は図４ａに概略的に示したものと同じ形状である必要はなく、単に、図示にあるような全面的な被覆が好適であるというだけである。しかし、多点プローブ操作時には、より粗い酸化層２８の表面性質を考慮することが重要となる。

図５は、頂面１１、底面１２、斜角付き側面１４を示す多点プローブ１０の断面図であり、ここで、底面１２と斜角付き側面１４とは側縁２９と、この２つの間の鋭い内側角２１とを画定している。

図６ａは、図１〜図４に示した多点プローブ１０の現在好適であるプローブ先端２６を大幅に拡大して示している。この例では、プローブアーム３１''〜４２''は２つのグループに分割されており、互いに対して反射対称を示している。ここで示したプローブアーム３１''〜４２''の配置と数とは単に一例であるため、別の実施形態ではこれと異なっていてよい。プローブアーム３１''〜４２''の各々は、単一の接触パッド３１〜４２から延びている電線管４７から続いた信号追跡部３１'〜４２'の延長部分である。ここでは、接続しているプローブアーム３１''〜４２''と、信号追跡部３１'〜４２'と、接触パッド３１〜４２とに同一の指数符号を付しているが、マーキングの数を変えている。底面１２上に付着された金属は信号追跡部３１'〜４２'とプローブアーム３１''〜４２''とにも付着されており、ここで、信号追跡部３１'〜４２'は、電線管４７と接触パッド３１〜４２と同一の彫込切除部２３によって分割されている。プローブアーム３１''〜４２''は多点プローブの前縁４３から自由に延びており、その末端は、例えば薄膜産業と半導体産業とにおける多点測定時に、試験基板と接触するようになっている。

図７は、図１〜図４にも示した多点プローブ１０の斜視図であり、先行の図面で使用したものと同一の指数符号を使用している。

図６ｂは、多点プローブ１０の別のプローブ先端部２６を大幅に拡大した図である。多点プローブ１０のこれと対応する底面１２を図４ａに示したが、図４ａの場合は、電線管４７が異なる経路を追跡する点において、先行の図１〜図４の底面１２と違っている。信号追跡部３１'〜４２'の各々は、単一の接触パッド３１〜４２から延びた電線管４７より続いている。先行の場合と同様に、接続している信号追跡部３１'〜４２'と接触パッド３１〜４２とに同一の指数符号を付したが、マーキングの数を変えている。多点プローブ１０は４本のプローブアーム３５''〜３８''を設けており、これらは、底面１２と平行な前縁４３から自由に延び、基端はそれぞれの信号追跡部３５'〜３８'と接続している。さらに、多点プローブ１０のプローブアーム３５''〜３８''のいずれの側にも、前縁４３から自由に延び、底面１２と平行したカンチレバーひずみ計３５１が設けられている。

底面１２上に付着された金属は、信号追跡部３１'〜４２'と、カンチレバーひずみ計３５１と、プローブアーム３１''〜４２''との上にも付着されている。信号追跡部３１'〜４２'は、電線管４７と接触パッド３１〜４２と同一の彫込切除部２３によって分割されている。付着した金属層の厚さは本質的に均一であり、これはつまり、信号追跡部３１'〜４２'と、カンチレバーひずみ計３５１と、プローブアーム３１''〜４２''の抵抗は、関連するそれぞれの幅と長さによって画定されることを意味する。

各カンチレバーひずみ計３５１は、その基端に第１突出部３５３と第２突出部３５４とを設けている。各カンチレバーひずみ計の第１突出部３５３と第２突出部３５４は、前縁４３を横切り、２つの信号追跡部、つまり信号追跡部３１'と３４'とを、さらに３９'と４２'とをそれぞれ相互接続する。カンチレバーひずみ計３５１が係合時に屈曲すると、第１突出部３５３と第２突出部３５４とに付着している金属が特に前縁４３において伸縮し、これにより電線管の変形が生じ、つまり、カンチレバーひずみ計３５１を流れる電流への抵抗が増加する。

各カンチレバーひずみ計３５１には、信号追跡部３１'と３２'とを、４１'と４２'とをそれぞれ相互接続する基準抵抗器３５２が提供されている。基準抵抗器３５３は対応するカンチレバーひずみ計３５１と同一の形状と寸法とを有するので、係合解除された基準抵抗器とカンチレバーひずみ計との抵抗は本質的に同一である。さらに、信号追跡部３２'と３３'と、３３'と３４'と、３９'と４０'と、４０'と４１'とが同様に相互接続される。信号追跡部３１'〜３４'と、３９'〜４２'とが、多点プローブの底面１２上に回路を画定していることが明白である。

この特定の実施形態では、カンチレバーひずみ計３５１と基準抵抗器３５２とは、ホイートストンブリッジにおいて、接触パッド３１〜３４、３９〜４２を介して別の２つの基準抵抗器と結合している。カンチレバーひずみ計３５１の機能については、国際公開第２００８／１１０１７４号でさらに説明されている。

図８は、多点プローブ１０を支持するプローブホルダ１５２の正面図である。多点プローブ１０は、支持柱５０によって下から支持され、上から係合する２つのブラケット５１によって適所に保持される。図９は図８の展開図であり、プローブホルダ１５２のさらなる詳細を明らかにしている。支持柱５０は２つの肩部６０を設けており、この肩部上に多点プローブ１０の底面１２の支持面が載置される。両方の肩部６０が共に、図示の向きにおいては水平の支持面を画定する。肩部６０は柱５０の対向する両側に配置されている。さらに、柱５０の前部から舌部６１が外方へ延びている。さらに、柱５０は上部５８と、この上部５８を支持する下部５９とを構成している。

２つのブラケット５１は同一形状であり、支持柱５０の対向する両側に位置決めされている。ブラケット５１は、その基部５３の上端に取り付けたネック５４を設けている。さらに、ネック５４はその上端にブラケットヘッド５２を設けている。ネック５４は、支持柱５０の方向へ、または支持柱から離れる方向へ、外方に屈曲できる構造を持つ。特に記載がない場合には、プローブホルダ１５２を図示する際に、各ブラケット５１のネック５４は載置位置またはこれと同等の位置にあるか、あるいはこれらに近い状態にあるものとする。

ブラケットヘッド５２は、支持柱５０に向いた傾斜したヘッド面５５を設けている。傾斜したヘッド面５５は、ネック５４が載置位置にある際に、縦軸に対して鋭角を成す平面を画定する。こうすることで、単に物体をネック５４の上へと真直ぐ下方に移動させるだけで、ネック５４が支持柱５０から外方へ屈曲する。

傾斜したヘッド面５５の下において、２つのブラケットニップ５７がブラケットヘッド５２から支持柱５０の方向へ水平に延びている。ブラケットニップ５７はブラケットヘッド５２の対向する両側に、しかしブラケット基部５３に対して同一の垂直位置に位置決めされている。したがって、図８、図９の正面図では、２つのブラケットニップ５７のうち１つしか見せていない。ブラケットニップ５７の各々は、ネック５４が載置位置にある状態で、本質的に水平な係合縁を画定する。ブラケットニップ５７の係合縁は、同一ヘッドの別のブラケットニップ５７に面した側の下方端に配置されている。図８、図９に示す向きでは、各ブラケットニップ５７の係合縁は、紙面平面と平行な水平線を画定している。こうすることで、各ブラケットヘッド５２上のブラケットニップ５７の係合縁が、紙面平面に対して垂直な水平平面を画定する。図８に示すように、支持柱５０と２つのブラケット５１とを結合してプローブ支持部１５２を形成する場合、２つのブラケット５１のブラケットニップ５７によって画定された水平平面が、柱肩部６０によって画定された水平平面と共面となり平行する。ブラケットニップ５７と柱肩部６０の垂直位置は、多点プローブ１０が肩部上に載置されている時に、ブラケットニップ５７が、これが画定する係合縁を介して多点プローブ１０の斜角付き前面１３と端面とに係合し、これによって多点プローブ１０の確実な位置でのロックが画定されるようになるものである。さらに、この係合によって多点プローブ１０は、その斜角付き前面１３と端面とがブラケットニップ５７の係合縁と平行するように自体を方位付けする。図８では、ブラケットニップ５７が多点プローブ１０の斜角付き前面１３と係合する様子を示している。

図１０、図１１は、図８、図９と同一のプローブホルダ１５２を後ろから見た状態を示す。先述した特徴の多くは同じ指数符号で示される。この見方から、多くの追加の特徴が洞察できる。図１０には、ブラケットニップ５７が多点プローブ１０の斜角付き端面１５と係合する様子を示す。

柱舌部６１はその上方平面側部に、基点またはマーカを画定する窪み６３を設けている。この特徴により、プローブホルダ１５２に対する光学顕微鏡の垂直位置を、基点が顕微鏡の焦点内に入るまで移動させることで決定できる。基点には、隆起部や切れ目といった、自動焦点に利用できる特徴を提供することができる。

柱本体５８は、その後部と頂部が開口している中空空間６４を画定する。これにより、柱肩部６０上に配置した多点プローブ１０を背後から掴み、例えばラジオペンチによって支持柱５０から取り除くことが可能になる。

図１２、図１３は、図８〜図１１と同じブラケット５１を２つの異なる斜視図において示した図である。先に説明した特徴のいくつかは同一の指数符号で示されている。さらに、多数の新たな特徴も示されている。

最初に、ブラケットヘッド５２に向かうに従ってその水平幅が広がっていく形状の隙間６５がネック５４に画定される。こうすることで、ブラケットネック５４の可撓性もブラケットヘッド５２に向かうに従って増加する。傾斜したヘッド面５５に向かう水平力成分がブラケットヘッド５２を後方へ移動させると同時に、この水平力成分が、ニップ５７が上方へ移動できるようブラケットヘッド５２を傾斜させる。上述した特定形状の隙間５４によって、ブラケットヘッド５２の傾斜が後方への移動と比較して増大する。

次に、ブラケット５１の基部５３に２つの隙間６６が画定される。隙間６６の各々は細長い形状をしており、水平に向いた長手方向を画定している。ブラケット５１は縦軸に沿って反射対称を有することが明らかであり、これは図１２、図１３、特に図１３から直ちに明白となる。

図１４〜図１６は、図８〜図１１と同じ支持柱５０を３つの異なる斜視図にて示している。さらに、図１４では、多点プローブ１０は支持柱５０の肩部６０上に載置されている。先に説明した特徴のいくつかは同一の指数符号で示される。加えて、多数の新たな特徴も示されている。

まず、中空空間６４が柱本体５８の側部６８と前部６９とによって画定される様子が直ちに明らかになる。次に、支持柱５０は、その基部５９の両側にフランジ６７を２つずつ設けている。これらのフランジ６７は、ブラケット基部５３の隙間６６内に密接に嵌合するように成形され、位置決めされている。こうすることで、ブラケット５１が支持柱５０のどちら側にも固定されるので、図８、図１０で説明した単体ユニットまたはプローブホルダ１５２を画定することができる。

図１７は、図８〜図１１、図１４〜図１６の支持柱５０の断面図であり、先行の指数符号をそのまま使用している。多点プローブ１０は、支持を目的とした向きに位置決めされた支持柱５０によって支持され、これにより、多点プローブ１０の底面１２により画定された平面が水平平面に対して係合角度７０を画定する。この角度は２５〜３５°であることが好適である。

図１８は、１対のブラケット５１が支持柱５０の周囲に結合して完全なプローブホルダを画定し、次にこれが凹部１４２によって受容され固定される様子を示している。図１９は、固定された状態の先行の図１８のプローブホルダ１５２を示し、さらに、図１２、図１３に関連して先述したように、傾斜したヘッド面５５に作用する力７１が、ブラケットヘッド５２を外方へ移動させると同時に、ニップ５７が上方へ移動できるようブラケットヘッド５２を傾斜させる様子を示す。

図２０は、閉鎖状態にあるプローブカセット１００の側面図である。図２１は、図２０と同様のプローブカセット１００を示すが、ここでは、ラック１４０の長さに沿ってカバー１００を引っ張り、一部が開放した状態にある。図２１も先述の２枚の図面と同じプローブカセットを示すが、ここでは、プローブカセットは、カバー１１０をラックから十分に離して完全に開放した状態にある。

図２３は、図２１、図２２のカセットラック１４０を上から見た状態を示す。ラック１４０は、前部１４３と端部１５４とを設けたラックバー１４８によって画定された細長い形状をしている。カセットカバーのキャッチボア内に受容されるキャッチピン１４１は、ラックバー１４８の端部１５４の方向へ後方に向いた状態で、ラックバー１４８の前部１４３に位置決めされる。プローブホルダを受容するための複数の凹部１４２が、ラックバー１４８の長さに沿って１列に位置決めされている。上方に延びたバネキャッチ部１４５を設けたロックアーム１４４が、ラックバー１４８の端部から延びている。ロックアーム１４４は、ロックシャフトが通過できる切り抜き部を設けているが、この機能については以降で説明する。

図２４は、図２３のカセットラック１４０を後ろから見た状態を示す。先に説明した特徴は、図２３で使用したものと同じ指数符号を用いて示している。さらに、図２４はラックバーのそれぞれの側に設けた溝１５０を示し、これにより、下向きのフランジ付きスライド支持部が画定される。溝１５０はラックバーの両側部を追随するので、ラックバーの外形が下方向きのフランジ付きスライド支持部１５１を画定する。さらに、図２４は、カセットカバー１１０のキャッチピンを受容するための、ラックバーの端部に設けた後方向きのキャッチボア１４９を示す。

図２５は、図２３、図２４のカセットラック１４０を下から見た状態を示し、さらに、ラックバー１４８の溝１５０に対して直角なキャッチバー１４７を設けたフランジ付き支持部１５１の凹部を示している。キャッチバー１４７は、カセットラック１４０がカセットカバー１１０に対してスライドするためのしっかりとした把持または保持を提供する。図２６に示すカセットラック１４０は図２３〜図２５と同じであるが、これを側部から見た状態と、さらに、２つのプローブホルダ１５２が図２３に示すそれぞれの受容凹部１４２内に嵌合されている状態とを示している。溝１５０はラックバー１４８の全長を追随しているため、これにより、カセットラック１４０の長さのほとんどにかけて係合できるフランジ付きスライド支持部が得られる。

図２７は、図２６のカセットラック１４０の斜視図である。ここでも、先に説明した特徴を示すために、図２３〜図２７と同じ指数符号を使用している。図２８は図２７と同じカセットラックを示すが、ここでは、その全ての凹部１４２にプローブホルダ１５２が嵌合した状態にある。

図２９は図２１、図２２のカセットカバー１１０を側部から見た状態を示す。カセットカバー１１０はハウジング１１４を設けているが、このハウジング１１４の前部１３１と底部１３３とは開放しているが、端部１３２と頂部１３４とは閉鎖している。これにより、閉鎖状態にあるカセット１００が、前部１３１の方向に、先述したラック１４０のフランジ付きスライド支持部１５１と平行してスライドして開放できるようになる。ハウジング１１４の閉鎖した端部１３２はハンドルで封鎖されており、このハンドルによって、カセットカバー１１０、またはこれに関して閉鎖状態のカセット全体を、カセットカバー１１０の長手方向に押し引きすることが可能になる。カセットカバーは、ハンドル１２９の基部とハウジング１１４の頂部１３４とにおいて、カバー１１０の前部１３１に向いたパッドコネクタ１２８を具備する印刷回路基板１２７を設けている。印刷回路基板１２７の機能については以降で図３１に関連して説明する。さらに、カセットカバーにはカセットラックのキャッチボア内に受容されるキャッチピン１２１も提供されており、このキャッチピン１２１は、ハウジング１１４の底部１３３に、ハウジング１１４の前部１３１に先端が向いた状態で位置している。

図３０は、図２９のカセットカバー１１０の切断線１３５に沿った平断面図である。先に説明した特徴には、図２９と同じ指数符号を使用して示している。図３０はさらに、バネ装填したロックフック１３０を示し、このロックフック１３０は主軸１１９の周囲に画定された旋回支持部によって適所に保持されている。この主軸１１９は、ハウジング１１４の前部と端部との間に画定されている長手方向に対して垂直方向に向いている。ロックフック１３０は、図２３〜図２４、図２６〜２８に関連して説明したラック１４０のバネキャッチ部１５４と係合することができる。通路１２３によってロックシャフトがハウジング１１４に入れることで、ロックフック１３０をバネキャッチ部１５４から係合解除し、持ち上げられるようになる。

図３１は図２９のカセットカバー１１０の展開図であり、ロックフック１３０の内部機構の周辺の詳細を示している。この内部機構は、支持主軸１１９上の中心に配置した２つのコイルバネを結合させて、１条の針金で画定された１つのダブルバネ１２０にする。針金の端部点はそれぞれの凹部によって適所に保持されることで、カバー１００の他の部分に関連したロックフック１３０の同等な位置が画定される。

図３１はさらに、印刷回路基板１２７に堅固に取り付けた雌コネクタ１２６に、雄コネクタ１２５によって結合している不揮発性デジタルメモリ１２４を示して、ここでは、これはＵＳＢスティックの形態をしている。続いて、印刷回路基板１２７が、カセットハウジング１１４に堅固に取り付けられている。印刷回路基板１２７には、ハウジング１１４の前部１３１に向いたパッドコネクタ１２８が設けられている。パッドコネクタ１２８は雌コネクタ１２６に結合している。こうすることで、雄コネクタ１２５と雌コネクタ１２６とを結合させることにより、パッドコネクタ１２８を介して不揮発性デジタルメモリ１２４にアクセスできるようになる。不揮発性デジタルメモリは、例えば、カセットに格納された各プローブを試験面に当てた回数に関した情報を含むことができる。

さらに、図３１は、ハウジング１１４の頂部と両側とに設けた溝１１０を示す。溝１１０はハウジング１１４の各側を追随しており、これにより、ハウジング１１４の頂部の外形が上方に向いたフランジ付きスライド支持部１１２が画定される。

図３２には、完全なプローブマニピュレータヘッド１６０の斜視図と、その部分展開斜視図とを示す。マニピュレータヘッド１６０は上顎部１６１と、下顎部１６２と、接触舌部１６３とを備えている。上顎部１６１は、旋回軸１６９と、駆動主軸１６６を具備した電気モータまたは回転アクチュエータ１６５とを設けている。上顎部１６１はさらに、ボールベアリング１６７の中に中心配置されたシリンダ１７３を設けており、このシリンダ１７３は、ベアリング中心１７２からずれた位置にて駆動主軸１６６に堅固に接続している。これにより、駆動主軸１６６を回転させると、ボールベアリング１６７が上下に動くようになる。下顎部１６２は、そのボールベアリング１６７と機械リンケージ１６８とを介した接続と、下顎部１６２の旋回隙間１７４を通る旋回軸１６９を介した接続と、の２つの別個の接続によって上顎部１６１に接続している。これによって、駆動主軸が一方向に回転すると、下顎部１６２の前部１７７が上顎部１６１の前部１７６へ／から繰り返し移動する。

接触舌部１６３は、下顎部１６２の旋回隙間１７４どうしの間に配置されており、さらに、これ自体にも旋回軸１６９が通過するための旋回隙間１７５が設けられている。接触舌部１６３は、機械的リンケージ１６８と旋回軸１６９とを介して上顎部１６１に接続している。こうすることで、駆動主軸１６６が回転すると、接触舌部１６３の前部１７８が上顎部１６１の前部１７６へ／から繰り返し移動できるようになる。機械的リンケージ１６８の内部機構については以降でさらに説明している。接触舌部１６３には、リボンケーブル１７０に接続した絶縁変位コネクタ１７１も設けられており、このリボンケーブル１７０を介して接触舌部１６３への試験信号が送信できる。

プローブマニピュレータヘッド１６０にはさらに固定アーム２１８が設けられているが、次に、この機能についてより詳細に説明する。固定アーム２１８は固定アームヨーク２３０に堅固に接続し、次にこれが旋回軸１６９に旋回可能に接続している。こうすることで、固定アーム２１８が、旋回軸１６９周囲に中心決めされた、上手く定義された回転動作を実施することができる。固定アーム２１８は、自重量と、固定アームヨーク２３０の重量とによって下方固定力を画定する。上顎部１６１と固定アームヨーク２３０との間に負荷を画定する固定アームバネ２３１は、下方固定力を増加させるべく働く。さらに、図３２の上顎部の前部１７６には、カンチレバー板バネの形状をした位置決めバネ２１９も示されている。位置決めバネ２１９の機能について以下で説明する。

図３３ａには上顎部の前部１７６と、下顎部の前部１７７と、接触舌部の前部１７８との斜視図を示し、この図では、多点プローブ１０と係合させた時のこれらの互いに対する位置を示している。明瞭性の目的からこれらの前部どうしを離間させているが、これらの前部は結合されると多点プローブ１０を把持する。上顎部の前部１７６は多点プローブの斜角付き前面１３と係合する１対のプローブ支持切歯１３'を設け、一方、下顎部の前部１７７は１対のプローブ支持臼歯２１５を設け、接触舌部１６３の接触先端部１７８は多点プローブの底面と係合する複数の接触フィンガ２１０を設けている。さらに、多点プローブ１０が、図８〜図１１、図１４〜図１９に関連して説明した支持柱５０の頂部上に載置された状態で示されている。図８と図１０の完全なプローブホルダは多点プローブ１０を搭載するため図示されていないが、しかし、ブラケット５１に隠れていなければ完全な形で示されるであろう。上顎部の前部１７６は好適にはサファイア製の複数のボール１８３を設け、これらボールは、下顎部の前部１７６を多点プローブ１０の上へ降下させた時にブラケットヘッド５２の傾斜したヘッド面５５と係合し、ブラケットヘッド５２を、図１２、図１３、図１９に関連して説明したように強制的に分離させる。サファイアボールの球状の硬質面には、傾斜したヘッド面５５の表面を引っ掻かないという利点がある。表面が引っ掻かれると、自由粒子または埃の源となる。

上顎部の前部１７６はプローブ固定隙間２２０と、上顎部背筋２２７を通る舌部固定隙間２２１とを設けている。さらに、図３２では、上顎部の前部１７６の位置決めバネ２１９と、接触舌部１７８の舌部背筋２２９とを見ることもできる。これら全ての特徴の機能については後に説明する。

各プローブ支持臼歯２１５は、多点プローブ１０の底面と接続する係合点２１７を有する凸型係合面２１６を備えている。各プローブ支持臼歯２１５は、係合点２１７までの接平面と、凸型係合面２１６とによる支持面を画定する。２つの支持面は互いに対して、また、その間にある共通支持面と共面である。接触舌部１６３が旋回軸１６９の周囲で回転できることによって、接触舌部１６３の接触先端部１７８の複数の接触フィンガ２１０がこの共通の支持面を横切ることができ、これにより、プローブ支持臼歯２１５がこれを行った後に、接触フィンガ２１０が多点プローブ１０の底面と接触できる。

図３３ｂは、固定アーム２１８が非係合位置にある状態の、上顎部の前部１７６の側断面図を示す。この非係合位置にある固定アーム２１８は、下向きの凸型載置面によって上顎部背筋２２７の上に載置される。固定アーム２１８はプローブ固定フィンガ２２２を設けており、このプローブ固定フィンガ２２２は、プローブ固定隙間２２０を通って、丸いプローブ固定フィンガ先端部２２４にて終端している。固定アーム２１８はまた舌部固定フィンガ２２３を設けており、この舌部固定フィンガ２２３は舌部固定隙間２２１を通り、丸い舌部固定フィンガ先端部２２５にて終端している。図３３ｃは上顎部の前部１７６の側断面図を示し、この状態の上顎部の前部１７６では、固定アーム２１８が、図３２に示した旋回軸１６９上で中心決めされて回転を実行した後の係合位置にある。この回転は、図３２に関連して説明した、固定アーム２１８の重量と、固定アームヨーク２３０の重量と、固定アームバネ２３１のバネ力とを組み合わせた負荷よりも大きい、プローブ固定フィンガ先端部２２４上に働く力によって誘発され得る。係合位置では、凸型載置面２２８は既に上顎部背筋２２７上には載置されておらず、一方、プローブ固定フィンガ２２２と舌部固定フィンガ２２３とが、プローブ固定隙間２２０と舌部固定隙間２２１とのそれぞれの中に引き込まれている。プローブ固定フィンガ２２２が引き込まれた状態にあるので、位置決めバネ２１９の先端部２２６を見ることができる。プローブ固定フィンガ２２２の丸い先端部２２４と、舌部固定フィンガ２２５の丸い先端部２２５とを使用しているので、これらが係合する際に鋭い縁が金属を削り落とすということが起こらない。

図３３ｄは、図３３ａ〜図３３ｃの固定アーム２１８が、舌部固定フィンガ２２３の丸い先端部２２５によって、接触先端部１７８の舌部背筋２２５と係合し、これにより複数の接触フィンガ２１０がプローブ固定フィンガ２２２の丸い先端部２２４と接触するようになることを回避する様子を示す。複数の接触フィンガ２１０がプローブ固定フィンガ２２２の先端部２２４と接触するようになると、接触フィンガが屈曲して向きが変化してしまう原因となり、これが、多点プローブとの接触時における機能の低下を招く。

図３３ｅは上顎部の前部１７６の側面図であるが、図３３ｂ〜図３３ｃのものとは反対の側から見た図であり、位置決めバネ２１９の下方部と先端部２２６とを明瞭に示している。位置決めバネ２１９は、その先端２２６によって多点プローブを正確に位置決めするためのカンチレバー板バネであり、これについては図３９Ｆおよび図３９ｇに関連してさらに説明する。

図３４は、接触舌部１６３の引き伸ばした斜視図である。先行の図３２、図３３ａと同一の特徴には同じ指数符号を使用している。複数の接触フィンガ２１０の各々は、印刷回路基板１８１内の複数の信号追跡部１７９のうちの１本を介して、絶縁変位コネクタ１７１に接続している。複数の信号追跡部１７９の半分は印刷回路基板１８１上の絶縁変位コネクタ１７１と同じ側に配置されており、もう半分は印刷回路基板１８１の他方側に配置されており、信号追跡部は伝導ビア１８０を介して印刷回路基板に到達している。印刷回路基板の両側に支持板を提供することで、接触舌部１６３の構造的な強固さが得られる。

図３５ａは接触先端部１７８の斜視図であり、２枚の支持板１８２に挟まれた印刷回路基板１８１を示している。複数の接触フィンガ２１０は、ここでは個別の導電性接触フィンガ３１'''〜４２'''に分解され、互いに平行な接触先端部１７８から自由に延びている。接触パッド３１〜４２の全てが接触フィンガ３１'''〜４２'''によって接続しているという点で、図１〜図７の多点プローブ１０は接触舌部との適合性を持っている。接触フィンガ３１'''〜４２'''は、フィンガが、接続される多点プローブ１０の接触パッド３１〜４２と同じ符号を持つように指数符号付けされているが、図４ａとこれに関連した本文とをさらに参照されたい。多点プローブの接触パッド３１〜４２は２つの行において順序付けされているので、これに対応して接触フィンガも２つの列に順序付けし、これにより、各列の接触フィンガ共通平面に配置されるようにしている。

図３５ｂは接触先端部１７８の正面図であり、２枚の支持板１８２で挟まれた印刷回路基板１８１を示している。複数の接触フィンガ２１０は、ここでは、菱形断面を持った個別の導電性接触フィンガ３１'''〜４２'''に分けられている。接触フィンガ３１'''〜４２'''は、上方と最外縁とが最も高い位置にくるように、それぞれの長手方向の周辺に向いている。つまり、菱形の断面によって、接触フィンガの先端部に、多点プローブの接触パッドと係合するための接触角３６２が画定される。この構成により、接触角３６２が外方へ移動できるよう、接触フィンガがその長手方向周囲において捻じれる。同時に、接触フィンガは内方へ屈曲する。この屈曲は、接触フィンガの第１列３１'''〜３６'''と第２列３７'''〜４２'''との間の電気絶縁指示壁３６１によっていくらか制限される。電気絶縁支持壁３６１は複数の接触フィンガ３１'''〜３６'''の全長に沿って延びておらず、これとほぼ同じ長さで電気絶縁支持壁３６１から自由に延びることができるように終端している。

図３６は図３２の完全なマニピュレータヘッドの側面図であり、マニピュレータヘッドを採用した時の、上顎部と、下顎部と、接触舌部との相対位置を示す概略的な機械的リンケージをアウトラインで囲んでいる。駆動主軸１６６を回転させると、ベアリング中心部１７２がその周囲の円を追随し、これにより、ボールベアリング１６７の外輪１９６が縦方向に移動する。外輪１９６は、外輪リンク１９９を介してストロークアーム１９８に接続しており、この外輪リンクによって、外輪１９６がストロークアーム１９８に関連した制限されたスライド動作を実行できる。装填された上方板バネ２１１は、外輪１９６の動作をストロークアーム１９８へ伝達する働きをする。さらに、上方板バネは、外輪１９６がストロークアーム１９８の屈曲時にこれに関連して動作することも可能にする。ストロークアーム１９８は、下顎部リンク２００を介して下顎部に接続しており、この下顎部リンク２００によって、ストロークアーム１９８が、下顎部１６２に関連した制限されたスライド動作を実行できる。装填された下方板バネ２１２は、ストロークアームの動作を下顎部１６２へ伝達するように働く。さらに、下方板バネは、ストロークアーム１９８をその屈曲時に下顎部１６２に関連して動作することも可能にする。ストロークアームは、さらに、接触舌部リンク２０１を介して接触舌部に接続しているが、これは本質的に強固な接続を表す。

先述したように、下顎部１６２は旋回軸１６９の周囲で旋回するため、駆動主軸１６６を回転させることで、上あごの前部１７６と下あごの前部１７７との間の分離度を変更できる。上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７は、分離度が最小の場合に、閉鎖または十分にくいしばった位置を画定し、分離度が最大の場合に、開放位置を画定する。図３６では閉鎖位置を示している。開放位置から閉鎖位置へ達する際に、下方板バネ２１１によってストロークアーム１９８が下方への動作を継続することができ、これが、接触舌部リンク２０１を介して、接触舌部を旋回軸１６９の周囲で回転させ続ける。こうすることで、接触舌部１６３の接触フィンガ３１'''〜４２'''が、多点プローブ１０の下面上の接触パッド３１〜４２と係合する前に、まず、多点プローブが上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とに係合する。

図３７は、図３６でアウトラインで囲んだ概略的な機械的リンケージを示す。駆動主軸１６６を回転させると、ベアリング中心部１７２が円２０６を追随し、ここで、ベアリング中心部１７２からの駆動主軸１６６の変位によってクランクシャフト１９５が画定される。接続ロッド１９７は、ベアリング中心部１７２と外輪リンク１９９との相対位置によって画定されており、機械的リンケージ内にあるボールベアリング１６７と外輪１９６とを効果的に表す。ストロークシャフト２０７は、外輪リンク１９９と下顎部リンク２００との相対位置によって画定されており、ストロークアーム１９８を効果的に表している。下顎部シャフト２０２は、下顎部リンク２００と旋回軸１６９との相対位置によって画定されており、下顎部１６２を効果的に表している。下顎部リンク２００は、旋回軸１６９上で中心決めされた円２０８を追随する。下顎部シャフト２０２は下方支持面２０４内へ延びており、下顎部の前部１７７を表している。上顎部シャフト２０３は、旋回軸１６９と駆動主軸１６６との相対位置によって画定されており、上顎部１６１を効果的に表している。上顎部シャフト２０３は上方支持面２０５内へ延びており、上顎部の前部１７６を表している。さらに、ストロークシャフト２０７はストロークアーム２１４に強固に接続しており、続いてこれが旋回軸１６９と接続している。接触舌部リンク２０１はストロークアーム２１４に沿った一点上に位置しており、ストロークアーム１９８と接触舌部１６３との接続と内部機構とを効果的に表している。

図３７の概略的な機械的リンケージは、上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とが閉鎖位置にある、すなわちこれらの間の分離度が最小の、マニピュレータヘッド１６０を示す。図３８は、図３７と同じ概略的な機械的リンケージであるが、しかし、上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とが開放位置にあるマニピュレータヘッド１６０を表しており、この例では、この開放位置は、駆動主軸１６６を右回りに１５０度回転させて達成されている。図３７では、ストロークアーム２１４と下顎部シャフト２０２との間の角度は、図３８のこれに対応する角度よりも小さく、閉鎖位置における下方板バネの屈曲を表しており、これによって、閉鎖位置に近づく時に、接触舌部の接触先端部が旋回軸１６９の周囲で下顎部の前部も超えてさらに回転する。ストロークシャフト２０７の長さ、つまり外輪リンク１９９と下顎部リンク２００との間の距離は、図３８のものより図３７のものの方が短く、閉鎖位置における下方板バネ２１２と上方板バネ２１１の屈曲の組み合わせを表す。これは、下方支持面２０４と上方支持面２０５との間の適所に保持された多点プローブ上の負荷が、板バネ上の負荷によって画定されることを意味する。さらにこれは、板バネの最大負荷点の周囲では閉鎖位置が維持されることと、多点プローブ上の負荷は多点プローブの係合時と非係合時にそれぞれスムーズに増加または減少することで、プローブマニピュレータヘッド１６０による把持の正確性と繰り返し可能性とが大幅に向上することを意味する。

さらに、駆動主軸１６６を完全に回転させると、下方支持面２０４と上方支持面２０５とが周期的にそれぞれの元の相対位置に戻る。駆動主軸１６６は電気モータの中心軸の延長であるので、この回転アクチュエータもその回転周期において同じ位置に戻る。回転サイクルは数段階に分割されているので、板バネ上の最大負荷に、または、マニピュレータヘッドが多点プローブを把持していると考えられる時に、特定の段階を定義することができ、これによっても、プローブマニピュレータヘッド１６０による把持の正確性と繰り返し可能性が向上する。

図３９ａは、図３２に示したプローブマニピュレータヘッド１６０の上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とが支持柱５０に支持され、さらに、図８〜図１９に関連して先述したブラケットヘッド５２によって係合された多点プローブ１０とに係合している状態を示す側面図である。上顎部の前部１７６の両側にはボール１８３、好適にはサファイア製のボールが設けられおり、このボールは、ブラケットヘッド５２が多点プローブ１０を把持しようと下方へ移動する時にその傾斜したヘッド面５５と係合する。図１２、図１３、図１９に関連して説明したように、これによってブラケットヘッド５２が屈曲して支持柱５０から離間する。

多点プローブ１０の頂部を受容するために、下顎部の前部１７６が口蓋部２０９を画定しており、この口蓋部２０９は、多点プローブ１０の動作の後部境界を画定する端部係合縁１５''を設けている。下顎部の前部１７７は、口蓋部２０９の前部に位置した２つのプローブ支持切歯１３'をさらに設けている。しかし、図３９の斜視図では１本のプローブ支持切歯１３'しか見ることができない。プローブ支持切歯１３'の各々は丸い支持先端部を設けており、この先端部とプローブ支持切歯１３'とが共同で、斜角付き前面１３と係合するための、また、多点プローブ１０の動作の自由度を制限するための前部係合縁を画定している。

図３９ａでは、ブラケットヘッド５２の支持ピン５７のうちの１本が、別の支持ピンに向いた側の下端に係合縁を設けている様子を明瞭に示しており、ここで、当該の係合縁は多点プローブ１０の斜角付き前面１３と係合する。

図３９ｂ〜図３９ｅは、支持柱５０上の多点プローブ１０に係合している上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とを示す側面図であり、ここでは、プローブ固定フィンガ２２２の内部機構を示すために、上顎部の前部１７６を断面図で示している。図３９ｂ〜図３９ｅの順序は、異なる係合段階を実施する順序に対応している。図３９ｂでは、プローブ固定フィンガ２２２の丸い先端部２２４を多点プローブ１０の頂面１１と接触させられることで、これが柱５０に対して固定されると共に、ブラケットヘッドが屈曲して支持柱５０から離れ、多点プローブ１０を解放する。これは図１２、図１３、図１９、図３９に関連して説明したとおりである。図３９ｃでは、上顎部の前部１７６が多点プローブ１０の頂部上へと降下させられて、自体の口蓋部２０９と支持柱５０の肩部６０との間に多点プローブ１０を閉じ込める。多点プローブ１０は依然として、プローブ固定フィンガ２２２の先端部２２４によって、支持柱５０の適所に保持されている。口蓋部２０９は多点プローブと直接接触させられていないが、直接接触は、関連するマニピュレータヘッドの比較的重い重量のために多点プローブを損傷する可能性がある。

図３９ｄでは、下顎部の前部１７７が上顎部の前部１７６へ上方に移動され、多点プローブ１０の底面１２と係合し、これにより多点プローブが支持柱５０の肩部６０から持ち上げられ、口蓋部２０９に押圧される。これで、多点プローブは、上顎部の前部１７６と下顎部の前部１７７とで画定された把持によって十分に支持された。図３９ｅでは、多点プローブ１０は、単純に関連のマニピュレータヘッドを移動させることで支持柱５０から取り去られる。下顎部には、バイブレータ（不平衡質量を有する駆動シャフトを設けた電気モータや、圧電アクチュエータなど）を取り付けることができる。駆動させると、小さい振動によって下顎部が短い時間だけ開放し、これにより、多点プローブ１０が自体を再位置決めできるようになる。

図３９ｆは上顎部の前部１７６の斜視図であり、口蓋部２０９の詳細を示しており、一方、図３９ｇは、図１〜図７に関連して説明した多点プローブ１０の平面図であり、口蓋部２０９と接触する範囲を示している。口蓋部２０９上には、４つの下向きの細長い頂部係合背筋１１''が設けられており、この背筋１１''は、これと対応して位置決めおよび成形された４つの頂部係合範囲１１'''にて、多点プローブ１０の頂面１１と係合する。口蓋部２０９の前部にある２つのプローブ支持切歯１３'は丸い支持先端部１３''を設けており、この支持先端部１３''は、これと対応して位置決めおよび成形された２つの前部係合範囲１３'''において、多点プローブ１０の前面１３と係合する。この２つの前部係合範囲１３'''は、プローブ支持切歯１３'がプローブ先端部２６と接触しないよう、離間して配置されている。

口蓋部２０９の背部には端部係合縁１５''が画定されており、この端部係合縁１５''は、これと対応して位置決めおよび成形された端部係合範囲１５'''において、多点プローブ１０の端面１５と係合する。同様に、口蓋部２０９はその各側に２つの同一線上の側部係合縁１４''を画定しており、これらは、これと対応して位置決めおよび成形された４つの側部係合範囲１４'''において多点プローブ１０の側面１４と係合する。全ての係合縁は、塵埃放出を低減するために丸みを付けられている。さらに、全ての係合範囲は多点プローブ１０の表面上にあるが、鋭く欠け易い、また、塵埃粒子の発生源となり得る縁の上にはない。

さらに、図３９ｆは、位置決めバネ２１９とその丸い先端部２２６とを示し、これらは、これと対応して位置決めおよび成形されたバネ係合範囲２２６'''において、多点プローブ１０に係合する。これにより、位置決めバネ２１９が、多点プローブを、口蓋部２０９の反対側にある側部係合点１４'''に押圧することで、非常に正確で繰り返し可能な位置決めを達成できる。通常の係合では、位置決めバネ２１９から最も遠くにある丸い支持先端部１３''が多点プローブと係合する。図３９ｆはまた、図３３ｂ〜図３３ｅに関連して説明したプローブ固定隙間２２０を示している。

図４０は、多点プローブ１０と係合してこれを閉じ込める、図３２に示した上顎部の前部１７６の部分側断面図である。図４１は図４０の展開図であり、同一の特徴には同じ指数符号を使用している。多点プローブ１０の前面１３には、プローブ支持切歯１３'の丸い支持先端部１３''によって画定された前部係合縁が係合することができ、端面１５には、口蓋部２０９によって画定された端部係合縁１５''が係合することができる。ここでは、前部係合縁と端部係合縁１５''とは互いに対して平行である。

図４２は、図３２の上顎部の前部１７６が多点プローブ１０に係合している状態にある部分断面正面図である。図３９ｆおよび図３９ｇに関連して説明した位置決めバネが、多点プローブ１０を側部係合縁１４''のうちの１つに押圧した。上顎部の前部１７６のいずれの側も、図３３ａおよび図３９に関連して説明した、ボール（好適にはサファイア製）を受容するための支持凹部になっている。図４３は図４２の展開図であり、ここで、同一の特徴には同じ指数符号を用いている。口蓋部２０９のいずれの側にも、多点プローブ１０の側面１４と係合するための側部係合縁１４''を明瞭に見ることができる。これらの側部係合縁１４''は互いに平行であり、また、前部係合縁および端部係合縁１５''に対して垂直である。

図４１では、前部係合縁と端部係合縁１５''との間の距離として、上方支持長さ１８７が画定されている。多点プローブは、この上方支持長さ１８７よりも短い上面長さ１８９を画定する。同様に、図４３では、側部係合縁１４''どうしの間の距離として、上方支持幅１９０が画定される。多点プローブは、この上方支持幅１９０よりも狭い上面幅１９２を画定する。これによって、多点プローブ１０が口蓋部２０９内に受容され、頂部係合背筋１１''に対して保持される。

さらに、多点プローブ１０はプローブ高さ２３４を画定しており、このプローブ高さ２３４は丸い支持先端部１３''と頂部係合背筋１１''との間に画定された前部支持高さ２３２よりも高く、また、口蓋部２０９に対して直角をなしている。さらに、プローブ高さ２３４は、端部係合縁１５''と頂部係合背筋１１''との間に画定された後部支持高さ２３５よりも高く、また、口蓋部２０９に対して直角をなしている。同様に、プローブ高さ２３４は、側部係合縁１４'''の１つと頂部係合背筋１１''との間に画定された側部支持高さ２３３よりも高く、また、口蓋部２０９に対して直角をなしている。これにより、多点プローブ１０の斜角付き面の鋭く壊れやすい縁が、下顎部の前部と接触することがなくなる。

図４４、図４５、図４６は、垂直ローダ２５４の一部の正面図、側面図、斜視図である。図３２〜図４３に関連して説明したマニピュレータヘッド１６０が、垂直ローダの下端に配置されている。垂直ローダには、アンカープレート２７３に対するマニピュレータヘッド１６０の垂直位置を移動させることができる正確性の高い直線アクチュエータが設けられている。図４４〜図４６では、正確性の高い直線アクチュエータは保護カバー２７４の後ろに隠れている。

垂直ローダ２５４には、試験基板の平坦表面を垂直に見るための垂直光学顕微鏡２６７が取り付けられている。垂直光学顕微鏡２６７は可変垂直位置を有し、この可変垂直位置により、多点プローブへの搭載時に引き込まれ、マニピュレータヘッド１６０に到達できるようになる。垂直光学顕微鏡２６７を試験基板の表面上で焦点合わせすることで、マニピュレータヘッド１６０と試験基板の間の正確な垂直距離を得ることができるが、この正確な垂直距離は、試験基板またはプローブ先端部を損傷することなく顕微鏡多点プローブを採用するために主要である。

垂直ローダ２５４にはさらに、図１０、図１３〜図１７に関連して説明した支持柱５０の外方に延びた舌部６１上の窪み６３によって画定された基点を見るために、柱舌部光学顕微鏡２６６も取り付けられている。柱舌部光学顕微鏡２６６の焦点を基点上に合わせることで、マニピュレータヘッド１６０と支持柱５０との間の相対位置を容易に、高い正確性で決定できるようになり、これにより、マニピュレータヘッド１６０による多点プローブの正確な把持が可能になる。柱舌光学顕微鏡２６６は、マニピュレータヘッド１６０によって把持された多点プローブのプローブ先端部上にも焦点を合わせることができるため、プローブ先端部が試験基板と非係合状態、係合状態のどちらにある時にも、プローブ先端部の視覚的研究または精査が可能となる。図４４〜図４６では、円錐体２６８の先端は、これが取り付けられている光学顕微鏡の焦点を表している。

図４７は、水平第１ローディング軸を画定する画定する第１ローダアーム２５５と、水平第２ローディング軸を画定する第２ローダアーム２５６とを設けた水平ローダ２５３の斜視図であり、ここで、第１ローディング軸と第２ローディング軸とはその間に直角を画定している。第１ローダアーム２５５は、第１ワゴン２５９にスライディング支持を提供する。第１直線アクチュエータ２５７は、第１ワゴン２５９のネジ山付きボア内に受容されたネジ山付き心棒に結合している電気回転モータの形態であり、この第１直線アクチュエータ２５７によって、第１ワゴン２５９がその位置を水平第１ローディング軸に沿って移動できるようになっている。

第２ローダアーム２５６は、第１ワゴン２５９に堅固に取り付けられており、第２ワゴン２６０にスライディング支持を提供する。第２直線アクチュエータ２５８は、第２ワゴン２６０のネジ山付きボア内に受容されたネジ山付き心棒２７５に結合している電気回転モータの形態であり、この第２直線アクチュエータ２５８によって、第２ワゴン２６０がその位置を水平第２ローディング軸に沿って移動できるようになっている。水平ローダ２５３はさらに、第１ローダアーム２５５に沿った第１ワゴン２５９の全ての位置における第２直線アクチュエータの制御を可能にする可撓性の制御電線管２６９を備えている。

第２ワゴン２６０にはラック保持部２６２が設けられており、このラック保持部２６２にフランジが提供されて、上向きの第２受容フランジ付きスライド支持部２６３を画定しており、これが、図２５〜図２７に関連して説明したラック１４０の第２フランジ付きスライド支持部１５１と協働する。受容フランジ付きスライド支持部２６３は第２ローダアーム２５６と平行して延びている。ラック保持部２６２にラック１４０が固定された状態で、水平ローダは、その第１直線アクチュエータ２５７と第２直線アクチュエータ２５８によって、ラック１４０を平面上で、第１ローダアーム２５５と第２ローダアーム２５６との長さで画定された範囲へ移動する。

図４８は、水平支持段２５１と、この水平支持段２５１に堅固に接続された垂直支持段２５２とを備えたプローブローダ２５０の斜視図である。図４４〜図４６に関連して一部説明した垂直ローダ２５４は、さらに、縦ローディング軸を画定する垂直ローダアーム２６４と、空気圧駆動式ピストンの形態の垂直直線アクチュエータ２６５とを備えている。垂直ローダアーム２６４は垂直支持段２５２に堅固に接続しており、アンカープレート２７３に対して、さらにその結果プローブ把持装置１６０に対してもスライディング支持を提供する。こうすることで、垂直直線アクチュエータ２６５が、縦ローディング軸に沿ったプローブ把持装置１６０の可変位置を提供する。

水平ローダ２５３の第１ローダアーム２５５は水平支持段２５１に堅固に接続されており、さらに、水平支持段２５１に堅固に接続されたカバー保持部２６１を設けている。このカバー保持部２６１はさらにフランジを設けており、このフランジは、図３１に関連して説明したカバー１１０の第１フランジ付きスライド支持部１１２と協働するために、第２ローダアーム２５６により画定された第２ローディング軸と平行に延びた下向きの第１受容フランジ付きスライド支持部を画定している。

プローブローダ２５０はそのローディング位置にあるが、この時、ラック保持部２６２は、第２受容フランジ付きスライド支持部２６３が第１受容フランジ付きスライド支持部と平行する形で下に位置決めされているカバー保持部２６１に配置されている。図４８に示すラック１４０の位置はプローブローダ２５０の把持位置に対応しており、つまり、ラック１４０に搭載された多点プローブを垂直ローダ２５４のマニピュレータヘッド１６０によって把持することができる。当然ながら、ラック１４０が自発的に図示の位置を維持することはできないので、水平ローダ２５３のラック保持部２６２によって支持される必要がある。

プローブローダ２５０はさらに、垂直支持段２５２に取り付けられるための保護カバー２７０を備えている。この保護カバー２７０は、垂直ローダ２５４の周囲に配置されており、プローブマニピュレータヘッド１６０のための開放底部を設けている。さらに、プローブローダ２５０は、カセット隙間２７２を備えた水平ローダ前部２７６を設けており、図２０の閉鎖した多点プローブカセット１００がこのカセット隙間２７２に挿入され得、ラック保持部２６２とカバー保持部２６１とに受容される。水平ローダ前部２７６は、カセット１００とカセット隙間２７２とがローディングされた時にこれらを照明するための１行の照明装置２７１を設けている。図４８において、この照明は円錐部２７７によって表されている。

上述した現在好適である実施形態の試作品が実現されたが、ここで、プローブ１０はシリコン、二酸化シリコン、ポリシリコンで製造され、斜角付き前部１３と、側面１４と、端面１５とはＫＯＨエッチングによって得られた。彫込切除部２３は、等方性エッチングと異方性エッチングとを、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）とＡＳＥ（アドバンスト・シリコン・エッチ）と組み合せて設けられた。金属層はチタンとニッケルであり、電子ビーム蒸着によって設けられ、また、酸化層は二酸化シリコンであり、熱成長工程によって設けられた。

プローブホルダについては、支持柱５０とブラケット５１とは射出成型したＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン）で作成されているため、十分な可撓性を持ったブラケットネック５４が得られたと同時に、十分に硬質の支持柱５０が得られた。プローブカセット１００のカバー１１０は、圧延した工業用アルミニウム製のカセットハウジング１１４と、鋳造と圧延とを施した工業用アルミニウム製のハンドル１２９とを設けていた。カセットラック１４０については、ラック前部１４３と、ロックアーム１４４と、ラックバー１４８とは、圧延した工業用アルミニウム製であった。アルミニウムは軽量であり、十分な構造強度を持っているので、簡単で確実なカセットの手作業操作が可能となる。

ロック機構に関しては、ダブルバネ１３０は、市販のＬｅｓｊｏｅｆｏｒｓ（レイシュフォッシュ）社製の直径６．４ｍｍのものであった。支持主軸１１９はＰＯＭ（ポリアセタール）であり、バネキャッチ部１４５は、ロック／ロック解除時の摩耗を最小限にするために鋼鉄製のものであった。これと同じ理由で、カバーキャッチピン１２１と、ラックキャッチピン１４１と、開放キャッチバー１４７ともやはり鋼鉄製であった。

不揮発性デジタルメモリ１２４は、市販されているＴｒａｎｓｃｅｎｄ（トランセンド）社製のフラッシュメモリであるＵＳＢスティックタイプのＵＳＢ２．０（１ＧＢ）であり、したがって、雄コネクタ１２５と雌コネクタ１２６はＵＳＢ標準タイプであった。印刷回路基板１２７は、ＦＲ４（ガラスエポキシ基板）製の標準ＰＣＢ（ポリ塩化ビフェニル）タイプであり、ここで、接続パッド１２８は銅製で、電気めっきで製造された。

プローブマニピュレータヘッド１６０の上顎部１６１は、主に鋼鉄製ワイヤ放電工具鋼であった。プローブマニピュレータヘッド１６０の下顎部１６２は、主にアルミニウム製ワイヤ放電工具鋼であった。

接触舌部１６３は、主に、ＦＲ４の標準ＰＣＢタイプの印刷回路基板１８１であった。印刷回路基板１８１の両側にある複数の信号追跡部１７９と導電性ビア１８０とは銅製であり、電気めっきによって得た。リボンケーブル１７０は、電線が内蔵されているＦｌｅｘｃｏｎｎ社製のＡＷＮ−２８９６−ＶＷ−１であり、これと互換性を持つＦＦＣコネクタ１７１はＦａｒｎｅｌｌ社製の１３２−４５７２であった。接触フィンガ３１'''〜４２'''は、ＣｕＢｅ２（銅ベリリウム合金）製であり、ワイヤ放電腐食によって製造した。支持板１８２は、印刷回路基板１８１を堅固に支持するためにＣｕＢｅ２製のものであった。

下顎部１６２のアルミニウム製のプローブ支持臼歯２５'は、ワイヤおよび電極腐食によって成形されることにより支持面を正確に画定した。

上顎部１６１については、電気モータ１６５はＭａｘｏｎ Ａ−ｍａｘ、駆動主軸１６６はＭａｘｏｎ ＧＳ １２Ａ、ボールベアリング１６７はＳＫＦ ６１８０１であった。ベアリング中心部１７２と外輪１９６とは圧延したアルミニウム製であり、旋回軸１６９は、安定した旋回支持のために圧延したアルミニウム製であった。プローブ支持切歯１３'と口蓋部２０９とは、ツールグレードの鋼鉄で、ワイヤ放電腐食によって製造され、カンチレバーバネ１８６は、十分な弾性を設けるためにステンレスバネグレードの鋼鉄で製造された。ボール１８３は、Ｃａｒｂｏｔｅｃｈ社製の寸法１／３２インチのＳｉＮ３（窒化ケイ素バインダー）であり、ボール支持部１８５はワイヤ放電腐食によって製造された。

外輪１９６とストロークアーム１９８はアルミニウム製であり、圧延によって製造された。外輪リンク１９９と、下顎部リンク２００と、接触舌部リンク２０１とはＰＯＭ製のロッドであり、一方、上方ひずみバネ２１１と下方ひずみバネ２１２とは、十分な弾性を得るために、バネグレードのステンレス鋼で製造されたものであった。

プローブローダ２５０に関しては、水平支持段２５１と垂直支持段２５２とは花こう岩のものであった。第１ローダアーム２５５は市販のＤａｎａｈｅｒ社製のＵＲＳ−４６、第２ローダアーム２５６も同じく市販のＤａｎａｈｅｒ社製のＵＲＳ−４６であり、一方、垂直ローダアーム２６４はＤａｎａｈｅｒ社より市販のものであった。第１直線アクチュエータ２５７は、市販のネジ山付き主軸の上に中心決めし、第２直線アクチュエータ２５８は、市販のネジ山付き主軸２７５の上に中心決めした。垂直直線アクチュエータ１６５は空気圧式駆動シリンダであった。可撓性制御電線管２６９はＬｅｏｎ ＰＴＦＥ（テトラフルオロエチレン樹脂）であった。

第１ワゴン２５９と第２ワゴン２６０とはカスタム製造し、アンカープレート２７３はアルミニウムによってカスタム製造した。カバー保持部２６１とラック保持部２６２とは、主にアルミニウムを圧延して製造したものである。垂直ローダ上の保護カバー２７４アルミニウム製であった。保護カバー２７０と水平ローダ前部２７５とはアルミニウム製であった。照明ＬＥＤライト２７１はＦａｒｎｅｌｌ社製のＦＥＬ−Ｆ１１５Ｙ１５１２Ｖ１２であった。

発明を特徴付けるポイント１〜６４は、以下の通りである。
１．多点プローブ（１０）であって、互いに平行な平坦な底面（１２）と平坦な頂面（１１）とを備えており、前記多点プローブ（１０）はさらに、斜角付きの平坦な前面（１３）と、第１側面（１４）と、前記多点プローブ（１０）の前記第１側面（１４）と対向する側にある第２側面（１４）と、前記多点プローブ（１０）の前記前面（１３）と対向する側にある端面（１５）とを備えており、
前記前面（１３）と、前記第１側面（１４）と、前記第２側面（１４）と、前記端面（１５）との各々は、前記底面（１２）と前記頂面（１１）とを結合させ、前記前面（１３）と、前記底面（１２）とはその間に鋭い内部前面角と前縁（４３）とを画定しており、前記第１側面（１４）と前記底面（１２）とはその間に第１側縁を画定しており、前記第２側面（１４）と前記底面（１２）とはその間に第２側縁を画定しており、前記端面（１４）と前記底面（１２）とはその間に端縁を画定しており、
前記多点プローブ（１０）の長手方向（４６）は、前記第１側縁と第２側縁とに沿って画定され、また、前記前縁（４３）に対して垂直であり、
前記底面（１２）には、導電性金属層と、前記金属層を複数の接触パッド（３１〜４２）に分割する１組の掘削切除部（２３）と、複数の電線管（４７）と、前記前縁においてプローブ先端部２６へと集束している複数の信号追跡部（３１'〜４２'）とが設けられており、前記複数の電線管（４７）の各々は、前記複数の接触パッド（３１〜４２）の対応する１つと、前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちの対応する１つとを相互接続させ、
前記複数の接触パッド（３１〜４２）は、並列し、前記長手方向（４６）に沿って位置決めされた第１行目（３１〜３６）と第２行目（３７〜４２）に分割されており、前記第１行目（３１〜３６）と前記第１側縁とはその間に前記底面（１２）の第１外部範囲（２５）を画定しており、前記第２行目（３７〜４２）と前記第２側縁とはその間に前記底面（１２）の第２外部範囲（２５）を画定しており、前記第１行目（３１〜３６）と前記第２行目（３７〜４２）とはその間に内部範囲を画定しており、
前記複数の電線管（４７）は外部グループと内部グループとに分割されており、前記外部グループの電線管は前記第１外部範囲または前記第２外部範囲のいずれをも横切っており、前記内部グループの電線管は前記内部範囲を横切っている、多点プローブ（１０）。

２．前記第１行目の接触パッドのうちの２つの隣接した接触パッドは、前記１組の彫込切除部（２３）のうちの１つの彫込切除部によって分離されており、前記第２行目の接触パッドのうちの２つの隣接した接触パッドは、前記１組の彫込切除部（２３）のうちの１つの彫込切除部によって分離されている、ポイント１に記載の多点プローブ。

３．隣接している前記第１行目（３１〜３６）の接触パッドのうちの１つと前記第２行目（３７〜４２）接触パッドのうちの１つとの間の前記最短の分離距離は、前記の１組の掘削切除部（２３）のうちの１つによって画定される、ポイント１〜２のいずれか１つに記載の多点プローブ。

４．前記第１行目（３１〜３６）と前記第２行目（３７〜４２）の間の前記内部範囲は、前記内部グループの前記複数の電線管（４７）と、これらを画定している前記１組の掘削切除部（２３）のうちのそれぞれ対応する掘削切除部とによって完全に被覆されている、ポイント１〜３のいずれか１つに記載の多点プローブ。

５．前記複数の電線管（４７）は前記複数の接触パッド（３１〜４２）に、前記長手方向と平行な方向において接続している、ポイント１〜４のいずれか１つに記載の多点プローブ。

６．前記プローブ先端部（２６）は、多数のプローブアーム（３１''〜４２''）を備えており、これらは、前記底面（１２）と平行し、前記前縁（４３）から自由に延びており、また、前記多数のプローブアーム（３１〜４２）の各々には、前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちの１つと接続した導電性金属層が設けられている、ポイント１〜５のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）。

７．前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちの２つ以上は、電子回路を画定するために相互接続している、ポイント１〜６のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）。

８．前記プローブ先端部（２６）は接触検出器を備えており、前記接触検出器は、前記多点プローブ（１０）の前記前縁（４３）から自由に延びた、試験面に接触するためのカンチレバー（３５１）を備え、前記接触検出器は、前記複数の接触パッド（３１〜４２）のうちの少なくとも１つに、前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちのそれぞれ対応する１つを介して接続している、ポイント１〜７のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）。

９．前記接触検出器はカンチレバーひずみ計であり、前記カンチレバー（３５１）は前記底面（１２）と平行であり、前記多点プローブ（１０）の前記前縁（４３）に第１突出部（３５３）と第２突出部（３５４）とを画定する導電性金属層が設けられ、前記第１突出部（３５３）と前記第２突出部（３５４）とは前記前縁（４３）を横切り、前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちの１対の信号追跡部と、前記自由に延びているカンチレバー（３５１）を介して相互接続している、ポイント８に記載の多点プローブ（１０）。

１０．１対の信号追跡部は、前記カンチレバーひずみ計（３５１）とほぼ同じ形状と寸法とを持った基準抵抗器（３５２）によって相互接続されている、ポイント８〜９のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）。

１１．前記多数のプローブアーム（３１''〜４２''）のうちの１本は、その末端部と前記前縁（３４）との間に０．１ｍｍ未満の長さを画定している、ポイント１〜６のいずれかに記載の多点プローブ。

１２．前記多数のプローブアーム（３１''〜４２''）のうちの２本の隣接したプローブアーム間の前記空間は約０．０５ｍｍ未満、例えば約０．０２ｍｍである、ポイント１〜７のいずれか１つに記載の多点プローブ。

１３．前記第１側面（１４）は斜角が付けられており、前記底面（１２）との間に鋭い内部第１側部角を画定しており、前記第２側面（１４）は斜角が付けられており、前記底面（１２）との間に鋭い内部第２側部角を画定しており、前記端面（１４）は斜角が付けられており、前記底面（１２）との間に鋭い内部端部角を画定している、ポイント１〜１２のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）。

１４．プローブホルダ（１５２）であって、支持柱（５０）を備え、前記支持柱（５０）はその上方端部に頂部を、その下方端部に底部を画定しており、前記頂部と底部とは、前部と、前記支持柱の前記前部の反対側に位置決めされた後部と、第１側部と、前記支持柱の前記第１側部の反対側に位置決めされた第２側部とによって結合されており、
前記支持柱（５０）は、上部（５８）と、前記上部（５８）を支持する下部（５９）とを構成しており、
前記支持柱（５０）は、その頂部において、その第１側部には第１肩部（６０）を、また、その第２側部には第２肩部（６０）を画定しており、また、前記多点プローブの平坦な底面と係合するために、前記第１肩部（６０）は上向きで直線構成の第１肩部係合縁を画定し、前記第２肩部（６０）は上向きで直線構成の第２肩部係合縁を画定しており、前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とは共に、それぞれの前記第１肩部係合縁と前記第２肩部係合縁とによって支持面を画定しており、
前記支持柱（５０）は、前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）との下、およびこれらの間に中空空間（６４）を画定しており、さらに、その後部と頂部とに前記中空空間への１つの開口部を画定している、プローブホルダ（１５２）。

１５．前記支持柱（５０）はその前部に上方と外方とに延びる舌部（６１）をさらに備えており、前記舌部（６１）には、自動光学焦点を可能にする基点（７３）が設けられている、ポイント１４に記載のプローブホルダ（１５２）。

１６．前記舌部（６１）は、窪み（６３）を設けた平坦な基準面（７２）を備えており、前記窪み（６３）は前記平坦な基準面（７２）と共面であるへり（７３）を有し、前記基点（７３）は前記へり（７３）によって画定されている、ポイント１５に記載のプローブホルダ（１５２）。

１７．さらにブラケット（５１）を備えており、前記ブラケット（５１）はブラケット基部（５３）と、ブラケットネック（５４）と、ブラケットヘッド（５２）とを備え、前記ブラケット基部（５３）は前記支持柱（５０）の前記下部（５９）に結合し、前記ブラケットネック（５４）はその底部において前記ブラケット基部（５３）と接続し、前記ブラケットヘッド（５２）は前記ブラケットネック（５４）の前記頂部と接続しており、
前記ブラケットネック（５４）はさらに弾性のカンチレバーバネであり、前記カンチレバーは、その平衡位置において載置位置を画定し、前記支持柱（５０）から逸脱した時には解放位置を画定し、前記ブラケットヘッド（５２）は、前記柱本体（５８）よりも上に位置決めされた１対の支持ピン（５７）を備えており、前記１対の支持ピン（５７）の各々は、他の前記支持ピンに向いた側において、多点プローブの斜角付きの平坦な前面または端面と係合するための直線のピン係合縁を画定しており、前記１対の支持ピン（５７）は共に、そのピン係合縁によって係合面を画定している、ポイント１４〜１６のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）。

１８．前記ブラケットネック（５４）が載置位置にある時に、前記１対の支持ピン（５７）によって画定された前記係合面は、前記第１肩部（６０）と第２肩部（６０）とによって画定された前記支持面と平行する、ポイント１７に記載のプローブホルダ（１５２）。

１９．前記ブラケットヘッド（５２）はさらに、前記支持柱（５０）に向いたその側に傾斜したヘッド面（５５）を備えており、前記傾斜したヘッド面（５５）は、前記ブラケットネック（５４）がその載置位置にある時に、水平面に対してゼロではない角度を画定する垂線を有する平面を画定する、ポイント１７〜１８のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）。

２０．前記ブラケットネック（５４）の可撓性は、前記ブラケット基部（５３）から前記ブラケットヘッド（５２）への方向に向かうに従って増加している、ポイント１７〜１９のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）。

２１．前記ブラケットネックは、前記ブラケット（５３）から前記ブラケットヘッド（５２）への方向に向かって増してゆく幅を有する隙間（６５）を設けている、ポイント１７〜２０のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）。

２２．プローブカセット（１００）であって、カバー（１１０）と、ラック（１４０）と、１または複数の多点プローブ（１０）を支持するために前記ラック（１４０）に取り付けられたプローブ支持部（１５２）とを備えており、前記プローブカセット（１００）は、前記カバー（１１０）と前記ラック（１４０）とが接続して前記プローブ支持部（１５２）を閉じ込める閉鎖状態と、前記カバー（１１０）と前記ラック（１４０）とが接続していない開放状態とを画定し、
前記カバー（１１０）には、上向きの第１フランジ付きスライド支持部（１１２）を画定する平行溝（１１１）が設けられており、前記ラック（１４０）には下向きの第２フランジ付きスライド支持部（１５１）を画定する平行溝（１５０）が設けられており、前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）は、前記プローブカセットが閉鎖状態にある時に、前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）よりも上に位置決めされ、これと同方向に延びている、プローブカセット（１００）。

２３．前記カバー（１１０）はさらにハンドルを備え、前記ラック（１４０）はさらに、前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）に凹部（１４６）を設けており、前記凹部は、前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）を画定している前記溝（１５０）に対して直角を成すキャッチバー（１４７）を設けている、ポイント２２に記載のプローブカセット（１００）。

２４．前記カセット（１００）の前記閉鎖状態において、前記カバー（１１０）を前記ラック（１４０）へ解除可能にロックするためのロック（１３０、１４５）をさらに備えている、ポイント２２〜２３のいずれか１つに記載のプローブカセット（１００）。

２５．前記カバー（１１０）はさらに、閉鎖状態にある前記カセット（１００）の外部から到達可能なパッドコネクタ（１２８）と、閉鎖状態にある前記カセット（１００）の内部から到達可能な雌コネクタ（１２６）と、前記パッドコネクタ（１２８）と前記雌コネクタ（１２６）との間の電気接続部（１２６〜１２７）とを備えている、ポイント２２〜２４のいずれかに記載のプローブカセット（１００）。

２６．保護ハウジングを設けた不揮発性デジタルメモリ（１２４）と、前記雌コネクタ（１２６）と互換性を有する雄コネクタ（１２５）とをさらに備えており、前記雌コネクタ（１２６）と雄コネクタ（１２５）とは、その接続時に、前記不揮発性デジタルメモリ（１２４）の解除可能な支持を提供する、ポイント２５に記載のプローブカセット（１００）。

２７．前記不揮発性デジタルメモリは、多点プローブと試験サンプルとの間で実行された係合の回数に関連した情報を含んでいる、ポイント２６に記載のプローブカセット（１００）。

２８．前記プローブ支持部（１５２）は、ポイント１０〜１７のいずれかに記載のプローブホルダ（１５２）である、ポイント２２〜２７のいずれか１つに記載のプローブカセット（１００）。

２９．プローブマニピュレータヘッド（１６０）であって、先端部（１７８）を画定している接触舌部（１６３）を備えており、前記接触舌部は複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）を備えており、前記複数の接触フィンガは導電性を持ち、多点プローブの底面上の対応する複数の接触パッドを係合するためにその先端部（１７８）から自由に延びており、
前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）の各々は末端部を有し、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は共にその末端部によって接触面を画定している、プローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３０．前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）のうちの前記接触フィンガは平行し、共通の方向に延びている、ポイント２９に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３１．前記接触面の垂線は、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）の前記共通の方向に対して係合角を画定している、ポイント３０に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３２．前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は第１列目（３１'''〜３６'''）と第２列目（３７'''〜４２'''）に分割されており、前記第１列目の接触フィンガ（３１'''〜３６'''）は第１平面に配置され、前記第２列目の接触フィンガ（３７'''〜４２'''）は第２平面に配置されており、前記第１平面と前記第２平面と平行している、ポイント２９〜３１のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３３．前部（１７７）を画定する下顎部（１６２）をさらに備え、前記下顎部（１６２）はその前部（１７７）に、多点プローブの平坦な底面に一致して係合するための、第１支持面を画定する第１プローブ支持臼歯（２１５）と、第２支持面を画定する第２プローブ支持臼歯（２１５）とを備えており、
前記第１プローブ支持臼歯（２１５）と前記第２プローブ支持臼歯（２１５）とは離間しており、前記第１支持面と前記第２支持面とは共面であり、前記第１プローブ支持臼歯（２１５）と前記第２プローブ支持臼歯（２１５）との間に共通の接線支持面を画定しており、
前記接触舌部（１６３）と前記下顎部（１６２）とは、互いに対して舌部係合方位を画定しており、ここで、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）が前記共通の支持面を交差する、ポイント２９〜３２のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３４．前記接触舌部（１６３）と前記下顎部（１６２）とは、互いに対して舌部係合解除方位を画定し、この場合、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）が全て前記共通支持面の片側に位置している、ポイント３３に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３５．前記第１プローブ支持臼歯（２１５）と前記第２プローブ支持臼歯（２１５）の各々は、多点プローブ（１０）の底面（１２）と係合するための係合点（２１７）を有する凸型係合面（２１６）を備えており、
前記第１支持面は、係合点（２１７）に対する接平面と、前記第１プローブ支持臼歯（２１５）の前記凸型係合面（２１６）と共面であり、
前記第２支持面は、前記係合点（２１７）に対する接平面と、前記第２プローブ支持臼歯（２１５）の凸型係合面（２１６）と共面である、ポイント３３〜３４のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３６．前部（１７６）を画定する上顎部（１６１）をさらに備えており、前記上顎部（１６１）は前記下顎部（１６２）と接触舌部（１６３）とに旋回支持を提供する旋回軸（１６９）と、機械的リンケージ（１６８）を介して前記下顎部（１６２）と前記接触舌部（１６３）とに結合している回転アクチュエータ（１６５、１６６）とを備えており、
前記旋回軸（１６９）と、前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）と、前記機械的リンケージ（１６８）と、前記下顎部（１６２）とは、前記下顎部（１６２）の前部（１７７）と前記上顎部（１６１）の前部（１７６）との間に可変分離を画定し、前記可変分離は、前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）を回転させることによって異なり、前記下顎部（１６２）の閉鎖位置を画定する最小分離を有する、ポイント３３〜３５のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３７．前記可変分離が、前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）を完全に一回転させると周期的に同じ分離へ戻る、ポイント３６に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３８．前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）を一定の速度で回転させることにより、前記可変分離の変化速度は、前記閉鎖位置において最小に達する、ポイント３６〜３７のいずれかに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

３９．前記上顎部（１６１）の前部（１７６）は、多点プローブ（１０）を受容するための口蓋部（２０９）を画定し、前記口蓋部（２０９）は前部係合縁と、前記口蓋部（２０９）の前記前部係合縁とは反対側に位置した端部係合縁（１５''）と、第１および第２側部係合縁（１４''）とを設けており、前記第１側部係合縁と前記第２側部係合縁とは、前記口蓋部（２０９）の対向する両側と、前記前部係合縁と前記端部係合縁（１５''）との間とに位置決めされており、
前記下顎部が閉鎖位置にある時に、前記前部係合縁と端部係合縁（１５''）とは互いに平行し、また、前記第１および第２のプローブ支持臼歯（２１５）の間の前記共通支持面に平行であり、
前記下顎部が閉鎖位置にある時に、前記第１および第２の側部係合縁は、互いに平行し、また、前記第１および第２のプローブ支持臼歯（２１５）の間の前記共通支持面に平行である、ポイント３６〜３８のいずれかに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

４０．前記上顎部（１６１）の前部（１７６）は第１プローブ支持切歯（１３'）と第２プローブ支持切歯（１３'）とを備えており、これらの切歯の各々はその末端に、多点プローブの斜角付きの平坦な前面と係合するための丸い支持先端部を設けており、
前記第１プローブ支持切歯（１３'）の丸い支持先端部と、前記第２プローブ支持切歯（１３'）の丸い支持先端部とが、前記前部係合縁を画定している、ポイント３９に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）。

４１．プローブローダ（２５０）であって、水平支持段（２５１）と、前記水平支持段（２５１）に堅固に接続した垂直支持段（２５２）と、前記水平支持段（２５１）によって支持された水平ローダ（２５３）と、前記垂直支持段（２５２）によって支持された垂直ローダ（２５４）とを備えており、
前記水平ローダは、水平第１ローディング軸を画定する第１ローダアーム（２５５）と、水平第２ローディング軸を画定する第２ローダアーム（２５６）とを備えており、前記第１ローディング軸と前記第２ローディング軸とが一緒になって交差角を画定しており、
前記水平ローダはさらに、第１直線アクチュエータ（２５７）と、第１ワゴン（２５９）と、第２直線アクチュエータ（２５８）と、第２ワゴン（２６０）とを備えており、
前記第１ローダアームは前記水平支持段（２５１）に堅固に接続し、前記第１ワゴン（２５９）にスライド支持を提供し、また、前記第１直線アクチュエータ（２５７）は、前記第１ローディング軸に沿った前記第１ワゴン（２５９）の可変位置を提供し、
前記第２ローダアーム（２５６）は前記第１ワゴン（２５９）に堅固に接続し、前記第２ワゴン（２６０）にスライド支持を提供し、また、前記第２直線アクチュエータ（２５８）は前記第２ローディング軸に沿った前記第２ワゴン（２６０）の可変位置を提供し、
前記プローブローダ（２５０）はカバー保持部（２６１）をさらに備え、前記カバー保持部（２６１）は前記水平支持段（２５１）に堅固に接続しており、また、プローブカセット（１００）のカバー（１１０）の前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）と協働する下向きの第１受容フランジ付きスライド支持部を画定するフランジを設けられており、
前記第２ワゴン（２６０）はラック保持部（２６２）を備え、前記ラック保持部（２６２）には、前記プローブカセット（１００）の前記ラック（１４０）の前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）と協働する上向きの第２受容フランジ付きスライド支持部（２６２）を画定するフランジが設けられている、プローブローダ（２５０）。

４２．前記垂直ローダ（２５４）は、垂直ローディング軸を画定している垂直ローダアームと、垂直直線アクチュエータ（２６５）と、前記ラック保持部（２６２）により支持されたラック（１４０）に取り付けたプローブ支持部（１５２）によって支持されている多点プローブ（１０）を係合するためのプローブ把持装置（１６０）とを備え、
前記垂直ローダアームは、前記垂直支持段（２５２）に堅固に接続しており、前記プローブ把持装置（１６０）にスライド支持を提供し、また、前記垂直直線アクチュエータ（２６５）は前記垂直ローディング軸に沿った前記プローブ把持装置（１６０）の可変位置を提供する、ポイント４１に記載のプローブローダ（２５０）。

４３．前記プローブローダ（２５０）は、
前記第２受容フランジ付きスライド支持部（２６３）が前記第１受容フランジ付きスライド支持部と平行する形で下に位置決めされている前記カバー保持部（２６１）に前記ラック保持部（２６２）を配置するローディング位置を画定し、
プローブ把持装置（１６０）の下に前記第２受容フランジ付きスライド支持部（２６３）が位置決めされた状態で、前記ラック保持部（２６２）を前記プローブ把持装置（１６０）に配置する把持位置を画定する、ポイント４２に記載のプローブローダ（２５０）。

４４．前記プローブ把持装置（１６０）は、ポイント２９〜４０のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）を備えている、ポイント４１に記載のプローブローダ（２５０）。

４５．前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）少なくとも１つは、その末端によって、前記多点プローブ（１０）の前記複数の接触パッド（３１〜４２）のうちの１つに解放可能に接続している、ポイント１〜１３のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）と、ポイント２９〜４０のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）とを備える多点測定システム。

４６．前記多点プローブ（１０）の前記第１外部範囲（２５）は前記第１支持面と平行しており、前記下顎部（１６２）の前記第１プローブ支持臼歯（２１５）によって係合され、また、前記多点プローブ（１０）の第２外部範囲（２５）は前記第２支持面と平行しており、前記下顎部（１６２）の前記第２プローブ支持臼歯（２１５）によって係合される、ポイント４５と、ポイント３３〜４０のいずれか１つとに記載の多点測定システム。

４７．前記斜角付きの平坦な前面（１３）は前記上顎部（１６１）の前記前部係合縁と平行し、これによって係合され、前記第１側面（１４）は前記上顎部（１６１）の前記第１側部係合縁（１４''）と平行し、これによって係合され、前記第２側面（１４）は前記上顎部（１６１）の前記第２側部係合縁（１４''）と平行し、これによって係合され、さらに、前記端面（１５）は前記上顎部（１６１）の前記端部係合縁と平行し、これによって係合される、ポイント４５〜４６のいずれか１つと、ポイント３９〜４０のいずれか１つとに記載の多点測定システム。

４８．前記多点プローブ（１０）の前記第１外部範囲（２５）は前記支持柱（５０）の前記第１肩部（６０）と接触しており、前記第１肩部係合縁と平行であり、また、前記多点プローブ（１０）の前記第２外部範囲（２５）は前記支持柱（５０）の前記第２肩部（６０）と接触しており、前記第２肩部係合縁と平行している、ポイント１〜１３のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）と、ポイント１４〜２１のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）とを備えるローディング済みの多点プローブホルダ。

４９．前記多点プローブ（１０）の前記斜角付きの平坦な前面（１３）は、前記ブラケット（５１）の前記１対の支持ピン（５７）のうちの一方の前記ピン係合縁と平行し、これによって係合され、また、前記多点プローブ（１０）の前記端面（１５）は、前記ブラケット（５１）の前記１対の支持ピン（５７）のうちの他方の前記ピン係合縁と平行し、これによって係合される、ポイント４３と、ポイント１７〜２１のいずれか１つとに記載のローディング済みの多点プローブホルダ。

５０．前記プローブカセット（１００）の前記プローブ支持部（１５２）は、ポイント４８〜４９のいずれか１つに記載のローディング済みの多点プローブホルダである、ポイント２２〜２８のいずれか１つに記載のプローブカセット（１００）を備えるローディング済みの多点プローブカセット。

５１．前記不揮発性デジタルメモリは、前記ローディング済みの多点プローブ格納システムの前記多点プローブによって実行された測定係合の回数に関する情報を含んでいる、ポイント５０と、ポイント１８〜１９のいずれか１つとに記載のローディング済みの多点プローブカセット。

５２．前記プローブホルダ（１５２）と前記プローブマニピュレータヘッド（１６０）とは互いに係合位置を画定しており、ここで、
前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）によって画定された前記接触面は、前記支持柱の前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とによって画定された前記支持面と共面であり、
前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は、前記支持柱（５０）によって画定された前記中空空間（６４）を、前記１つの開口部を通って、前記支持柱（５０）の後部から頂部へ横切っている、ポイント１４〜２１のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）と、ポイント２９〜４１のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）とを備える多点プローブ把持システム。

５３．前記係合位置において、上顎部（１６１）の前部（１７６）が前記ブラケット（５１）の前記ブラケットヘッド（５２）に係合することによって、前記ブラケット（５１）の前記ブラケットネック（５４）が前記解放位置に維持されている、ポイント５２と、ポイント１７〜２１のいずれか１つとに記載の多点プローブ把持システム。

５４．前記カセット（１００）の前記カバー（１１０）の前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）は、前記プローブローダの前記カバー保持部の前記第１受容フランジ付きスライド支持部と協働し、前記カセット（１００）の前記ラック（１４０）の前記第２フランジ付きスライド支持部（１１２）は前記プローブローダの前記ラック保持部の前記第２受容フランジ付きスライド支持部と協働する、ポイント４１〜４４のいずれか１つに記載のプローブローダと、ポイント２２〜２８のいずれか１つに記載のプローブカセット（１００）とを備えるローディング済みのプローブローダ。

５５．前記プローブカセット（１００）の前記プローブローダの前記ローディング位置は閉鎖状態にあり、また、前記プローブローダの前記把持位置において、前記プローブカセット（１００）は開放状態にある、ポイント５４とポイント４３とに記載のローディング済みのプローブローダ。

５６．多点プローブ（１０）をプローブマニピュレータヘッド（１６０）に接続する方法であって、
ポイント１〜１３のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
ポイント２９〜４０のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）を提供するステップと、
前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）のうちの少なくとも１つを、その末端によって、前記多点プローブ（１０）の前記複数の接触パッド（３１〜４２）の１つと解放可能に接続するステップとを備える、多点プローブ（１０）をプローブマニピュレータヘッド（１６０）に接続する方法。

５７．前記多点プローブ（１０）の前記第１外部範囲（２５）に、前記下顎部（１６２）の前記第１プローブ支持臼歯（２１５）によって、前記第１外部範囲（２５）と前記第１支持面との間が平行した関係で係合するステップと、
前記下顎部（１６２）の前記第２プローブ支持臼歯（２１５）によって、前記多点プローブ（１０）の前記第２外部範囲（２５）に、前記第２外部範囲（２５）と前記第２支持面との間が平行した関係で係合するステップとをさらに備える、ポイント５６に記載の多点プローブ（１０）をプローブマニピュレータヘッド（１６０）に接続する方法。

５８．前記上顎部（１６１）の前記前部係合縁によって、前記斜角付き平坦な前面（１３）に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記上顎部（１６１）の前記第１側部係合縁（１４''）によって、前記第１側面（１４）に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記上顎部（１６１）の前記第２側部係合縁によって、前記第２側面（１４）に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記上顎部（１６１）の前記端部係合縁（１５''）によって、前記端面（１５）に、両者が平行した関係で係合するステップとをさらに備えている、ポイント５７〜５８のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）をプローブマニピュレータヘッド（１６０）に接続する方法。

５９．プローブホルダ（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法であって、
ポイント１〜１３のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
ポイント１４〜２１のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）を提供するステップと、
前記支持柱（５０）の前記第１肩部によって、前記多点プローブ（１０）の第１外部範囲（２５）に、前記第１外部範囲（２５）と前記第１肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップと、
前記支持柱（５０）の前記第２肩部（６０）によって、前記多点プローブ（１０）の前記第２外部範囲（２５）に、前記第２外部範囲（２５）と前記第２肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップとを備える、プローブホルダ（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法。

６０．前記ブラケット（５１）の前記１対の支持ピン（５７）の一方の前記ピン係合縁によって、前記多点プローブ（１０）の前記斜角付き平坦な前面（１３）に、両者が平行した関係で係合するステップと、
前記ブラケット（５１）の前記１対の支持ピン（５７）の他方の前記ピン係合縁によって、前記多点プローブ（１０）の前記端面（１５）に、両者が平行した関係で係合するステップとをさらに備える、ポイント５９に記載のプローブホルダ（１５２）に多点ポイントプローブ（１０）をローディングする方法。

６１．プローブカセット（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法であって、
ポイント１〜１３のいずれか１つに記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
ポイント２２〜２８のいずれか１つに記載のプローブカセット（１００）を提供するステップと、
前記プローブカセット（１００）の前記プローブ支持部（１５２）に前記多点プローブをローディングするステップとを備える、プローブカセット（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法。

６２．前記多点プローブ（１０）が実行した測定係合の回数に関する情報を、前記不揮発性デジタルメモリに記憶するステップをさらに備える、ポイント６１に記載のプローブカセット（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法。

６３．プローブマニピュレータヘッド（１６０）によってプローブホルダ（１５２）に係合する方法であって、
ポイント２９〜４０のいずれか１つに記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）を提供するステップと、
ポイント１４〜２１のいずれか１つに記載のプローブホルダ（１５２）を提供するステップと、
前記プローブホルダ（１５２）と前記マニピュレータヘッド（１６０）とを互いに対する係合位置において位置決めするステップとを備え、ここで、前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）によって画定された前記接触面が、前記支持柱の前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とによって画定された前記支持面と共面であり、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は、前記支持柱（５０）によって画定された前記中空空間（６４）を、前記１つの開口部を通って前記支持柱（５０）の後部から頂部へと横切る、プローブマニピュレータヘッド（１６０）によってプローブホルダ（１５２）に係合する方法。

６４．前記上顎部（１６１）の前記前部（１７６）で前記ブラケットヘッド（５２）に係合することにより、前記解放位置にある前記ブラケット（５１）の前記ブラケットネック（５４）を保持するステップをさらに備える、ポイント６０に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）によってプローブホルダ（１５２）に係合する方法。

１０ プローブ
１１ 頂面
１１'' 頂部係合背筋
１２ 底面
１３ 斜角付き前面
１３' プローブ支持切歯
１３'' 丸い支持先端部
１３''' 前部係合範囲
１４ 斜角付き側面
１４'' 側部係合縁
１４''' 側部係合範囲
１５ 斜角付き端面
１５'' 端部係合縁
１５''' 端部係合範囲
１６ 製造支持部
１７ 内向きの前部角
１８ 第１斜角付き前部角面
１９ 第２斜角付き前部角面
２０ 内向きの後部角
２１ 第１斜角付き後部角面
２２ 第２斜角付き後部角面
２３ 彫込切除部
２４ パッド
２５ 外部範囲
２６ プローブ先端部
２７ 金属層
２８ 酸化層
２９ 側縁
３１〜４２ 接触パッド
３１'〜４２' プローブ信号追跡部
３１''〜４２'' プローブアーム
３１'''〜４２''' 接触フィンガ
４３ 前縁
４４ 接触パッドの内側
４５ 接触パッドの外側
４６ 長手方向対称軸
４７ 電線管
４８ 鋭い内角
４９ 前部範囲
５０ 支持柱
５１ ブラケット
５２ ブラケットヘッド
５３ ブラケット基部
５４ ブラケットネック
５５ 傾斜したヘッド面
５６ ブラケット顎部
５７ ブラケット支持ピン
５８ 柱上部
５９ 柱下部
６０ 柱肩部
６１ 柱舌部
６２ 傾斜した舌面
６３ 窪み
６４ 中空空間
６５ ネック隙間
６６ 基部隙間
６７ 基部フランジ
６８ 柱側部
６９ 柱前部
７０ 係合角
７１ 力
７２ 基準面
７３ へり
１００ プローブカセット
１１０ カセットカバー
１１１ カセットハウジングの溝
１１２ フランジ付きスライド支持部
１１３ カバーキャッチボア
１１４ カセットハウジング
１１９ 支持主軸
１２０ ダブルバネ
１２１ カバーキャッチピン
１２３ ロックシャフト通路
１２４ 不揮発性デジタルメモリ
１２５ 雄コネクタ
１２６ 雌コネクタ
１２７ ＰＣＢ（ポリ塩化ビフェニル）
１２８ ＰＣＢパッドコネクタ
１２９ ハンドル
１３０ ロックフック
１３１ ハウジング前部
１３２ ハウジング端部
１３３ ハウジング底部
１３４ ハウジング頂部
１３５ 断面切断
１４０ カセットラック
１４１ ラックキャッチピン
１４２ プローブホルダ用凹部
１４３ ラック前部
１４４ ロックアーム
１４５ バネキャッチ
１４６ 開口凹部
１４７ 開口キャッチバー
１４８ ラックバー
１４９ ラックキャッチボア
１５０ ラックバーの溝
１５１ フランジ付きスライド支持部
１５２ プローブホルダ
１５３ ロックシャフト切り抜き部
１５４ ラックバー端部
１６０ プローブマニピュレータヘッド
１６１ 上顎部
１６２ 下顎部
１６３ 接触舌部
１６５ 電気モータ
１６６ 駆動主軸
１６７ ボールベアリング
１６８ 機械的リンケージ
１６９ 旋回軸
１７０ リボンケーブル
１７１ 絶縁変位コネクタ
１７２ ベアリング中心部
１７３ 変位したシリンダ
１７４ 旋回隙間
１７５ 旋回隙間
１７６ 上顎部の前部
１７７ 下顎部の前部
１７８ 接触先端部
１７９ 複数の信号追跡部
１８０ 導電ビア
１８１ 印刷回路基板
１８２ 支持板
１８３ サファイア製ボール
１８４ 支持凹部
１８５ サファイア製ボール支持部
１８６ カンチレバーバネ
１８７ 上方支持長さ
１８８ 下面長さ
１８９ 上面長さ
１９０ 上方支持幅
１９１ 下面幅
１９２ 上面幅
１９５ クランクシャフト
１９６ 外輪
１９７ 接続ロッド
１９８ ストロークアーム
１９９ 外輪リンク
２００ 下顎部リンク
２０１ 接触舌部リンク
２０２ 下顎部シャフト
２０３ 上顎部シャフト
２０４ 下方支持面
２０５ 上方支持面
２０６ ベアリング中心円
２０７ ストロークシャフト
２０８ 円
２０９ 口蓋部
２１０ 複数の接触フィンガ
２１１ 上方板バネ
２１２ 下方板バネ
２１４ ストロークアーム
２１５ プローブ支持臼歯
２１６ 凸型係合面
２１７ 係合点
２１８ 固定アーム
２１９ 位置決めバネ
２２０ プローブ固定隙間
２２１ 舌部固定隙間
２２２ プローブ固定フィンガ
２２３ 舌部固定フィンガ
２２４ プローブ固定フィンガ先端部
２２５ 舌部固定フィンガ先端部
２２６ 位置決めバネ先端部
２２６''' バネ係合範囲
２２７ 上顎部背筋
２２８ 凸型載置面
２２９ 舌部背筋
２３０ 固定アームヨーク
２３１ 固定アームバネ
２３２ 前部支持高さ
２３３ 側部支持高さ
２３４ プローブ高さ
２３５ 後部支持高さ
２５０ プローブローダ
２５１ 水平支持段
２５２ 垂直支持段
２５３ 水平ローダ
２５４ 垂直ローダ
２５５ 第１ローダアーム
２５６ 第２ローダアーム
２５７ 第１直線アクチュエータ
２５８ 第２直線アクチュエータ
２５９ 第１ワゴン
２６０ 第２ワゴン
２６１ カバー保持部
２６２ ラック保持部
２６３ 受容スライド支持部
２６４ 垂直ローダアーム
２６５ 垂直直線アクチュエータ
２６６ 柱舌顕微鏡
２６７ 垂直顕微鏡
２６８ 焦点円錐部
２６９ 制御電線管
２７０ 保護カバー
２７１ ＬＥＤライト
２７２ カセット隙間
２７３ アンカープレート
２７４ 保護カバー
２７５ ネジ山付き主軸
２７５ 水平ローダ前部
２７６ 照明円錐部
３５１ カンチレバーひずみ計
３５２ 基準抵抗器
３５３ 第１突出部
３５４ 第２突出部
３６１ 電気絶縁支持壁
３６２ 接触角

Claims (17)

1. 多点プローブ（１０）であって、互いに平行な平坦な底面（１２）と平坦な頂面（１１）とを備えており、前記多点プローブ（１０）はさらに、斜角付きの平坦な前面（１３）と、第１側面（１４）と、前記多点プローブ（１０）の前記第１側面（１４）と対向する側にある第２側面（１４）と、前記多点プローブ（１０）の前記前面（１３）と対向する側にある端面（１５）とを備えており、
   前記前面（１３）と、前記第１側面（１４）と、前記第２側面（１４）と、前記端面（１５）との各々は、前記底面（１２）と前記頂面（１１）とを結合させ、前記前面（１３）と、前記底面（１２）とはその間に鋭い内部前面角と前縁（４３）とを有しており、前記第１側面（１４）と前記底面（１２）とはその間に第１側縁を有しており、前記第２側面（１４）と前記底面（１２）とはその間に第２側縁を有しており、前記端面（１４）と前記底面（１２）とはその間に端縁を有しており、
   前記多点プローブ（１０）の長手方向（４６）は、前記第１側縁と第２側縁とに沿って画定され、また、前記前縁（４３）に対して垂直であり、
   前記底面（１２）には、導電性金属層と、前記金属層を複数の接触パッド（３１〜４２）に分割する１組の掘削切除部（２３）と、複数の電線管（４７）と、前記前縁においてプローブ先端部２６へと集束している複数の信号追跡部（３１'〜４２'）とが設けられており、前記複数の電線管（４７）の各々は、前記複数の接触パッド（３１〜４２）の対応する１つと、前記複数の信号追跡部（３１'〜４２'）のうちの対応する１つとを相互接続させ、
   前記複数の接触パッド（３１〜４２）は、並列し、前記長手方向（４６）に沿って位置決めされた第１行目（３１〜３６）と第２行目（３７〜４２）に分割されており、前記第１行目（３１〜３６）と前記第１側縁とはその間に前記底面（１２）の第１外部範囲（２５）を画定しており、前記第２行目（３７〜４２）と前記第２側縁とはその間に前記底面（１２）の第２外部範囲（２５）を画定しており、前記第１行目（３１〜３６）と前記第２行目（３７〜４２）とはその間に内部範囲を画定しており、
   前記複数の電線管（４７）は外部グループと内部グループとに分割されており、前記外部グループの電線管は前記第１外部範囲または前記第２外部範囲のいずれをも横切っており、前記内部グループの電線管は前記内部範囲を横切っていることを特徴とする多点プローブ（１０）。
2. プローブホルダ（１５２）であって、支持柱（５０）を備え、前記支持柱（５０）はその上方端部に頂部を、その下方端部に底部を有しており、前記頂部と底部とは、前部と、前記支持柱の前記前部の反対側に位置決めされた後部と、第１側部と、前記支持柱の前記第１側部の反対側に位置決めされた第２側部とによって結合されており、
   前記支持柱（５０）は、上部（５８）と、前記上部（５８）を支持する下部（５９）とを構成しており、
   前記支持柱（５０）は、その頂部において、その第１側部には第１肩部（６０）を、また、その第２側部には第２肩部（６０）を有しており、また、前記多点プローブの平坦な底面と係合するために、前記第１肩部（６０）は上向きで直線構成の第１肩部係合縁を有し、前記第２肩部（６０）は上向きで直線構成の第２肩部係合縁を有しており、前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とは共に、それぞれの前記第１肩部係合縁と前記第２肩部係合縁とによって支持面を画定しており、
   前記支持柱（５０）は、前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）との下、およびこれらの間に中空空間（６４）を画定しており、さらに、その後部と頂部とに前記中空空間への１つの開口部を画定していることを特徴とするプローブホルダ（１５２）。
3. 請求項２に記載のプローブホルダ（１５２）であって、さらにブラケット（５１）を備えており、前記ブラケット（５１）はブラケット基部（５３）と、ブラケットネック（５４）と、ブラケットヘッド（５２）とを備え、前記ブラケット基部（５３）は前記支持柱（５０）の前記下部（５９）に結合し、前記ブラケットネック（５４）はその底部において前記ブラケット基部（５３）と接続し、前記ブラケットヘッド（５２）は前記ブラケットネック（５４）の前記頂部と接続しており、
   前記ブラケットネック（５４）はさらに弾性のカンチレバーバネであり、前記カンチレバーは、その平衡位置において載置位置を画定し、前記支持柱（５０）から逸脱した時には解放位置を画定し、前記ブラケットヘッド（５２）は、前記柱本体（５８）よりも上に位置決めされた１対の支持ピン（５７）を備えており、前記１対の支持ピン（５７）の各々は、他の前記支持ピンに向いたその側面において、多点プローブの斜角付きの平坦な前面または端面と係合するための直線のピン係合縁を画定しており、前記１対の支持ピン（５７）は共に、それぞれのピン係合縁によって係合面を画定していることを特徴とするプローブホルダ（１５２）。
4. プローブカセット（１００）であって、カバー（１１０）と、ラック（１４０）と、１または複数の多点プローブ（１０）を支持するために前記ラック（１４０）に取り付けられたプローブ支持部（１５２）とを備えており、前記プローブカセット（１００）は、前記カバー（１１０）と前記ラック（１４０）とが接続して前記プローブ支持部（１５２）を閉じ込める閉鎖状態と、前記カバー（１１０）と前記ラック（１４０）とが接続していない開放状態とを画定し、
   前記カバー（１１０）には、上向きの第１フランジ付きスライド支持部（１１２）を画定する平行溝（１１１）が設けられており、前記ラック（１４０）には下向きの第２フランジ付きスライド支持部（１５１）を画定する平行溝（１５０）が設けられており、前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）は、前記プローブカセットが閉鎖状態にある時に、前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）よりも上に位置決めされ、これと同方向に延びていることを特徴とするプローブカセット（１００）。
5. プローブマニピュレータヘッド（１６０）であって、先端部（１７８）を画定している接触舌部（１６３）を備えており、前記接触舌部は複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）を備えており、前記複数の接触フィンガは導電性を持ち、多点プローブの底面上の対応する複数の接触パッドと係合するためにその先端部（１７８）から自由に延びており、
   前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）の各々は末端部を有し、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は共にその末端部によって接触面を画定していることを特徴とするプローブマニピュレータヘッド（１６０）。
6. 請求項５に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）であって、前部（１７７）を画定する下顎部（１６２）をさらに備え、前記下顎部（１６２）はその前部（１７７）に、多点プローブの平坦な底面に一致して係合するための、第１支持面を画定する第１プローブ支持臼歯（２１５）と、第２支持面を画定する第２プローブ支持臼歯（２１５）とを備えており、、
   前記第１プローブ支持臼歯（２１５）と前記第２プローブ支持臼歯（２１５）とは離間しており、前記第１支持面と前記第２支持面とは共面であり、前記第１プローブ支持臼歯（２１５）と前記第２プローブ支持臼歯（２１５）との間に共通の接線支持面を画定しており、
   前記接触舌部（１６３）と前記下顎部（１６２）とは、互いに対して舌部係合方位を画定しており、ここで、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）が前記共通の支持面を交差することを特徴とするプローブマニピュレータヘッド（１６０）。
7. 請求項５または６に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）であって、前部（１７６）を画定する上顎部（１６１）をさらに備えており、前記上顎部（１６１）は前記下顎部（１６２）と接触舌部（１６３）とに旋回支持を提供する旋回軸（１６９）と、機械的リンケージ（１６８）を介して前記下顎部（１６２）と前記接触舌部（１６３）とに結合している回転アクチュエータ（１６５、１６６）とを備えており、
   前記旋回軸（１６９）と、前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）と、前記機械的リンケージ（１６８）と、前記下顎部（１６２）とは、前記下顎部（１６２）の前部（１７７）と前記上顎部（１６１）の前部（１７６）との間に可変分離を画定し、前記可変分離は、前記回転アクチュエータ（１６５、１６６）を回転させることによって異なり、前記下顎部（１６２）の閉鎖位置を画定する最小分離を有することを特徴とするプローブマニピュレータヘッド（１６０）。
8. プローブローダ（２５０）であって、水平支持段（２５１）と、前記水平支持段（２５１）に堅固に接続した垂直支持段（２５２）と、前記水平支持段（２５１）によって支持された水平ローダ（２５３）と、前記垂直支持段（２５２）によって支持された垂直ローダ（２５４）とを備えており、
   前記水平ローダは、水平第１ローディング軸を画定する第１ローダアーム（２５５）と、水平第２ローディング軸を画定する第２ローダアーム（２５６）とを備えており、前記第１ローディング軸と前記第２ローディング軸とが一緒になって交差角を画定しており、
   前記水平ローダはさらに、第１直線アクチュエータ（２５７）と、第１ワゴン（２５９）と、第２直線アクチュエータ（２５８）と、第２ワゴン（２６０）とを備えており、
   前記第１ローダアームは前記水平支持段（２５１）に堅固に接続し、前記第１ワゴン（２５９）にスライド支持を提供し、また、前記第１直線アクチュエータ（２５７）は、前記第１ローディング軸に沿った前記第１ワゴン（２５９）の可変位置を提供し、
   前記第２ローダアーム（２５６）は前記第１ワゴン（２５９）に堅固に接続し、前記第２ワゴン（２６０）にスライド支持を提供し、また、前記第２直線アクチュエータ（２５８）は前記第２ローディング軸に沿った前記第２ワゴン（２６０）の可変位置を提供し、
   前記プローブローダ（２５０）はカバー保持部（２６１）をさらに備え、前記カバー保持部（２６１）は前記水平支持段（２５１）に堅固に接続しており、また、フランジを設け、前記フランジは、プローブカセット（１００）のカバー（１１０）の前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）と協働する下向きの第１受容フランジ付きスライド支持部を画定しており、
   前記第２ワゴン（２６０）はラック保持部（２６２）を備え、前記ラック保持部（２６２）には、前記プローブカセット（１００）の前記ラック（１４０）の前記第２フランジ付きスライド支持部（１５１）と協働する上向きの第２受容フランジ付きスライド支持部（２６２）を画定するフランジが設けられていることを特徴とするプローブローダ（２５０）。
9. 請求項１に記載の多点プローブ（１０）と、請求項５〜７のいずれか１項に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）とを備えた多点測定システムであって、
   前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）の少なくとも１つは、その末端によって、前記多点プローブ（１０）の前記複数の接触パッド（３１〜４２）のうちの１つに解放可能に接続していることを特徴とする多点測定システム。
10. 請求項１に記載の多点プローブ（１０）と、請求項２〜３のいずれか１項に記載のプローブホルダ（１５２）とを備えたことを特徴とするローディング済みの多点プローブホルダであって、
    前記多点プローブ（１０）の前記第１外部範囲（２５）は前記支持柱（５０）の前記第１肩部（６０）と接触しており、前記第１肩部係合縁と平行であり、また、前記多点プローブ（１０）の前記第２外部範囲（２５）は前記支持柱（５０）の前記第２肩部（６０）と接触しており、前記第２肩部係合縁と平行していることを特徴とするローディング済みの多点プローブホルダ。
11. 前記プローブカセット（１００）の前記プローブ支持部（１５２）は請求項１０に記載のローディング済みの多点プローブホルダである、請求項４に記載のプローブカセット（１００）を備えたことを特徴とするローディング済みの多点プローブカセット。
12. 請求項２または３に記載のプローブホルダ（１５２）と、請求項５〜７のいずれか１項に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）とを備えた多点プローブ把持システムであって、
    前記プローブホルダ（１５２）と前記プローブマニピュレータヘッド（１６０）とは互いに係合位置を画定しており、
    前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）によって画定された前記接触面は、前記支持柱の前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とによって画定された前記支持面と共面であり、
    前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は、前記支持柱（５０）によって画定された前記中空空間（６４）を、前記１つの開口部を通って、前記支持柱（５０）の後部から頂部へ横切っていることを特徴とする多点プローブ把持システム。
13. 請求項８に記載のプローブローダと、請求項４に記載のプローブカセット（１００）とを備えたローディング済みのプローブローダであって、
    前記カセット（１００）の前記カバー（１１０）の前記第１フランジ付きスライド支持部（１１２）は、前記プローブローダの前記カバー保持部の前記第１受容フランジ付きスライド支持部と協働し、前記カセット（１００）の前記ラック（１４０）の前記第２フランジ付きスライド支持部（１１２）は、前記プローブローダの前記ラック保持部の前記第２受容フランジ付きスライド支持部と協働することを特徴とするローディング済みのプローブローダ。
14. 多点プローブ（１０）をプローブマニピュレータヘッド（１６０）に接続する方法であって、
    請求項１に記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
    請求項５〜７のいずれか１項に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）を提供するステップと、
    前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）のうちの少なくとも１つを、その末端によって、前記多点プローブ（１０）の前記複数の接触パッド（３１〜４２）の１つと解放可能に接続するステップとを有することを特徴とする方法。
15. プローブホルダ（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法であって、
    請求項１に記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
    請求項２〜３のいずれか１項に記載のプローブホルダ（１５２）を提供するステップと、
    前記支持柱（５０）の前記第１肩部によって、前記多点プローブ（１０）の第１外部範囲（２５）に、前記第１外部範囲（２５）と前記第１肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップと、
    前記支持柱（５０）の前記第２肩部（６０）によって、前記多点プローブ（１０）の前記第２外部範囲（２５）に、前記第２外部範囲（２５）と前記第２肩部係合縁とが平行した関係で係合するステップとを有することを特徴とする方法。
16. プローブカセット（１５２）に多点プローブ（１０）をローディングする方法であって、
    請求項１に記載の多点プローブ（１０）を提供するステップと、
    請求項４に記載のプローブカセット（１００）を提供するステップと、
    前記プローブカセット（１００）の前記プローブ支持部（１５２）に前記多点プローブをローディングするステップとを有することを特徴とする方法。
17. プローブマニピュレータヘッド（１６０）によってプローブホルダ（１５２）に係合する方法であって、
    請求項５〜７のいずれか１項に記載のプローブマニピュレータヘッド（１６０）を提供するステップと、
    請求項２〜３のいずれか１項に記載のプローブホルダ（１５２）を提供するステップと、
    前記プローブホルダ（１５２）と前記マニピュレータヘッド（１６０）とを互いに対する係合位置において位置決めするステップとを備え、前記接触舌部（１６３）の前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）によって画定された前記接触面が、前記支持柱の前記第１肩部（６０）と前記第２肩部（６０）とによって画定された前記支持面と共面であり、前記複数の接触フィンガ（３１'''〜４２'''）は、前記支持柱（５０）によって画定された前記中空空間（６４）を、前記１つの開口部を通って前記支持柱（５０）の後部から頂部へと横切ることを特徴とする方法。

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