JP5798517B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
この半導体装置では、ゲート電極は、第2導電型の半導体である。ゲート電極は、その一部に第1半導体領域と接している部分の絶縁膜に接している第1領域を有している。そのゲート電極では、第1領域の第2導電型不純物濃度は、ゲート電極の全体の第2導電型不純物濃度を平均した値よりも低い濃度である。
半導体基板 12
ボディ領域 14
ソース領域 20
ソース電極 22
ゲート絶縁膜 24
ドレイン層 30
ドレイン電極 32
ドリフト層 34
トレンチ 36
ゲート電極 40
ゲート電極 90
第1ゲート領域 402
第1ゲート領域 502
第1ゲート領域 602
第1ゲート領域 906
近接領域 802
Claims (2)
- 第1導電型の半導体である第1半導体領域と、
第1半導体領域に接しており、第2導電型の半導体である第2半導体領域と、
第2半導体領域に接しており、第2半導体領域によって第1半導体領域と分離されており、第1導電型の半導体である第3半導体領域と、
第1半導体領域と第3半導体領域を分離している範囲の第2半導体領域に対して絶縁膜を介して対向していると共に、その一部が絶縁膜を介して第1半導体領域と対向しているゲート電極とを備え、
第2半導体領域は、第1半導体領域上に形成されており、
第3半導体領域は、第2半導体領域上に形成されており、
ゲート電極は、第3半導体領域及び第2半導体領域を貫通して第1半導体領域に達するトレンチ型のゲート電極であり、
ゲート電極は、第2導電型の半導体であり、その一部に第1半導体領域と接している部分の絶縁膜に接している第1領域を有しており、
第1領域の第2導電型不純物濃度は、ゲート電極の全体の第2導電型不純物濃度を平均した値よりも低い濃度であり、
第1領域は、ゲート電極の底面及び側面に形成されており、
ゲート電極は、第1領域の内部に形成された第2領域をさらに有しており、
第2領域の第2導電型不純物濃度は、第1領域の第2導電型不純物濃度よりも濃い、半導体装置。 - 第1領域の第2導電型不純物濃度は、第2半導体領域の第2導電型不純物濃度よりも低い、請求項1に記載の半導体装置。
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