JP6754308B2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6754308B2 JP6754308B2 JP2017019443A JP2017019443A JP6754308B2 JP 6754308 B2 JP6754308 B2 JP 6754308B2 JP 2017019443 A JP2017019443 A JP 2017019443A JP 2017019443 A JP2017019443 A JP 2017019443A JP 6754308 B2 JP6754308 B2 JP 6754308B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- electrode
- region
- semiconductor
- semiconductor region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
10:半導体基板
11:ドレイン領域
12:ドリフト領域
13:ボディ領域
14:ボディコンタクト領域
15:ソース領域
16;接続領域
22:ドレイン電極
24:ソース電極
30:絶縁ゲート部
30T:トレンチ
32:ゲート絶縁膜
34:ゲート電極
40:ゲート分離金属電極
Claims (7)
- 第1導電型の第1半導体領域と第2導電型の第2半導体領域と第1導電型の第3半導体領域を有しており、前記第1半導体領域と前記第2半導体領域と前記第3半導体領域が第1方向に沿ってこの順で並んでいる半導体基板と、
前記第3半導体領域に接する第1主電極と、
前記第1方向に沿って前記第1主電極から離れている第2主電極と、
絶縁ゲート部と、
ゲート分離金属電極と、を備えており、
前記絶縁ゲート部は、
前記第1半導体領域と前記第2半導体領域と前記第3半導体領域に接するゲート絶縁膜と、
少なくとも前記第1半導体領域と前記第3半導体領域の間に位置する前記第2半導体領域の部分に前記ゲート絶縁膜を介して対向する第1導電型の半導体のゲート電極と、を有しており、
前記ゲート分離金属電極は、前記ゲート絶縁膜よりも前記第2主電極側に配置されている部分を少なくとも有しており、前記第1半導体領域と前記ゲート電極にショットキー接触しており、前記第1半導体領域と前記ゲート電極を隔てている、半導体装置。 - 前記ゲート分離金属電極は、前記第1主電極に電気的に接続されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極は、不純物濃度が相対的に高濃度な高濃度ゲート電極と不純物濃度が相対的に低濃度な低濃度ゲート電極を有しており、
前記高濃度ゲート電極が、前記第1半導体領域と前記第3半導体領域の間に位置する前記第2半導体領域の部分の全範囲に前記ゲート絶縁膜を介して対向しており、
前記低濃度ゲート電極が、前記ゲート分離金属電極と前記高濃度ゲート電極の間に設けられている、請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記第1方向は、前記半導体基板の厚み方向であり、
前記第1主電極が前記半導体基板の表面に設けられており、
前記第2主電極が前記半導体基板の裏面に設けられており、
前記絶縁ゲート部が、前記半導体基板の前記表面から前記第3半導体領域及び前記第2半導体領域を貫通して前記第1半導体領域に侵入するトレンチ内に設けられており、
前記ゲート絶縁膜は、前記トレンチの側面を被覆しており、
前記ゲート電極は、前記トレンチの底面に露出しており、
前記ゲート分離金属電極が、前記トレンチの底面に露出する前記ゲート電極にショットキー接触する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体基板の前記厚み方向に沿って伸びており、前記ゲート分離金属電極に接する接続領域をさらに有しており、
前記接続領域は、前記半導体基板の前記表面に直交する方向から観測したときに、前記絶縁ゲート部の長手方向の端部よりも外側に配置されており、
前記ゲート分離金属電極は、前記接続領域を介して前記第1主電極に電気的に接続されている、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記接続領域は、第2導電型の半導体である、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記第1半導体領域がドリフト領域であり、前記第2半導体領域がボディ領域であり、前記第3半導体領域がソース領域であり、第1主電極がソース電極であり、第2主電極がドレイン電極である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017019443A JP6754308B2 (ja) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017019443A JP6754308B2 (ja) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018129327A JP2018129327A (ja) | 2018-08-16 |
JP6754308B2 true JP6754308B2 (ja) | 2020-09-09 |
Family
ID=63173134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017019443A Active JP6754308B2 (ja) | 2017-02-06 | 2017-02-06 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6754308B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102566097B1 (ko) * | 2021-07-23 | 2023-08-14 | 주식회사 키파운드리 | 정전기 방전 자체 보호 능력을 개선한 고전압 반도체 소자 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005011846A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-13 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体装置 |
JP2008060416A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2008218527A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Sharp Corp | トレンチ型mosfet及びその製造方法 |
JP2009302510A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-12-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | トレンチゲート型半導体装置およびその製造方法 |
JP4542178B2 (ja) * | 2008-07-15 | 2010-09-08 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置 |
JP6219704B2 (ja) * | 2013-12-17 | 2017-10-25 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
-
2017
- 2017-02-06 JP JP2017019443A patent/JP6754308B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018129327A (ja) | 2018-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6320545B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6526591B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6659516B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6720818B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6593294B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6606007B2 (ja) | スイッチング素子 | |
JP2004134597A (ja) | 半導体素子 | |
JP2005011846A (ja) | 半導体装置 | |
JP6453188B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置 | |
JP2019079833A (ja) | スイッチング素子とその製造方法 | |
JP2012069797A (ja) | 絶縁ゲート型トランジスタ | |
JP2016115847A (ja) | 半導体装置 | |
JP2014216572A (ja) | 半導体装置 | |
JP6283709B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6514035B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2013069783A (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP6708269B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6052413B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6754308B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2015133447A (ja) | 半導体装置 | |
JP6918736B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2016149429A (ja) | 逆導通igbt | |
JP6814652B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6754310B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP7077112B2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200804 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6754308 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |